DE59902219D1 - Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von substraten im vakuum - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von substraten im vakuum

Info

Publication number
DE59902219D1
DE59902219D1 DE59902219T DE59902219T DE59902219D1 DE 59902219 D1 DE59902219 D1 DE 59902219D1 DE 59902219 T DE59902219 T DE 59902219T DE 59902219 T DE59902219 T DE 59902219T DE 59902219 D1 DE59902219 D1 DE 59902219D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
vacuum
coating substrates
substrates
coating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE59902219T
Other languages
English (en)
Inventor
Hans-Joachim Scheibe
Carl-Friedrich Meyer
Bernd Schultrich
Holger Ziegele
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Original Assignee
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV filed Critical Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority claimed from PCT/EP1999/006129 external-priority patent/WO2000012775A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE59902219D1 publication Critical patent/DE59902219D1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
DE59902219T 1998-08-26 1999-08-20 Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von substraten im vakuum Expired - Lifetime DE59902219D1 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19838824 1998-08-26
DE19850217A DE19850217C1 (de) 1998-08-26 1998-10-31 Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten im Vakuum
PCT/EP1999/006129 WO2000012775A1 (de) 1998-08-26 1999-08-20 Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von substraten im vakuum

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE59902219D1 true DE59902219D1 (de) 2002-09-05

Family

ID=7878802

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19850217A Expired - Fee Related DE19850217C1 (de) 1998-08-26 1998-10-31 Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten im Vakuum
DE59902219T Expired - Lifetime DE59902219D1 (de) 1998-08-26 1999-08-20 Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von substraten im vakuum

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19850217A Expired - Fee Related DE19850217C1 (de) 1998-08-26 1998-10-31 Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten im Vakuum

Country Status (1)

Country Link
DE (2) DE19850217C1 (de)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10121367A1 (de) * 2001-05-02 2002-11-07 Agrodyn Hochspannungstechnik G Verfahren zum Vorbehandeln von porösem Material
DE10244312A1 (de) * 2002-09-23 2004-04-01 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Aktuator mit Nanotubes, insbesondere Carbon-Nanotubes, Schichten aus Kohlenstoff-Nanotubes sowie ihre Herstellung und Anwendung
DE102007019982B4 (de) 2007-04-23 2011-02-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Anordnung zur Ausbildung von Beschichtungen auf Substraten im Vakuum
DE102007019981B4 (de) 2007-04-23 2011-04-14 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Anode für die Bildung eines Plasmas durch Ausbildung elektrischer Bogenentladungen
DE102007049649B4 (de) 2007-10-10 2011-12-08 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung und Verfahren zur Ausbildung von Beschichtungen auf Substraten innerhalb von Vakuumkammern
DE102011003254A1 (de) 2011-01-27 2012-08-02 Federal-Mogul Burscheid Gmbh Gleitelement, insbesondere Kolbenring, mit einer Beschichtung sowie Verfahren zur Herstellung eines Gleitelements
US8911868B2 (en) 2011-08-17 2014-12-16 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. Coating based on diamond-like carbon
DE102017205417A1 (de) 2017-03-30 2018-10-04 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Ausbildung einer mit poly- oder einkristallinem Diamant gebildeten Schicht

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4987007A (en) * 1988-04-18 1991-01-22 Board Of Regents, The University Of Texas System Method and apparatus for producing a layer of material from a laser ion source
DE19506513C2 (de) * 1995-02-24 1996-12-05 Fraunhofer Ges Forschung Einrichtung zur reaktiven Beschichtung

Also Published As

Publication number Publication date
DE19850217C1 (de) 2000-03-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60033613D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bearbeitung von Substraten
DE60018598D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur beschichtung eines substrates
DE69014845T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von Empfängersubstraten in einer geschlossenen planetaren Anordnung.
DE69528217D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bearbeitung von Substraten
DE10085115T1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats im Vakuum
DE69903970T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur vorbeugung von kleinen lechern im zone-laminats
DE60034032D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur kontrolle von lotpastenschichten auf substraten
DE69936274D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Filmabscheidung
DE69927111D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Polieren von Substraten
DE69910543D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur handhabung von bohrlochrohren
DE60009712D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur sprühbeschichtung
DE59702419D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Sputterbeschichtung
DE69838996D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur zentralisierten Anrufverarbeitung
DE69519851D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von langgestreckten gegenständen
DE69803160T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestückung von elektronischen bauteilen
DE59712656D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur kathodenzerstäubung
DE69903893T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Abgabe von Poliermittel -Aufschlämmung im mechanischen Polieren von Substraten
DE59901173D1 (de) Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten in einer Vakuumkammer
DE59811693D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur schichtdicken- insbesondere bondschichtdickenregelung
DE69815163D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung von Titanschichten
DE69838942D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur automatischen beschichtung
DE60110510D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Substratbeschichtung
DE69717805D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von porösen keramischen Beschichtungen, insbesondere wärmedämmende Beschichtungen, auf metallische Substrate
DE59913661D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten eines ebenen Substrates
DE59900963D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum bearbeiten von substraten

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition