DE519584C - Verfahren zum UEberziehen von Gegenstaenden - Google Patents

Verfahren zum UEberziehen von Gegenstaenden

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    • C23C14/351Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering using a magnetic field in close vicinity to the substrate

Description

Es ist bekannt, i. daß Elektrizitätsteilchen durch ein elektrisches Feld in Richtung desselben in Bewegung gesetzt werden, wobei die Geschwindigkeit der Teilchen von der Stärke des Feldes und der Größe der Luftleere des Raumes, in dem die Bewegung stattfindet, abhängig ist, 2. daß Elektrizitätsteilchen, sobald sie hierbei auf ein im Winkel zu ihnen stehendes genügend starkes magneto tisches Kraftfeld stoßen, durch dieses in Richtung der magnetischen Kraftlinien abgelenkt werden.
Zweck der Erfindung ist, dies Verhalten elektrischer Teilchen auf elektrisch aufgeladene Staubteilchen irgendeiner Materie auszudehnen, die Staubteilchen also, soweit sie noch nicht geladen sind, in einem elektrostatischen Feld aufzuladen, sie in Richtung des Feldes in Bewegung zu setzen und durch ao ein schief zu der Bewegungsrichtung stehendes magnetisches Feld in Richtung der magnetischen Kraftlinien abzulenken, so daß sie sich in diesem ansammeln und sich auf in ihm befindliche Gegenstände niederschlagen. Um die Ablenkung in der gewünschten Weise zu ermöglichen und um eine genügend große Geschwindigkeit der Staubteilchen herbeizuführen, müssen die Vorgänge in mehr oder weniger großer Luftleere vor sich gehen. Auch ist es nötig, daß die Staubteilchen möglichst klein sind. Das Verfahren eignet sich also besonders für kathoden- oder im Lichtbogen zerstäubtes Metall, aber auch für genügend verkleinerte Staubteilchen anderer Materie.
Der Erfindungsgedanke und die Vorgänge sind durch die Abb. 1 und 2 näher gekennzeichnet.
In Abb. ι ist A ein Behälter, in dem das Metall zerstäubt wird, B ein Behälter, der mit einem genügend starken elektrischen Feld durchsetzt ist, C ein magnetisches Feld, d eine Luftpumpe zum Evakuieren, b und c entgegengesetzte Magnetpole, e und f Hochspannungselektroden, g zu überziehende Gegenstände.
In Abb. 2 stellt C die ungefähre Gestalt des magnetischen Feldes dar, die ihm gegeben werden muß.
Die im Behälter^ zerstäubten Metalleilchen dringen in den Raum B ein, werden hier, soweit nötig, durch die von e nach / gehenden Elektroden aufgeladen, gehen ebenfalls in Richtung nach / und werden, sobald sie in das schief zu ihrer Richtung stehende magnetische Feld eintreten, von diesem in Richtung nach dem Magnetpol b mit gleicher Geschwindigkeit abgelenkt, wobei sie auf die mit ihnen zu überziehenden Gegenstände auftreffen. Diese Gegenstände können mit der Elektrode / leitend verbunden sein.
Das magnetische Feld muß den Behälter B und einen zur Unterbringung größerer Gegenstände etwa nötigen Aufbau desselben in ihrer ganzen Ausdehnung durchsetzen, und es wird so gestaltet, daß es nur einen beschränkten Raum des Behälters ausfüllt, damit die Dichte der Staubteilchen möglichst groß wird (Abb. 2).

Claims (1)

  1. Patentanspruch:
    Verfahren zum Überziehen von Gegenständen mit Stoffen, die sich in Staubform in einem unter Unterdruck stehenden Behälter befinden, der mit einem elekfrischen Feld durchsetzt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Staubteilchen durch ein zu ihrer Bewegungsrichtung schief stehendes magnetisches Feld aus ihrer Richtung so abgelenkt werden, daß sie auf den zu überziehenden Gegenstand auftreffen.
    Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
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