DE60200124T2 - Abbildungsverfahren und optischer Schalter mit optischer MEMS Einheit - Google Patents

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Description

  • Erfindungsgebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft das Gebiet optischer MEMS-(Mikro-Elektromechanische Systeme)-Bauelemente und insbesondere das volloptische Schalten unter Verwendung von MEMS-Bauelementen.
  • Allgemeiner Stand der Technik
  • Bei einer Lösung für das volloptische Schalten werden zwei MEMS-Bauelemente verwendet, die jeweils ein Array aus kippbaren Mikrospiegeln, z. B. kleinen Spiegeln, enthalten, die Licht reflektieren können, was hier jede Strahlung in der relevanten Wellenlänge bezeichnet, ob im sichtbaren Spektrum oder nicht. Für von einer Eingabequelle, z. B. einer optischen Faser zu einer Ausgabe, z. B. einer Ausgabefaser, geliefertes Licht wird ein Lichtweg hergestellt, indem das Licht unter Verwendung eines ersten Mikrospiegels auf dem ersten optischen MEMS-Bauelement, wobei der erste Mikrospiegel der Eingabefaser zugeordnet ist, auf einen zweiten Mikrospiegel auf dem zweiten optischen MEMS-Bauelement, das der Ausgabefaser zugeordnet ist, gelenkt wird. Der zweite Mikrospiegel lenkt dann das Licht in die Ausgabefaser. Jede mit dem System verbundene Faser wird als ein Port des Systems angesehen, wobei die Eingabefasern die Eingabeports und die Ausgabefasern die Ausgabeports sind. Ryf et al. (Scalable Micro Mechanical Optical Crossconnects, Proceedings of the SPIE, Band 4455 (2001), S. 51–58) offenbart optische Crossconnectschalter mit vielen Ports und schlägt eine dreidimensionale Schaltgeometrie vor, um die Anzahl der Ports weiter zu erhöhen.
  • Auf dem Gebiet des volloptischen Schaltens unter Verwendung von MEMS-Bauelementen besteht ein Problem darin, daß zur Erhöhung der Anzahl der Ports im System, d. h. der Anzahl der Fasern, es erforderlich gewesen ist, die Anzahl der Mikrospiegel zu erhöhen, mit denen die Schaltfunktion ausgeführt wird. Im Stand der Technik waren wie oben angemerkt auf dem ersten optischen MEMS-Bauelement alle ersten Mikrospiegel integriert und auf dem zweiten optischen MEMS-Bauelement alle zweiten Mikrospiegel integriert. Da die Größe des optischen MEMS-Bauelements eine direkte Funktion der Anzahl der Mikrospiegel auf dem optischen MEMS-Bauelement ist und die Anzahl der erforderlichen Mikrospiegel direkt proportional zur größten Anzahl der im volloptischen Schalter verfügbaren Ports ist, muß man zur Vergrößerung der größten Anzahl von im volloptischen Schalter zur Verfügung stehenden Ports ein größeres optisches MEMS-Bauelement verwenden.
  • Als Folge von Beschränkungen hinsichtlich der Fertigungskapazität und der großen Bausteingröße ist das optische MEMS-Bauelement leider effektiv gegenwärtig auf 1296 Mikrospiegel begrenzt. Selbst wenn die Größe der Mikrospiegel effektiv reduziert werden könnte, besteht außerdem immer noch ein Problem dahingehend, daß Steuersignale zu jedem Mikrospiegel geführt werden müssen. Das Lenken dieser Steuersignale benötigt große Mengen an Platz auf dem optischen MEMS-Bauelement, was somit zu einem sehr großen MEMS-Bauelement führen würde. Außerdem gibt es Steuersignale für jeden Mikrospiegel, die dem optischen MEMS-Bauelement von außerhalb seines Substrats zugeführt werden müssen. Um diese Verbindungen herzustellen, sind zusätzliche große Mengen an Platz auf dem optischen MEMS-Bauelement erforderlich.
  • Infolge aller dieser Platzanforderungen ist der optische MEMS-Chip recht groß, weshalb die Anzahl von Mikrospiegeln, die auf einem einzigen optischen MEMS-Bauelement angeordnet werden können, aufgrund der Einschränkungen bei der Herstellungskapazität begrenzt ist. Die Begrenzung hinsichtlich der Anzahl der Mikrospiegel begrenzt wiederum die Anzahl der Ports eines volloptischen Schalters.
  • Außerdem weisen die gegenwärtig zur Verfügung stehenden Mikrospiegel einen begrenzten effektiven Bereich auf, durch den sie gekippt werden können. Die Begrenzung des effektiven Bereichs begrenzt weiterhin die Anzahl der Ports, die in einem volloptischen Schalter, der die optischen MEMS-Bauelemente verwendet, implementiert werden können, da jeder Mikrospiegel auf dem ersten optischen MEMS-Bauelement in der Lage sein muß, das auf ihn einfallende Licht zu jedem der Mikrospiegel auf dem zweiten optischen MEMS-Bauelement zu lenken. Die Fähigkeit, das Licht auf diese Weise zu lenken, ist eine Funktion des effektiven Kippbereichs der Mikrospiegel. Mit anderen Worten gestattet ein größerer effektiver Kippwinkel, daß jeder Mikrospiegel sein Licht über einen größeren Bereich lenkt. Bei optischen MEMS-Bauelementen, die als ein optischer Schalter angeordnet sind, wird der größte Kippwinkel für Verbindungen zwischen Mikrospiegeln in den gegenüberliegenden Ecken der optischen MEMS-Bauelemente benötigt. Beispielsweise wird das stärkste Kippen von einem Mikrospiegel rechts oben am ersten MEMS-Bauelement benötigt, der sein Licht zu einem Mikrospiegel links unten am zweiten MEMS-Bauelement lenken muß. So wird die Größe des Mikrospiegelarrays, das in einem optischen Schalter verwendet werden kann, durch den effektiven Kippbereich seiner optischen MEMS-Bauelemente begrenzt.
  • Das Vergrößern des Trennabstands zwischen zwei optischen MEMS-Bauelementen reduziert den erforderlichen Kippwinkel, was die Verwendung von größeren Mikrospiegelarrays gestatten würde, ohne daß der effektive Kippbereich der Mikrospiegel geändert wird. Dadurch nimmt jedoch die Strahlbeugung zu, was nachteiligerweise den Einsatz eines Mikrospiegels mit einem größeren Durchmesser erfordert oder dazu führt, daß ein Teil des Lichts verloren geht. Da die Verwendung eines größeren Mikrospiegels zusätzlichen Platz erfordert, wird dadurch die Entfernung zwischen den Mikrospiegeln auf dem optischen MEMS-Bauelement vergrößert, wodurch sich weiterhin die Größe des optischen MEMS-Bauelements für die gleiche Anzahl von Mikrospiegeln erhöht. Durch das Erhöhen der Größe des optischen MEMS-Bauelements ist ein größerer Kippwinkel erforderlich, um die gegenüberliegenden Ecken der gegenüberliegenden optischen MEMS-Bauelemente zu koppeln. Die gegenüberliegenden optischen MEMS-Bauelemente weiter voneinander zu trennen, hilft somit im wesentlichen aufgrund des begrenzten verfügbaren Kippwinkels nicht, die Anzahl der Ports zu erhöhen.
  • Da außerdem der Baustein des MEMS-Bauelements erheblich größer ist als seine Fläche, die die Mikrospiegel enthält, ist es mit gegenwärtigen Designs unmöglich, die Mikrospiegelbereiche mehrerer MEMS-Bauelemente direkt nebeneinander anzuordnen, um ein einziges zusammengesetztes größeres MEMS-Bauelement zu bilden. Zudem erscheint es unwahrscheinlich, daß Designs in der Zukunft dies ermöglichen, weil nämlich auf dem MEMS-Bauelement zur Herstellung der Vielzahl benötigter Verbindungen eine große Kantenfläche erforderlich ist.
  • Kurze Darstellung der Erfindung
  • Es wurde erkannt, daß die Begrenzungen hinsichtlich der Anzahl von Ports in einem volloptischen Schalter aufgrund der Einschränkungen hinsichtlich der Größe und/oder dem effektiven Kippbereich der optischen MEMS-Bauelemente gemäß den Grundlagen der Erfindung überwunden werden können, indem unter Verwendung eines Bildgebungssystems in Kombination mit einem tatsächlichen anderen optischen MEMS-Bauelement oder einem Bild davon ein oder mehrere optische MEMS-Bauelemente abgebildet werden, um ein einziges virtuelles optisches MEMS-Bauelement zu bilden, das die kombinierte Größe jedes der optischen MEMS-Bauelemente aufweist. Die physische Größe der Anordnung kann durch Kompaktierung des Lichtwegs reduziert werden, indem z. B. entsprechende herkömmliche Spiegel und/oder gefaltete Anordnungen verwendet werden, d. h. Anordnungen, bei denen nur ein MEMS-Bauelementstadium existiert, das durch die Verwendung mindestens eines herkömmlichen Spiegels die doppelte Arbeit sowohl für die Eingabe als auch die Ausgabe leistet. Bei einer Ausführungsform der Erfindung reproduziert das Bildgebungssystem den Reflexionswinkel des Lichts vom Mikrospiegel. Dies kann mit einem telezentrischen System, das auch als ein 4-f-System bekannt ist, erreicht werden.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen der Erfindung können zum Kombinieren der Bilder und/oder tatsächlichen Bauelemente von mehreren optischen MEMS-Bauelementen die Bildgebungssysteme sich unter verschiedenen Winkeln zueinander befinden, und es kann außerdem erforderlich sein, daß die Linsen des Bildgebungssystems, die optisch vom Mikrospiegel am weitesten entfernt sind, einander überlappen. Um derartige unterschiedliche Winkel und die Überlappung zu kompensieren, kann bei einer Ausführungsform der Erfindung für jedes Bild eines optischen MEMS-Bauelements in der Ebene, in der sein Bild gebildet wird, ein Prisma eingesetzt werden. Das Prisma ist dafür ausgelegt, alle Winkel des Lichts für ein optisches MEMS-Bauelement entgegengesetzt zu dem Winkel zwischen der Linse des Bildgebungssystems für dasjenige optische MEMS-Bauelement, das sich von diesem optischen MEMS-Bauelement am weitesten entfernt befindet, und mindestens der Linse des Bildgebungssystems eines anderen optischen MEMS-Bauelements, das von diesem anderen optischen MEMS-Bauelement am weitesten entfernt liegt, zu kippen. Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung kann anstelle eines Prismas eine Linse verwendet werden, damit die gleiche Funktion erfüllt wird. Bei noch einer weiteren Ausführungsform der Erfindung können analog auch faltende Spiegel verwendet werden.
  • Das Gesamtsystem ist so ausgelegt, daß es eine Invertierung beliebiger Bilder der MEMS-Bauelemente durch die verwendeten Bildgebungssysteme berücksichtigt.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnung
  • In der Zeichnung zeigen:
  • 1 eine Ausführungsform einer volloptischen Schaltanordnung, bei der jedes von zwei optischen MEMS-Bauelementen unter Verwendung jeweiliger Bildgebungssysteme abgebildet wird, um ein virtuelles optisches MEMS-Bauelement zu bilden, das die kombinierte Größe jedes der optischen MEMS-Bauelemente aufweist;
  • 2 eine volloptische Schaltanordnung, bei der zwei optische MEMS-Eingabebauelemente unter Verwendung eines Bildgebungssystems abgebildet werden, um ein virtuelles optisches MEMS-Eingabebauelement zu bilden, das die kombinierte Größe jedes der optischen MEMS-Eingabebauelemente aufweist, und bei der zwei optische MEMS-Ausgabebauelemente unter Verwendung eines Bildgebungssystems abgebildet werden, um ein virtuelles optisches MEMS-Ausgabebauelement zu bilden, das die kombinierte Größe jedes der optischen MEMS-Ausgabebauelemente aufweist; und
  • 3 eine kompakte Ausführungsform einer volloptischen Schaltanordnung, bei der zwei optische MEMS-Eingabebauelemente unter Verwendung eines Bildgebungssystems abgebildet werden, um ein virtuelles optisches MEMS-Eingabebauelement zu bilden, das die kombinierte Größe jedes der optischen MEMS-Eingabebauelemente aufweist, und bei der zwei optische MEMS-Ausgabebauelemente unter Verwendung eines Bildgebungssystems abgebildet werden, um ein virtuelles optisches MEMS-Ausgabebauelement zu bilden, das die kombinierte Größe jedes der optischen MEMS-Ausgabebauelemente aufweist;
  • 4 ein Ausführungsbeispiel der Erfindung, bei dem das System gefaltet ist;
  • 5 ein volloptisches Schaltsystem, das einen Lichtweg aufweist, der den in 2 gezeigten Lichtwegen entspricht, bei dem aber anstelle der Prismen von 2 Spiegel verwendet werden;
  • 6 eine weitere Ausführungsform eines volloptischen Schaltsystems, das zur Verwendung bei seinem Eingabeabschnitt ein tatsächliches MEMS-Bauelement mit einem Bild eines MEMS-Bauelements kombiniert;
  • 7 einige der möglichen Kachelanordnungen und
  • 8 eine Stirnansicht einer Kachelanordnung, bei der das Bild von vier MEMS-Ausgabebauelementen miteinander verbunden werden, um ein großes MEMS-Ausgabebauelement zu bilden.
  • Ausführliche Beschreibung
  • Im folgenden Text werden die Grundlagen der Erfindung lediglich veranschaulicht. Es versteht sich deshalb, daß der Fachmann in der Lage sein wird, sich verschiedene Anordnungen auszudenken, die, wenn sie auch nicht ausdrücklich hier beschrieben oder gezeigt werden, die Grundlagen der Erfindung verkörpern und innerhalb ihres Schutzbereiches wie in den beigefügten Ansprüchen definiert, enthalten sind. Zudem sollen alle Beispiele und die vorbehaltliche Sprache, die hier verwendet werden, hauptsächlich und ausdrücklich nur pädagogischen Zwecken dienen, um dem Leser beim Verstehen der Grundlagen der Erfindung und der durch den/die Erfinder beigetragenen Konzepte behilflich zu sein, um die Technik weiter zu entwickeln, und sollen so ausgelegt werden, daß sie ohne Einschränkung auf derart spezifisch angeführte Beispiele und Bedingungen sind.
  • Es sei denn, etwas anderes wird hier ausdrücklich erwähnt, sind die Zeichnungen nicht maßstabsgetreu gezeichnet.
  • Es sei denn, etwas anderes wird hier ausdrücklich erwähnt, handelt es sich außerdem bei jeder hier gezeigten und/oder beschriebenen Linse tatsächlich um ein optisches System mit den bestimmten spezifizierten Eigenschaften dieser Linse. Ein derartiges optisches System kann durch ein einziges Linsenelement implementiert werden, ist jedoch nicht darauf beschränkt. Analog wird, wenn ein Spiegel gezeigt und/oder beschrieben wird, tatsächlich ein optisches System mit den spezifizierten Eigenschaften eines derartigen Spiegels gezeigt und/oder beschrieben, das durch ein einziges Spiegelelement implementiert werden kann, ist aber nicht notwendigerweise auf ein einziges Spiegelelement beschränkt, da verschiedene optische Systeme, wie in der Technik wohlbekannt ist, die gleiche Funktionalität eines einzigen Linsenelements oder Spiegels bereitstellen können, aber auf bessere Weise, z. B. mit weniger Verzerrung. Wie in der Technik wohlbekannt ist, kann zudem die Funktionalität eines gekrümmten Spiegels über eine Kombination aus Linsen und Spiegeln und umgekehrt realisiert werden. Zudem kann eine beliebige Anordnung optischer Komponenten, die eine spezifizierte Funktion erfüllen, z. B. ein Bildgebungssystem, Gitter, beschichtete Elemente und Prismen, durch eine beliebige andere Anordnung optischer Komponenten ersetzt werden, die die gleiche spezifizierte Funktion erfüllen. Es sei denn, daß hier ausdrücklich etwas anderes angegeben ist, sind alle optischen Elemente oder Systeme, die in der Lage sind, innerhalb einer hier offenbarten Gesamtausführungsform eine spezifische Funktion bereitzustellen, für die Zwecke der vorliegenden Offenbarung zueinander gleichwertig.
  • Der Ausdruck MEMS-(mikro-elektromechanische Systeme)-Bauelement, wie er hier verwendet wird, soll ein ganzes MEMS-Bauelement oder einen beliebigen Teil davon bedeuten. Falls ein Teil eines MEMS-Bauelements nicht betrieben wird oder falls ein Teil eines MEMS-Bauelements verdeckt ist, wird ein derartiges MEMS-Bauelement somit für die Zwecke der vorliegenden Offenbarung immer noch als ein MEMS-Bauelement angesehen.
  • Es wurde erkannt, daß die Begrenzungen hinsichtlich der Anzahl von Ports in einem volloptischen Schalter aufgrund der Einschränkungen hinsichtlich der Größe und/oder dem effektiven Kippbereich der optischen MEMS-Bauelemente gemäß den Grundlagen der Erfindung überwunden werden können, indem unter Verwendung eines Bildgebungssystems in Kombination mit einem tatsächlichen anderen optischen MEMS-Bauelement oder einem Bild davon ein oder mehrere optische MEMS-Bauelemente abgebildet werden, um ein einziges virtuelles optisches MEMS-Bauelement zu bilden, das die kombinierte Größe jedes der optischen MEMS-Bauelemente aufweist. Dies kann man in 1 sehen, die eine Ausführungsform einer volloptischen Schaltanordnung zeigt, bei der jedes von zwei optischen MEMS-Bauelementen unter Verwendung von jeweiligen Bildgebungssystemen abgebildet werden, um ein virtuelles optisches MEMS-Bauelement zu bilden, das die kombinierte Größe jedes der optischen MEMS-Bauelemente aufweist. 1 zeigt a) ein erstes Eingabefaserbündel 101, b) ein erstes Eingabemikrolinsenarray 102, c) ein erstes MEMS-Eingabebauelement 103, d) eine Linse 105, e) eine Linse 109, f) ein zweites Eingabefaserbündel 111, g) ein zweites Eingabemikrolinsenarray 112, h) ein zweites MEMS-Eingabebauelement 113, i) eine Linse 115, j) eine Linse 119, k) ein erstes Ausgabefaserbündel 121, 1) ein erstes Ausgabemikrolinsenarray 122, m) ein erstes MEMS-Ausgabebauelement 123, n) ein Prisma 141 und o) eine Feldlinse 143.
  • Ein erstes Eingabefaserbündel 101 liefert zu schaltende optische Signale. Genauer gesagt ist jede Faser des ersten Eingabefaserbündels 101 ein Eingabeport zu dem Schaltsystem von 1. Das von jeder Faser des ersten Eingabefaserbündels 101 gelieferte Licht tritt durch eine jeweilige entsprechende Mikrolinse hindurch, die Teil des ersten Eingabemikrolinsenarrays 102 ist. Die Funktion jeder Mikrolinse besteht darin, den von ihrer jeweiligen zugeordneten Eingabefaser gelieferten Lichtstrahl zu kollimieren. Bei alternativen Ausführungsformen der Erfindung kann anstelle der Verwendung eines getrennten Mikrolinsenarrays eine Linse mit jeder Faser des Eingabefaserbündels 101 in einer einen Kollimator bildenden Anordnung integriert werden.
  • Die Lichtstrahlen, die vom ersten Eingabemikrolinsenarray 102 ausgehen, fallen jeweils auf einen jeweiligen Mikrospiegel des ersten MEMS-Eingabebauelements 103. Jeder Mikrospiegel des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 ist so eingestellt, daß er den auf ihn einfallenden Lichtstrahl in einem jeweiligen vorgeschriebenen Winkel reflektiert. Der jeweilige vorgeschriebene Winkel ist so ausgewählt, daß in Kombination mit dem Winkel eines entsprechenden jeweiligen Mikrospiegels des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 das Licht zu einer vorgewählten Faser im ersten Ausgabefaserbündel 121 gelenkt wird.
  • Jeder Lichtstrahl verläuft nach Reflektierung von seinem jeweiligen Mikrospiegel zum Prisma 141 über die Linse 105 und die Linse 109. Die Linse 105 und die Linse 109 bilden ein Bildgebungssystem. Das Bildgebungssystem ist so angeordnet, daß die Einfallswinkel jedes beim Prisma 141 erzeugten Strahls eine Funktion des Winkels jedes Mikrospiegels des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 ist. Bei einfacheren Ausführungsformen der Erfindung ist das Bildgebungssystem so angeordnet, daß es den Reflexionswinkel des Lichts von jedem Mikrospiegel des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 beim Prisma 141 reproduziert. Somit liegt eine direkte Abbildung jedes Mikrospiegels des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 auf die Stelle des Prismas 141 vor. Man beachte, daß zwar gezeigt ist, daß das Bildgebungssystem aus zwei Linsen besteht, dies aber nur aus pädagogischen Gründen und der Deutlichkeit halber erfolgt. Der Durchschnittsfachmann erkennt ohne weiteres, daß ein beliebiges Bildgebungssystem verwendet werden kann, z. B. ein System, das eine oder mehrere Linsen verwendet.
  • Bei einer Ausführungsform der Erfindung wird als das Bildgebungssystem ein auch als 4-f-System bekanntes telezentrisches System verwendet. Durch den Einsatz eines telezentrischen Systems, wobei derartige Systeme in der Technik wohlbekannt sind, wird der Reflexionswinkel des Lichts von jedem Strahl vom ersten MEMS-Bauelement 103 reproduziert, wenn dieses Licht das Prisma 141 erreicht. Man beachte, daß die jeweiligen entsprechenden Mikrospiegel des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 sich möglicherweise nicht an der gleichen Stelle befinden, an der sie sich befinden würden, wenn kein Bildgebungssystem verwendet worden wäre, da das telezentrische System möglicherweise invertiert. Da der eineindeutige Charakter der Abbildung von Mikrospiegeln durch das Bildgebungssystem beibehalten wird, kann jedoch die Invertierung in der Steuersoftware des Systems leicht berücksichtigt werden, damit die Mikrospiegel des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 richtig gekippt werden, so daß das Licht vom Bild zur vorgeschriebenen Ausgabefaser des ersten Ausgabefaserbündels 121 gelenkt wird.
  • Man beachte, daß das Bildgebungssystem im Vergleich zum Original auch die Größe des Bilds ändern kann. Dies würde gestatten, daß die Mikrospiegel des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 eine andere Größe als diejenigen des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 aufweisen, und auch gestatten, daß der Mikrospiegelabstand des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 sich von dem des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 unterscheidet. Dadurch wird jedoch der Kippwinkel eines jeden der Mikrospiegel des ersten MEMS-Eingabebauelements 103, wie er im Bild erscheint, skaliert, was eine komplementäre Kompensation des eigentlichen Kippens erforderlich macht, um das Bild richtig zu den Mikrospiegeln des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 zu adressieren.
  • Es ist zudem möglich, optische Splitter zu verwenden, z. B. zwischen den Linsen 105 und 109, um mehrere Signalwege durch das System zu erzeugen, damit beispielsweise eine Rundsende-, Überwachungs-, Schutz- und Wiederherstellungsfunktion implementiert wird. Vorteilhafterweise wird beim Systemdesign eine große Flexibilität erzielt.
  • Auch das zweite Eingabefaserbündel 111 liefert zu schaltende optische Signale. Genauer gesagt ist jede Faser des zweiten Eingabefaserbündels 111 auch ein Eingangsport zum Schaltsystem von 1. Das von jeder Faser des zweiten Eingabefaserbündels 111 gelieferte Licht verläuft durch eine jeweilige entsprechende Mikrolinse, die Teil des zweiten Eingabemikrolinsenarrays 112 ist. Die Aufgabe jeder Mikrolinse besteht darin, den von ihrer jeweiligen zugeordneten Eingabefaser gelieferten Lichtstrahl zu kollimieren. Bei alternativen Ausführungsformen der Erfindung kann, anstatt ein getrenntes Mikrolinsenarray zu verwenden, eine Linse mit jeder Faser des zweiten Eingabefaserbündels 111 in einer Anordnung integriert werden, die einen Kollimator bildet.
  • Die vom zweiten Eingabemikrolinsenarray 112 ausgehenden Lichtstrahlen fallen jeweils auf einen jeweiligen Mikrospiegel des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113. Jeder Mikrospiegel des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113 ist so eingestellt, daß er den auf ihn einfallenden Lichtstrahl unter einem jeweiligen vorgeschriebenen Winkel reflektiert. Der jeweilige vorgeschriebene Winkel ist so ausgewählt, daß das Licht in Kombination mit dem Winkel eines entsprechenden jeweiligen Mikrospiegels des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 zu einer vorgewählten Faser im ersten Ausgabefaserbündel 121 gelenkt wird.
  • Jeder Lichtstrahl verläuft nach Reflektierung von seinem jeweiligen Mikrospiegel zum Prisma 141 über die Linse 115 und die Linse 119. Die Linse 115 und die Linse 119 bilden ein Bildgebungssystem. Das Bildgebungssystem ist so ausgelegt, daß die Winkel jedes Mikrospiegels des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113 beim Prisma 141 reproduziert wird. Somit liegt eine direkte Abbildung jedes Mikrospiegels des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113 auf die Stelle des Prismas 141 vor. Man beachte, daß zwar gezeigt ist, daß das Bildgebungssystem aus zwei Linsen besteht, dies aber nur aus pädagogischen Gründen und der Deutlichkeit halber erfolgt. Der Durchschnittsfachmann erkennt ohne weiteres, daß ein beliebiges Bildgebungssystem verwendet werden kann, z. B. ein System, das eine oder mehrere Linsen verwendet.
  • Bei einer Ausführungsform der Erfindung wird als das Bildgebungssystem ein auch als 4-f-System bekanntes telezentrisches System verwendet. Durch den Einsatz eines telezentrischen Systems, wobei derartige Systeme in der Technik wohlbekannt sind, wird der Reflexionswinkel des Lichts von jedem Strahl vom zweiten MEMS-Eingabebauelement 115 reproduziert, wenn dieses Licht das Prisma 141 erreicht. Man beachte, daß die jeweiligen entsprechenden Mikrospiegel des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 sich möglicherweise nicht an der gleichen Stelle befinden, an der sie sich befinden würden, wenn kein Bildgebungssystem verwendet worden wäre, da das telezentrische System möglicherweise invertiert. Da der eineindeutige Charakter der Abbildung von Mikrospiegeln durch das Bildgebungssystem beibehalten wird, kann die Invertierung in der Steuersoftware des Systems leicht berücksichtigt werden, damit die Mikrospiegel des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 richtig gekippt werden, so daß das Licht vom Bild zur vorgeschriebenen Ausgabefaser des ersten Ausgabefaserbündels 121 gelenkt wird. Man beachte, daß zwar gezeigt ist, daß das telezentrische System aus zwei Linsen besteht, dies aber nur aus pädagogischen Gründen und der Deutlichkeit halber erfolgt. Der Durchschnittsfachmann erkennt ohne weiteres, daß ein beliebiges telezentrisches System verwendet werden kann, z. B. ein System, das mehr Linsen verwendet.
  • Man beachte, daß das Bildgebungssystem im Vergleich zum Original auch die Größe des Bilds ändern kann. Dies würde gestatten, daß die Mikrospiegel des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 eine andere Größe als diejenigen des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113 aufweisen, und auch gestatten, daß der Mikrospiegelabstand des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 sich von dem des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113 unterscheidet. Dadurch wird jedoch der Kippwinkel eines jeden der Mikrospiegel des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113, wie er im Bild erscheint, skaliert, was eine komplementäre Kompensation des eigentlichen Kippens erforderlich macht, um das Bild richtig zu den Mikrospiegeln des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 zu adressieren.
  • Es ist zudem möglich, optische Splitter zu verwenden, z. B. zwischen den Linsen 115 und 119, um mehrere Signalwege durch das System zu erzeugen, damit beispielsweise eine Rundsende-, Überwachungs-, Schutz- und Wiederherstellungsfunktion implementiert wird. Vorteilhafterweise wird beim Systemdesign eine große Flexibilität erzielt.
  • Die Aufgabe des Prismas 141 besteht darin, die Wege des Bilds des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 und des Bilds des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113 zu beugen. Bei der in 1 gezeigten Ausführungsform der Erfindung erfolgt die Beugung so, daß das resultierende Bild nach dem Durchtritt durch das Prisma 141 so erscheint, als ob sich das erste MEMS-Eingabebauelement 103 und das zweite MEMS-Eingabebauelement 113 nebeneinander befinden, wobei sich der Punkt, in dem sie sich treffen, auf der Linie liegt, die von der Mitte der Feldlinse 143 durch die Mitte des Prismas 141 verläuft. Gemäß den Grundlagen der Erfindung wird somit von einem einzigen MEMS-Eingabebauelement ein Bild erzeugt, das die kombinierte Größe des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 und des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113 aufweist. Dieses Bild wirkt wie ein virtuelles MEMS-Eingabebauelement.
  • Bei der in 1 gezeigten Ausführungsform der Erfindung weist das Prisma 141 mindestens zwei Abschnitte auf, einen zum Beugen des Bilds des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 und den anderen zum Beugen des Bilds des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113. In der Praxis kann es sich bei den beiden Abschnitten um getrennte Prismen handeln, oder ein einziges integriertes Bauelement kann verwendet werden. Bevorzugt werden alle Lichtstrahlen des Bilds des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 im gleichen Ausmaß gebeugt, und analog werden die Lichtstrahlen des Bilds des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113 um den gleichen Betrag gebeugt. Die Beträge, um die alle Lichtstrahlen des Bilds des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 gebeugt werden, müssen jedoch nicht gleich dem Ausmaß sein, um das die Lichtstrahlen des Bilds des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113 gebeugt werden. Der Durchschnittsfachmann erkennt, daß die Aufgabe des Prismas 141 auch mit verschiedenen anderen Linsenanordnungen durchgeführt werden kann. Die bestimmte Anordnung zum Ausführen der Aufgabe des Prismas 141 wird auf der Basis von Designüberlegungen gewählt, wie etwa den Kosten und der Architektur des optischen Systems insgesamt, d. h. dem verwendeten Linsensystem insgesamt.
  • Das Licht des Bilds des kombinierten optischen MEMS-Bauelements verläuft durch die optionale Feldlinse 143 auf seinem Weg zum ersten MEMS-Ausgabebauelement 123. Die optionale Feldlinse setzt den Winkel, unter dem das Licht auf jedem Mikrospiegel auffällt, in eine Position um, zu der das Licht gelenkt wird. Dadurch können alle Mikrospiegel des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 und des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113 homogenisiert werden, da alle Mikrospiegel, die gleich gekippt sind, ihr Licht zu der gleichen Position lenken. Außerdem fokussiert die Feldlinse jeden der durch sie hindurchtretenden Strahlen erneut, wodurch Verluste reduziert werden.
  • Die von der Feldlinse 143 kommenden Lichtstrahlen fallen jeweils auf einen jeweiligen Mikrospiegel des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123. Jeder Mikrospiegel des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 ist so eingestellt, daß er den auf ihn einfallenden Lichtstrahl unter einem jeweiligen Winkel reflektiert. Der jeweilige Winkel ist so ausgewählt, daß das auf den Mikrospiegel einfallende Licht zu der jeweiligen Faser des ersten Ausgabefaserbündels 121 reflektiert wird, die das Licht empfangen soll und als Ausgabeport für dieses Licht dienen soll.
  • Die Lichtstrahlen, die von jedem Mikrospiegel des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 aus verlaufen, treten durch eine jeweilige Mikrolinse des Mikrolinsenarrays 122 durch. Die Funktion jeder Mikrolinse besteht darin, den Lichtstrahl in seine jeweilige zugeordnete Ausgabefaser einzukoppeln. Bei alternativen Ausführungsformen der Erfindung kann, anstatt daß ein getrenntes Mikrolinsenarray verwendet wird, eine Linse mit jeder Faser der Ausgabefaser des Faserbündels 121 in einer Anordnung integriert werden, die einen Kollimator bildet. Das Licht von jeder Mikrolinse des Mikrolinsenarrays 122 tritt dann in das jeweilige Ausgabefaserbündel ein, das der Mikrolinse zugeordnet ist.
  • Die in 1 gezeigte Ausführungsform der Erfindung eignet sich insbesondere für asymmetrische Systeme, bei denen beispielsweise die Anzahl der Eingabeports größer ist als die Anzahl der Ausgabeports.
  • 2 zeigt eine Ausführungsform einer volloptischen Schaltanordnung, bei der zwei optische MEMS-Eingabebauelemente unter Verwendung eines Bildgebungssystems abgebildet werden, um ein virtuelles optisches MEMS-Eingabebauelement zu bilden, das die kombinierte Größe jedes der optischen MEMS-Eingabebauelemente aufweist, und bei der zwei optische MEMS-Ausgabebauelemente unter Verwendung eines Bildgebungssystems abgebildet werden, um ein virtuelles optisches MEMS-Ausgabebauelement zu bilden, das die kombinierte Größe jedes der optischen MEMS-Ausgabebauelemente aufweist. 2 zeigt a) ein erstes Eingabefaserbündel 101, b) ein erstes Eingabemikrolinsenarray 102, c) ein erstes MEMS-Eingabebauelement 103, d) eine Linse 105, e) eine Linse 109, f) ein zweites Eingabefaserbündel 111, g) ein zweites Eingabemikrolinsenarray 112, h) ein zweites MEMS-Eingabebauelement 113, i) eine Linse 115, j) eine Linse 119, k) ein erstes Ausgabefaserbündel 121, 1) ein erstes Ausgabemikrolinsenarray 122, m) ein erstes MEMS-Ausgabebauelement 123, n) ein Prisma 141, o) eine Feldlinse 143, q) eine Linse 225, r) eine Linse 229, s) ein zweites Ausgabefaserbündel 231, t) ein zweites Ausgabemikrolinsenarray 232, u) ein zweites MEMS-Ausgabebauelement 233, v) eine Linse 235, w) eine Linse 239 und x) ein Prisma 245.
  • Der Eingabeabschnitt, d. h. alle Elemente in 2 links von der Feldlinse 143 und deren Funktionsweise sowie die Feldlinse 143 und deren Funktionsweise, ist der gleiche wie für die mit gleichen Zahlen bezeichneten Komponenten von 1.
  • Analog funktionieren alle Elemente von 2 rechts von der Feldlinse 143 umgekehrt. Somit wird ein Bild eines MEMS-Bauelements mit der kombinierten Größe des ersten optischen MEMS-Ausgabebauelements 123 und des zweiten optischen MEMS-Bauelements 233 gebildet durch die Bildgebungssysteme, die bestehen aus a) der Linse 225 und der Linse 229 bzw. b) der Linse 235 und 239 und dem Prisma 245. Dieses Bild wirkt wie ein virtuelles MEMS-Ausgabebauelement. Das Licht von der Feldlinse 143, das auf das Bild eines bestimmten Mikrospiegels auf dem Bild des kombinierten optischen MEMS-Ausgabebauelements fällt, breitet sich durch das jeweilige Bildgebungssystem aus, das das Bild auf den tatsächlichen Mikrospiegel projiziert, der abgebildet wird. Es wird von diesem Mikrospiegel wegreflektiert und so gelenkt, daß es durch eine Mikrolinse hindurchtritt und in die Ausgabefaser eintritt, auf die der Ausgabemikrospiegel zeigt.
  • Genauer gesagt trifft das Licht des Bilds des kombinierten optischen MEMS-Eingabebauelements nach seinem Durchtritt durch die optionale Feldlinse 143 auf das Prisma 245, das die umgekehrte Funktion des Prismas 141 ausführt, indem es das auf es einfallende Licht in zwei Richtungen lenkt, wobei die erste durch das Bildgebungssystem verläuft, das aus der Linse 225 und der Linse 229 besteht, und die zweite durch das Bildgebungssystem verläuft, das aus der Linse 235 und 239 besteht. Die an einem Punkt auf das Prisma 245 auftreffenden Strahlen, die einem Bild des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 entsprechen, werden vom Prisma 245 zu dem aus den Linsen 225 und 229 bestehenden Bildgebungssystem gelenkt. Gleichermaßen werden die an dem Punkt auf das Prisma 245 auftreffenden Strahlen, die einem Bild des zweiten MEMS-Ausgabebauelements 233 entsprechen, vom Prisma 245 zu dem aus den Linsen 235 und 239 bestehenden Bildgebungssystem gelenkt.
  • Man beachte, daß zwar gezeigt ist, daß das Bildgebungssystem aus zwei Linsen besteht, dies aber nur aus pädagogischen Gründen und der Deutlichkeit halber erfolgt. Der Durchschnittsfachmann erkennt ohne weiteres, daß ein beliebiges Bildgebungssystem verwendet werden kann, z. B. ein System, das eine oder mehrere Linsen verwendet.
  • Bei einer Ausführungsform der Erfindung handelt es sich bei dem Bildgebungssystem, das aus den Linsen 225 und 229 besteht, und dem, das aus den Linsen 235 und 239 besteht, jeweils um telezentrische Systeme, die auch als 4-f-Systeme bekannt sind. Indem ein telezentrisches System verwendet wird, wobei derartige Systeme in der Technik wohlbekannt sind, wird der Reflexionswinkel des Lichts von jedem Strahl, wenn er vom Prisma 245 aus in jedes Bildgebungssystem eintritt, reproduziert, wenn dieses Licht sein jeweiliges der MEMS-Ausgabebauelemente 123 und 233 erreicht. Man beachte, daß die jeweiligen entsprechenden Mikrospiegel von einem jeweiligen der MEMS-Ausgabebauelemente 123 und 233 sich möglicherweise nicht an der gleichen Stelle befinden, an der sie sich befinden würden, wenn nicht ein Bildgebungssystem verwendet worden wäre, da das telezentrische System möglicherweise invertiert. Da jedoch der eineindeutige Charakter der Abbildung von Mikrospiegeln durch das Bildgebungssystem erhalten bleibt, kann die Invertierung in der Steuersoftware des Systems leicht berücksichtigt werden, damit die Mikrospiegel richtig gekippt werden, so daß das Licht von dem Bild zu der vorgeschriebenen Ausgabefaser gelenkt wird.
  • Das Bildgebungssystem kann außerdem im Vergleich zum Original die Größe des Bilds ändern, und zwar aus den gleichen Hauptgründen, was die gleichen Designüberlegungen erfordert, wie oben in Verbindung mit dem Eingabeabschnitt der in 2 gezeigten optischen Schaltanordnung beschrieben wird. Es ist gleichermaßen möglich, optische Splitter in den Bildgebungssystemen zu verwenden, und zwar aus den gleichen Hauptgründen, was die . gleichen Designüberlegungen erfordert, wie oben in Verbindung mit dem Eingabeabschnitt der in 2 gezeigten optischen Schaltanordnung beschrieben wird.
  • Die vom Bildgebungssystem der Linsen 225 und 229 verlaufenden Lichtstrahlen fallen jeweils auf einen jeweiligen Mikrospiegel des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123. Wie oben in Verbindung mit 1 beschrieben, ist jeder Mikrospiegel des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 so eingestellt, daß er den auf ihn einfallenden Lichtstrahl unter einem jeweiligen Winkel reflektiert. Der jeweilige Winkel ist so gewählt, daß das auf den Mikrospiegel einfallende Licht zu einer bestimmten Faser des ersten Ausgabefaserbündels 121 reflektiert wird, die das Licht empfangen soll und als ein Ausgabeport für dieses Licht dienen soll.
  • Die von jedem Mikrospiegel des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 verlaufenden Lichtstrahlen tritt durch eine jeweilige Mikrolinse des Mikrolinsenarrays 122 hindurch. Die Aufgabe jeder Mikrolinse besteht darin, den Lichtstrahl in seine jeweilige zugeordnete Ausgabefaser zu koppeln. Bei alternativen Ausführungsformen der Erfindung kann, anstatt daß ein getrenntes Mikrolinsenarray verwendet wird, eine Linse mit jeder Faser des Faserbündels 121 in eine Anordnung integriert werden, die einen Kollimator bildet. Das Licht von jeder Mikrolinse des Mikrolinsenarrays 122 läuft dann weiter in das jeweilige Ausgabefaserbündel, das der Mikrolinse zugeordnet ist.
  • Analog fallen die Lichtstrahlen, die vom Bildgebungssystem jeweils Linsen 235 und 239 der verlaufen, aus auf einen jeweiligen Mikrospiegel des zweiten MEMS-Ausgabebauelements 233. Jeder Mikrospiegel des zweiten MEMS-Ausgabebauelements 233 ist so eingestellt, daß er den auf ihn einfallenden Lichtstrahl unter einem jeweiligen Winkel reflektiert. Der jeweilige Winkel ist so gewählt, daß das auf den Mikrospiegel einfallende Licht zu der jeweiligen Faser des zweiten Ausgabefaserbündels 231 reflektiert wird, die das Licht empfangen und als Ausgabeport für dieses Licht dienen soll.
  • Die von jedem Mikrospiegel des zweiten MEMS-Ausgabebauelements 233 verlaufenden Lichtstrahlen tritt durch eine jeweilige Mikrolinse des Mikrolinsenarrays 232. Die Aufgabe jeder Mikrolinse besteht darin, den ihrer jeweiligen zugeordneten Eingabefaser zugeführten Lichtstrahl zu kollimieren. Bei alternativen Ausführungsformen der Erfindung kann, anstatt daß ein getrenntes Mikrolinsenarray verwendet wird, eine Linse mit jeder Ausgabefaser des Faserbündels 231 in eine Anordnung integriert werden, die einen Kollimator bildet. Das Licht von jeder Mikrolinse des Mikrolinsenarrays 232 läuft dann weiter in das jeweilige Ausgabefaserbündel, das der Mikrolinse zugeordnet ist.
  • Effektiv werden darin ein virtuelles MEMS-Eingabebauelement und virtuelle MEMS-Ausgabebauelemente erzeugt und das virtuelle MEMS-Ausgabebauelement und das virtuelle MEMS-Eingabebauelement werden so angeordnet, daß ein Crosis-connect gebildet wird.
  • Man beachte, daß das System von 2 von der Funktionsweise her völlig symmetrisch ist. So könnten die Eingabeports als Ausgabeports verwendet werden und umgekehrt. Wenn die Anordnung von 2 ohne mehr gegeben ist, kann nur eine Faser auf der linken Seite an eine beliebige einzelne Faser auf der rechten Seite gekoppelt sein.
  • 3 zeigt eine kompakte Ausführungsform einer volloptischen Schaltanordnung, bei der zwei optische MEMS-Eingabebauelemente unter Verwendung eines Bildgebungssystems abgebildet werden, um ein virtuelles optisches MEMS-Eingabebauelement zu bilden, das die kombinierte Größe jedes der optischen MEMS-Eingabebauelemente aufweist, und bei der zwei optische MEMS-Ausgabebauelemente unter Verwendung eines Bildgebungssystem abgebildet werden, um ein virtuelles optisches MEMS-Ausgabebauelement zu bilden, das die kombinierte Größe jedes der optischen MEMS-Ausgabebauelemente aufweist. In 3 sind die gleichen Elemente gezeigt, die in 2 gezeigt sind, und die zusätzlichen Elementespiegel 307, 317, 327 und 337. Die Funktionsweise aller Elemente von 3 gleicht der für die mit gleichen Nummern versehenen Komponenten der 1 und 2 beschriebenen. Da jedoch die Richtung der Lichtstrahlen entlang ihres Wegs durch die Spiegel 307, 317, 327 und 337 umgekehrt werden, werden die Stelle und/oder die Orientierung der Faserbündel, ihrer zugeordneten Mikrolinsenarrays sowie der Linse 109, 115, 225 und 235, von denen jede Teil eines jeweiligen Bildgebungssystems ist, geändert. Dies gestattet die Realisierung des in 3 gezeigten kompakteren Lichtwegs, wie der Durchschnittsfachmann erkennt. Man beachte, daß die Spiegel 307, 317, 327 und 337 jeweils innerhalb eines jeweiligen Bildgebungssystems angeordnet sind, das Bildgebungssystem aber genauso funktionieren kann, als ob die Spiegel nicht vorliegen würden. Alternativ können einer oder mehrere der Spiegel 307, 317, 327 und 337 auf ihr jeweiliges Bildgebungssystem einen anderen Funktionseffekt erhalten als der, daß sie die Lichtrichtung innerhalb ihres zugeordneten Bildgebungssystems ändern, zum Beispiel durch Krümmen der Spiegel.
  • 4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung, bei dem das System gefaltet ist. In 4 sind gezeigt: a) ein erstes Faserbündel 401, b) ein erstes Mikrolinsenarray 402, c) ein erstes MEMS-Bauelement 103, d) eine Linse 105, e) eine Linse 109, f) ein zweites Faserbündel 411, g) ein zweites Mikrolinsenarray 412, h) ein zweites MEMS-Bauelement 113, i) eine Linse 115, j) eine Linse 119, k) ein Prisma 141, 1) Spiegel 307 und 317 und m) ein Faltspiegel 413.
  • Im Gegensatz zu den vorher beschriebenen Ausführungsformen enthält das Faserbündel 401 sowohl Eingabe- als auch Ausgabefasern, so daß das Faserbündel 401 sowohl als Eingabe- als auch Ausgabeports wirkt. Licht von Eingabefasern verläuft durch eine jeweilige zugeordnete Mikrolinse des ersten Mikrolinsenarrays 402. Das Licht wird von einem entsprechenden zugeordneten Mikrospiegel des ersten MEMS-Bauelements 103 reflektiert und verläuft durch ein Bildgebungssystem, das aus den Linsen 105 und 109 in 4 besteht. Wie oben angemerkt, wird zwar gezeigt, daß das Bildgebungssystem aus zwei Linsen besteht, doch erfolgt dies nur aus pädagogischen Gründen und der Klarheit willen. Der Durchschnittsfachmann erkennt ohne weiteres, daß ein beliebiges Bildgebungssystem verwendet werden kann, zum Beispiel ein System, das eine oder mehrere Linsen verwendet. Bei einer Ausführungsform der Erfindung wird ein telezentrisches System als das Bildgebungssystem verwendet. Bei der in 4 gezeigten Ausführungsform der Erfindung ist das Bildgebungssystem ein kompaktes Bildgebungssystem, da das Licht, das sich durch es ausbreitet, durch den Spiegel 307 umgelenkt wird.
  • Analog enthält das Faserbündel 411 sowohl Eingabe- als auch Ausgabefasern, so daß das Faserbündel 411 sowohl als Eingabe- als auch Ausgabeports wirkt. Licht von Eingabefasern verläuft durch eine jeweilige zugeordnete Mikrolinse des ersten Mikrolinsenarrays 412. Das Licht wird von einem entsprechenden zugeordneten Mikrospiegel des ersten MEMS-Bauelements 113 reflektiert und verläuft durch ein Bildgebungssystem, das aus den Linsen 115 und 119 in 4 besteht. Wie oben angemerkt, wird zwar gezeigt, daß das Bildgebungssystem aus zwei Linsen besteht, doch erfolgt dies nur aus pädagogischen Gründen und der Klarheit willen. Der Durchschnittsfachmann erkennt ohne weiteres, daß ein beliebiges Bildgebungssystem verwendet werden kann, zum Beispiel ein System, das eine oder mehrere Linsen verwendet. Bei einer Ausführungsform der Erfindung wird ein telezentrisches System als das Bildgebungssystem verwendet. Bei der in 4 gezeigten Ausführungsform der Erfindung ist das Bildgebungssystem ein kompaktes Bildgebungssystem, da das Licht, das sich durch es ausbreitet, durch den Spiegel 317 umgelenkt wird.
  • Die von jedem Bildgebungssystem austretenden Lichtstrahlen treten durch das Prisma 141 hindurch. Wie bei den oben beschriebenen Ausführungsformen der Erfindung besteht die Funktion des Prismas 141 für von den Bildgebungssystemen kommendes Licht darin, die Wege des Bilds des ersten MEMS-Bauelements 103 und des Bilds des zweiten MEMS-Bauelements 113 zu beugen. Bei der in 4 gezeigten Ausführungsform der Erfindung wird das Beugen so durchgeführt, daß nach dem Durchtritt durch das Prisma 141 das resultierende Bild erscheint, als wenn sich das erste MEMS-Bauelement 103 und das zweite MEMS-Bauelement 113 nebeneinander befinden würden, wobei der Punkt, an dem sie sich treffen, entlang der Linie liegt, die von der Mitte des Spiegels 413 durch die Mitte des Prismas 141 verläuft. Gemäß den Grundlagen der Erfindung wird somit ein Bild von einem einzigen MEMS-Eingabebauelement erzeugt, das die kombinierte Größe des ersten MEMS-Bauelements 103 und des zweiten MEMS-Bauelements 113 aufweist. Dieses Bild wirkt wie ein virtuelles MEMS-Eingabebauelement.
  • Die Bilder des ersten MEMS-Bauelements 103 und des zweiten MEMS-Bauelements 113 werden vom Spiegel 413 reflektiert. Bei dem Spiegel 413 handelt es sich um einen herkömmlichen Spiegel, der flach sein kann und als ein planarer Spiegel wirkt, oder er kann gekrümmt sein und die Funktion integrieren, die bei anderen hier beschriebenen Ausführungsformen der Erfindung von der Feldlinse ausgeführt wird.
  • Die Lichtstrahlen werden als Rückstrahlen durch den Spiegel 413 zum Prisma 141 zurückreflektiert. Das Prisma 141 ändert die Richtung der Rückstrahlen auf die gleiche Weise wie das oben beschriebene Prisma 245. Genauer gesagt führt das Prisma 141 für auf seinem Weg zu einem der Bildgebungssysteme vom Spiegel 413 kommendes Licht die Umkehrung der Funktion durch, die es für Licht durchführte, das von den Bildgebungssystemen kommt und zum Spiegel 413 läuft. Dazu lenkt das Prisma 141 das auf es einfallende Licht in zwei Richtungen, wobei die erste durch das aus der Linse 105 und der Linse 109 bestehende Bildgebungssystem geht und die zweite durch das aus den Linsen 115 und 119 bestehende Bildgebungssystem geht. Diejenigen Strahlen, die an einem Punkt auf das Prisma 141 fallen, was einem Bild des ersten MEMS-Bauelements 103 entspricht, werden durch das Prisma 141 zu dem aus den Linsen 105 und 109 bestehenden Bildgebungssystem gelenkt. Analog werden diejenigen Strahlen, die an einem Punkt auf das Prisma 141 fallen, der einem Bild des zweiten MEMS-Ausgabebauelements 113 entspricht, vom Prisma 141 zu dem aus den Linsen 115 und 119 bestehenden Bildgebungssystem gelenkt.
  • In der Regel fallen die Rückstrahlen auf einen anderen Mikrospiegel auf als auf den Mikrospiegel, der sie zuerst zum Spiegel 413 reflektiert hat, doch ist dies keine Anforderung, und für jeden Eingangslichtstrahl kann der Rückstrahl tatsächlich auf den gleichen Mikrospiegel fallen, von dem aus er zum Spiegel 413 reflektiert wurde. Dadurch kann jede Faser im Faserbündel mit einer beliebigen anderen Faser im Faserbündel, einschließlich sich selbst, verbunden werden.
  • Jeder Rückstrahl läuft dann durch das jeweilige Bildgebungssystem, auf das er gelenkt ist, und wird dann von dem Mikrospiegel des entsprechenden ersten oder zweiten MEMS-Bauelements 103 oder 113 zu einer jeweiligen Faser des zugeordneten Faserbündels 401 oder 411 reflektiert, die als der Ausgabeport für den Strahl dienen soll. Nach der Reflexion von dem Mikrospiegel, aber vor dem Eintritt in die Faser läuft der Strahl durch eine Mikrolinse des Mikrolinsenarrays 402 oder 422, des derjenigen Faser zugeordnet ist, die als der Ausgabeport für den Strahl wirkt.
  • 5 zeigt eine weitere Ausführungsform eines volloptischen Schaltsystems mit einem Lichtweg, der den in 2 gezeigten Lichtwegen gleichwertig ist. Es werden jedoch anstelle der Prismen 141 und 245 in 5 Spiegel verwendet, was dazu führt, daß die Lichtwege verschiedenen räumlichen Wegen folgen. Dies führt zu einer kompakteren Systemanordnung. In 5 werden die gleichen Elemente gezeigt, wie es in 2 gezeigt ist, außer daß die Prismen 141 und 245 entfernt worden sind und stattdessen die zusätzlichen Elemente der Spiegel 541, 551, 561 und 571 hinzugefügt worden sind. Die Funktionsweise aller Elemente von 5 ist die gleiche, wie für die gleich numerierten Komponenten der 1 und 2 beschrieben.
  • Die Funktion des Spiegels 541 und 561 ähnelt dahingehend der Funktion des Prismas 141, als sie die Wege des Bilds des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 und des Bilds des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113 beugen. Bei der in 5 gezeigten Ausführungsform der Erfindung wird das Beugen so durchgeführt, daß nach dem Durchtritt durch die Spiegel 541 und 561 das resultierende Bild so erscheint, als ob sich das erste MEMS-Eingabebauelement 103 und das zweite MEMS-Eingabebauelement 113 nebeneinander befinden, wobei der Punkt, in dem sie sich treffen, entlang der Linie liegt, die von der Mitte der Feldlinse 143 durch den Punkt verläuft, an dem sich die Spiegel 541 und 561 treffen. Man beachte jedoch, daß sich durch die Verwendung von Spiegeln anstelle eines Prismas die Richtung der Lichtstrahlen ändert, wodurch man eine kompaktere Struktur erhält. Gemäß den Grundlagen der Erfindung wird somit ein Bild von einem einzigen MEMS-Eingabebauelement erzeugt, das die kombinierte Größe des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 und des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113 aufweist. Dieses Bild wirkt wie ein virtuelles MEMS-Eingabebauelement.
  • Bei der in 5 gezeigten Ausführungsform der Erfindung gibt es mindestens zwei verschiedene Spiegel, der eine zum Beugen des Bilds des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 und der andere zum Beugen des Bilds des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113. In der Praxis können die beiden Abschnitte miteinander verbunden sein und einen einzigen integrierten Spiegel bilden. Bevorzugt werden alle Lichtstrahlen des Bilds des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 um den gleichen Betrag gebeugt, und analog werden die Lichtstrahlen des Bilds des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113 alle um den gleichen Betrag gebeugt. Das Ausmaß, in dem alle Lichtstrahlen des Bilds des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 gebeugt werden, muß jedoch nicht gleich dem Ausmaß sein, um das alle Lichtstrahlen des Bilds des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113 gebeugt werden. Der Durchschnittsfachmann erkennt, daß die Funktion der Spiegel 541 und 561 mit verschiedenen Spiegelanordnungen durchgeführt werden kann, zum Beispiel gekrümmten Spiegeln, die durch zusätzliche Spiegel- oder Linsenfunktionen ergänzt sein können. Die besondere Anordnung zur Durchführung der Funktion der Spiegel 541 und 561 wird auf der Basis von Designüberlegungen gewählt, wie etwa den Kosten und der Gesamtarchitektur des optischen Systems.
  • Die Funktion des Spiegels 551 und 571 ähnelt dahingehend der Funktion des Prismas 245, als sie die Wege des Bilds des ersten MEMS-Ausgabebauelements, 123 und des Bilds des zweiten MEMS-Ausgabebauelements 233 beugen. Bei der in 5 gezeigten Ausführungsform der Erfindung wird das Beugen so durchgeführt, daß nach dem Durchtritt durch die Spiegel 551 und 571 das resultierende Bild so erscheint, als ob sich das erste MEMS-Ausgabebauelement 123 und das zweite MEMS-Ausgabebauelement 233 nebeneinander befinden, wobei der Punkt, in dem sie sich treffen, entlang der Linie liegt, die von der Mitte der Feldlinse 143 durch den Punkt verläuft, an dem sich die Spiegel 551 und 571 treffen. Man beachte jedoch, daß sich durch die Verwendung von Spiegeln anstelle eines Prismas die Richtung der Lichtstrahlen ändert, wodurch man eine kompaktere Struktur erhält. Gemäß den Grundlagen der Erfindung wird somit ein Bild von einem einzigen MEMS-Ausgabebauelement erzeugt, das die kombinierte Größe des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 und des zweiten MEMS-Ausgabebauelements 233 aufweist. Dieses Bild wirkt wie ein virtuelles MEMS-Ausgabebauelement.
  • Bei der in 5 gezeigten Ausführungsform der Erfindung gibt es mindestens zwei verschiedene Spiegel, der eine zum Beugen des Bilds des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 und der andere zum Beugen des Bilds des zweiten MEMS-Ausgabebauelements 233. In der Praxis können die beiden Abschnitte miteinander verbunden sein und einen einzigen integrierten Spiegel bilden. Bevorzugt werden alle Lichtstrahlen des Bilds des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 um den gleichen Betrag gebeugt, und analog werden die Lichtstrahlen des Bilds des zweiten MEMS-Ausgabebauelements 233 alle um den gleichen Betrag gebeugt. Das Ausmaß, in dem alle Lichtstrahlen des Bilds des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 gebeugt werden, muß jedoch nicht gleich dem Ausmaß sein, um das alle Lichtstrahlen des Bilds des zweiten MEMS-Ausgabebauelements 233 gebeugt werden. Der Durchschnittsfachmann erkennt, daß die Funktion der Spiegel 551 und 571 mit verschiedenen Spiegelanordnungen durchgeführt werden kann, zum Beispiel gekrümmten Spiegeln, die durch zusätzliche Spiegel- oder Linsenfunktionen ergänzt sein können. Die besondere Anordnung zur Durchführung der Funktion der Spiegel 551 und 571 wird auf der Basis von Designüberlegungen gewählt, wie etwa den Kosten und der Gesamtarchitektur des optischen Systems.
  • 6 zeigt eine weitere Ausführungsform eines volloptischen Schaltsystems, das zur Verwendung in seinem Eingabeabschnitt ein tatsächliches MEMS-Bauelement mit einem Bild eines MEMS-Bauelements kombiniert.
  • In 6 sind gezeigt: a) ein erstes Eingabefaserbündel 101, b) ein erstes Eingabemikrolinsenarray 102, c) ein erstes MEMS-Eingabebauelement 103, d) eine Linse 105, e) eine Linse 109, f) ein zweites Eingabefaserbündel 111, g) ein zweites Eingabemikrolinsenarray 112, h) ein Spiegel 541, i) ein zweites MEMS-Eingabebauelement 113, j) ein Prisma 245, k) ein erstes Ausgabefaserbündel 121, 1) ein erstes Ausgabemikrolinsenarray 122, m) ein erstes MEMS-Ausgabebauelement 123, n) ein Prisma 245, o) eine Feldlinse 143, q) eine Linse 225, r) eine Linse 229, s) ein zweites Ausgabefaserbündel 231, t) ein zweites Ausgabemikrolinsenarray 232, u) ein zweites MEMS-Ausgabebauelement 233, v) eine Linse 235 und w) eine Linse 239.
  • Das erste Eingabefaserbündel 101 liefert zu schaltende optische Signale. Genauer gesagt ist jede Faser des ersten Eingabefaserbündels 101 ein Eingabeport zum Schaltsystem von 1. Das von jeder Faser des ersten Eingabefaserbündels 101 gelieferte Licht tritt durch eine jeweilige entsprechende Mikrolinse hindurch, die Teil des ersten Eingabemikrolinsenarrays 102 ist. Die Aufgabe jeder Mikrolinse besteht darin, den von ihrer jeweiligen zugeordneten Eingabefaser gelieferten Lichtstrahl zu kollimieren. Bei alternativen Ausführungsformen der Erfindung kann, statt daß ein getrenntes Mikrolinsenarray verwendet wird, eine Linse mit jeder Faser des Eingabefaserbündels 101 in einer Anordnung integriert werden, die einen Kollimator bildet.
  • Die vom ersten Eingabemikrolinsenarray 102 aus verlaufenden Lichtstrahlen fallen jeweils auf einen jeweiligen Mikrospiegel des ersten MEMS-Eingabebauelements 103. Jeder Mikrospiegel des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 ist so eingestellt, daß er den auf ihn einfallenden Lichtstrahl in einem jeweiligen vorgeschriebenen Winkel reflektiert. Der jeweilige Winkel ist so vorgeschrieben, daß in Kombination mit dem Winkel eines entsprechenden jeweiligen Mikrospiegels des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 oder des zweiten MEMS-Ausgabebauelements 233 das Licht zu einer im Voraus gewählten Faser entweder im ersten Ausgabefaserbündel 121 oder im zweiten Ausgabefaserbündel 231 gelenkt wird.
  • Nach der Reflexion von seinem jeweiligen Mikrospiegel läuft jeder Lichtstrahl durch die Linse 105, dann die Linse 109, zum Spiegel 541. Die Linse 105 und die Linse 109 bilden ein Bildgebungssystem. Das Bildgebungssystem ist so ausgelegt, daß die Winkel jedes Mikrospiegels des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 beim Spiegel 541 reproduziert wird. Somit liegt eine direkte Abbildung jedes Mikrospiegels des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 auf die Stelle des Spiegels 541 vor. Man beachte, daß zwar gezeigt ist, daß das Bildgebungssystem aus zwei Linsen besteht, dies aber nur aus pädagogischen Gründen und der Deutlichkeit halber erfolgt. Der Durchschnittsfachmann erkennt ohne weiteres, daß ein beliebiges Bildgebungssystem verwendet werden kann, zum Beispiel ein System, das eine oder mehrere Linsen verwendet.
  • Bei einer Ausführungsform der Erfindung wird als das Bildgebungssystem ein auch als 4-f-System bekanntes telezentrisches System verwendet. Durch den Einsatz eines telezentrischen Systems, wobei derartige Systeme in der Technik wohlbekannt sind, wird der Reflexionswinkel des Lichts von jedem Strahl vom ersten MEMS-Eingabebauelement 103 reproduziert, wenn dieses Licht den Spiegel 541 erreicht. Man beachte, daß die jeweiligen entsprechenden Mikrospiegel des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 sich möglicherweise nicht an der gleichen Stelle befinden, an der sie sich befinden würden, wenn kein Bildgebungssystem verwendet worden wäre, da das telezentrische System möglicherweise invertiert. Da der eineindeutige Charakter der Abbildung von Mikrospiegeln durch das Bildgebungssystem beibehalten wird, kann die Invertierung in der Steuersoftware des Systems leicht berücksichtigt werden, damit die Mikrospiegel des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 richtig gekippt werden, so daß das Licht vom Bild zur vorgeschriebenen Ausgabefaser des ersten Ausgabefaserbündels 121 gelenkt wird.
  • Man beachte, daß das Bildgebungssystem im Vergleich zum Original auch die Größe des Bilds ändern kann. Dies würde gestatten, daß die Mikrospiegel des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 und des zweiten MEMS-Ausgabebauelements 233 eine andere Größe als diejenigen des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 aufweisen, und auch gestatten, daß der Mikrospiegelabstand des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 und des zweiten MEMS-Ausgabebauelements 233 sich von dem des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 unterscheidet. Dadurch wird jedoch der Kippwinkel eines jeden der Mikrospiegel des ersten MEMS-Eingabebauelements 103, wie er im Bild erscheint, skaliert, was eine komplementäre Kompensation des eigentlichen Kippens erforderlich macht, um das Bild richtig zu den Mikrospiegeln des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 und des zweiten MEMS-Ausgabebauelements 233 zu adressieren.
  • Es ist zudem möglich, optische Splitter zu verwenden, z. B. zwischen den Linsen 105 und 109, um mehrere Signalwege durch das System zu erzeugen, damit beispielsweise eine Rundsende-, Überwachungs-, Schutz- und Wiederherstellungsfunktion implementiert wird. Vorteilhafterweise wird beim Systemdesign eine große Flexibilität erzielt.
  • Auch das zweite Eingabefaserbündel 111 liefert zu schaltende optische Signale. Genauer gesagt ist jede Faser des zweiten Eingabefaserbündels 111 auch ein Eingangsport zum Schaltsystem von 1. Das von jeder Faser des zweiten Eingabefaserbündels 111 gelieferte Licht verläuft durch eine jeweilige entsprechende Mikrolinse, die Teil des zweiten Eingabemikrolinsenarrays 112 ist. Die Aufgabe jeder Mikrolinse besteht darin, den von ihrer jeweiligen zugeordneten Eingabefaser gelieferten Lichtstrahl zu kollimieren. Bei alternativen Ausführungsformen der Erfindung kann, anstatt ein getrenntes Mikrolinsenarray zu verwenden, eine Linse mit jeder Faser des zweiten Eingabefaserbündels 111 in einer Anordnung integriert werden, die einen Kollimator bildet.
  • Die vom zweiten Eingabemikrolinsenarray 112 ausgehenden Lichtstrahlen fallen jeweils auf einen jeweiligen Mikrospiegel des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113. Jeder Mikrospiegel des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113 ist so eingestellt, daß er den auf ihn einfallenden Lichtstrahl unter einem jeweiligen vorgeschriebenen Winkel reflektiert. Der jeweilige Winkel ist so vorgeschrieben, daß das Licht in Kombination mit dem Winkel eines entsprechenden jeweiligen Mikrospiegels des ersten MEMS-Ausgabebauelements 123 oder des zweiten MEMS-Ausgabebauelements 233 zu einer vorgewählten Faser im ersten Ausgabefaserbündel 121 oder dem zweiten Ausgabefaserbündel 231 gelenkt wird.
  • Nach dem Reflektieren von seinem jeweiligen Mikrospiegel verläuft jeder Lichtstrahl zur Feldlinse 143.
  • Die Aufgabe des Spiegels 541 besteht darin, den Weg des Bilds des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 so zu beugen, daß das resultierende Bild so erscheint, als ob sich das erste MEMS-Eingabebauelement 103 neben dem zweiten MEMS-Eingabebauelement 113 befindet, wobei der Punkt, bei dem sich das Bild und das tatsächliche MEMS-Bauelement treffen, entlang der Linie liegt, die von der Mitte der Feldlinse 143 aus durch die Mitte des Prismas 245 verläuft. Gemäß den Grundlagen der Erfindung erscheint es somit, daß ein einziges MEMS-Eingabebauelement mit der kombinierten Größe des ersten MEMS-Eingabebauelements 103 und des zweiten MEMS-Eingabebauelements 113 vorliegt. Diese Kombination wirkt als das Gesamt-MEMS-Eingabebauelement, das ein virtuelles MEMS-Bauelement ist.
  • Nach dem Durchtritt durch die Feldlinse 143 tritt das Licht in den Ausgabeabschnitt des Schaltsystems ein, d. h. alle Elemente in 6 rechts von der Feldlinse 143. Die Funktionsweise Feldlinse 143 und des Ausgabeabschnitts von 6 ist die gleiche wie für die gleich numerierten Komponenten des Ausgabeabschnitts von 2 beschrieben.
  • Man beachte, daß aus pädagogischen Gründen und aus Gründen der Klarheit bei den gezeigten Ausführungsformen nur für den Eingabeabschnitt oder den Ausgabeabschnitt höchstens zwei MEMS-Bauelemente, entweder Bilder dieser oder ein realer Teil und ein Bildteil, kombiniert sind. Es ist jedoch möglich, Ausführungsformen der Erfindung zu haben, bei denen mehr als zwei MEMS-Bauelemente gestapelt sind, zum Beispiel indem beliebige der vorausgegangenen Ausführungsformen dreidimensional angeordnet werden, zum Beispiel außerhalb der Ebene des Papiers, auf dem die Ausführungsformen gezeigt sind. Durch derartige Anordnungen können die MEMS-Bauelemente oder Bilder davon „kachelförmig" angeordnet werden, um noch größere virtuelle MEMS-Bauelemente zur Eingabe, zur Ausgabe oder zu beidem zu erzeugen. 7 zeigt die kachelförmigen Anordnungen 701, 702 und 703 für MEMS-Bauelemente oder Bilder davon 705, die einige der verschiedenen kachelförmigen Anordnungen sind, die möglich sind. Der Durchschnittsfachmann ist ohne weiteres in der Lage, andere derartige Anordnungen zu entwickeln.
  • 8 zeigt eine Stirnansicht einer derartigen Anordnung, bei der das Bild von vier MEMS-Ausgabebauelementen verbunden sind, um ein großes MEMS-Ausgabebauelement zu bilden. Wenngleich dies in 8 nicht zu sehen ist, da sie sich direkt hinter den in 8 gezeigten Elementen befinden, sind vier MEMS-Eingabebauelemente auf ähnliche Weise verbunden, um ein großes MEMS-Eingabebauelement zu bilden. Alternativ kann man 8 als eine Stirnansicht des Ausgabeabschnitts ansehen, wobei man jedoch auf das entgegengesetzte Ende schaut. Die Nummern der in 1 gezeigten Elemente entsprechen funktionsmäßig den gleich numerierten Elementen von 2, aber mit einem Suffix 1, das für diejenigen Elemente hinzugefügt ist, die ursprünglich in 2 gezeigt waren, und einem Suffix 2, das für diejenigen Elemente hinzugefügt ist, die in 8 eingeführt werden, um das noch größere Array zu bilden.
  • Der Durchschnittsfachmann erkennt ohne weiteres, wie die verschiedenen Komponenten und Spiegel des Systems auszurichten sind, damit ihre gewünschte Größe und Konfiguration erreicht wird.
  • Man beachte, daß die Lichtstrahlen nicht nur durch optische Fasern als Eingaben geliefert werden können, sondern auch durch eine optische Quelle, z. B. einen Laser oder eine Leuchtdiode, planare Wellenleiter oder dergleichen. Statt optische Fasern zu haben, die die Lichtstrahlen als Ausgaben empfangen, könnten die Lichtstrahlen gleichermaßen durch andere Empfänger wie etwa Fotodetektoren, planare Wellenleiter oder dergleichen empfangen werden.

Claims (14)

  1. Optischer Schalter, der ein erstes MEMS-Bauelement (103) umfaßt, das eine erste Anzahl von Mikrospiegeln enthält; ein zweites MEMS-Bauelement (113), das eine zweite Anzahl von Mikrospiegeln enthält; und ein erstes Bildgebungssystem (105, 109), das an einem optischen Ende optisch an das erste MEMS-Bauelement (103) gekoppelt ist, um ein Bild des ersten MEMS-Bauelements am optischen Ende des Bildgebungssystems gegenüber dem optischen Ende zu erzeugen, an dem sich das erste MEMS-Bauelement befindet; wobei (i) das Bild des ersten MEMS-Bauelements und (ii) das zweite MEMS-Bauelement oder ein Bild des zweiten MEMS-Bauelements zusammen ein virtuelles MEMS-Bauelement mit Mikrospiegeln bilden, deren Anzahl gleich der Summe der ersten und zweiten Anzahl ist.
  2. Erfindung nach Anspruch 1, wobei das Bild des ersten MEMS-Bauelements aus Lichtstrahlen besteht, die von den Mikrospiegeln des ersten MEMS-Bauelements reflektiert werden, wobei jeder der Lichtstrahlen einen Winkel aufweist, der eine Funktion des Reflexionswinkels des Lichtstrahls von einem jeweiligen der Mikrospiegel des ersten MEMS-Bauelements ist, von dem er reflektiert wurde.
  3. Erfindung nach Anspruch 1, wobei das Bild des ersten MEMS-Bauelements aus Lichtstrahlen besteht, die von den Mikrospiegeln des ersten MEMS-Bauelements reflektiert werden, und das Bildgebungssystem den Reflexionswinkel jedes Lichtstrahls von einem jeweiligen der Mikrospiegel des ersten MEMS- Bauelements reproduziert, von dem er reflektiert wurde.
  4. Erfindung nach Anspruch 1, weiterhin mit einem Prisma (141) oder einem Spiegel (307, 317) zum Beugen von Lichtstrahlen, die aus der Richtung des Bildgebungssystems kommen oder in seine Richtung gehen.
  5. Erfindung nach Anspruch 1, die weiterhin folgendes umfaßt: ein Feldlinsensystem (143) zum Verarbeiten von Licht, das aus der Richtung des virtuellen MEMS-Bauelements zu kommen oder in seine Richtung zu gehen scheint.
  6. Erfindung nach Anspruch 1, weiterhin mit einem dritten MEMS-Bauelement (123), das eine dritte Anzahl von Mikrospiegeln enthält, wobei die Mikrospiegel des dritten MEMS-Bauelements so angeordnet sind, daß sie Licht reflektieren, das von dem virtuellen MEMS-Bauelement zu kommen scheint.
  7. Erfindung nach Anspruch 1, weiterhin mit einem dritten MEMS-Bauelement, das eine dritte Anzahl von Mikrospiegeln enthält, wobei die Mikrospiegel des dritten MEMS-Bauelements so angeordnet sind, daß sie Licht auf verschiedene Mikrospiegel des virtuellen MEMS-Bauelements reflektieren.
  8. Erfindung nach Anspruch 1, weiterhin mit einen Spiegel (413), der so angeordnet ist, daß er das Bild des virtuellen MEMS-Bauelements, das Mikrospiegel aufweist, deren Anzahl gleich der Summe der ersten und zweiten Anzahl ist, zurück zum Bild reflektiert, wodurch ein Crossconnect mit einer gefalteten Konfiguration gebildet wird.
  9. Erfindung nach Anspruch 1, wobei das erste Bildgebungssystem mindestens einen Spiegel (307, 317) enthält, der so plaziert ist, daß man eine kompakte Konfiguration erhält.
  10. Erfindung nach Anspruch 1, die folgendes umfaßt: ein drittes MEMS-Bauelement (123), das eine dritte Anzahl von Mikrospiegeln enthält; ein viertes MEMS-Bauelement (233), das eine vierte Anzahl von Mikrospiegeln enthält; und ein zweites Bildgebungssystem (225, 229), das an einem optischen Ende optisch an das dritte MEMS-Bauelement gekoppelt ist, um ein Bild des dritten MEMS-Bauelements am optischen Ende des Bildgebungssystems gegenüber dem optischen Ende zu erzeugen, an dem sich das dritte MEMS-Bauelement befindet; wobei das zweite Bildgebungssystem (225, 229) so angeordnet ist, daß (i) das Bild des dritten MEMS-Bauelements und (ii) das vierte MEMS-Bauelement oder ein Bild des vierten MEMS-Bauelements zusammen ein virtuelles MEMS-Bauelement mit Mikrospiegeln bilden, deren Anzahl gleich der Summe der dritten und vierten Anzahl ist; und wobei das virtuelle MEMS-Bauelement mit Mikrospiegeln, deren Anzahl gleich der Summe der ersten und zweiten Anzahl ist, und das virtuelle MEMS-Bauelement mit Mikrospiegeln, deren Anzahl gleich der Summe der dritten und vierten Anzahl ist, so angeordnet sind, daß sie einen Crossconnect bilden.
  11. Erfindung nach Anspruch 10, die weiterhin mindestens einen Spiegel umfaßt und wobei das virtuelle MEMS-Bauelement mit Mikrospiegeln, deren Anzahl gleich der Summe der ersten und zweiten Anzahl ist, und das virtuelle MEMS-Bauelement mit Mikrospiegeln, deren Anzahl gleich der Summe der dritten und vierten Anzahl ist, so angeordnet sind, daß sie sich nebeneinander befinden und ein virtuelles MEMS-Bauelement mit Mikrospiegeln bilden, deren Anzahl gleich der Summe der ersten, zweiten, dritten und vierten Anzahl ist, wobei der Spiegel so plaziert ist, daß er das Bild des virtuellen MEMS-Bauelements mit Mikrospiegeln, deren Anzahl gleich der Summe der ersten, zweiten, dritten und vierten Anzahl ist, zurück zum Bild des virtuellen MEMS-Bauelements mit Mikrospiegeln reflektiert, deren Anzahl gleich der Summe der ersten, zweiten, dritten und vierten Anzahl ist, um einen Crossconnect mit einer gefalteten Konfiguration zu bilden.
  12. Erfindung nach Anspruch 1, die weiterhin folgendes umfaßt: ein drittes MEMS-Bauelement (123), das eine dritte Anzahl von Mikrospiegeln enthält; ein viertes MEMS-Bauelement (233), das eine vierte Anzahl von Mikrospiegeln enthält; und ein zweites Bildgebungssystem (225, 229), das an einem optischen Ende optisch an das dritte MEMS-Bauelement gekoppelt ist, um ein Bild des dritten MEMS-Bauelements am optischen Ende des Bildgebungssystems gegenüber dem optischen Ende zu erzeugen, an dem sich das dritte MEMS-Bauelement befindet; wobei das zweite Bildgebungssystem (225, 229) so angeordnet ist, daß (i) das Bild des dritten MEMS-Bauelements und (ii) das vierte MEMS-Bauelement oder ein Bild des vierten MEMS-Bauelements zusammen ein virtuelles MEMS-Bauelement mit Mikrospiegeln bilden, deren Anzahl gleich der Summe der dritten und vierten Anzahl ist; und wobei das virtuelle MEMS-Bauelement mit Mikrospiegeln, deren Anzahl gleich der Summe der ersten und zweiten Anzahl ist, und das virtuelle MEMS-Bauelement mit Mikrospiegeln, deren Anzahl gleich der Summe der dritten und vierten Anzahl ist, so angeordnet sind, daß sie sich nebeneinander befinden und ein virtuelles MEMS-Bauelement mit Mikrospiegeln bilden, deren Anzahl gleich der Summe der ersten, zweiten, dritten und vierten Anzahl ist.
  13. Verfahren zur Verwendung in einem optischen Schalter, mit den folgenden Schritten: Anordnen (i) eines Bilds eines ersten MEMS-Bauelements (103), das eine erste Anzahl von Mikrospiegeln enthält, und (ii) eines zweiten MEMS-Bauelements (113), das eine zweite Anzahl von Mikrospiegeln enthält, oder eines Bilds des zweiten MEMS-Bauelements, um ein virtuelles MEMS-Bauelement mit Mikrospiegeln zu bilden, deren Anzahl gleich der Summe der ersten und zweiten Anzahl ist.
  14. Erfindung nach Anspruch 13, weiterhin mit dem Schritt des Ausbildens des Bilds des ersten MEMS-Bauelements, so daß das Bild des ersten MEMS-Bauelements aus Lichtstrahlen besteht, die von den Mikrospiegeln des ersten MEMS-Bauelements reflektiert werden, wobei jeder der Lichtstrahlen einen Winkel aufweist, der eine Funktion des Reflexionswinkels des Lichtstrahls von einem jeweiligen der Mikrospiegel des ersten MEMS-Bauelements ist, von dem er reflektiert wird.
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