DE60202476T2 - Leiterplatte mit einem isolierten metallischen substrat mit einem integrierten kühlsystem - Google Patents

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    • H05K1/056Insulated conductive substrates, e.g. insulated metal substrate the metal substrate being covered by an organic insulating layer

Description

  • Umfang der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Leiterplatte mit einem isolierten metallischen Substrat mit einem integrierten Kühlsystem, wobei das Kühlsystem eine oder mehrere Leitungen für ein wärmetransportierendes Fluid umfasst.
  • Technischer Hintergrund
  • In Leiterplatten, welche elektrische und elektronische Leistungsbauteile miteinander verbinden, gibt es einen Nachteil bezüglich der Ableitung oder Beseitigung der von derartigen Bauteilen erzeugten Wärme. Die Verwendung von Wärmableitern oder Kühlkörpern ist nach dem derzeitigen Stand der Technik bekannt, welche aus Elementen aus hochwärmeleitenden Material bestehen, die thermisch entweder direkt oder indirekt mit den wärmeerzeugenden Bauteilen oder mit deren Trägersubstrat verbunden sind, und mit einem großen, häufig durch Rippen ausgebildeten Oberflächenbereich in Kontakt mit einem zirkulierenden Medium vorgesehen sind. Die Patente US-A-5 875 097 und US-A-6 219 246 offenbaren Ausführungsbeispiele derartiger Kühlkörper und das Patent US-A-6 181 556 offenbart eine Vorrichtung für eine Wärmeableitung eines elektronischen Bauteils, die aus einer Kombination von mit Rippen versehenen Kühlkörpern besteht, die so angeordnet sind, dass sie die zu kühlende Komponente umgeben und thermisch miteinander mittels thermischer Brückenelemente verbunden sind, wobei die Kühlkörper einen von mehreren Lüftern erzeugten Luftstrom ausgesetzt sind.
  • Die Anwendung von Wärmeleitrohren (sog. Heat-Pipes) ist ebenfalls bekannt, um eine elektronische Schaltungskomponente auf einer geeigneten Arbeitstemperatur zu halten. Ein Wärmeleitrohr umfasst einen Bereich eines an seinen Enden geschlossenes und teilweise mit einem wärmetransportierenden Fluid gefülltes Rohres, wobei das Rohr wenigstens einen Verdampfungsbereich umfasst, der in der Nähe oder in Kontakt mit der Wärmequelle angeordnet ist, und wenigstens einen Kondensationsbereich, welcher beispielsweise zirkulierender Luft ausgesetzt ist. Das Patent US-A-6 226 178 offenbart ei nen Laptop-Computer, in welchem ein Wärmeleitrohr einen Verdampfungsbereich in Kontakt mit einem wärmeerzeugenden Mikroprozessor und zwei getrennte Kondensationsbereiche aufweist, die mit mehreren entsprechenden unterschiedlichen wärmeableitenden Vorrichtungen verbunden ist, wovon eines von diesen aus einem Kühlkörper mit Zwangsventilation besteht und das andere aus einer umfangreichen passiven Wärmeableitungsplatte, welche hinter der Anzeige angeordnet ist. Ein Nachteil dieses Systems besteht darin, dass der Verdampfungsbereich in Kontakt mit der nur einen Komponente steht, oder mit einer Hilfsplatte, auf welcher die Komponente angeordnet ist, es jedoch nicht die gesamte Leiterplatte kühlt, auf welcher mehrere wärmeerzeugende Komponenten eingebaut sind.
  • Das Patent US-A-6 212 071 verwendet mehrere Leiterbahnen eines wärmeleitenden Materials, das auf dem Substrat einer herkömmlichen Leiterplatte eingebettet und thermisch an dem einen Ende mit denjenigen Bereichen oder Komponenten der Leiterplatte verbunden ist, wo Wärme erzeugt wird, und an dem anderen Ende, an dem Rande des Substrats, mit mehreren externen Wärmeableitern, wie zum Beispiel mit einem die Leiterplatte umgebenden Metallgehäuse. Diese wärmeleitenden Bahnen können in einer Weise analog zu den elektrisch leitenden Leiterbahnen auf einer mehrlagigen Leiterplatte erzeugt werden, wobei sie in einem solchen Falle aus Kupfer wären. Sie können auch erzeugt werden, indem mehrere Löcher von dem Rand der Platte aus gebohrt werden und diese Löcher mit einem geschmolzenen metallischen Material, wie zum Beispiel mit Schweißmaterial gefüllt werden. Jedoch sind sowohl die Kupferbahnen als auch Leitungen und die mit dem Schweißmaterial teuer herzustellen und besitzen einen relativ niedrigen Wärmeableitungswirkungsgrad. Das Patent US-A-6 212 071 schlägt vor, dass herkömmliche Wärmeleitrohre verwendet werden können, wobei jedoch keine Aufbau- oder Montagedetails angegeben werden, keine Darstellung bezüglich ihrer Anordnung beansprucht oder bereitgestellt wird.
  • Die Patente US-A-7 190 941, US-A-6 032 355 und US-A-6 201 300 offenbaren verschiedene weitere Formen einer Erzeugung von Wärmeleitungspfaden, ein Substrat auf einer Leiterplatte zum Ableiten von durch verschiedene Komponenten erzeugter Wärme.
  • Eine Technologie, die eine Möglichkeit zur Bereitstellung eines hohen Grades an Wärmeableitung für die Trägerplatte der Komponenten eines Schaltkreises ergibt, ist die Technologie einer Leiterplatte mit isoliertem metallischem Substrat, welche im Fachgebiet üblicherweise als IMS bezeichnet wird. Eine typische Leiterplatte mit isoliertem metallischem Substrat umfasst wenigstens ein metallisches Trägersubstrat, im allgemeinem eine Aluminiumlegierung, auf welcher elektrisch leitende Schaltkreisleiterbahnen, im allgemeinen Kupfer, mittels einer Schicht elektrisch isolierenden Materials, welches der bestmögliche Wärmeleiter ist, befestigt sind. Mit dieser Anordnung wird ein Teil der von den Komponenten erzeugten Wärme durch das metallische Substrat abgeleitet, welches wie ein Kühlkörper wirkt. Jedoch ist in Leistungsanwendungen, wie zum Beispiel einem Steuer- und Verteilerkasten in einem Automobil, die von der Technologie des isolierten metallischen Substrats bereitgestellte Wärmeableitung nicht ausreichend, um sicherzustellen, dass keine Verschlechterung oder Fehlfunktion der Schaltung aufgrund thermischer Ermüdung auftritt.
  • Arbeiten wurden vor kurzem durchgeführt, um den Wirkungsgrad hinsichtlich der Wärme auf Leiterplatten mit isoliertem metallischem Substrat zu verbessern. Das Patent US-A-6 201 701 offenbart eine mehrlagige Struktur von Verbindungsbahnen von Leistungs- und Steuerungskomponenten, die auf einem dicken isolierten metallischen Substrat angeordnet sind. Die mehreren elektrisch leitenden Schichten sind durch Schichten elektrisch isolierenden Materials getrennt und zwischen diesen sind Wärmeübertragungspfade angeordnet, weiche den Wärmeableitungswirkungsgrad verbessern. Jedoch werden nur eine Wärmeübertragung von den Komponenten und den elektrisch leitenden Bahnen zu dem metallischen Substrat hin verbessert, Jedoch keine Verbesserungen im Hinblick auf die Wärmeableitung aus dem metallischen Substrat bereitgestellt.
  • Daher besteht immer noch ein Bedarf für ein effektiveres, kompaktes und wirtschaftliches Kühlsystem zum effektiven Ableiten der von elektronischen Komponenten erzeugten Wärme, insbesondere von Komponenten, die intensiven Betriebsbedingungen unterworfen sind, Leiterplatten mit isoliertem metallischem Substrat in Leistungsanwendungen, wie zum Beispiel in einem Steuer- und Verteilkasten in einem Automobil.
  • Kurzerläuterung der Erfindung
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung einer Leiterplatte mit einem isolierten metallischen Substrat, das mit einem Kühlsystem versehen ist, das einen oder mehrere Leitungen für ein wärmetransportierendes Fluid enthält.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird diese Aufgabe gelöst, indem eine Leiterplatte mit einem isolierten metallischen Substrat bereitgestellt wird, welches mehrere Leitungen für das wärmetransportierende Fluid enthält oder in engem Kontakt mit diesen steht, Leitungen, welche sich aus dem metallischen Substrat bis zu einem Wärmeübertragungsbereich an einem externen Medium erstrecken. Gemäß einem Ausführungsbeispiel sind die Leitungen Hohlräume, die auf dem in einer Richtung, welche im wesentlichen parallel zu der elektrisch isolierenden Schicht ist, angeordnete metallischen Substrat ausgebildet sind. Wenigstens eines von den Enden von jedem der Hohlräume gelangt zu einer an einem Rand des metallischen Substrates angeordneten Öffnung. Diese Öffnungen können mit verschiedenen Leitungen des wärmetransportierenden Fluids verbunden sein, welche bis zu dem Wärmeübertragungsbereich verlängert sind. Somit stellt das metallische Substratmaterial selbst die Leitungswände bereit. Andererseits sind gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel die Leitungen Leitungen für das wärmetransportierende Fluid, die in engem Kontakt mit den Wänden mehreren Hohlräume angeordnet sind, die auf dem metallischen Substratmaterial in einer Richtung ausgebildet sind, die im wesentlichen parallel zu der elektrisch leitenden Schicht ist. In diesem Falle ragen die Leitungen wenigstens an einem Rand des metallischen Substrates hervor und erstrecken sich auf einen externen Abschnitt bis zu dem Wärmeübertragungsbereich.
  • In beiden Ausführungsbeispielen können die Hohlräume durch einfaches Bohren des metallischen Substrates erzielt werden. Jedoch besteht eine kosteneffektivere Form in der Bereitstellung eines metallischen Substrates, das von zwei miteinander verbundenen Schichten gebildet wird. Dieses ermöglicht es, dass die Hohlräume durch das Nebeneinanderlegen von zwei jeweils in jedem einzelnen der metallischen Substratschichten geformten Halbhohlräumen erzeugt werden.
  • Das zweite vorstehend erwähnte Ausführungsbeispiel hat den Vorteil, zu ermöglichen, daß man das Substrat leicht durch Extrusion erhält. Dafür sind die Hohlräume parallel zueinander und besitzen eine Längsöffnung über ihren gesamten Verlauf, welcher auf einer Seite des metallischen Substrates, gegenüber dessen Seite, auf welcher die elektrisch isolierende Schicht und die elektrisch leitenden Bahnen befestigt sind, offen ist. Daher hat der Querschnitt des metallischen Substrates eine offene Profilform, welche dafür geeignet ist, dass sie leicht durch Extrusion nur einer einzigen Schicht erzielt werden kann.
  • In jeder von den zwei Ausführungsformen können die Leitungen für das wärmetransportierende Fluid mehrere bekannte Wärmeleitrohre sein, welche an beiden Enden geschlossen sind und teilweise mit dem wärmeleitenden Fluid gefüllt sind, die einen Verdampfungsbereich innerhalb des metallischen Substrates und einen sich in einem Abstand davon außerhalb erstreckenden externen Kondensationsbereich und welcher mit der zirkulierenden Luft in Kontakt steht, haben. In einer weiteren Wärmetauscherform sind die Leitungen für das wärmetransportierende Fluid mit einem geschlossenen Kreislaufrohrsystem verbunden, das einen Durchtritt durch den Wärmetauscherbereich enthält. In Fällen, in welchen die Platte in einem Fahrzeug eingebaut ist, um beispielsweise ein Teil eines Steuer- und Verteilerkasten in einem Automobil zu bilden, kann ein Abschnitt der Leitung des geschlossenen Kreislaufs in engem Kontakt mit dem Material des Rahmens oder der Karosserie des Fahrzeugs stehen, um bei der Wärmeableitung über dieselbe beizutragen.
  • Diese und weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung werden deutlicher aus der nachstehenden detaillierten Beschreibung ihrer verschiedener Ausführungsbeispiele ersichtlich, welche lediglich veranschaulichenden Charakter besitzen und welche in keinem Falle als den Schutzumfang der Erfindung einschränkend betrachtet werden sollten.
  • Kurzerläuterung der Zeichnungen
  • Die detaillierte Beschreibung wird unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen ausgeführt, in welchen:
  • 1 eine perspektivische Ansicht einer Leiterplatte mit isoliertem Substratmaterial mit mehreren Hohlräumen darstellt, welche für die Implementation des Kühlsystems der vorliegenden Erfindung vorbereitet ist;
  • 2 einen Querschnitt eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung darstellt;
  • 3 einen Querschnitt eines weiteren Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung darstellt;
  • 4 und 5 Querschnittsansichten darstellen, welche unterschiedliche Möglichkeiten der Ausführung der Hohlräume darstellen; und
  • 6 und 7 Querschnittsansichten unterschiedlicher Arten von Leiterplatten mit isoliertem metallischem Substrat sind, auf welchen die vorliegende Erfindung implementiert wurde.
  • Detaillierte Beschreibung der Erfindung
  • Zuerst wird gemäß 1 eine gedruckte Leiterplatte mit einem isolierten metallischen Substrat mit dem integrierten Kühlsystem gemäß der vorliegenden Erfindung dargestellt. Die in 1 dargestellte Leiterplatte ist der einfachste Typ und umfasst ein metallisches Substrat 10, auf welchem eine elektrisch isolierende Schicht befestigt und mehrere elektrisch leitende Bahnen auf der elektrisch isolierenden Schicht 11 befestigt sind. Diese Leiterbahnen verbinden elektronische Leistungskomponenten 24 miteinander oder eine Kombination von Leistungskomponenten 24 und Steuerkomponenten 25, wovon wenigstens einige stark wärmeerzeugend sind, und diese gekühlt werden müssen, um sie in einem geeigneten Temperaturbereich für ihre Funktion zu halten. Die elektrisch leitenden Bahnen 12 werden im allgemeinen aus einer auf der Isolationsschicht 11 befestigten Metallschicht erhalten, die selektiv mittels eines Formungsprozesses, wie zum Beispiel Ätzen eliminiert wird. Das Material der Isolationsschicht 11 wird so ausgewählt, dass es, obwohl es elektrisch isolierend ist, der bestmögliche Wärmeleiter ist. Somit wird ein großer Teil der von den Komponenten 24 erzeugten Wärme auf das metallische Substrat 10 übertragen, welches typischerweise eine Aluminiumlegierung ist. Das metallische Substrat 10 enthält oder steht in engem Kontakt mit mehreren Wärmeleitungskanälen, die mehrere Leitungen für ein wärmetransportierendes Fluid umfassen, die sich aus dem metallischen Substrat heraus bis zu einem Wärmeübertragungsbereich bei einem externen Medium erstrecken.
  • Dafür umfasst das metallische Substrat 10 verschiedene Hohlräume 13, die in einer Richtung angeordnet sind, die im wesentlichen parallel zu der elektrisch isolierenden Schicht 11 ist. Wenigstens eines von den Enden von jedem einzelnen der Hohlräume 13 gelangt in eine Öffnung 14, die auf wenigstens einem Rand 19 des metallischen Substrates 10 angeordnet ist. Die Hohlräume 13 sind bevorzugt Durchgangshohlräume mit einem runden oder polygonalen Querschnitt, weshalb sie Öffnungen 14 an ihren zwei Enden besitzen, die an unterschiedlichen gegenüberliegenden Rändern 19 des metallischen Substrats 10 angeordnet sind. Unterschiedliche Möglichkeiten zum Erzielen der Hohlräume werden nachstehend unter Bezugnahme auf die 4 und 5 erläutert.
  • 2 stellt ein Ausführungsformbeispiel der Erfindung dar, in welcher die Leitungen mehrere Leitungen des wärmetransportierenden Fluids in engem Kontakt mit den Wänden der Hohlräume 13 sind. Die Leitungen sind vorteilhafterweise Wärmeleitrohre 20, welche an beiden Enden geschlossen sind und teilweise mit dem wärmetransportierenden Fluid gefüllt sind, mit einem Verdampfungsbereich 21 innerhalb des metallischen Substrates 10, einem externen Kondensationsbereich 22, der sich in einem Abstand außerhalb des metallischen Substrates 10 erstreckt, und welcher mit der zirkulierenden Luft in Verbindung steht. Dieser Kondensationsbereich 22 kann mehrere (nicht dargestellte) Rippen enthalten, oder kann mit einer Wärmeableitungsoberfläche in Kontakt stehen. Das kondensierte Fluid kehrt durch die Kapillarität und Schwerkraft durch die Innenwände des Rohres in den Verdampfungsbereich zurück, weshalb der Bereich 22 gemäß dem in der Figur dargestellten geneigt ist. Die wiederholten Verdampfungs/Kondensations-Zyklen des wärmedampftransportierenden Fluids entziehen Wärme aus dem metallischen Substrat 10 und übertragen sie an die zirkulierende Luft.
  • 3 stellt ein weiteres Ausführungsformbeispiel dar, in welchem die Wände der Hohlräume 13 als ein Teil der Leitungen für das wärmetransportierende Fluid wirken. Dafür besitzt jeder der Hohlräume 13 ein geschlossenes Ende 16, während es eine Öffnung 14 auf nur einem von den Rändern 19 des metallischen Substrates 10 besitzt. Die Öffnung 14 ist mit einem Stück eines Rohres 17 verbunden, das mit einem geschlossenen distalen Ende 18 versehen ist. Somit bilden der Hohlraum 13 und das Rohr 17 ein Wär meleitrohr, in welchem der Hohlraum 13 die Funktionen des Verdampfungsbereiches 21 ausführt und das Rohrstück 17 die des Kondensationsbereichs 22 in Kontakt mit der zirkulierenden Luft. Die Öffnungen 14 weisen bevorzugt eine Senkungsöffnung 15 für die Aufnahme der Enden der entsprechenden Stücke des Rohres 17 auf.
  • 4 und 5 stellen einen Querschnitt von 2 unterschiedlichen Möglichkeiten zum Ausführen der Hohlräume 13 dar.
  • In der Variante in 4 wird das metallische Substrat 10 durch zwei Schichten 10a, 10b gebildet, welche beispielsweise mittels einer Kleberschicht 28 oder durch Verschweißung verbunden sind. Jeder von den Hohlräumen 13 wird durch das Nebeneinanderlegen von zwei Halbhohlräumen 13a, 13b gebildet, die jeweils auf einer der Schichten 10a, 10b des metallischen Substrates 10 ausgebildet. Wenn die Hohlräume 13 die Form paralleler Durchtrittslöcher besitzen, nehmen die Halbhohlräume 13a, 13b die Form paralleler Schlitze an, die auf den entsprechenden Oberflächen der Schichten 10a, 10b des metallischen Substrates 10 ausgebildet sind und leicht durch Extrusion, durch maschinelle Bearbeitung oder Formung erzielt werden können. Diese Ausführungsform ist in gleicher Weise zu der Implementation von Wärmeleitrohren 20 in engen Kontakt mit den Wänden der Hohlräume 13 gemäß dem Ausführungsformbeispiel in 2 als auch zu der Anwendung der Wände der Hohlräume 13 als ein Teil der Wärmeleitrohre 17 gemäß dem Ausführungsformbeispiel in 3 kompatibel, obwohl für diesen letzteren Falle das Erzielen der Halbholräume 13a, 13b durch Extrusion nicht möglich wäre.
  • In der Variante in 5 sind die Hohlräume 13 parallel zueinander und besitzen eine Längsöffnung 29 entlang ihres gesamten Verlaufs, welcher sich auf einer Seite des metallischen Substrates 10 gegenüber dessen Seite öffnet, auf welcher die elektrisch isolierende Schicht 11 und die elektroleitenden Bahnen 20 befestigt sind, so dass das metallische Substrat 10 eine offene Querschnittsprofilform besitzt, die sehr geeignet ist, dass sie leicht mittels Extrusion erzielt wird. Diese Ausführungsform ermöglicht jedoch nur die Implementation von Wärmeleitrohren 20 in engem Kontakt mit den Wänden der Hohlräume 13 gemäß dem Ausführungsformbeispiel in 2.
  • 6 und 7 stellen unterschiedliche Typen von Leiterplatten mit einem isolierten metallischen Substrat dar, das für die Aufnahme des Kühlsystems der vorliegenden Erfindung vorbereitet ist.
  • Die Leiterplatte in 6 weist ein metallisches Substrat 10 auf einer Seite auf, auf welcher mehrere abwechselnde Schichten eines elektrisch isolierenden Materials 10 und elektrisch leitende Bahnen 12 angeordnet sind. Die Leiterplatte in 7 umfasst ein metallisches Substrat 10 auf dessen beiden Seiten mehrere abwechselnde Schichten elektrisch isolierendes Material und elektrisch leitende Bahnen 12 angeordnet sind. In der Leiterplatte in 6 sowie in der in 7 ist das metallische Substrat mit Hohlräumen 13 versehen, welche beliebige von den Leitungsvarianten für ein wärmetransportierendes Fluid der vorliegenden Erfindung, gemäß dem was vorstehend beschrieben wurde, aufnehmen können.
  • Ein Fachmann auf diesem Gebiet kann mehrere Varianten beitragen, ohne die Aufgabe der vorliegenden Erfindung zu ändern, deren Schutzumfang durch die beigefügten Ansprüche definiert ist.

Claims (11)

  1. Leiterplatte mit isoliertem metallischem Substrat, mit integriertem Kühlsystem, der Art, die ein metallisches Substrat (10), mindestens eine am besagten metallischen Substrat (10) haftende elektrisch isolierende Schicht (11) und mehrere elektrisch leitende Bahnen (12), die in der Lage sind elektronische Leistungsbauteile (24) zusammenzuschalten, oder eine Metallschicht, die dazu bestimmt ist in die besagten an der besagten elektrisch isolierenden Schicht (11) haftenden elektrisch leitenden Bahnen (12) umgewandelt zu werden, umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass das besagte metallische Substrat (10) mehrere Wärmeübertragungskanäle enthält, die mehrere Leitungen für ein wärmetragendes Fluid umfassen, wobei die Leitungen sich aus dem Substrat heraus bis zu einem Wärmeübertragungsbereich an einem äußeren Medium erstrecken.
  2. Platte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Besagten, Leitungen für das besagte wärmetragende Fluid sind, in innigen Kontakt mit den Wänden mehrerer Hohlräume (13), die im Material des metallischen Substrates (10) in eine Richtung, die weitgehend parallel zur besagten elektrisch isolierenden Schicht (11) ist, geformt sind, wobei die besagten Leitungen mindestens an einem Rand (19) des metallischen Substrates (10) herausragen und sich an einer Seite erstrecken, bis sie den besagten Wärmeübertragungsbereich erreichen.
  3. Platte nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die besagten Leitungen für das wärmetragende Fluid Wärmeaustauschröhre (20) sind, die an beiden Enden verschlossen und teilweise mit einem wärmetragenden Fluid gefüllt sind, mit einem Verdampfungsbereich (21) im Inneren des metallischen Substrates (10) und einem äußeren Kondensationsbereich (22), der sich mit einer Neigung eine Strecke außerhalb des metallischen Substrates (10) erstreckt und der mit der Umluft in Kontakt ist.
  4. Platte nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die besagten Hohlräume (13) durchgehende Hohlräume sind.
  5. Platte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die besagten Leitungen mehrere Hohlräume (13), die in eine Richtung, die weitgehend parallel zur besagten elektrisch isolierenden Schicht (11) ist, angebracht sind, umfassen, wobei mindestens eines der Enden jedes der besagten einzelnen Hohlräume (13) sich zu einer Öffnung (14) öffnet, die mindestens an einem Rand (19) des metallischen Substrates (10) angeordnet ist, dessen Öffnung (14) mit einem Abschnitt eines Rohres (20) für das besagte wärmetragende Fluid verbunden ist, das sich bis zu dem besagten Wärmeübertragungsbereich erstreckt.
  6. Platte nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass jeder der einzelnen Hohlräume (13) ein geschlossenes Ende (16) und nur eine Öffnung (14) an einem der Ränder (19) des metallischen Substrates (10), an welchem der besagte Abschnitt des Rohres (17) verbunden ist, aufweist, wobei dieses mit einem fernen geschlossenen Ende (18) versehen ist und die Einheit aus Hohlraum (13) und Rohr (17) ein Wärmeaustauschrohr bildet, bei welchem der Hohlraum (13) die Funktionen eines Verdampfungsbereiches (21) im Inneren des Substrates (10) ausführt und der Abschnitt des Rohres (20) die Funktionen eines Kondensationsbereiches (22) in Kontakt mit der Umluft ausführt.
  7. Platte nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnungen (14) eine aufgeweitete Öffnung (15) zur Aufnahme der Enden der entsprechenden Abschnitte der Röhre (17) aufweisen.
  8. Platte nach Anspruch 2 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die besagten Hohlräume (13) einen kreisförmigen Querschnitt aufweisen.
  9. Platte nach Anspruch 2 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die besagten Hohlräume (13) einen polygonalen Querschnitt aufweisen.
  10. Platte nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die besagten Hohlräume (13) untereinander parallel sind und längs ihrer ganzen Ausdehnung eine Längsöffnung aufweisen, die sich auf einer Seite des metallischen Substrates (10), die der Seite desselben, an welcher die besagte elektrisch isolierende Schicht (11) und die elektrisch leitenden Bahnen (12) befestigt sind, gegenüberliegt, öffnet, so dass das metallische Substrat (10) eine Querschnittsform aufweist, die geeignet ist, um sie auf eine einfache Weise durch Extrusion zu erhalten.
  11. Platte nach Anspruch 4 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass das besagte metallische Substrat (10) aus zwei miteinander verbundenen Schichten (10a, 10b) gebildet ist, wobei die besagten Hohlräume (13) durch die Nebeneinanderstellung zweier Halbhohlräume (13a, 13b) gebildet wird, die jeweils in einer der einzelnen Schichten (10a, 10b) des metallischen Substrates (10) gebildet sind.
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