DE602004006336T2 - Brennkammer oder Turbinenteil einer Gasturbinenanlage - Google Patents

Brennkammer oder Turbinenteil einer Gasturbinenanlage Download PDF

Info

Publication number
DE602004006336T2
DE602004006336T2 DE602004006336T DE602004006336T DE602004006336T2 DE 602004006336 T2 DE602004006336 T2 DE 602004006336T2 DE 602004006336 T DE602004006336 T DE 602004006336T DE 602004006336 T DE602004006336 T DE 602004006336T DE 602004006336 T2 DE602004006336 T2 DE 602004006336T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
silicon
aluminum
substrate
silicates
bonding layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE602004006336T
Other languages
English (en)
Other versions
DE602004006336D1 (de
Inventor
Ellen Y. South Windsor Sun
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
RTX Corp
Original Assignee
United Technologies Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by United Technologies Corp filed Critical United Technologies Corp
Publication of DE602004006336D1 publication Critical patent/DE602004006336D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE602004006336T2 publication Critical patent/DE602004006336T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/009After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/52Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81Coating or impregnation
    • C04B41/89Coating or impregnation for obtaining at least two superposed coatings having different compositions
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/042Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01DNON-POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, e.g. STEAM TURBINES
    • F01D5/00Blades; Blade-carrying members; Heating, heat-insulating, cooling or antivibration means on the blades or the members
    • F01D5/12Blades
    • F01D5/28Selecting particular materials; Particular measures relating thereto; Measures against erosion or corrosion
    • F01D5/288Protective coatings for blades

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Turbine Rotor Nozzle Sealing (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft Beschichtungen, die auf ein Silicium-enthaltendes Substrat aufgebracht sind.
  • Keramiken auf der Basis von Silicium zeigen in wasserhaltigen Umgebungen hoher Temperatur wie beispielsweise den Verbrennungs- und Turbinensektionen von Gasturbinenmaschinen beschleunigte Oxidationsraten. Zur Verringerung der Oxidationsrate an Substraten auf Siliciumbasis, die als keramische Komponenten in solchen Umgebungen verwendet werden, wurde beträchtliche Mühe aufgewendet auf die Bereitstellung einer Umwelt-Sperrbeschichtung, d.h. (einer) Sperrschicht(en), für die Substrate auf Siliciumbasis, um die Gebrauchslebensdauer derartiger Komponententeile zu erhöhen.
  • Bezug nehmend auf die 1a und 1b bilden Umwelt-Sperrbeschichtungen des Stands der Technik einen Verbund 10, aufweisend ein Substrat 12 auf Siliciumbasis, einen Bindungsauftrag oder eine Bindungsschicht 14, die eine dichte durchgehende Schicht aus Siliciummetall aufweist, eine Sperrschicht 16, die entweder ein Erdalkali-Aluminiumsilicat auf der Basis von Barium oder Strontium oder ein Yttriumsilicat oder ein anderes hitzefestes Metalloxid wie Oxide von Hafnium, Aluminium, Tantal und Niob aufweist, und einen Deckauftrag oder eine Deckschicht 18, die ein hitzefestes Oxid und/oder Silicat, beispielsweise Zirconiumoxid, aufweist. Zusätzlich kann eine Zwischenschicht 20 zwischen dem Bindungsauftrag 14 und der Sperre 16 und/oder zwischen der Sperrschicht 16 und der Deckschicht 18 vorgesehen sein. Die Zwischenschicht weist, beispielsweise, ein Gemisch aus dem Sperrschichtmaterial mit einem zusätzlichen Oxid wie Mullit auf. Diese Umwelt-Sperrsysteme des Stands der Technik haben sich als schützend hinsichtlich Oxidation des Substrats auf Siliciumbasis und, zusätzlich, als anhaftend erwiesen. Es wurde jedoch nun gefunden, dass bestimmte mechanische Eigenschaften einiger Siliciumsubstrate wie Siliciumnitrid unter einer signifikanten Verschlechterung in 4-Punkt-Biegefestigkeitstests bei Raumtemperatur leiden, wie gezeigt. Man glaubt, dass sich der Verlust an mechanischen Eigenschaf ten aus dem Reißen der Bindungsschicht, die an das Silicium-enthaltende Substrat angrenzt, was Spannungskonzentrationen bewirkt, die Risse in dem Substrat selbst initiieren, ergibt. Die Risse in dem Bindungsauftrag oder der Bindungsschicht ergeben sich aus vielen Ursachen, wozu Unterschiede in den Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen dem Substrat und der Bindungsschicht und Spannungen, die als ein Ergebnis von schnellem zyklischem Abkühlen und Erhitzen der Komponententeile eingeführt wurden, gehören.
  • Natürlich wäre es hochgradig wünschenswert, eine verbesserte Bindungsauftragsschicht für Silicium-enthaltende Substrate bereitzustellen, die nicht unter einem signifikanten Verlust an mechanischen Eigenschaften leiden.
  • Dementsprechend ist es eine Hauptaufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Bindungsauftrag bereitzustellen, der die mechanischen Eigenschaften des Silicium-enthaltenden Substrats nicht belastet.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorstehende Aufgabe wird durch die vorliegende Erfindung erreicht, bei der eine Gasturbinenmaschinen-Verbrennungssektion oder -Turbinensektion ein Substrat auf Siliciumbasis mit einer Bindungsschicht, die ein ein hitzefestes Oxid bildendes Metall aufweist, mit einer Dicke von zwischen 0,1 bis 10 μm, aufweist. Das Metall, das das hitzefeste Oxid bildet, wird ausgewählt aus der Gruppe, die aus Chrom, Tantal, Niob, Silicium, Platin, Hafnium, Yttrium, Aluminium, Zirconium, Titan, Seltenerdmetallen, Erdalkalimetallen und Gemischen davon besteht. Es wird eine weitere Schicht vorgesehen, die ausgewählt wird aus der Gruppe, die aus Aluminiumsilicaten auf der Basis von Barium und Strontium, Seltenerdsilicaten, Yttriumsilicaten, Oxiden von Hafnium, Aluminium, Tantal und Niob und Gemischen davon besteht.
  • Der Vorteil der Erfindung gegenüber dem Stand der Technik ist, dass ein Reißen, das mit einer dichten, durchgehenden Siliciumschicht im Zusammenhang steht, beseitigt wird, wie es durch Biegeprüfungen bei Raumtemperatur bezeugt wird.
  • Weitere Aufgaben und Vorteile werden sich hierin unten zeigen.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1a und 1b sind schematische Darstellungen von Verbundgegenständen gemäß dem Stand der Technik; und
  • 2 fasst die 4-Punkt-Biegeprüfungsergebnisse zusammen, die den Einfluss des Bindungsauftrags der vorliegenden Erfindung zeigen.
  • GENAUE BESCHREIBUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Gegenstand, der ein Substrat auf Siliciumbasis und eine Bindungsschicht aufweist. Die Bindungsschicht kann direkt auf das Substrat auf Siliciumbasis aufgetragen werden, oder alternativ kann eine Siliciumoxid-Zwischenschicht oder eine andere Zwischenschicht zwischen der Bindungsschicht und dem Substrat auf Siliciumbasis vorgesehen werden.
  • Das Silicium-enthaltende Substrat kann ein Siliciumkeramik-Substrat oder eine Silicium-enthaltende Metalllegierung sein. In einer bevorzugten Ausführungsform ist das Silicium-enthaltende Substrat ein Silicium-enthaltendes Keramikmaterial, wie beispielsweise Siliciumcarbid, Siliciumcarbid-Verbundmaterial, Siliciumnitrid, Siliciumnitrid-Verbundmaterial, Silicium-oxynitrid, Silicium-aluminium-oxynitird und Molybdänlegierungen und Nioblegierungen, die Silicium enthalten.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung weist die Bindungsschicht ein ein hitzefestes Oxid bildendes Metall mit einer Dicke von zwischen 0,1 bis 10 μm auf. Das Metall, das ein hitzefestes Oxid bildet, ist ausgewählt aus der Gruppe, die aus Chrom, Tantal, Niob, Silicium, Platin, Hafnium, Yttrium, Aluminium, Zirconium, Titan, Seltenerdmetallen, Erdalkalimetallen und Gemischen davon besteht. Die dünne Schicht von weniger als 10 μm kann durch Sputtertechniken oder andere Techniken wie chemische Dampfabscheidung oder physikalische Dampfabscheidung aufgebracht werden.
  • Der Gegenstand der vorliegenden Erfindung umfasst weitere Schichten wie Zwischenschichten, eine Sperrschicht oder weitere Schutzschichten. Diese Schichten weisen Materialien auf, die aus Aluminiumsilicaten auf der Basis von Barium und Strontium, Seltenerdsilicaten, Yttriumsilicaten, Oxiden von Hafnium, Aluminium, Tantal und Niob und Gemischen davon bestehen. Zusätzlich können die Zwischenschichten und Schutzschichten Sperrschichten aufweisen, die in der Technik bekannt sind, wie beispielsweise jene, die in den US-Patenten 5 985 470 , 6 296 941 , 6 296 942 , 6 352 790 und 6 387 456 offenbart sind. Zusätzlich kann jede beliebige dieser Schichten mit einem Modifikationsmittel des Wärmeausdehnungskoeffizienten ausgestattet werden, um den Wärmeausdehnungskoeffizienten der Schicht an denjenigen benachbarter Schichten anzugleichen. Ein derartiges Modifikationsmittel des Wärmeausdehnungskoeffizienten (CTE – coefficient of thermal expansion) ist offenbart in der US-Patentanmeldung SN 10/034 677 , eingereicht am 19. Dezember 2001 und erteilt als US-Patent 6 617 037 . Das Modifikationsmittel ist Nioboxid.
  • Der Vorteil des Gegenstands der vorliegenden Erfindung wird bei der Betrachtung des folgenden Beispiels deutlich.
  • BEISPIEL
  • Beschichtungen der Bindungsschicht wurden auf Probestücken aus Siliciumnitrid hergestellt, wobei thermische Standard-Spritztechniken verwendet wurden, um Beschichtungen mit einer größeren Dicke als 20 µm zu erzeugen, und Standard-Sputtertechniken verwendet wurden, um Beschichtungen, die dünner als 20 µm waren, zu erzeugen. Thermisches Spritzen wurde durchgeführt unter Verwendung von Argon/Wasserstoff-Thermospritzbogengasen bei einem Energieniveau von näherungsweise 30 kW. Das Sputtern wurde unter Verwendung eines Silicium-Targets durchgeführt. Die Sputtereinrichtung wurde im RF-Diodenmodus mit Argongas bei 9 mTorr Druck betrieben. Die Siliciumnitrid-Substrat-Probestücke wurden gemäß ASTM C 1164-94 dimensioniert, was eine 4-Punkt-Biegestangenversuchs-Testbeschreibung ist, die verwendet wird, um die konventionelle 4-Punkt-Biegefestigkeit von Materialien zu messen. Es wurde eine Reihe von Bindungsschicht-Beschichtungen mit verschiedenen Beschichtungsdicken auf dem Siliciumnitrid hergestellt. Diese Beschichtungen waren Beispiele für die dünne Bin dungsschicht der vorliegenden Erfindung, und für das spezifische Beispiel bestanden sie aus Siliciummetall als die Bindungsschicht. 2 zeigt die 4-Punkt-Biegefestigkeit-Testergebnisse. Mit einer dicken Silicium-Bindungsschicht ist die Biegefestigkeit des Siliciumnitrids im Vergleich zur Festigkeit auf der Basis des unbeschichteten Siliciumnitrid-Substrats um näherungsweise 50% verringert. Wenn jedoch die Bindungsschicht-Dicke verringert wird, erhöht sich die Biegefestigkeit signifikant und nähert sich sogar der ursprünglichen Biegefestigkeit des Siliciumnitrids ohne Beschichtung. Wie unter Bezugnahme auf 2 ersichtlich ist, ist bei einer Bindungsschichtdicke von 10 µm und weniger der Biegefestigkeits-Verlust weniger als 10%.
  • Es versteht sich, dass die Erfindung nicht auf die hierin beschriebenen und gezeigten Darstellungen, die als lediglich veranschaulichend für bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung betrachtet werden, und die Modifizierungen von Form, Größe, Anordnung von Teilen und Einzelheiten des Betriebs zugänglich sind, beschränkt ist. Vielmehr soll die Erfindung alle derartigen Modifikationen umfassen, die innerhalb ihres Umfangs, wie er durch den Anspruch definiert wird, sind.

Claims (1)

  1. Gasturbinenmaschinen-Verbrennungssektion oder -Turbinensektion, aufweisend ein Substrat (12) auf Siliciumbasis, eine Bindungsschicht (14) und eine weitere Schicht, die ausgewählt ist aus der Gruppe, die aus Aluminiumsilicaten auf der Basis von Barium und Strontium, Seltenerdsilicaten, Yttriumsilicaten, Oxiden von Hafnium, Aluminium, Tantal und Niob und Gemischen davon besteht; dadurch gekennzeichnet, dass die Bindungsschicht ein ein hitzebeständiges Oxid bildendes Metall aufweist, das ausgewählt ist aus der Gruppe, die aus Chrom, Tantal, Niob, Silicium, Platin, Hafnium, Yttrium, Aluminium, Zirconium, Titan, Seltenerdmetallen, Erdalkalimetallen und Gemischen davon besteht, und eine Dicke von zwischen 0,1 bis 10 µm hat.
DE602004006336T 2003-05-22 2004-05-21 Brennkammer oder Turbinenteil einer Gasturbinenanlage Expired - Lifetime DE602004006336T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US443258 2003-05-22
US10/443,258 US20040234782A1 (en) 2003-05-22 2003-05-22 Environmental barrier coating for silicon based substrates

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE602004006336D1 DE602004006336D1 (de) 2007-06-21
DE602004006336T2 true DE602004006336T2 (de) 2008-01-10

Family

ID=33097997

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE602004006336T Expired - Lifetime DE602004006336T2 (de) 2003-05-22 2004-05-21 Brennkammer oder Turbinenteil einer Gasturbinenanlage

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20040234782A1 (de)
EP (1) EP1479658B1 (de)
JP (1) JP2004346428A (de)
DE (1) DE602004006336T2 (de)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060110609A1 (en) * 2004-11-19 2006-05-25 Eaton Harry E Protective coatings
US20060211241A1 (en) * 2005-03-21 2006-09-21 Christine Govern Protective layer for barrier coating for silicon-containing substrate and process for preparing same
US20060210800A1 (en) * 2005-03-21 2006-09-21 Irene Spitsberg Environmental barrier layer for silcon-containing substrate and process for preparing same
US7374818B2 (en) 2005-05-23 2008-05-20 United Technologies Corporation Coating system for silicon based substrates
US20060280954A1 (en) * 2005-06-13 2006-12-14 Irene Spitsberg Corrosion resistant sealant for outer EBL of silicon-containing substrate and processes for preparing same
US7354651B2 (en) * 2005-06-13 2008-04-08 General Electric Company Bond coat for corrosion resistant EBC for silicon-containing substrate and processes for preparing same
US20060280955A1 (en) * 2005-06-13 2006-12-14 Irene Spitsberg Corrosion resistant sealant for EBC of silicon-containing substrate and processes for preparing same
US7442444B2 (en) * 2005-06-13 2008-10-28 General Electric Company Bond coat for silicon-containing substrate for EBC and processes for preparing same
US7579085B2 (en) * 2005-08-19 2009-08-25 General Electric Company Coated silicon comprising material for protection against environmental corrosion
CA2683346A1 (en) * 2006-12-21 2008-07-17 M. Saied Afshar Aluminum resistant refractory composition and method
JPWO2009116596A1 (ja) 2008-03-21 2011-07-21 株式会社Ihi コーティング構造及び表面処理方法
US20090324930A1 (en) * 2008-06-25 2009-12-31 United Technologies Corporation Protective coatings for silicon based substrates with improved adhesion

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS541308A (en) * 1977-06-06 1979-01-08 Sumitomo Electric Industries Method of making complex ceramic tool
US4657825A (en) * 1984-12-24 1987-04-14 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Electronic component using a silicon carbide substrate and a method of making it
US4828934A (en) * 1986-12-12 1989-05-09 Vapor Technologies, Inc. Method of protecting ceramic bodies against mechanical and thermal action
JPH0719739B2 (ja) * 1990-09-10 1995-03-06 信越半導体株式会社 接合ウェーハの製造方法
US6299988B1 (en) * 1998-04-27 2001-10-09 General Electric Company Ceramic with preferential oxygen reactive layer
DE19900182A1 (de) * 1999-01-07 2000-07-13 Euroflamm Gmbh Verfahren zum Aufbringen von Metall aufweisendem Werkstoff durch thermisches Spritzen auf keramisches Substrat sowie auf keramisches Substrat aufgebrachte Beschichtung mit einer durch thermisches Spritzen erzeugten äußeren Schicht aus Metall aufweisendem Werkstoff
US6254935B1 (en) * 1999-04-15 2001-07-03 United Technologies Corporation Method for applying a barrier layer to a silicon based substrate
US6296942B1 (en) * 1999-04-15 2001-10-02 General Electric Company Silicon based substrate with calcium aluminosilicate environmental/thermal barrier layer
US6410148B1 (en) * 1999-04-15 2002-06-25 General Electric Co. Silicon based substrate with environmental/ thermal barrier layer
US6296941B1 (en) * 1999-04-15 2001-10-02 General Electric Company Silicon based substrate with yttrium silicate environmental/thermal barrier layer
US6444335B1 (en) * 2000-04-06 2002-09-03 General Electric Company Thermal/environmental barrier coating for silicon-containing materials
US6352790B1 (en) * 2000-06-29 2002-03-05 United Technologies Corporation Substrate containing silicon and a barrier layer which functions as a protective/thermal barrier coating
JP2002260448A (ja) * 2000-11-21 2002-09-13 Nippon Sheet Glass Co Ltd 導電膜、その製造方法、それを備えた基板および光電変換装置
US6607852B2 (en) * 2001-06-27 2003-08-19 General Electric Company Environmental/thermal barrier coating system with silica diffusion barrier layer
US6733908B1 (en) * 2002-07-08 2004-05-11 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Multilayer article having stabilized zirconia outer layer and chemical barrier layer
US7300702B2 (en) * 2003-08-18 2007-11-27 Honeywell International, Inc. Diffusion barrier coating for Si-based components

Also Published As

Publication number Publication date
US20040234782A1 (en) 2004-11-25
EP1479658A3 (de) 2005-08-17
EP1479658B1 (de) 2007-05-09
JP2004346428A (ja) 2004-12-09
DE602004006336D1 (de) 2007-06-21
EP1479658A2 (de) 2004-11-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60205204T2 (de) Barriereschicht für siliziumhaltiges Substrat
DE602004002721T2 (de) Umweltsperrschicht für Substrate auf der Basis von Silizium
DE602004004832T2 (de) Beschichtung für siliziumhaltiges Substrat
DE60017823T2 (de) Verfahren zum Aufbringen einer Barriereschicht auf ein siliziumhaltiges Substrat und nach diesem Verfahren hergestellter Gegenstand
DE60114495T2 (de) Umwelt/thermische Sperrschicht für einen Substrat auf der Basis von Silizium
DE60310851T2 (de) Umwelt/Wärmedämmschicht für siliziumhaltiges Substrat
DE60012605T2 (de) Silizium enthaltendes Substrat mit Calciumaluminiumsilikat-Wärmedämmschicht
DE69916149T2 (de) Verbesserte Aluminid-Diffusionsverbundschicht für thermische Sperrschichtsysteme und Verfahren dazu
DE602005003866T2 (de) Gegenstand umfassend ein Silizium enthaltendes Substrat und eine Hafniumoxid enthaltende Sperrschicht an der Oberfläche
DE602004008145T2 (de) Bindungsschicht für Substrate die auf Silizium basiert sind
DE60021464T2 (de) Substrat auf der Basis von Silizium mit einer Wärmedämmschicht
DE60023392T2 (de) Substrat auf der Basis von Silizium mit einer Yttriumsilikat enthaltenden Wärmedämmschicht und Verfahren zur Herstellung eines Gegenstands daraus
DE602004010841T2 (de) Oxidationsbarrierebeschichtungen für keramiken auf siliciumbasis
DE602004006336T2 (de) Brennkammer oder Turbinenteil einer Gasturbinenanlage
DE69907107T2 (de) Keramik mit oxidierbarer schicht
DE60132144T2 (de) Hoch hitze- und oxidationsbeständige Beschichtung und hoch hitze- und oxidationsbeständiger, mehrschichtiger Werkstoff
DE69732046T2 (de) Schutzbeschichtung für hochtemperatur
DE60101868T2 (de) Gegenstand umfassend ein Silizium enthaltendes Substrat und eine Sperrschicht, die als Schutz- bzw. Wärmedämmschicht dient
DE102009010110B4 (de) Erosionsschutz-Beschichtungssystem für Gasturbinenbauteile
CH690582A5 (de) Verbundmaterial mit durch mehrere Ueberzüge geschütztem Wärmesperren-Ueberzug.
DE60002890T2 (de) Siliziumnitridbauteile mit schutzschicht
DE112008003501T5 (de) Wärmesperr-Überzugssysteme einschließlich einer Seltenerdaluminatschicht zur verbesserten Beständigkeit gegenüber CMAS-Infiltration und überzogene Gegenstände
DE10056617C2 (de) Werkstoff für temperaturbelastete Substrate
DE602004003621T2 (de) Beschichtung für siliziumhaltiges Substrat
DE60209661T2 (de) Hafnium enthaltende Nickelaluminid-Beschichtung und daraus hergestellte Beschichtungssysteme

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition