DE60026972T2

DE60026972T2 - Kristallvorrichtung für röntgenstrahlenoptik und zugehöriges herstellungsverfahren

Info

Publication number: DE60026972T2
Application number: DE60026972T
Authority: DE
Inventors: Zewu Schenectady CHEN
Original assignee: X Ray Optical Systems Inc
Current assignee: X Ray Optical Systems Inc
Priority date: 1999-01-21
Filing date: 2000-01-18
Publication date: 2006-12-21
Anticipated expiration: 2020-01-19
Also published as: IL144440A0; US6285506B1; DE60026972D1; KR100466323B1; EP1147522B1; KR20010102966A; JP2002535663A; CN1151511C; WO2000044004A1; CN1337047A; JP3955438B2; EP1147522A1; JP2006139276A; AU2508700A; ATE322076T1; IL144440A

Description

Information über verwandte Anmeldung
Diese Anmeldung beansprucht den Vorteil der vorläufigen US-Anmeldung Nr. 60/116,557, die am 21. Januar 1999 eingereicht wurde. Die vorläufige Anmeldung ist hiermit durch Bezugnahme in ihrer Gesamtheit hier aufgenommen.
Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft neue Verfahren zum Herstellen gekrümmter optischer Elemente, insbesondere Elemente extrem hoher Präzision zur Verwendung mit weichen und harten Röntgenstrahlen, ultravioletter, sichtbarer Strahlung und infraroter Strahlung, und die optischen Elemente, die durch diese Verfahren erlangt werden.
Hintergrund der Erfindung
Gekrümmte Oberflächen werden in einer Anzahl von Anwendungen einschließlich aber nicht beschränkt auf doppelt gekrümmte Kristalle für Röntgenanwendungen, Spiegel für Ringlasergyros und Substrate für dünne Einfach- oder Mehrschichtfilme verwendet.
Doppelt gekrümmte Kristalle sind dafür bekannt, als eine Fokussiervorrichtung für monochromatische Röntgenstrahlen oder eine wellenlängedispergierende Vorrichtung in einem Röntgenspektrometer verwendbar zu sein. Zum Beispiel kann ein toroidförmig gekrümmter Kristall eine Punkt-zu-Punkt-Fokussierung monochromatischer Röntgenstrahlen schaffen, und ein zu einem Ellipsoid gekrümmtes Kristall kann als eine breite Energie-Röntgendetektionsvorrichtung eingesetzt werden. Etwas vom Stand der Technik ist in der EP-A 0 200 261, die der US-A 4,780,899 entspricht, und der EP-A 0 339 713 beschrieben, die der US-A 4,949,367 entspricht. Diese Vorrichtungen, die Kristalle aufweisen, die auf ein glattes konkaves Substrat durch eine sehr dünne Klebstoffschicht geklebt sind, haben den Nachteil, dass die Glattheit der Kristallebenen stark durch Irregularitäten der Klebeschicht beeinflußt wird. Die Irregularitäten können aus dem Mangel der anfänglichen Gleichförmigkeit der Klebeschicht auf dem Substrat herrühren, oder können während der Befestigung des Kristalls passieren, selbst wenn die anfängliche Klebeschicht sehr gleichförmig ist. Ein weiterer Nachteil besteht darin, dass ein sorgfältig zubereitetes Substrat für jede gekrümmte Oberfläche erforderlich ist.
Somit ist die vorliegende Erfindung darauf gerichtet, preisgünstige optische Oberflächen hoher Qualität bereitzustellen, und Verfahren zu deren Herstellung.
Zusammenfassung der Erfindung
Die vorliegende Erfindung umfaßt gemäß einem Gesichtspunkt ein optisch gekrümmtes Element gemäß Anspruch 1.
Gemäß einem weiteren Gesichtspunkt ist ein Verfahren zur Herstellung eines optisch gekrümmten Elements unter Verwendung eines Formlings mit einer gekrümmten Oberfläche gemäß Anspruch 18 angegeben.
Gemäß noch einem weiteren Gesichtspunkt ist ein Verfahren zur Herstellung eines optisch gekrümmten Elements in Anspruch 29 offenbart.
Gemäß einer speziellen Ausführung der vorliegenden Erfindung wird die Vorrichtung hergestellt, indem eine optisch glatte flexible Schicht bereitgestellt wird, die flexible Schicht an eine Oberfläche eines Formlings mit einer gewünschten optischen doppelt gekrümmten Form befestigt wird, ein Klebstoff bereitgestellt wird (wobei das Verfahren zum Befestigen der optischen Oberfläche der flexiblen Schicht an den Formling verhindert, dass Klebstoff die Oberfläche des Formlings kontaktiert), eine Stützplatte an dem Klebstoff bereitgestellt wird und Druck auf zumindest eines von der Stützplatte und dem Formling ausgeübt wird, um den Klebstoff zusammenzupressen und die Oberfläche der flexiblen Schicht dauerhaft an die Oberfläche des Formlings anzupassen, und danach der Formling entfernt wird, um dadurch die Vorrichtung herzustellen.
Mit anderen Worten wird hier ein neues gekrümmtes optisches Element angegeben, und ein Verfahren zur Herstellung, das seine Form von einem wiederverwendbaren Formling erhält. Vorteilhafterweise muß die optische Oberfläche der flexiblen Schicht nicht exakt an eine Auflagefläche einer Stützplatte angepaßt werden. Ferner kann die Stützplatte von dem Rest des optischen Elements entfernbar sein. Somit kann eine preisgünstige optisch gekrümmte Oberfläche gemäß den Prinzipien der vorliegenden Erfindung hergestellt werden, d.h., weil ein wiederverwendbarer Formling eingesetzt wird, und weil die Stützplattenkrümmung und die Oberflächengüte nicht entscheidend sind. Die Verwendung einer relativ dicken Epoxidharzschicht ermöglicht es der flexiblen Schicht, sich an eine gekrümmte Oberfläche des Formlings anzupassen. Wie hier verwendet, bedeutet relativ dick, dass die Dicke der Klebstoffschicht größer als die Dicke der flexiblen Schicht ist, die die zu krümmende optische Oberfläche aufweist.
Gemäß der Erfindung kann die glatte optische Oberfläche in irgendeine vorausgewählte Geometrie gekrümmt werden, um eine von einer konvexen Oberfläche, einer konkaven Oberfläche, einer torischen Oberfläche, einer parabolischen Oberfläche, einer spherischen Oberfläche oder einer ellipsoidischen Oberfläche aufzuweisen. Die optische Oberfläche kann eine einfach gekrümmte Oberfläche oder eine doppelt gekrümmte Oberfläche sein. Wenn die flexible Schicht einen Kristall mit Beugungsebenen umfaßt, können die Beugungsebenen entweder zu der optischen Oberfläche der flexiblen Schicht geneigt oder parallel dazu sein.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen
Die oben beschriebenen Aufgaben, Vorteile und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden ebenso wie weitere aus der folgenden detaillierten Beschreibung bestimmter bevorzugter Ausführungen der Erfindung klarer, wenn sie in Zusammenhang mit den beigefügten Zeichnungen betrachtet werden, wobei:
1 eine einfache Form der Erfindung zeigt: eine flexible Schicht, die eine optisch glatte Oberfläche, eine dicke Epoxidharzschicht und eine flache Stützplatte umfaßt;
2 eine vertikale Schnittansicht von 1 zeigt;
3 eine ähnliche Vorrichtung mit einer flexiblen Schicht zeigt, die eine optisch glatte Oberfläche, eine dicke Epoxidharzschicht und eine konkave Stützplatte umfaßt;
4a eine vertikale Querschnittsansicht der Anfangsanordnung zur Herstellung der Vorrichtung zeigt;
4b die Konfiguration eines Herstellungsschritts zeigt, bei dem die flexible Schicht zum Teil angepaßt wird;
4c den Endschritt der Herstellung zeigt, bei dem die optisch glatte Oberfläche der flexiblen Schicht an die exakte Form des Formlings angepaßt wird;
5a eine flache Kristalllage mit flachen beugenden Atomebenen parallel zu der Kristalloberfläche zeigt;
5b eine flache Kristalllage mit flachen Beugungsebenen zeigt, die zu der Kristalloberfläche geneigt sind;
6a eine vertikale Querschnittsansicht einer Kristall vorrichtung zeigt, die den Kristallplattentyp in 5a verwendet;
6b eine vertikale Schnittansicht einer Kristallvorrichtung zeigt, die den Kristallplattentyp in 5b verwendet; und
7 eine torische Kristallvorrichtung mit Punkt-zu-Punkt-Fokussiereigenschaften zeigt.
Beste Art zur Ausführung der Erfindung
Eine gekrümmte optische Vorrichtung, wie in 1 gezeigt, umfaßt eine flexible Schicht 10, eine dicke Epoxidharzschicht 12 und eine Stützplatte 14. Die Struktur der Vorrichtung ist durch die vertikale Querschnittsansicht in 2 gezeigt. Bei dieser Vorrichtung hält und verstärkt die Epoxidharzschicht 12 die flexible Schicht 10 in eine ausgewählte Geometrie mit einer Krümmung. Vorzugsweise ist die Dicke der Epoxidharzschicht größer als 20 μm, und die Dicke der flexiblen Schicht größer als 5 μm. Überdies ist die Dicke der Epoxidharzschicht typischerweise dicker als die Dicke der flexiblen Schicht. Die flexible Schicht kann ein Material einer großen Vielfalt von Materialien haben, einschließlich: Glimmer, Si, Ge, Quarz, Kunststoff, Glas usw.. Die Epoxidharzschicht 12 kann pastenartig mit einer Viskosität in der Größenordnung von 10³ bis 10⁴ Poise und 30 bis 60 Minuten Abbindezeit sein. Die Stützplatte 14 kann ein festes Objekt sein, das gut mit dem Epoxidharz bindet. Die Oberfläche 18 der Stützplatte kann flach (2) oder, wie in 3 gezeigt, gekrümmt sein, und ihre exakte Form und Oberflächengüte sind nicht für die Form und Oberflächengüte der flexiblen Schicht entscheidend. Das ist im Gegensatz zu Standardherstellungspraktiken, die eine Stützplatte mit einer Oberfläche erfordern, die exakt die gewünschte Form der Vorrichtung ist. Ein weiterer Nachteil des Standardansatzes ist es, dass jede Vorrichtung eine speziell gefertigte Abstützplatte erfordert. Bei der hier offenbarten Erfindung ist eine speziell gefertigte Stützplatte nicht erforderlich.
Die Umgebung der flexiblen Schicht kann eine dünne Lage Schutzmaterial 16 sein, wie z.B. ein dünner Kunststoff, der um den Rand der flexiblen Schicht eingesetzt wird (siehe 2). Das Schutzmaterial schützt den Formling, so dass der Formling wiederverwendbar ist. Das Schutzmaterial würde für einen Formling nicht notwendig sein, der die exakte Größe hat oder kleiner als die flexible Schicht ist, oder für einen Opferformling.
Das Herstellungsverfahren der optischen gekrümmten Vorrichtung ist schematisch in den 4a, 4b und 4c dargestellt. Bei diesem Verfahren wird die optisch glatte flexible Schicht 10 hergestellt, und sie kann eine Lage mit einer glatten optischen Oberfläche oder eine Kristalllage mit Beugeebenen sein, die parallel zu der Oberfläche liegen (siehe 5a), oder mit Beugeebenen, die zu der Oberfläche geneigt sind (siehe 5b). Dann kann eine dünne Schicht Kunststoffschutzmaterial 16 (wie z.B. ein Band) um die Ränder der flexiblen Schicht befestigt werden, wie in 4a gezeigt, dann wird die flexible Schicht mit dem dünnen Kunststoffschutzmaterial 16 auf einen konvexen Formling 20 angeordnet, der eine optisch glatte Oberfläche 22 aufweist, die in eine vorausgewählte Geometrie gekrümmt ist. Das Epoxidharz 12 wird zubereitet und zwischen der flexiblen Schicht und der Stützplatte angeordnet. Das dünne Kunststoffschutzmaterial 16 hindert das Epoxidharz daran, die Formlingoberfläche 22 zu kontaktieren und an die Formlingoberfläche zu binden, was es ermöglicht, dass der Formling wiederverwendet werden kann. Eine feste Stützplatte 14 wird über dem Epoxidharz angeordnet, und ein Druck wird auf die Platte ausgeübt, um das Epoxidharz zusammenzupressen, um die optisch glatte Oberfläche der flexiblen Schicht an die Form der Oberfläche 22 anzupassen. Ein bevorzugtes Verfahren ist es, den Druck allmählich zu vergrößern, wenn sich die Viskosität des Epoxidharzes während des Polymerisationssschrittes erhöht. Während des Verarbeitens ist das Epoxidharz bei Raumtemperatur, und Druck wird mechanisch in der Zeitdauer von ungefähr 1 Stunde ausgeübt. Die Aushärtzeit für das Epoxidharz beträgt ungefähr 24 Stunden, und das Epoxidharz umfaßt ein wenig schrumpfendes Material, ungefähr 0,001''/inch.
Die dicke Epoxidharzschicht führt eine Strömung hoher Viskosität unter Druck aus, um die flexible Schicht an einen konvexen Formling anzupassen, der in eine vorausgewählte Geometrie gekrümmt ist. Die Epoxidharzschicht wird zwischen der flexiblen Schicht und einer Stützplatte angeordnet. Der Druck auf das Epoxidharz kann erzeugt werden, indem das Epoxidharz unter Verwendung der Stützplatte zusammengepreßt wird. Solange, wie die flexible Schicht einen guten Kontakt mit dem konvexen Formling unter dem Druck der Epoxidströmung hat, können Irregularitäten an der flexiblen Schicht eliminiert werden, und die Form der flexiblen Schicht kann beibehalten werden, wenn das Epoxidharz aushärtet. Das Epoxidharz hat bei einer bevorzugten Ausführung Eigenschaften eines niedrigen Schrumpfes, einer hohen Viskosität und einer hohen dimensionalen Stabilität nach dem Setzen. Alternativ können auch andere Materialien als Epoxidharze verwendet werden, die diese Kriterien erfüllen, um die flexible Schicht zu binden und anzupassen.
Der Formling einer bevorzugten Ausführung ist aus Glas oder einem anderen leichten transparenten Material gemacht, derart, dass der Kontakt zwischen der optisch glatten Oberfläche der flexiblen Schicht 24 und der konvexen Oberfläche 22 von der Bodenoberfläche 26 gesehen werden kann. Die Unebenheit der optischen Oberfläche der flexiblen Schicht bezüglich der konvexen Oberfläche 22 kann durch optische Interferenzränder unter Beleuchtung von Licht durch die Oberfläche 26 zum Vorschein gebracht werden. Wenn das Epoxidharz ausgehärtet ist, werden die flexible Schicht mit dem Epoxidharz und die Stützplatte aus dem Formling entfernt, und die fertige Vorrichtung wird gemacht. Der Formling kann diamantgeschliffen werden, um eine Formoberfläche hoher Qualität zu erhalten. Die Form der flexiblen Schicht wird durch die Form der Formoberfläche bestimmt. Die flexible Schicht wird permanent an die Krümmung des Formlings angepaßt. Der Formling kann wiederverwendet werden, um weitere optisch gekrümmte Vorrichtungen herzustellen.
Die Stützplatte wird sorgfältig zu dem Formling während des Herstellungsverfahrens ausgerichtet, was eine leichte Ausrichtung der Optik ermöglicht. Die Ränder der Stützplatte oder andere Positionierungspunkte an der Stützplatte werden verwendet, um die Mitte der Optik und/oder die Orientierung der Optik für das gekrümmte optische Element zu finden.
Die 6a und 6b zeigen die fertigen Konfigurationen von Vorrichtungen entsprechend der zwei Arten von Kristallplatten, die in 5a bzw. 5b beschrieben sind. Die Kristallvorrichtung hat Johann-Geometrie in der Ebene eines Rowland-Kreises, wenn die Kristallplatte, die zur Herstellung verwendet wird, eine von den in den 5a und 5b gezeigten Arten ist, und die Krümmung des Formlings in der entsprechenden Ebene 2R ist, wobei R der Radius des Rowland-Kreises ist. Die Beugeebenen des Kristalls können zu der Oberfläche des Kristalls parallel (6a) oder dazu geneigt (6b) sein. Eine Vorrichtung mit der Beugeebene, die zu der Kristalloberfläche geneigt ist, hat die Eigenschaft, dass die Quelle und das Bild asymmetrisch in der Rowland-Kreisebene bezüglich des Kristalls liegen.
Bei diesem Verfahren wird die letztendliche Krümmung der flexiblen Schicht durch die Krümmung der gekrümmten Oberfläche des Formlings 22 bestimmt, und nicht unmittelbar durch die Form der Abstützplatte. Daher sind die Krümmung und die Oberflächengüte der Abstützplatte nicht entscheidend für die Krümmung und Oberflächengüte der flexiblen Schicht. Die gekrümmte Oberfläche des Formlings 22 kann konvex oder konkav sein, und toroidförmige, spherische, ellipsoidförmige oder andere optische Oberflächen aufweisen, und somit kann die flexible Schicht in irgendeine dieser Geometrien gekrümmt sein.
Eine entscheidende Anwendung dieser Erfindung, bei der ein Kristall als die flexible Schicht verwendet wird, ist das Fokussieren einer bestimmten Wellenlänge von Röntgenstrahlen von einer kleiner Röntgenquelle. Diese Art von Vorrichtung mit Punkt-zu-Punkt-Fokussiereigenschaft ist in 7 dargestellt. Das Kristall bei dieser Vorrichtung hat eine Toroidform, und der Kristall erfüllt die Johann-Geometrie in der Ebene des Rowland-Kreises 28, und hat auch axiale Symmetrie um die Linie, die die Quelle S und das Bild I verbindet.
Eine Röntgenkristallvorrichtung gemäß der Erfindung bietet ein stark gleichförmiges doppelt gebogenes Kristall, wegen der Eliminierung der Effekte der Irregularität, die in einer dünnen Klebeschicht in dem Stand der Technik geschieht, und ergibt eine bessere Leistungsfähigkeit, wenn sie für Röntgenoptikanwendungen eingesetzt wird.
Während die Erfindung im Detail hier in Bezug auf bestimmte bevorzugte Ausführungen davon beschrieben wurde, können viele Modifikationen und Änderungen von den Fachleuten auf dem Gebiet gemacht werden. Dementsprechend ist es von den beigefügten Ansprüchen beabsichtigt, alle derartige Modifikationen und Änderungen als in den Schutzbereich der Erfindung fallend abzudecken.

Claims

Optisch gekrümmtes Element, umfassend: eine flexible optische Schicht (10), umfassend eine optische Oberfläche (24), wobei die optische Oberfläche (24) der optischen Schicht (10) eine gewünschte Krümmung aufweist, und die optische Schicht (10) eine Dicke y aufweist; und eine Klebstoffschicht (12), die auf einer von der optischen Oberfläche (24) verschiedenen Hauptoberfläche der optischen Schicht (10) angeordnet ist, um die optische Schicht an eine gewünschte Form anzupassen, wobei die Klebstoffschicht (12) eine minimale Dicke x aufweist, wobei x > y.
Optisch gekrümmtes Element nach Anspruch 1, bei dem die minimale Dicke x der Klebstoffschicht (12) größer als oder gleich 20 μm ist.
Optisch gekrümmtes Element nach Anspruch 1, bei dem die Dicke y der optischen Schicht (10) größer als oder gleich 5 μm ist.
Optisch gekrümmtes Element nach Anspruch 1, weiter umfassend eine Stützplatte (14) mit einer Auflagefläche (18), wobei die Klebstoffschicht (12) über der Auflagefläche (18) der Stützplatte (14) angeordnet ist.
Optisch gekrümmtes Element nach Anspruch 4, bei dem die Stützplatte (14) eine zylindrische Form umfasst.
Optisch gekrümmtes Element nach Anspruch 4, bei dem die Auflagefläche (18) der Stützplatte (14) eine Krümmung aufweist, wobei die Krümmung der Auflagefläche (18) anders als die Krümmung der optischen Oberfläche (24) der optischen Schicht (10) ist.
Optisch gekrümmtes Element nach Anspruch 4, bei dem die optische Oberfläche (24) der optischen Schicht (10) glatter als die Auflagefläche (18) der Stützplatte (14) ist.
Optisch gekrümmtes Element nach Anspruch 4, bei dem die Auflagefläche (18) der Stützplatte (14) eine ebene Oberfläche umfasst.
Optisch gekrümmtes Element nach Anspruch 4, bei dem die Klebstoffschicht (12) ein Epoxidmaterial umfasst, und bei dem das optisch gekrümmte Element weiter eine Schutzschicht (16) umfasst, die einen Rand der optischen Schicht (10) umgibt, derart, dass der Klebstoff zwischen der optischen Schicht (10), deren Rand von der Schutzschicht (16) umgeben wird, und der Auflagefläche (18) der Stützplatte (14) angeordnet ist.
Optisch gekrümmtes Element nach Anspruch 1, bei dem die optische Schicht (10) mit der optischen Oberfläche (24) eines von einem Glimmer-, Silicium-, Germanium-, Quarz-, Glas-, Kunststoff- oder einem kristallinen Material umfasst.
Optisch gekrümmtes Element nach Anspruch 1, bei dem die optische Oberfläche (24) der optischen Schicht (10) eine optisch glatte Oberfläche umfasst.
Optisch gekrümmtes Element nach Anspruch 1, bei dem die optische Oberfläche (24) mindestens eines von einer konvexen Oberfläche, konkaven Oberfläche, torischen Oberfläche, parabolischen Oberfläche, sphärischen Ober fläche oder einer ellipsoidischen Oberfläche umfasst.
Optisch gekrümmtes Element nach Anspruch 1, bei dem die optische Oberfläche (24) eines von einer einfach gekrümmten Oberfläche oder einer doppelt gekrümmten Oberfläche umfasst.
Optisch gekrümmtes Element nach Anspruch 1, bei dem die optische Schicht (10) einen Kristall mit Beugungsebenen umfasst, wobei die Beugungsebenen zur optischen Oberfläche (24) der optischen Schicht (10) entweder geneigt oder parallel sind.
Optisch gekrümmtes Element nach Anspruch 1, bei dem die optische Oberfläche (24) eine optische Röntgenoberfläche umfasst und das optisch gekrümmte Element ein gekrümmtes optisches Röntgenelement umfasst.
Optisch gekrümmtes Element nach Anspruch 1, bei dem die optische Schicht (10) eine gleichförmige Dicke aufweist, wobei die gleichförmige Dicke die Dicke y umfasst.
Optisch gekrümmtes Element nach Anspruch 1, bei dem die optische Schicht (10) einen Kristall umfasst, die Klebstoffschicht (12) ein Epoxidharz ist, und wobei: 0,1 mm ≤ x ≤ 1 mm und 10 μm ≤ y ≤ 50 μm.
Verfahren zur Fertigung eines optisch gekrümmten Elements unter Verwendung eines Formlings (20) mit einer gekrümmten Oberfläche (22), wobei das Verfahren umfasst: Bereitstellen einer flexiblen optischen Schicht (10) mit einer optischen Oberfläche (24); Bereitstellen einer Stützplatte (14) mit einer Auflagefläche (18), und Anordnen der flexiblen optischen Schicht (10) zwischen der Auflagefläche (18) der Stützplatte (14) und der gekrümmten Oberfläche (22) des Formlings (20); Aufbringen eines Klebstoff zwischen der flexiblen optischen Schicht (10) und der Auflagefläche (18) der Stützplatte (14); und Ausüben von Druck auf mindestens eines von der Stützplatte (14) und dem Formling (20), um den Klebstoff zusammenzupressen und die flexible optische Schicht (10) an die gekrümmte Oberfläche (22) des Formlings (20) anzupassen, wodurch das optisch gekrümmte Element erzeugt wird.
Verfahren nach Anspruch 18, bei dem die optische Oberfläche (24) der flexiblen optischen Schicht (10) vor der Ausübung des Drucks eines von einer ebenen oder gekrümmten Oberfläche umfasst.
Verfahren nach Anspruch 18, bei dem der Klebstoff ein Epoxidharz umfasst, und bei dem das Verfahren weiter umfasst: Härten des Epoxidharzes, während es unter Druck steht.
Verfahren nach Anspruch 20, weiter umfassend: Erhöhen des Drucks, der ausgeübt wird, wenn sich die Viskosität des Expoxidharzes während eines Härtens erhöht.
Verfahren nach Anspruch 18, bei dem der Formling (20) mit der gekrümmten Oberfläche (22) aus einem transparenten Material gefertigt wird, derart dass ein Zusammendrücken der optischen Oberfläche (24) der flexiblen optischen Schicht (10) durch den Formling (20) zu sehen ist.
Verfahren nach Anspruch 18, weiter umfassend: Entfernen des Formlings (20) aus Kontakt mit der optischen Oberfläche (24) der flexiblen optischen Schicht (10), und anschließendes Wiederverwenden des Formlings (20) in einem Fertigungsprozess für ein separates optisch gekrümmtes Element.
Verfahren nach Anspruch 18, weiter umfassend: Bereitstellen des Formlings (20) mit der gekrümmten Oberfläche (22), wobei die gekrümmte Oberfläche (22) auf eine präzise gewünschte Form geschliffen, mit Diamant drehbearbeitet oder poliert wird.
Verfahren nach Anspruch 18, bei dem die flexible optische Schicht (10) einen Flächeninhalt aufweist, der kleiner als ein Flächeninhalt der gekrümmten Oberfläche (22) des Formlings (20) ist, und wobei das Verfahren weiter umfasst: Bereitstellen eines Schutzmaterials (16) benachbart zu mindestens einem Rand der flexiblen optischen Schicht (10) vor Anordnen des Klebstoffs zwischen der flexiblen optischen Schicht (10) und der Auflagefläche (18) der Stützplatte (14), wobei das Schutzmaterial (16) so dimensioniert und konfiguriert wird, dass es verhindert, dass Klebstoff die gekrümmte Oberfläche (22) des Formlings (20) berührt.
Verfahren nach Anspruch 25, bei dem das Schutzmaterial (16) ein flexibles Bogenmaterial umfasst, wobei das flexible Bogenmaterial ein Band umfasst.
Verfahren nach Anspruch 18, bei dem das Anordnen des Klebstoffs mindestens eines umfasst von: Aufbringen des Klebstoffs auf die flexible optische Schicht (10) oder Aufbringen des Klebstoffs auf die Auflagefläche (18) der Stützplatte (14).
Verfahren nach Anspruch 18, weiter umfassend: Entfernen des Formlings (20) aus Kontakt mit der optischen Oberfläche (24) der flexiblen optischen Schicht (10), und nach Krümmen des Klebstoffs: Entfernen der Stützplatte (14) aus Kontakt mit dem Klebstoff, und anschließend: Wiederverwenden der Stützplatte (14) in einem Fertigungsprozess für ein separates optisch gekrümmtes Element.
Verfahren zur Fertigung eines optisch gekrümmten Elements, das Strahlung einer gewünschten Wellenlänge beugen kann, wobei das Verfahren umfasst: Bereitstellen einer Stützplatte (14) mit einer Auflagefläche (18); Bereitstellen einer über der Auflagefläche (18) der Stützplatte (14) angeordneten Klebstoffschicht (12), wobei die Klebstoffschicht (12) eine minimale Dicke x aufweist; und Bereitstellen einer über der Klebstoffschicht (12) angeordneten flexiblen optischen Schicht (10), wobei die optische Schicht (10) eine optische Oberfläche (24) umfasst, und Anpassen der optischen Oberfläche (24) der optischen Schicht (10) an eine gewünschte Krümmung, wobei die optische Schicht (10) eine Dicke y aufweist, wobei x > y.
Verfahren nach Anspruch 29, weiter umfassend: Entfernen der Stützplatte (14) aus Kontakt mit der Klebstoffschicht (12), nachdem die optische Schicht (10) über der Klebstoffschicht (12) bereitgestellt wurde, wobei die optische Oberfläche (24) der optischen Schicht (10) an die gewünschte Krümmung angepasst wurde.