DE4438616A1 - Phasenverschiebungsmaske und Verfahren zu ihrer Herstellung - Google Patents
Phasenverschiebungsmaske und Verfahren zu ihrer HerstellungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Phasenverschiebungs
maske sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung, und insbeson
dere eine Halbton-Phasenverschiebungsmaske, die es erlaubt,
daß lediglich ein vorbestimmter Teil eines zur Belichtung
vorgesehenen Lichts durch sie hindurchtreten kann, sowie ein
Verfahren zur Herstellung dieser Maske.
Halbleitervorrichtungen sollen möglichst leicht, dünn, kurz
und klein ausgelegt sein, was dazu geführt hat, daß die Größe
ihrer Bauelemente, wie beispielsweise Transistoren und Kon
densatoren ebenfalls klein sein müssen, weshalb ihre Muster
zunehmend fein und genau sein müssen.
Üblicherweise wird bei einer lichtemittierenden oder licht
durchlässigen Maske, die bei einem lichtemittierenden oder
Lichtausstrahlprozeß zur Ausbildung eines Musters verwendet
wird, ein nichtdurchlässiger Film, wie beispielsweise Chrom
auf einem Quarzsubstrat niedergeschlagen, und das nichtdurch
lässige Muster wird durch Ionenstrahlätzen gebildet. Es ist
jedoch schwierig, durch die vorstehend genannte lichtemittie
rende Maske ein feines Muster auszubilden, das feiner ist als
das Lichtauflösungsvermögen, und es ist unmöglich, ein feines
Muster feiner als 0,5 µm durch herkömmliche Photoresistfilme
und mit zur Zeit üblichen Lichtemissionsanlagen zu erzeugen.
Höchstintegrierte Elemente von mehr als 64 DRAM erfordern au
ßerdem ein feineres Muster von weniger als 0,4 µm oder ein
feines Muster mit einer Feinheit größer als 0,4 µm, wobei die
Ausbildung dieses Musters durch eine Phasenverschiebungsmaske
realisiert wird, welche die Ausbildung eines Photoresistfilms
hoher Auflösung ermöglicht.
Fig. 1 zeigt einen Querschnitt einer herkömmlichen Halbton-
Phasenverschiebungsmaske 10, die üblicherweise weit verbrei
tet verwendet wird, weil der Herstellungsprozeß der Maske re
lativ einfach und die Auflösung der Maske hoch ist, und weil
ihre Herstellungsredundanz hoch ist. Beim Herstellen einer
Halbton-Phasenverschiebungsmaske 10 werden ein dünner Chrom
film 13 und ein Phasenverschiebungsfilm 15 zunächst auf ein
lichtdurchlässiges oder transparentes Substrat 11, wie bei
spielsweise ein Quarzsubstrat, laminiert, und ein nicht ge
zeigtes Photoresistfilmmuster wird darauf ausgebildet. Dar
aufhin wird ein Muster ausgebildet, in dem vorbestimmte einem
Licht ausgesetzte Bereiche des Chromfilms 13 und des Phasen
verschiebungsfilms 15 geätzt werden. Zuletzt wird der Photo
resistfilm erneut entfernt.
In diesem Fall ist es wichtig, daß der dünne Chromfilm 13
derart ausgebildet wird, daß lediglich 5 bis 15% des einfal
lenden Lichts durch ihn hindurchtreten kann, und es ist
schwierig, seinen erforderlichen Lichtdurchlaßgrad zu erzie
len. Wenn der Grad 10% höher ist als der vorbestimmte Grad,
wird ein unerwünschtes Muster ausgebildet.
Fig. 2 zeigt ein Diagramm der Verteilung von Licht, das durch
die vorstehend genannte Halbton-Phasenverschiebungsmaske hin
durchgetreten ist, wenn der Durchlaß 10% höher ist als ein
vorbestimmter Grad, wobei ein Abschnitt 1, in dem die Inten
sität des Lichts hoch ist, ein Bereich ist, der dem Licht
ausgesetzt ist, wobei ein anderer Abschnitt 5, in dem die In
tensität des Lichts niedrig ist, ein anderer, dem Licht nicht
ausgesetzter Bereich ist, und wobei ein weiterer Abschnitt 3,
in dem die Lichtintensität Null ist, ein Grenzbereich zwi
schen den dem Licht ausgesetzten und nicht ausgesetzten Be
reichen ist.
Wenn der auf das Substrat 12 aufgetragene Photoresistfilm 17
dem Licht in Übereinstimmung mit der in Fig. 2 gezeigten
Lichtverteilung ausgesetzt und daraufhin entwickelt wird,
wird das in Fig. 3 gezeigte Photoresistfilmmuster gebildet.
Das bedeutet, daß der auf einen dem Licht nicht ausgesetzten
Bereich aufgetragene Photoresistfilm einem Licht niederer
Energie ausgesetzt ist, und daß der Photoresistfilm in dem
dem Licht ausgesetzten Bereich dadurch bei dem Entwicklungs
prozeß entfernt wird.
Da der Photoresistfilm des dem Licht nicht ausgesetzten Be
reichs, wie vorstehend beschrieben, um oder mit einer be
stimmten Dicke entfernt wird, kann ein ernsthaftes Problem
beim Fortsetzen des Prozesses zur Herstellung der höchstinte
grierten Halbleitervorrichtung auftreten.
Bei der Herstellung der herkömmlichen Halbton-Phasenverschie
bungsmaske wird der Dampfniederschlag des Chroms durchge
führt, um den Lichtdurchlaßgrad des Chromfilms einzustellen,
woraufhin das Chrom durch oder mit einer bestimmten Dicke ge
ätzt wird. Es ist jedoch sehr schwierig, den gewünschten
Lichtdurchlaßgrad mit diesem Verfahren zu erzeugen.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine
Halbton-Phasenverschiebungsmaske zu schaffen, die auch bei
großer Feinheit die Ausbildung eines präzisen Musters er
laubt, ohne daß das vorstehend genannte, beim Stand der Tech
nik auftretende Problem auftritt, demnach der Photoresistfilm
eines dem Licht nicht ausgesetzten Bereichs um eine bestimmte
Dicke entfernt wird. Außerdem soll durch die Erfindung ein
einfaches und zuverlässiges Verfahren zur Herstellung dieser
Halbton-Phasenverschiebungsmaske geschaffen werden.
Diese Aufgabe wird hinsichtlich der Halbton-Phasenverschie
bungsmaske durch die Merkmale des Anspruchs 1 und hinsicht
lich des Verfahrens zur Herstellung dieser Maske durch die
Merkmale des Anspruchs 4 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen
der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Demnach schafft die Erfindung eine Halbton-Phasenverschie
bungsmaske mit einem unteren nichtdurchlässigen Film und ei
nem Phasenverschiebungsfilm, der auf einem vorbestimmten, dem
Licht nicht ausgesetzten Bereich auf dem lichtdurchlässigen
Substrat niedergeschlagen ist, wobei der untere nichtdurch
lässige Film einen teilweisen Lichtdurchlaßgrad hat bzw.
teilweise lichtdurchlässig ist, und einem oberen nichtdurch
lässigen Film, der auf dem Phasenverschiebungsfilm ausgebil
det ist.
Ferner schafft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung
einer Halbton-Phasenverschiebungsmaske, umfassend die Schrit
te: Niederschlagen eines unteren nichtdurchlässigen Films und
eines Phasenverschiebungsfilms auf einer Seite eines licht
durchlässigen Substrats, wobei der nichtdurchlässige Film ei
nen teilweisen Lichtdurchlaßgrad hat bzw. teilweise licht
durchlässig ist, und Ätzen des Phasenverschiebungsfilms und
des nichtdurchlässigen Films an einem dem Licht ausgesetzten
Bereich, um das lichtdurchlässige Substrat freizulegen; Auf
tragen eines Negativ-Photoresistfilms auf dem Phasenverschie
bungsfilm, dem Licht Aussetzen des Photoresistfilms durch
Emittieren des Lichts von einer unteren Fläche des licht
durchlässigen Substrats, Entfernen des dem Licht nicht ausge
setzten Photoresistfilms durch den Entwicklungsprozeß, Aus
bilden eines photoresistfilmmusters durch Ätzen der gesamten
Oberfläche des Photoresistfilms, der in dem dem Licht ausge
setzten Bereich verbleibt, von dem ein Teil ein Phasenver
schiebungsfilmmuster in der Nähe des dem Licht ausgesetzten
Bereichs überlappt, Vakuumniederschlagen eines oberen nicht
durchlässigen Films auf dem Photoresistfilmmuster und dem
Phasenverschiebungsfilm, und Entfernen des Photoresistfilmmu
sters und des nichtdurchlässigen Films darauf, um ein oberes
nichtdurchlässiges Filmmuster auszubilden, das einen dem
Licht ausgesetzten Bereich hat, der größer ist als derjenige
des Phasenverschiebungsfilms.
Mit anderen Worten wird durch die Erfindung ein Chromfilm ge
ringer Dicke am oberen Abschnitt der herkömmlichen Halbton-
Phasenverschiebungsmaske vorgesehen.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnungen bei
spielhaft näher erläutert; es zeigt
Fig. 1 eine Querschnittsansicht einer herkömmlichen Halbton-
Phasenverschiebungsmaske,
Fig. 2 die Verteilung der Intensität des Lichts, das durch
die Halbton-Phasenverschiebungsmaske von Fig. 1 hindurchge
lassen wird,
Fig. 3 eine Querschnittsansicht des Photoresistmusters, das
durch die Belichtungs- und Entwicklungsprozesse unter Verwen
dung der Phasenverschiebungsmaske von Fig. 1 erzeugt wird,
Fig. 4 eine Querschnittsansicht einer Halbton-Phasenverschie
bungsmaske gemäß der vorliegenden Erfindung und
Fig. 5A bis 5E Querschnittsansichten, die jeweils die aufein
anderfolgenden Schritte beim Verfahren zur Herstellung einer
Halbton-Phasenverschiebungsmaske gemäß der vorliegenden Er
findung zeigen.
Der Stand der Technik ist einleitend anhand der Fig. 1 bis 3
erläutert worden.
Fig. 4 zeigt eine Querschnittsansicht einer Halbton-Phasen
verschiebungsmaske 20 gemäß der vorliegenden Erfindung. Ein
Chromfilm 23 und ein Phasenverschiebungsfilmmuster 25 werden
auf einem lichtdurchlässigen Substrat, wie beispielsweise ei
nem Quarz 21, wie bei einer herkömmlichen Maske ausgebildet,
und auf der Oberseite des Phasenverschiebungsfilms 25 wird
ein Chromfilm 24 ausgebildet, wobei der Chromfilm an der
Grenzfläche zwischen den dem Licht ausgesetzten und dem Licht
nicht ausgesetzten Bereichen nicht ausgebildet wird. In die
sem Fall ist die Weite oder Breite eines Bereichs, auf dem
der Chromfilm 24 nicht ausgebildet wird, derart bemessen, daß
die Intensität des Lichts durch die Inteferenz zwischen einem
phasenverschobenen Licht, das durch den Phasenverschiebungs
film 25 durchgeschickt wird, und einem Licht, das durch das
Quarzsubstrat 21 durchgeschickt wird, minimiert.
Der Chromfilm 23 wird mit einer Dicke derart ausgebildet, daß
5 bis 15% einfallenden Lichts bei der Emission des Lichts
durch diesen hindurchtreten kann, und der Chromfilm 24 wird
mit einer Dicke derart ausgebildet, daß das Licht vollständig
isoliert wird, beispielsweise mit einer Dicke größer als 100 Å.
Ein anderes nichtdurchlässiges Material kann anstelle des
Chromfilms verwendet werden.
Für den Phasenverschiebungsfilm 25 wird ein herkömmliches Ma
terial verwendet.
Die Fig. 5A bis 5E zeigen Querschnittsansichten zum jeweili
gen Erläutern der aufeinanderfolgenden Schritte eines Prozes
ses zur Herstellung einer Halbton-Phasenverschiebungsmaske
gemäß der vorliegenden Erfindung.
Zunächst werden ein Chromfilm 23 und ein Phasenverschiebungs
film 25 auf ein lichtdurchlässiges Quarzsubstrat 21 lami
niert, woraufhin der Chromfilm 23 und der Phasenverschie
bungsfilm 25 in einem dem Licht ausgesetzten Bereich durch
eine bekannte Technik derart geätzt werden, daß ein Muster
ausgebildet wird, wie beispielsweise in 5A gezeigt.
Daraufhin wird ein Negativ-Photoresistfilm 27 auf das Quarz
substrat 21 und den Phasenverschiebungsfilm 25 aufgetragen,
und der Photoresistfilm 27 wird dem Licht ausgesetzt, das von
der Rückseite des Quarzsubstrats 21 durch das Quarzsubstrat
21, den Chromfilm 23 und den Phasenverschiebungsfilm 25 ein
fällt, wie in Fig. 5B gezeigt.
Durch diese Art der Lichtemission wird der Negativ-Photore
sistfilm 27 in Übereinstimmung mit einer in Fig. 2 gezeigten
Lichtverteilung dem Licht ausgesetzt.
Der dem Licht nicht ausgesetzte Photoresistfilm 27 wird in
dem nachfolgenden Entwicklungsprozeß entfernt, und der Photo
resistfilm 27 mit einer bestimmten Dicke verbleibt nicht nur
in einem dem Licht ausgesetzten Bereich, sondern außerdem in
dem anderen dem Licht nicht ausgesetzten Bereich.
Daraufhin wird der Photoresistfilm 27 durch ein Gesamtober
flächenätzverfahren geätzt, bis der Phasenverschiebungsfilm
25 freiliegt, so daß lediglich der Photoresistfilm 27 in dem
dem Licht ausgesetzten Bereich verbleibt, und ein Photore
sistfilmmuster 28, auf dem der Photoresistfilm 27 überlappend
vorgesehen ist, wird an der Grenzfläche zwischen den dem
Licht ausgesetzten und dem Licht nicht ausgesetzten Bereichen
ausgebildet, und daraufhin wird ein Chromfilm 24, wie in Fig.
5D gezeigt, (darauf) dampfniedergeschlagen. In diesem Fall
kann der Chromfilm 24 nicht leicht auf den Seitenwänden des
Photoresistfilmmusters 28 dampfniedergeschlagen werden.
Daraufhin wird das Photoresistfilmmuster 28 durch Naßätzen
entfernt, und der darauf vorliegende Chromfilm 24 wird selbst
ebenfalls entsprechend entfernt, wie in Fig. 5E gezeigt. Die
Halbton-Phasenverschiebungsmaske 10 ist damit vollständig er
zeugt, wobei das Quarzsubstrat 21 in dem dem Licht ausgesetz
ten Bereich freiliegt und der Phasenverschiebungsfilm 25 an
der Grenzfläche zwischen den dem Licht ausgesetzten und dem
Licht nicht ausgesetzten Bereichen freiliegt.
Gemäß der vorstehend beschriebenen Halbton-Phasenverschie
bungsmaske gemäß der vorliegenden Erfindung kann die Dicke
des unter dem Phasenverschiebungsfilm ausgebildeten Chrom
films frei reguliert werden, wobei ein Vorteil darin besteht,
daß der Prozeß zur Herstellung der Halbton-Phasenverschie
bungsmaske einfach ist. Ein weiterer Vorteil besteht darin,
daß die Ausbeute und die Zuverlässigkeit der Halbleitervor
richtung verbessert werden, weil aufgrund der Minimierung der
Lichtintensität am Kantenbereich des dem Licht ausgesetzten
Bereichs ein präzises Muster erzeugt werden kann.
Claims (5)
1. Halbton-Phasenverschiebungsmaske mit
einem unteren nichtdurchlässigen Film und einem Phasen verschiebungsfilm, der auf einem vorbestimmten, dem Licht nicht ausgesetzten Bereich auf dem lichtdurchlässigen Substrat niedergeschlagen ist, wobei der untere nicht durchlässige Film einen teilweisen Lichtdurchlaßgrad hat, und
einem oberen nichtdurchlässigen Film, der auf dem Phasen verschiebungsfilm ausgebildet ist.
einem unteren nichtdurchlässigen Film und einem Phasen verschiebungsfilm, der auf einem vorbestimmten, dem Licht nicht ausgesetzten Bereich auf dem lichtdurchlässigen Substrat niedergeschlagen ist, wobei der untere nicht durchlässige Film einen teilweisen Lichtdurchlaßgrad hat, und
einem oberen nichtdurchlässigen Film, der auf dem Phasen verschiebungsfilm ausgebildet ist.
2. Halbton-Phasenverschiebungsmaske nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß der obere nichtdurchlässige Film der
art ausgebildet ist, daß ein Abschnitt des Phasenver
schiebungsfilms an einer Grenzfläche zwischen dem Licht
ausgesetzten und dem Licht nicht ausgesetzten Bereichen
freiliegt.
3. Halbton-Phasenverschiebungsmaske nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß der nichtdurchlässige Film aus einem
Chromfilm oder einem Aluminiumfilm besteht.
4. Verfahren zur Herstellung einer Halbton-Phasenverschie
bungsmaske, umfassend die Schritte:
Niederschlagen eines unteren nichtdurchlässigen Films und eines Phasenverschiebungsfilms auf einer Seite eines lichtdurchlässigen Substrats, wobei der nichtdurchlässige Film einen teilweisen Lichtdurchlaßgrad hat, und Ätzen des Phasenverschiebungsfilms und des nichtdurchlässigen Films an einem dem Licht ausgesetzten Bereich, um das lichtdurchlässige Substrat freizulegen;
Auftragen eines Negativ-Photoresistfilms auf dem Phasen verschiebungsfilm,
dem Licht Aussetzen des Photoresistfilms durch Emittieren des Lichts von einer unteren Fläche des lichtdurchlässi gen Substrats,
Entfernen des dem Licht nicht ausgesetzten Photoresist films durch den Entwicklungsprozeß,
Ausbilden eines photoempfindlichen Films durch Ätzen der gesamten Oberfläche des Photoresistfilms, der in dem dem Licht ausgesetzten Bereich verbleibt, von dem ein Teil ein Phasenverschiebungsfilmmuster in der Nähe des dem Licht ausgesetzten Bereichs überlappt,
Vakuumniederschlagen eines oberen nichtdurchlässigen Films auf dem Photoresistfilmmuster und dem Phasenver schiebungsfilm, und
Entfernen des Photoresistfilmmusters und des nichtdurch lässigen Films darauf, um ein oberes nichtdurchlässiges Filmmuster auszubilden, das einen dem Licht ausgesetzten Bereich hat, der größer ist als derjenige des Phasenver schiebungsfilms.
Niederschlagen eines unteren nichtdurchlässigen Films und eines Phasenverschiebungsfilms auf einer Seite eines lichtdurchlässigen Substrats, wobei der nichtdurchlässige Film einen teilweisen Lichtdurchlaßgrad hat, und Ätzen des Phasenverschiebungsfilms und des nichtdurchlässigen Films an einem dem Licht ausgesetzten Bereich, um das lichtdurchlässige Substrat freizulegen;
Auftragen eines Negativ-Photoresistfilms auf dem Phasen verschiebungsfilm,
dem Licht Aussetzen des Photoresistfilms durch Emittieren des Lichts von einer unteren Fläche des lichtdurchlässi gen Substrats,
Entfernen des dem Licht nicht ausgesetzten Photoresist films durch den Entwicklungsprozeß,
Ausbilden eines photoempfindlichen Films durch Ätzen der gesamten Oberfläche des Photoresistfilms, der in dem dem Licht ausgesetzten Bereich verbleibt, von dem ein Teil ein Phasenverschiebungsfilmmuster in der Nähe des dem Licht ausgesetzten Bereichs überlappt,
Vakuumniederschlagen eines oberen nichtdurchlässigen Films auf dem Photoresistfilmmuster und dem Phasenver schiebungsfilm, und
Entfernen des Photoresistfilmmusters und des nichtdurch lässigen Films darauf, um ein oberes nichtdurchlässiges Filmmuster auszubilden, das einen dem Licht ausgesetzten Bereich hat, der größer ist als derjenige des Phasenver schiebungsfilms.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
der nichtdurchlässige Film aus Chrom oder Aluminium be
steht.
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