DE60207586D1 - Verfahren und vorrichtung zum polieren der oberfläche eines werkstückes - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum polieren der oberfläche eines werkstückes

Info

Publication number
DE60207586D1
DE60207586D1 DE60207586T DE60207586T DE60207586D1 DE 60207586 D1 DE60207586 D1 DE 60207586D1 DE 60207586 T DE60207586 T DE 60207586T DE 60207586 T DE60207586 T DE 60207586T DE 60207586 D1 DE60207586 D1 DE 60207586D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
polishing
workpiece surface
machined
machining
area
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE60207586T
Other languages
English (en)
Other versions
DE60207586T2 (de
Inventor
Brug Hedser Van
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nederlandse Organisatie voor Toegepast Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Original Assignee
Nederlandse Organisatie voor Toegepast Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nederlandse Organisatie voor Toegepast Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO filed Critical Nederlandse Organisatie voor Toegepast Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Publication of DE60207586D1 publication Critical patent/DE60207586D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE60207586T2 publication Critical patent/DE60207586T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
    • B24C1/00—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods
    • B24C1/08—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods for polishing surfaces, e.g. smoothing a surface by making use of liquid-borne abrasives
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B13/00—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor
    • B24B13/06—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor grinding of lenses, the tool or work being controlled by information-carrying means, e.g. patterns, punched tapes, magnetic tapes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/02—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation according to the instantaneous size and required size of the workpiece acted upon, the measuring or gauging being continuous or intermittent
    • B24B49/04—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation according to the instantaneous size and required size of the workpiece acted upon, the measuring or gauging being continuous or intermittent involving measurement of the workpiece at the place of grinding during grinding operation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/12—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation involving optical means
DE60207586T 2001-09-13 2002-09-13 Verfahren und vorrichtung zum polieren der oberfläche eines werkstückes Expired - Lifetime DE60207586T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1018943A NL1018943C2 (nl) 2001-09-13 2001-09-13 Werkwijze en inrichting voor het polijsten van een werkstukoppervlak.
NL1018943 2001-09-13
PCT/NL2002/000590 WO2003026846A1 (en) 2001-09-13 2002-09-13 Method and apparatus for polishing a workpiece surface

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE60207586D1 true DE60207586D1 (de) 2005-12-29
DE60207586T2 DE60207586T2 (de) 2006-07-27

Family

ID=19773997

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE60207586T Expired - Lifetime DE60207586T2 (de) 2001-09-13 2002-09-13 Verfahren und vorrichtung zum polieren der oberfläche eines werkstückes

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7121922B2 (de)
EP (1) EP1425135B1 (de)
JP (1) JP4672255B2 (de)
AT (1) ATE310608T1 (de)
DE (1) DE60207586T2 (de)
NL (1) NL1018943C2 (de)
WO (1) WO2003026846A1 (de)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL1021457C2 (nl) * 2002-09-13 2004-03-16 Tno Werkwijze voor het meten van contourvariaties.
NL1022293C2 (nl) * 2002-12-31 2004-07-15 Tno Inrichting en werkwijze voor het vervaardigen of bewerken van optische elementen en/of optische vormelementen, alsmede dergelijke elementen.
DE102004021254A1 (de) 2004-04-30 2005-11-24 P & L Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Vermessung eines Werkzeugs einer Werkzeugmaschine
CN102314096B (zh) 2006-02-17 2014-05-21 卡尔蔡司Smt有限责任公司 制造长的微透镜阵列的方法
TWI456267B (zh) 2006-02-17 2014-10-11 Zeiss Carl Smt Gmbh 用於微影投射曝光設備之照明系統
US9062354B2 (en) * 2011-02-24 2015-06-23 General Electric Company Surface treatment system, a surface treatment process and a system treated component
JP5740370B2 (ja) * 2012-09-04 2015-06-24 株式会社東芝 領域特定装置、方法、及びプログラム
CN102896558A (zh) * 2012-10-17 2013-01-30 中国人民解放军国防科学技术大学 基于化学机械抛光和离子束抛光组合工艺的氟化钙单晶超精密加工方法
US9403259B2 (en) * 2013-03-15 2016-08-02 United Technologies Corporation Removing material from a workpiece with a water jet
CN103612202B (zh) * 2013-11-19 2016-01-20 中国科学院光电技术研究所 一种离子束抛光设备中工件夹具的定位装置
CN103862373B (zh) * 2014-02-25 2016-03-30 复旦大学 基于动态干涉仪的实时研磨抛光方法
CN104875080B (zh) * 2015-05-11 2017-03-29 中国人民解放军国防科学技术大学 一种倾斜入射的离子束抛光修形加工方法
JP2018140469A (ja) * 2017-02-28 2018-09-13 株式会社ディスコ 被加工物の検査方法、被加工物の検査装置及び加工装置
CN108000147B (zh) * 2017-12-07 2019-04-09 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种激光射流复合抛光方法与装置
CN109434570B (zh) * 2018-11-23 2023-09-01 华中科技大学 一种曲面金属零件的微束等离子抛光装置及方法
CN110666596B (zh) * 2019-09-02 2021-08-06 中国兵器科学研究院宁波分院 一种用于光学元件的定位及姿态调整装置
CN112658815B (zh) * 2020-12-25 2023-03-07 中国人民解放军国防科技大学 一种3d打印碳化硅反射镜的加工方法
CN113878501B (zh) * 2021-09-02 2023-12-19 宁海县勇昊汽车部件有限公司 一种基于电磁波监测的表面处理系统及控制方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4594003A (en) * 1983-07-20 1986-06-10 Zygo Corporation Interferometric wavefront measurement
DE3820225C1 (de) * 1988-06-14 1989-07-13 Hpo Hanseatische Praezisions- Und Orbittechnik Gmbh, 2800 Bremen, De
JPH10253346A (ja) * 1997-01-07 1998-09-25 Nikon Corp 非球面形状測定器および非球面光学部材の製造方法
US5822066A (en) * 1997-02-26 1998-10-13 Ultratech Stepper, Inc. Point diffraction interferometer and pin mirror for use therewith
JP3550594B2 (ja) * 1997-08-12 2004-08-04 株式会社ニコン 多層膜試料の膜厚測定装置及びそれを有する研磨装置
JPH11198033A (ja) * 1997-10-31 1999-07-27 Canon Inc 研磨装置及び研磨方法
US6301009B1 (en) * 1997-12-01 2001-10-09 Zygo Corporation In-situ metrology system and method
US6190234B1 (en) * 1999-01-25 2001-02-20 Applied Materials, Inc. Endpoint detection with light beams of different wavelengths

Also Published As

Publication number Publication date
NL1018943C2 (nl) 2003-03-14
JP4672255B2 (ja) 2011-04-20
US7121922B2 (en) 2006-10-17
EP1425135A1 (de) 2004-06-09
ATE310608T1 (de) 2005-12-15
JP2005503272A (ja) 2005-02-03
DE60207586T2 (de) 2006-07-27
EP1425135B1 (de) 2005-11-23
WO2003026846A1 (en) 2003-04-03
US20050009447A1 (en) 2005-01-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE310608T1 (de) Verfahren und vorrichtung zum polieren der oberfläche eines werkstückes
DE602004010599D1 (de) Verfahren zum Messen der gewölbten Oberfläche eines Werkstücks
DE69009890T2 (de) Verfahren und einrichtung zum feinbearbeiten und supfinieren.
EP3733308A3 (de) Verfahren und vorrichtung zur oberflächenbearbeitung
DE60227807D1 (de) Einrichtung und verfahren zum messen des verschleisses eines werkzeugs
ATE362824T1 (de) Bearbeitungsmaschine zum bearbeiten von werkst cken
ATE459449T1 (de) Vorrichtung und verfahren zum kühlen mittels einer kryogenen flüssigkeit beim schneiden mit hoher energie
DE50312659D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks
DE60136401D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen einer Restspannungsverteilung in der Oberfläche eines Werkstückes
DE60210771D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur prüfung des bearbeitungsverfahrens einer werkzeugmaschine
DE69811392T2 (de) Verfahren und vorrichtung zum bearbeiten eines werkstücks
DE502009000546D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Feinschneiden von Werkstücken
DE50108206D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum vermessen und bearbeiten von werkstücken
ATE500912T1 (de) Verfahren zum planfräsen von werkstückoberflächen
DE69913070D1 (de) Verfahren zum Ausführen von Präzisionssägezahnschleifen auf der Oberfläche eines bestimmten Werkstückes
DE60239597D1 (de) Verfahren und bearbeitungsmaschine der verbindungsflächen eines werkstücks
ATE255476T1 (de) Verfahren und vorrichtung zum bearbeiten von hohlraumwänden von stranggiesskokillen
DE59707412D1 (de) Werkzeugmaschine zur bearbeitung umlaufender werkstücke mittels eines synchron zum werkstück angetriebenen werkzeugs
DE50109501D1 (de) Vorrichtung zum abwechselnden Bearbeiten eines Werkstückes mittels eines Schleifwerkzeuges oder einer Funkenerosionelektrode
ATE250993T1 (de) Verfahren und vorrichtung zum hydraulischen umformen von werkstücken
DE59810933D1 (de) Verfahren zum bearbeiten eines werkstückes und zugehörige vorrichtung
DE69905941D1 (de) Schleifmaschine zum bearbeiten der oberfläche eines zylindrischen werkstückes
ATE336328T1 (de) Maschine und verfahren zur bearbeitung eines langen profilwerkstückes
ATE304915T1 (de) Verfahren und vorrichtung zum abrasiven rundbearbeiten
DE69514493D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Verschleissausgleich eines Werkstücks Honwerkzeugs auf einer Honmaschine, insbesondere eines nachstellbares Honwerkzeug für Bohrungswänden

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition