-
Die vorliegende Erfindung betrifft
eine Vorrichtung zur spektrometrischen optischen Abbildung, insbesondere
des Typs Raman oder mit Fluoreszenz auf geringem Niveau.
-
In der Patentanmeldung EP-A1-0.502.752 im
Namen der Anmelderin wurde eine spektrometrische Vorrichtung mit
konfokalen Abtastung beschrieben, umfassend:
-
- – eine
Einheit, umfassend:
- – ein
System zur Beleuchtung und Erregung, das eine erste Konfokalitätsöffnung einschließt,
- – ein
optisches System,
- – eine
zweite Konfokalitätsöffnung,
die mit der ersten gekoppelt ist, und
- – eine
erste und eine zweite synchron, geschaltete Deflektoreinheit, die
im Vorbereich bzw. im Nachbereich der zweiten Konfokalitätsöffnung angeordnet
sind, und
- – ein
Spektrometer, umfassend:
- – eine
Eintrittsöffnung,
- – eine
Spektraldispergiereinrichtung und
- – einen
zweidimensionalen Mehrkanaldetektor.
-
Eine solche Ausführung ermöglicht es, die Analysezeit
für ein
Muster im Vergleich mit herkömmlichen
konfokalen spektrometrischen Vorrichtungen wesentlich zu verringern.
Das Linienabtasten des Objekts kann durch das Abtasten der Eintrittsöffnung des
Spektrometers durch den Lichtstrahl erfolgen. Die Vorrichtung dieser
vorveröffentlichten
Anmeldung bietet auch einen Vergrößerungsfaktor auf Grund der
Verwendung von zwei synchron geschalteten Deflektoreinheiten, die
es ermöglicht,
die Abmessung eines in einem Objektraum abgetasteten Bildes von
der maximalen, von dem Objektiv der konfokalen mikroskopischen Einheit
abgedeckten Abmessung auf eine sehr geringe Abmessung zu ändern, die
nur durch die erfassbare Energieschwelle begrenzt ist.
-
Die vorliegende Erfindung betrifft
eine Vorrichtung zur spektrometrischen optischen Abbildung, die
es ermöglicht,
die Anwendung der aus der vorveröffentlichten
Anmeldung bekannten Vorrichtung auf jeden Spektralbereich, der für die Raman-Spektroskopie
nützlich
ist, auszuweiten, und die eine einfachere Verwendung als die vorveröffentlichte
Vorrichtung bieten kann.
-
Zu diesem Zweck betrifft die Erfindung
eine Vorrichtung zur spektrometrischen optischen Abbildung, das
die in dem ersten Anspruch erwähnten Merkmale
aufweist.
-
Die abhängigen Ansprüche definieren
zusätzliche
Ausführungsarten.
-
Die zweite Deflektoreinheit wird
somit im Nachbereich des Eingangs des Spektrometers angeordnet.
Dieser Eingang ist eine Konfokalitätsöffnung.
-
Die erste und die zweite Konfokalitätsöffnung sind
vorzugsweise aus einstellbaren Löchern
gebildet, die durch Mittel, wie beispielsweise Membranen durch Übertragung
oder Reflexion, erzielt werden. Sie sind annähernd kreisförmig und
weisen kleine Abmessungen auf.
-
Im Vergleich mit der bekannten Vorrichtung, die
in der Anmeldung EP-A1-0.502.752
beschrieben ist, vereinfacht die erfindungsgemäße Vorrichtung zur optischen
Abbildung die Montage, indem die Anzahl von optischen Teilen verringert
ist, was einen wesentlichen Vorteil insbesondere im ultravioletten Bereich
darstellt, und indem eine getrennte Konfokalitätsöffnung weggelassen ist.
-
Ferner bietet die erfindungsgemäße Vorrichtung
zur spektrometrischen optischen Abbildung den Vorteil, daß sie in
ein sogenanntes Endlosgerät
integriert werden kann, das parallele Strahlen einsetzt. So können die
Elemente des erfindungsgemäßen Geräts zur optischen
Abbildung in Form von Blöcken in
vorher bestehende Vorrichtungen, die ein Endlosmikroskop umfassen,
und/oder in ein Endlosspektrometer eingesetzt werden.
-
Vorzugsweise ist die erfindungsgemäße Vorrichtung
zur spektrometrischen optischen Abbildung für die Raman-Spektroskopie oder
die Spektroskopie mit Fluoreszenz auf geringem Niveau vorgesehen.
-
Das Dispersionsspektrometer ist vorzugsweise
stigmatisch, d. h. daß es
für jeden
Punkt der Eintrittsöffnung
ein Spektralbild erstellt, das eine Pixellinie eines bidimensionalen
Mehrkanaldetektors abdeckt.
-
Vorzugsweise umfasst die erste Deflektoreinheit
eine im Wesentlichen afokale Optik und ist auf einem parallelen
Strahl angeordnet.
-
So verursacht diese erste Deflektoreinheit keinen
Signalverlust. Sie ermöglicht
es, gleichzeitig sicher zu stellen:
-
- – eine
Deflexion eines Strahls,
- – die
Pupillenübertragung.
-
Die erste Deflektoreinheit kann vom
refraktiven oder reflektiven Typ sein (d. h. mit Refraktion oder
Reflexion funktionieren).
-
Nach einer Ausführungsart der afokalen Optik
umfasst diese eine konvergierende Linse und einen ersten Deflektor
mit Refraktion, der zwischen diesen Linsen angeordnet ist.
-
Bei einer weiteren Ausführungsart
der afokalen Optik umfasst diese Spiegel und einen ersten Deflektor
mit Reflexion, der in der Lage ist, von einem der Spiegel einen
parallelen Strahl zu empfangen und diesen parallelen Strahl zu dem
anderen der Spiegel zu reflektieren.
-
Die Spiegel sind vorteilhafterweise
spärische Spiegel.
-
Bei einer Ausführungsart umfasst die erste Deflektoreinheit
einen ersten Deflektor, der mit Hilfe von optischen Elementen dazu
vorgesehen ist, ein zweidimensionales Abtasten an einem Muster vorzunehmen.
Insbesondere in Kombination mit den beiden vorgenannten Ausführungsar ten
der afokalen Optik ist der erste Deflektor nun in der Lage, an einem
Muster Raster in eine Richtung senkrecht zu den Linien abzutasten.
-
Bei einer weiteren Ausführungsart,
die aus einer der vorgenannten Ausführungsarten der afokalen Optik
erhalten wurde:
-
- – umfasst
die erste Deflektoreinheit Translationsmittel für die Linsen oder Spiegel,
die es ermöglichen,
diese Linie in einer Richtung senkrecht zu dieser Linie abzutasten.
-
Die Abtastung der Linie durch den
ersten Deflektor ist z. B. realisierbar durch Rotation eines optischen
Bauteiles.
-
So kann man zwei Beispiele von zwei
ersten afokalen optischen Realisierungen unterscheiden:
-
- – entweder
der erste Deflektor bewirkt eine Rasterabtastung senkrecht zu diesen
Linien,
- – oder
der erste Deflektor bewirkt eine Abtastung einer Linie und die zugeordneten
Bauteile in der afokalen Optik bewirken eine Abtastung senkrecht
zu dieser Linie, wobei die durch die Bauteile erhaltene Deflexion,
Deflexionsraster genannt, so viel langsamer ist als die durch den
ersten Deflektor erzeugte Deflexion, Liniendeflexion genannt (die
Frequenz der Liniendeflexion ist ein vielfaches Ganzes der Frequenz
der Rasterdeflexion).
-
Die Realisierung mit den Translationsmitteln der
Linsen oder der Spiegel erlaubt die Vereinfachung des Systems durch
Reduzieren der Anzahl der Komponenten.
-
Nach einer Realisierungsvariante
ist der erste Deflektor in der Lage, eine Linie an einem Muster abzutasten,
z. B. durch Rotation eines optischen Bauteiles, und er ist selbst
an einer beweglichen Vorrichtung montiert, die das Versetzen dieser
Linie an dem Objekt in einer Richtung senkrecht zu dieser Linie
erlaubt (Rasterabtastung).
-
Es ist interessant, daß die erste
Deflektoreinheit auch eine Abtastung in einer dritten Dimension, parallel
zum Strahl, erzeugt (Tiefenanalyse des Musters), die somit die Erzeugung
von dreidimensionalen konfokalen Spektralbildern ermöglicht.
-
Die zweite Deflektoreinheit, die
in dem Spektrometer angeordnet ist, führt eine Ablenkung durch, die
eine Liniendeflexion (senkrecht zu den Netzlinien, die auf dem Mehrkanaldetektor
ausgebildet sind) darstellt, die mit jener synchron ist, die von
der ersten Deflektoreinheit durchgeführt wird. Diese zweite Deflektoreinheit
ist bei einer Ausführungsart
reflektiv. Bei einer Ausführungsart
ist die zweite Deflektoreinheit refraktiv.
-
Bei einer weiteren Ausführungsart
erzeugen die erste und die zweite Deflektoreinheit synchrone Deflexionen
mit variablen Amplituden, die eine Vergrößerungsänderung gestatten.
-
Eine kontrollierte Verschiebung in
der Achse des Mikroskops ermöglicht
es, konfokale dreidimensionale Spektralbilder zu erzeugen.
-
Bei einer weiteren Ausführungsart
der zweiten Deflektoreinheit ist diese zwischen der Eintrittsöffnung des
Spektrometers und dem Mehrkanaldetektor angeordnet.
-
So umfasst das Spektrometer in einer
Form dieser ersten Anordnungsart eine erste Linse oder Kollimator
und die zweite Deflektoreinheit ist zwischen der Eintrittsöffnung und
dieser Linse angeordnet. Diese Ausführung ist einfach im Betrieb.
-
In einer anderen Form dieser Anordnungsart umfasst
das Spektrometer einen ersten sphärischen Spiegel und die zweite
Deflektoreinheit ist zwischen der Eintrittsöffnung und diesem sphärischen
Spiegel angeordnet.
-
In einer besonderen Anordnungsart
der zweiten Deflektoreinheit ist diese zwischen dem spektralen Streuer
und dem Mehrkanaldeflektor angeordnet.
-
Bei einer weiteren Ausführungsart
der zweiten Deflektoreinheit ist diese aus mindestens einem Teil
der Spektraldispergiereinheit selbst gebildet. Die Deflexion kann
nun durch eine Oszillation der Spektraldispergiereinheit oder eines
ihrer optischen Elemente oder durch eine mit dieser Dispergiereinheit gekreuzten
Vorrichtung erfolgen.
-
Nach einer weiteren Ausführungsart
der zweiten Deflektoreinheit ist diese aus dem Mehrkanaldetektor
gebildet. Die zweite Deflektoreinheit verwendet nun die Übertragung
der Lasten auf einer Lastkopplungsschaltung (CCD) des Mehrkanaldetektors.
Es ist vorgesehen, daß der
Detektor sequentiell gesteuert wird und dass die erste Deflektoreinheit „Schritt
für Schritt"
gesteuert wird, um eine einfache Synchronisierung der beiden Deflektoreinheiten
zu erzielen.
-
Nach einer weiteren Ausführungsart
umfasst das Gerät
zur optischen Abbildung eine optische Faser, die zwischen der ersten
und der zweiten Deflektoreinheit angeordnet und mit der Eintrittsöffnung des Spektrometers
gekoppelt und dazu bestimmt ist, die Informationen, die es ermöglichen,
ein konfokales räumliches
Bild zu erzeugen, über
die Ferne zu befördern.
-
So kann die zweite Konfokalitätsöffnung auf die
optische Faser projiziert werden, die die Informationen weiterleitet.
Es muss nun die Phase des Abtastens weitergeleitet oder kontrolliert
werden, um die Synchronisierung der Deflektoren sicher zu stellen.
-
Die Erfindung wird mit Hilfe von
nicht einschränkenden,
unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen darin dargestellten
Beispielen besser verständlich.
Es zeigen:
-
1 ein
Gesamtschema einer ersten Ausführungsart
einer Vorrichtung zur spektrometrischen optischen Abbildung gemäß der Endung
und ihre Verwendung;
-
2 eine
erste Ausführungsart
der ersten Deflektoreinheit der Vorrichtung zur optischen Abbildung
nach 1,
-
3 eine
zweite reflektive Ausführungsart der
ersten Deflektoreinheit der Vorrichtung zur optischen Abbildung
nach 1,
-
4 in
vereinfachter Perspektive den Deflektor der ersten Deflektoreinheit
nach 3,
-
5 in
Vorderansicht den Deflektor der ersten Deflektoreinheit nach 3,
-
6 in
Seitenansicht den Deflektor der ersten Deflektoreinheit nach 3,
-
7 eine
dritte Ausführungsart
der ersten Deflektoreinheit der Vorrichtung nach 1, und
-
8 eine
zweite Ausführungsart
einer erfindungsgemäßen Vorrichtung
zur spektrometrischen optischen Abbildung.
-
Eine erfindungsgemäße Vorrichtung
zur spektrometrischen optischen Abbildung umfasst ein System zur
mikroskopischen Beleuchtung 1 und ein Spektrometer 2.
Das System zur mikroskopischen Beleuchtung 1 umfasst eine
Erregungsquelle, wie beispielsweise einen Laser 10, der
mit einer ersten Konfokalitätsöffnung,
wie beispielsweise einem hinsichtlich Größe und Position einstellbaren
Loch, verbunden ist. Das System 1 umfasst auch ein Objektiv eines
Mikroskops 1 1, zu dem ein von dem Laser 10 ausgesendeter
Laserstrahl nach Raumfilterung durch die Öffnung 15, Reflexion
auf einem teilweise reflektierenden Separator 12 und Reflexion
auf einem flachen Spiegel 13 gerichtet ist. Das System 1 umfasst
auch eine erste Deflektoreinheit 31, die es ermöglicht,
ein Muster 3 in einer, zwei oder drei Dimensionen abzutasten.
-
Das System 1 verfügt auch über ein
zweites optisches System, das einen von dem Muster 3 entsendeten
Strahl führt,
der von dem Objektiv des Mikroskops 1 1 gesammelt und von
dem Separator 12 zu dem Spektrometer 2 übertragen
wird. Dieses zweite optische System umfasst beispielsweise eine konvergierende
Optik 14.
-
Das Spektrometer 2 ist ein
Mehrkanalspektrometer, das mit einem zweidimensionalen Detektor 23 ausgestattet
ist. Meistens ist der zweidimensionale Detektor mit Bearbeitungsmitteln
verbunden, die die Signale, die er erzeugt, in Echtzeit sammeln
und davon eine Darstellung entweder in Echtzeit oder auf verzögerte Weise
liefern können.
In der Folge dieses Textes werden im Allgemeinen mit Detektor der
photoelektrische Wandler selbst und die zugehörigen Bearbeitungsmittel bezeichnet.
Das Spektrometer umfasst eine Eintrittsöffnung 25, die eine
zweite Konfokalitätsöffnung,
die mit der ersten Konfokalitätsöffnung 15 gekoppelt
ist, darstellt. Als Konfokalitätsöffnung wird
ein Loch mit geringer, annähernd
kreisförmiger
Abmessung bezeichnet, das in einer Abdeckung ausgebildet ist. Die
zweite Konfokalitätsöffnung 25 spielt
somit hier in dem Spektrometer die üblicherweise einem Schlitz
in den Netzspektrometern gewidmete Rolle.
-
Das Spektrometer umfasst auch eine
erste Optik 21 oder einen Kollimator und eine Spektraldispergiereinrichtung 22 in
Form eines Diffraktionsnetzes. Ein solches Diffraktionsnetz ist
aus zueinander parallelen Linien gebildet. Ein paralleler, auf dem Netz
eintreffender Lichtstrahl wird in der Dispersionsebene dispergiert,
die zu den Linien des Netzes senkrecht steht. Das Spektrometer ist
mit einer zweiten Deflektoreinheit 32 ausgestattet, die
in dem Beispiel zwischen der Eintrittsöffnung 25 und der
Optik 21 angeordnet ist.
-
Im Betrieb wird ein Laserstrahl,
der von dem Laser 10 entsendet und von der Deflektoreinheit 31 abgelenkt
wird, zu dem Muster 3 gesendet. Dieser Strahl tastet eine
Linie 40 des Musters 3 ab. Der Raman-Lichtfluss,
der nacheinander von jedem der Punkte dieser Linie 40 ausgebreitet
wird, wird von dem Objektiv des Mikroskops 11 gesammelt
und nach dem Durchgang durch die erste Deflektoreinheit 31 in
einem Eintrittspunkt der Spektraldispergiereinrichtung 22 fokalisiert.
-
Die zweite Deflektoreinheit 32,
die mit der ersten synchron geschaltet ist, erzeugt eine parallele Abtastung
zu den Linien des Netzes und richtet das Lichtspektrum 43,
das von jedem Punkt der abgetasteten Linie 40 kommt, auf
eine Linie des Detektors 23.
-
Auf diese Weise werden auf dem Detektor 23 vertikal
beispielsweise die Raumverteilung der Linie 40 (Linie 41)
und horizontal die Spektraldaten 43 (Linien 42)
erhalten.
-
Die zweite Deflektoreinheit 32 ist
in der Praxis derart eingestellt, daß ihre Deflexion auf dem Detektor 23 der
Vertikalabmessung dieses letztgenannten entspricht, und die erste
Deflektoreinheit 31, die mit der Deflektoreinheit 32 synchron
geschaltet ist, ist zwischen Null und einem Maximalwert, der von
dem Feld des Objektivs begrenzt ist, eingestellt (wobei der Wert
Null der Analyse eines Punktes entspricht).
-
Die erste Deflektoreinheit 31 umfasst
eine afokale Optik. Bei einer ersten Ausführungsart dieser afokalen Optik
(2) umfasst diese erste
Deflektoreinheit mit dem Bezugszeichen 31A einen refraktiven Deflektor 50,
der zwischen einer konvergierenden Linse 51 und einer divergierenden
Linse 52 angeordnet ist. Die Linsen 51 und 52 haben
jeweils zueinander ähnliche
Brennweiten. Die erste Deflektoreinheit 31A ist derart,
daß ein
eintreffender paralleler Lichtstrahl 55 in Form eines quasi
parallelen abgelenkten Strahls 56 austritt. Bei dieser
Ausführungsart
sind die Linsen 51 und 52 feststehend und der
Deflektor 50 erzeugt die gewünschten Deflexionen.
-
In einem Beispiel der ersten Deflektoreinheit 31,
die mit dem Bezugszeichen 31B (3) bezeichnet ist, umfasst diese einen
reflektiven Deflektor 60 und zwei sphärische Spiegel 61 und 62,
die beispielsweise im Vorbereich bzw. Nachbereich des Deflektors 60 angeordnet
sind. Die Deflektoreinheit 31B kann auch zwei flache Spiegel 63 und 64 umfassen, die
im Vorbereich bzw. Nachbereich der sphärischen Spiegel 61 und 62 angeordnet
sind. Die Einheit bildet eine afokale Optik in Verbindung mit dem
Deflektor 60 und ergibt somit einen parallelen Strahl 56 aus
einem parallelen Strahl 55 am Eingang.
-
Die Spiegel 61-64 sind feststehend,
während der
Deflektor 60 die gewünschte(n)
Abtastung(en) durchführt.
-
Vorzugsweise ist der Deflektor 60,
der beispielsweise einen flachen Spiegel 70 umfasst, um eine
erste Achse 71 drehbeweglich, wodurch eine Rasterabtastung
(d. h. parallel zu den Linien des Diffraktionsnetzes auf dem Mehrkanaldetektor 23)
möglich
ist, und um eine zweite Achse 72 drehbeweglich, wodurch
eine Linienabtastung (d. h. eine Abtastung senkrecht zu den Linien
des Diffraktionsnetzes auf dem Mehrkanaldetektor 23) möglich ist
(siehe 4). In einem
Ausführungsbeispiel
dieses Deflektors 60 (5 und 6) umfasst dieser einen Motor 73, der
den Spiegel 70 um die Achse 71 mit Hilfe einer Welle 74 drehbar
antreibt, und einen zweiten Motor 76, der den Spiegel 70 drehbar
um die zweite Achse 72, beispielsweise mit Hilfe von Kugeln 77 und 78, die
seitlich zum Spiegel 70 angeordnet sind, und einer elastischen
Rückstellvorrichtung
antreibt, die auf ein Teil 75 einwirkt, das über dem
Spiegel 70 angeordnet ist. Dieser Motor 76 ist
nun vorzugsweise ein Schrittmotor.
-
Während
der erste Deflektor eine zweidimensionale Abtastung des Objekts
gewährleistet,
ist der zweite Deflektor immer noch auf das Abtasten dieses Objekts
in einer Richtung, beispielsweise das Linienabtasten, synchron geschaltet.
Der Detektor erzeugt nun nacheinander die Spektralinformationen, die
von den verschiedenen Linien kommen. Diese Informationen werden
von einer angeschlossenen Bearbeitungseinheit eingeholt, die somit
in der Lage ist, die Informationen über das von den Punkten der
beiden Dimensionen des Musters ausgebreitete Spektrum in jeder gewünschten
Form darzustellen. Es ist verständlich,
daß jedes
Mittel, das die Abtastung des Objekts in drei Dimensionen ermöglicht,
auf analoge Weise eingesetzt werden kann. Das Abtasten der Querebene
ist vorstehend in Form von Linie und Raster beschrieben, was vorzuziehen
ist, aber jedes beliebige Abtasten der gesamten Ebene ermöglicht die Herstellung
eines Bildes.
-
Bei einer weiteren Ausführungsart
der ersten Deflektoreinheit 31, die mit 31C (7) bezeichnet ist, umfasst
diese einen refraktiven Deflektor 80, der zwischen zwei
Linsen 81 und 82, die konvergierend bzw. divergierend
arbeiten, angeordnet ist. Die Linsen 81 und 82 und
der Deflektor 80 sind entlang einer Achse 84 ausgerichtet,
und der Deflektor 80 ist um eine Drehachse 85 senkrecht
zur Ausrichtungsachse 84 drehbeweglich, um eine Linienabtastung
zu ermöglichen.
Ferner umfasst die erste Deflektoreinheit 31C Translationsmittel 83 für die Linsen 81 und 82 entlang
einer Richtung 86 parallel zur Drehachse 85 für die Rasterabtastung,
die wesentlich langsamer als die Linienabtastung ist (die Liniendeflexionsfrequenz
ist ein ganzes Vielfaches der Rasterdeflexionsfrequenz). Diese erste
Deflektoreinheit 31C bildet somit ein kompaktes afokales
System, das eine verringerte Anzahl von Komponenten umfasst und
einen parallelen Strahl 56 aus einem eintreffenden parallelen
Strahl 55 ergibt.
-
Bei einem Ausführungsbeispiel der ersten Deflektoreinheit
(nicht dargestellt), ist das Ausführungsbeispiel 31B der
ersten Deflektoreinheit auf ähnliche
Weise angepasst, indem die sphärischen Spiegel 61 und 62 beweglich
gestaltet sind, wodurch es möglich
ist, die Deflexionsbewegungen des Deflektors 60 nur auf
die Linienabtastung zu begrenzen.
-
Bei einer weiteren Ausführungsart
der Vorrichtung zur spektrometrischen optischen Abbildung (8), bei der identische oder ähnliche
Elemente mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet sind, umfasst
diese Vorrichtung ein konfokales mikroskopisches System 101 und
ein Spektrometer 102. Das Spektrometer 102 umfasst
außer
der Eintrittsöffnung 25 den
Kollimator 21, die Spektraldispergiereinrichtung 22 und
den Mehrkanaldetektor 23, eine optische Faser 26,
die den Kollimator 21 mit einer zweiten Linse 27 am
Ausgang der optischen Faser 26 koppelt, eine Membran 28 und
die zweite Deflektoreinheit 32, die zwischen der Spektraldispergiereinrichtung 22 und
dem Detektor 23 angeordnet ist.
-
So leitet die optische Faser, die
zwischen der ersten und der zweiten Deflektoreinheit angeordnet ist,
die Informationen, die es ermöglichen,
ein konfokales Spektralbild zu erstellen, über eine Entfernungsdistanz
weiter.
-
Die zweite Deflektoreinheit 32,
die mit der ersten Deflektoreinheit 31 synchron geschaltet
ist, ist im Nachbereich der Eintrittsöffnung 25 angeordnet. Bei
Ausführungsbeispielen
ist sie zwischen der Eintrittsöffnung 25 und
der Dispergiereinrichtung 22, auf der Dispergiereinrichtung 22 oder mit
ihr gleichgesetzt, zwischen der Dispergiereinrichtung 22 und dem
Detektor 23 oder auf dem Detektor 23 oder gleichgesetzt
mit diesem angeordnet.
-
Besonders vorteilhafte Ausführungsarten sind
durch die folgenden Kombinationen gegeben. Falls die zweite Deflektoreinheit 32 zwischen
der Eintrittsöffnung 25 und
der Dispergiereinrichtung 22 oder auf der Dispergiereinrichtung 22 oder
auch zwischen der Dispergiereinrichtung 22 und dem Detektor 23 oder
auf dem Detektor 23 angeordnet ist, wird die erste Ausführungsart
der Vorrichtung zur optischen Abbildung ( 1) gewählt, die es ermöglicht,
an einem kleineren Strahl als bei der zweiten Ausführungsart
(8) zu arbeiten, und
es werden vorzugsweise Deflektoren mit Reflexion (3 bis 6)
verwendet.
-
Falls die zweite Deflektoreinheit 32 mit
der Dispergiereinrichtung 22 zusammenfällt, werden beispielsweise
mechanische oder piezoelektrische Deflektoren verwendet. Die Winkeldeflexion
ist nun gering.