DE59604959D1 - Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der schichtdicke, der leitfähigkeit und/oder der schichtkontaktgüte von auf substraten aufgetragenen schichten - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der schichtdicke, der leitfähigkeit und/oder der schichtkontaktgüte von auf substraten aufgetragenen schichtenInfo
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Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19500883 | 1995-01-13 | ||
DE19520788A DE19520788C2 (de) | 1995-01-13 | 1995-06-07 | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Schichtdicke, der Leitfähigkeit und/oder der Schichtkontaktgüte von auf Substraten aufgetragenen Schichten |
PCT/DE1996/000071 WO1996021857A1 (de) | 1995-01-13 | 1996-01-11 | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der schichtdicke, der leitfähigkeit und/oder der schichtkontaktgüte von auf substraten aufgetragenen schichten |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE59604959D1 true DE59604959D1 (de) | 2000-05-18 |
Family
ID=7751443
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19520788A Expired - Fee Related DE19520788C2 (de) | 1995-01-13 | 1995-06-07 | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Schichtdicke, der Leitfähigkeit und/oder der Schichtkontaktgüte von auf Substraten aufgetragenen Schichten |
DE59604959T Expired - Fee Related DE59604959D1 (de) | 1995-01-13 | 1996-01-11 | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der schichtdicke, der leitfähigkeit und/oder der schichtkontaktgüte von auf substraten aufgetragenen schichten |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19520788A Expired - Fee Related DE19520788C2 (de) | 1995-01-13 | 1995-06-07 | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Schichtdicke, der Leitfähigkeit und/oder der Schichtkontaktgüte von auf Substraten aufgetragenen Schichten |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (2) | DE19520788C2 (de) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19749984C2 (de) | 1997-11-12 | 2000-05-25 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und Vorrichtungen zum photothermischen Untersuchen eines Prüfkörpers |
DE19837889C1 (de) | 1998-08-20 | 2000-12-21 | Siemens Ag | Thermowellen-Meßverfahren |
DE19907804C1 (de) * | 1999-02-24 | 2000-03-09 | Phototherm Dr Petry Gmbh | Vorrichtung zur Bestimmung von thermosensitiven und optosensitiven Eigenschaften von Prüfkörpern |
SE518278C2 (sv) * | 1999-10-19 | 2002-09-17 | Abb Flexible Automation As | Förfarande samt anordning för mätning av parameter hos lackskikt |
DE10001516B4 (de) * | 2000-01-15 | 2014-05-08 | Alstom Technology Ltd. | Zerstörungsfreies Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke einer metallischen Schutzschicht auf einem metallischen Grundmaterial |
DE10013173C2 (de) * | 2000-03-17 | 2002-02-28 | Wagner Internat Ag Altstaetten | Verfahren und Vorrichtung zur photothermischen Analyse einer Materialschicht, insbesondere zur Schichtdickenmessung |
DE10013172C2 (de) * | 2000-03-17 | 2002-05-16 | Wagner Internat Ag Altstaetten | Verfahren und Vorrichtung zur photothermischen Analyse einer Materialschicht, insbesondere zur Schichtdickenmessung |
US7409313B2 (en) | 2005-12-16 | 2008-08-05 | General Electric Company | Method and apparatus for nondestructive evaluation of insulative coating |
FR2897687B1 (fr) * | 2006-02-17 | 2008-09-26 | Commissariat Energie Atomique | Procede et dispositif de caracterisation, par pyrometrie active, d'un materiau en couche mince dispose sur un substrat |
DE102008017838A1 (de) | 2008-04-08 | 2009-12-10 | Dürr Systems GmbH | Lackieranlage mit einer Messzelle zur Schichtdickenmessung |
CN104180780B (zh) * | 2014-09-05 | 2017-01-25 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于红外热像的高温液体容器壁厚监测系统及方法 |
FR3034328B1 (fr) * | 2015-03-30 | 2020-02-07 | Compagnie Plastic Omnium | Procede de peinture d'une piece de vehicule automobile avec controle d'epaisseur par radiometrie photothermique |
EP3086087B1 (de) * | 2015-04-20 | 2021-07-07 | OptiSense GmbH & Co. KG | Fotothermisches messgerät sowie verfahren zur fotothermischen messung |
CN107941850B (zh) * | 2017-11-21 | 2020-08-04 | 宁波英飞迈材料科技有限公司 | 一种快速测量薄膜材料热容的装置和方法 |
DE102019104260A1 (de) * | 2019-02-20 | 2020-08-20 | Stefan Böttger | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Schichtdicke einer auf ein Substrat aufgebrachten Schicht |
DE102020133703B3 (de) | 2020-12-16 | 2022-01-13 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein | Verfahren zur berührungslosen Bestimmung der Schichtdicke eines nassen Lacks |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3631652C2 (de) * | 1986-09-17 | 1994-05-19 | Siemens Ag | Meßanordnung zur berührungslosen Dickenbestimmung |
DE3939877A1 (de) * | 1989-12-01 | 1991-06-06 | Siemens Ag | Messanordnung zur beruehrungslosen bestimmung der dicke und/oder thermischen eigenschaften von folien und duennen oberflaechenbeschichtungen |
DE4114672A1 (de) * | 1991-05-06 | 1992-11-12 | Hoechst Ag | Verfahren und messanordnung zur beruehrungslosen on-line messung |
-
1995
- 1995-06-07 DE DE19520788A patent/DE19520788C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-01-11 DE DE59604959T patent/DE59604959D1/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19520788A1 (de) | 1996-07-18 |
DE19520788C2 (de) | 2001-08-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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8363 | Opposition against the patent | ||
8366 | Restricted maintained after opposition proceedings | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |