DE4423288B4 - Anordnung zum Messen der Dicke einer transparenten Beschichtung auf einem Druckerzeugnis - Google Patents

Anordnung zum Messen der Dicke einer transparenten Beschichtung auf einem Druckerzeugnis Download PDF

Info

Publication number
DE4423288B4
DE4423288B4 DE19944423288 DE4423288A DE4423288B4 DE 4423288 B4 DE4423288 B4 DE 4423288B4 DE 19944423288 DE19944423288 DE 19944423288 DE 4423288 A DE4423288 A DE 4423288A DE 4423288 B4 DE4423288 B4 DE 4423288B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring
reflected
beam splitter
printed product
beam path
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19944423288
Other languages
English (en)
Other versions
DE4423288A1 (de
Inventor
Norbert Dr. Freyer
Roland Kaplan
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Heidelberger Druckmaschinen AG
Original Assignee
Heidelberger Druckmaschinen AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Heidelberger Druckmaschinen AG filed Critical Heidelberger Druckmaschinen AG
Priority to DE19944423288 priority Critical patent/DE4423288B4/de
Publication of DE4423288A1 publication Critical patent/DE4423288A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4423288B4 publication Critical patent/DE4423288B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0616Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
    • G01B11/0641Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of polarization

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Anordnung zum Messen der Dicke einer transparenten Beschichtung auf einem Druckerzeugnis,
– bestehend aus einer Beleuchtungsvorrichtung, die einen schräg einfallenden Meßlichtstrahl auf einen definierten Meßort auf der Oberfläche des Druckerzeugnisses richtet,
– und bestehend aus einer opto-elektronischen Meßeinrichtung für den Abstand der an der Beschichtung und an der Oberfläche des Druckerzeugnisses reflektierten Meßlichtstrahlen,
dadurch gekennzeichnet,
– daß im einfallenden Meßlichtstrahlengang (5) ein linearer Polarisator (8) vorgesehen ist, dessen Polarisationsrichtung (9) im wesentlichen senkrecht zur Einfallsebene steht,
– und daß im reflektierten Meßlichtstrahlengang (10, 13) ein Strahlenteiler (16) vorgesehen ist, wobei in einem ersten, am Strahlenteiler (16) reflektierten Teilstrahlengang (17, 18, 20, 21) ein Ablenkspiegel (19) und ein erster Analysator (24) und in einem zweiten, durch den Strahlenteiler (16) hindurchgehenden Teilstrahlengang (22) ein zweiter Analysator (25) installiert sind, wobei die optischen Achsen des am Ablenkspiegel umgelenkten Teilstrahlenganges (20, 21) und des zweiten Teilstrahlenganges (22) parallel zueinander...

Description

  • Die Erfindung dient zum Messen der Dicke einer transparenten Beschichtung auf einem Druckerzeugnis, insbesondere zur Messung der Dicke einer Lackschicht auf einem diffus reflektierenden Bedruckstoff.
  • Bekannte, nach dem optischen Triangulationsverfahren arbeitende Anordnungen für die Messung der Dicke transparenter Schichten enthalten eine opto-elektronische Meßeinrichtung für den Abstand der an der Beschichtung und an der Oberfläche des Maßobjektes reflektierten Meßlichtstrahlen. Die Meßlichtstrahlen gehen von einer Beleuchtungsvorrichtung aus, wobei mit Hilfe eines optischen Systems ein Punkt auf die Oberfläche des Meßobjektes abgebildet wird. Der Meßlichtstrahl wird sowohl an der Oberseite der Beschichtung als auch an der Oberfläche des beschichteten Materials reflektiert bzw. gestreut.
  • Ein weiteres optisches System bildet die Reflexe auf einem opto-elektronischen Empfänger ab. Mittels einer Auswerteeinrichtung kann die Lage der Reflexe in der Empfängerebene bestimmt werden und die Dicke der Beschichtung errechnet werden.
  • Nachteilig bei den bekannten Anordnungen ist, daß die Reflexe nur einen geringen Abstand in der Empfängerebene aufweisen, so daß die Reflexe nicht oder nur sehr ungenau separiert werden können. Bei Bedruckstoffen mit hoher Rauhigkeit entsteht weiterhin der Nachteil, daß sich in dem auf der Bedruckstoffoberfläche reflektierten Licht eine Vielzahl solcher Reflexe überlagern, die die Auswertung noch erschweren oder unmöglich machen.
  • Zur Schichtdickenmessung sind des weiteren interferometrische Verfahren und Einrichtungen bekannt, die polarisiertes Messlicht verwenden und die die Intensität im an der Oberfläche eines Messobjektes reflektierten Messlicht auswerten ( DE 31 36 887 A1 ).
  • In EP 02 49 235 A2 werden im reflektierten Messlichtstrahleingang Strahlenteilereinrichtungen verwendet, die genau drei Lichtstrahlen mit derselbelben räumlichen Verteilung wie der reflektierte Messlichtstrahl erzeugen. In den drei Lichtstrahlen angeordnete Analysatoren bewirken eine Extrahierung von wenigstens drei linear polarisierten Lichtkomponenten mit jeweils verschiedenen Polarisationswinkeln, deren Intensitäten mit Hilfe von separat angeordneten fotoelektrischen Umwandlungseinrichtungen und einer Recheneinrichtung zur Messung der Schichtdicke ausgewertet werden.
  • Derartige Messvorrichtungen sind nicht ohne weiteres für Schichtdickenmessungen nach dem Triangulationsmessverfahren anwendbar, wobei keine besonderen Vorkehrungen getroffen sind, die Schichtdicke speziell auf diffus reflektierenden Oberflächen möglichst genau zu messen.
  • In der EP 467 763 A2 ist ein Sensor für die Dicke eines Feuchtmittelfilms auf einer Druckplatte beschrieben, bei dem das Licht einer schmalbandigen Lichtquelle in p- und s-polarisierte Strahlen zerhackt und unter Zwischenschaltung einer planparallelen Platte auf den Feuchtmittelfilm gerichtet wird. Das vom Feuchtmittelfilm reflektierte Licht wird direkt auf einen Fotoempfänger abgebildet.
  • Um die Dicke einer Glasplatte zu bestimmen, ist gemäß der EP 248 552 A1 eine Anordnung vorgesehen, bei der ein Messlichtstrahl auf die Glasplatte gerichtet ist und die an der Vorder- und Rückseite reflektierte Strahlen mit einem CCD-Empfänger ausgewertet werden. Die Intensitätsmaxima der reflektierten Strahlen bilden sich nur dann scharf aus, wenn beide Oberflächen gute Reflektionseigenschaften besitzen und die Glasdicke ausreichend groß ist.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, eine Anordnung zum Messen der Dicke einer transparenten Beschichtung auf einem Druckerzeugnis zu ermitteln, die mit einem einfachen Aufbau eine hohe Messgenauigkeit ermöglicht.
  • Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Anordnung mit den Merkmalen nach Anspruch 1 gelöst.
  • Die im reflektierten Meßlichtstrahlengang angeordneten optischen Elemente bewirken eine Unterscheidung und eine Separation der Reflexe von der Oberfläche der Beschichtung und der Oberfläche des Bedruckstoffes. Die Messung der Lage der Reflexe wird nicht mehr durch Nebenreflexe verfälscht, die von der im Vergleich zur Beschichtung rauhen Oberfläche des Bedruckstoffes ausgehen.
  • Über eine Auswertung der Intensitäten der Teilstrahlen kann die Auswertung der Lage der Reflexe weitgehend unabhängig von der Größe der Reflexe gemacht werden, indem die Verschiebung der Lage eines Maximums durch einen benachbarten Reflex berechnet und die Position entsprechend korrigiert wird. Die Lage der Reflexe wird für einen definierten Abstand der Meßanordnung von der Oberfläche des Bedruckstoffes ausgewertet. Der Abstand kann angezeigt und/oder bei einer Veränderung selbsttätig nachgestellt werden. Wenn neben der Auswertung der Intensitäten der reflektierten Meßlichtstrahlen auch die Intensität im einfallenden Meßlichtstrahl ausgewertet wird, dann kann gleichzeitig einen Glanzmessung vorgenommen werden. Die Anordnung kann direkt in einer drucktechnischen Maschine eingesetzt werden, wobei eine örtliche Mittelung in den Schwankungen der Schichtdicke über die Steuerung der Integrationszeit eines CCD-Empfängers erfolgen kann. Bei einer Anordnung, die außerhalb der drucktechnischen Maschine eingesetzt ist, kann besagte Mittelung durch eine scannende Abtastung der Oberfläche des Druckerzeugnisses erreicht werden, wobei Teile der optoelektronischen Empfangseinrichtung eine Abtastbewegung ausführen.
  • Die Erfindung soll anhand eines Ausführungsbeispieles noch näher erläutert werden:
    In der Zeichnung ist ein Schema einer Anordnung nach der Erfindung dargestellt.
  • Die Figur zeigt einen Bedruckstoff 1, dessen streuende Oberfläche 2 mit einer Lackschicht 3 versehen ist, deren Dicke d ermittelt werden soll. Eine Lichtquelle 4 erzeugt einen Meßlichtstrahl 5 mit Hilfe einer Blende 6, einer Beleuchtungsoptik 7 und einem Polarisator 8. Als Lichtquelle 4 ist eine Weißlichtquelle oder ein Laser im IR-Bereich einsetzbar. Die Lichtquelle 4 kann Licht nur einer oder mehrerer Wellenlängen erzeugen. Am Ausgang des linearen Polarisators 8 entsteht ein Meßlichtstrahl 5 mit einer Polarisationsrichtung 9, die im wesentlichen senkrecht zur Einfallsebene des Meßlichtstrahls 5 auf der Oberfläche 2 der Lackschicht 3 steht. Auf den Polarisator 8 kann verzichtet werden, wenn der Einfallswinkel des Meßlichtstrahles nahe dem Brewster-Winkel liegt. In diesem Fall erfolgt die Polarisation an der Oberfläche 2 der Lackschicht 3. Die Lichtquelle 4 kann mit einer Einrichtung zur Steuerung der Lichtintensität verbunden sein. Ein Teilstrahl 10 des Meßlichtstrahles 5 wird an der Oberfläche der Lackschicht 3 reflektiert und ein weiterer Teilstrahl 11 in die Lackschicht 3 gebrochen.
  • Die Polarisationsrichtung 9 der Teilstrahlen 10 und 11 ist gleich der Polarisationsrichtung 9. Der Teilstrahl 11 wird an der Oberfläche 2 des Bedruckstoffes 1 diffus reflektiert. Der reflektierte Teilstrahl 12 und ein aus der Lackschicht 3 austretender Teilstrahl 13 enthalten Licht der Polarisationsrichtung 9 und einer dazu senkrecht stehenden Polarisationsrichtung 14. Die Teilstrahlen 10, 13 werden mit einem optischen System 15 auf einen Strahlenteiler 16 geführt. Als Strahlenteiler 16 ist ein halbdurchlässiger Spiegel vorgesehen, der einen Teil des Teilstrahles 13 hindurchläßt und den Teilstrahl 10 und einen Teil der Teilstrahles 13 reflektiert. Die am Strahlenteiler 16 reflektierten Teilstrahlen 17, 18 werden mittels eines weiteren Spiegels 19 nochmals abgelenkt, so daß die am Spiegel 19 reflektierten Teilstrahlen 20, 21 und der durch den Strahlenteiler 16 hindurchgehende Teilstrahl 22 parallel verlaufen. Im Strahlengang der Teilstrahlen 20, 21 ist optional zur Angleichung der Intensitäten ein Graufilter 23 und ein erster Analysator 24 vorgesehen. Im Strahlengang des Teilstrahls 22 ist ein zweiter Analysator 25 angeordnet, dessen Polarisationsrichtung senkrecht zu der des Analysators 24 steht. Die Polarisationsrichtung des ersten Analysators 24 steht senkrecht zur Einfallsebene des Messlichtstrahles 5.
  • Vorteilhaft kann die optische Anordnung für den Teilstrahl 22 nach dem Strahlteiler 16 so gewählt werden, dass die optischen Weglängen der Strahlen 20, 21 und 16 gleich sind, damit eine einheitliche Bildebene für beide optische Wege der Strahlen entsteht. Dies kann z. B. durch zusätzliche Spiegel erfolgen.
  • Nach Durchgang der Teilstrahlen 20, 21, 22 durch die Analysatoren 24, 25 trifft das Licht auf Fotoempfänger, die in einer Empfängerebene 26 angeordnet sind. Als Fotoempfänger sind alle bekannten Empfänger einsetzbar, die eine Messung des Abstandes der Intensitätsmaxima oder Schwerpunkte der Teilstrahlen 20, 21 und des Teilstrahls 22 in der Empfängerebene 26 gestatten. Als Beispiele seien CCD-Zeilenempfänger oder Quadrantensensoren genannt. Es kann genau ein Empfänger zum Detektieren der Intensitätsmaxima vorgesehen sein oder zwei Empfänger, die einen definierten Abstand zueinander aufweisen und deren Empfindlichkeit an die jeweilige Intensität anpassbar ist.
  • Wie mit einer derartigen Anordnung die Messung der Dicke der Lackschicht 3 vorgenommen werden kann, soll nachstehend beschrieben werden:
    Mit Hilfe der Blende 6 und der Beleuchtungsoptik 7, die zur Verkleinerung der nötigen Empfängerfläche eine Zylinderlinse enthalten kann, wird der Meßlichtstrahl 5 in Form einer schmalen Linie auf die Oberfläche der Lackschicht 3 projiziert. Die Linie liegt senkrecht zur Einfallsebene des Meßlichtstrahles 5. Die Linie bewirkt eine Mittelung der durch die Rauhigkeit der Oberfläche 2 des Bedruckstoffes 1 bedingten Schwankung der Schichtdicke d und Lage der Reflexe in der Empfängerebene 22, ohne daß senkrecht dazu die Auflösung der Reflexe beeinträchtigt wird. Bei Messung der Schichtdicke d wird die Tatsache ausgenutzt, daß der Meßlichtstrahl 5 von der Oberfläche der Lackschicht 3 und der Oberfläche 2 des Bedruckstoffes 1 in unterschiedlicher Art und Weise gestreut bzw. reflektiert wird. Falls der Meßlichtstrahl 5 unter dem Brewster-Winkel auf die Oberfläche 2 fällt, dann wird von der glatten, reflektierenden Oberfläche der Lackschicht nur ein Teilstrahl 10 mit einer Polarisationsrichtung parallel zur Oberfläche 2 bzw. senkrecht zur Einfallsebene des Meßlichtstrahles 5 reflektiert, während der Teilstrahl 11 bei der Streuung an der Oberfläche 2 des Bedruckstoffes 1 seine Polarisation verliert, so daß in den Teilstrahlen 12 und 13 alle Polarisationsrichtungen enthalten sind. Das auf die Empfänger fallende Licht enthält somit nach Durchtritt durch die Analysatoren 24, 25 in den Teilstrahlen 17, 18 bzw. 20, 21 Licht mit einer Polarisationsrichtung 9 senkrecht zur Einfallsebene des Meßlichtstrahles 5, dessen überwiegender, in Kurve 27 dargestellter Anteil, von der Oberfläche der Lackschicht 3 ausgeht und dessen geringerer, in Kurve 28 dargestellter Anteil, aus dem Streulicht von der rauhen Oberfläche 2 des Bedruckstoffes 1 stammt. Die Kurven 27, 28 zeigen die Lichtintensitäten in den Teilstrahlen 20, 21, wobei die gestrichelt dargestellte Kurve 29 die Summe der Lichtintensitäten aus den Teilstrahlen 20, 21b beinhaltet.
  • Die Kalibrierung der Anordnung erfolgt durch Messung auf einer nicht lackierten Fläche des Bedruckstoffes 1. Die Auswertung der Abstände der Intensitätsmaxima in den Teilstrahlen 21, 22 ergibt einen Referenzabstand (X0). Bei Messung mit einer Lackschicht d verschiebt sich das Intensitätsmaximum im Strahlengang nach dem ersten Analysator 24 so, daß sich ein Abstand (X0 + K·d) ergibt. Dabei ist k eine Konstante, die aus der Geometrie der optischen Elemente und der Brechzahl der Lackschicht 3 ermittelt werden kann. Aus dem Referenzabstand (X0) und dem Wert (S = X0 + K·d) läßt sich mittels einer nicht dargestellten Auswerteeinrichtung die Dicke d bestimmen zu: d = 1k (S – X0).
  • Das Graufilter 23 kann dazu verwendet werden, die starken Intensitätsunterschiede in den Teilstrahlengängen 20, 21 zu dem Licht im Teilstrahlengang 22 auszugleichen, wodurch sich eine verbesserte Meßdynamik ergibt. Auch Einrichtungen zur Beleuchtungsregelung und zur Integrationszeitsteuerung von CCD-Empfängerelementen können zur Verbesserung der Dynamik verwendet werden.
  • 1
    Bedruckstoff
    2
    Oberfläche
    3
    Lackschicht
    d
    Dicke
    4
    Lichtquelle
    5
    Meßlichtstrahl
    6
    Blende
    7
    Beleuchtunsoptik
    8
    Polarisator
    9
    Polarisationsrichtung
    10
    Teilstrahl
    11, 12, 13
    Teilstrahl
    14
    Polarisationsrichtung
    15
    optisches System
    16
    Strahlenteiler
    17, 18
    Teilstrahlen
    19
    Spiegel
    20, 21, 22
    Teilstrahlen
    23
    Graufilter
    24, 25
    Analysator
    26
    Empfängerebene
    27, 28, 29
    Kurven

Claims (4)

  1. Anordnung zum Messen der Dicke einer transparenten Beschichtung auf einem Druckerzeugnis, – bestehend aus einer Beleuchtungsvorrichtung, die einen schräg einfallenden Meßlichtstrahl auf einen definierten Meßort auf der Oberfläche des Druckerzeugnisses richtet, – und bestehend aus einer opto-elektronischen Meßeinrichtung für den Abstand der an der Beschichtung und an der Oberfläche des Druckerzeugnisses reflektierten Meßlichtstrahlen, dadurch gekennzeichnet, – daß im einfallenden Meßlichtstrahlengang (5) ein linearer Polarisator (8) vorgesehen ist, dessen Polarisationsrichtung (9) im wesentlichen senkrecht zur Einfallsebene steht, – und daß im reflektierten Meßlichtstrahlengang (10, 13) ein Strahlenteiler (16) vorgesehen ist, wobei in einem ersten, am Strahlenteiler (16) reflektierten Teilstrahlengang (17, 18, 20, 21) ein Ablenkspiegel (19) und ein erster Analysator (24) und in einem zweiten, durch den Strahlenteiler (16) hindurchgehenden Teilstrahlengang (22) ein zweiter Analysator (25) installiert sind, wobei die optischen Achsen des am Ablenkspiegel umgelenkten Teilstrahlenganges (20, 21) und des zweiten Teilstrahlenganges (22) parallel zueinander verlaufen, die Polarisationsrichtungen der Analysatoren (24, 25) senkrecht aufeinander stehen und die Polarisationsrichtung des ersten Analysators (24) senkrecht zur Einfallsebene des Meßlichtstrahles (5) liegt.
  2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Strahlenteiler (16) ein halbdurchlässiger ebener Spiegel vorgesehen ist.
  3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Strahlenteiler (16) ein Polarisationsstrahlenteiler, z. B. in Form eines doppelbrechenden Prismas vorgesehen ist.
  4. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Weglängen im reflektierten Meßlichtstrahlengang (10, 17, 20; 11, 12, 13, 18, 21) im wesentlichen gleich sind.
DE19944423288 1994-07-02 1994-07-02 Anordnung zum Messen der Dicke einer transparenten Beschichtung auf einem Druckerzeugnis Expired - Fee Related DE4423288B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19944423288 DE4423288B4 (de) 1994-07-02 1994-07-02 Anordnung zum Messen der Dicke einer transparenten Beschichtung auf einem Druckerzeugnis

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19944423288 DE4423288B4 (de) 1994-07-02 1994-07-02 Anordnung zum Messen der Dicke einer transparenten Beschichtung auf einem Druckerzeugnis

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4423288A1 DE4423288A1 (de) 1996-01-04
DE4423288B4 true DE4423288B4 (de) 2006-01-26

Family

ID=6522135

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19944423288 Expired - Fee Related DE4423288B4 (de) 1994-07-02 1994-07-02 Anordnung zum Messen der Dicke einer transparenten Beschichtung auf einem Druckerzeugnis

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4423288B4 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007049381A1 (de) 2007-10-15 2009-04-16 Heidelberger Druckmaschinen Ag Vorrichtung zur Kontrolle und Regelung einer aufzubringenden Klebstoffschicht bei der Herstellung von Druckerzeugnissen

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10206944A1 (de) * 2002-02-19 2003-09-04 Oce Printing Systems Gmbh Verfahren und Einrichtung zum Drucken, wobei die Dicke der Feuchtmittelschicht gemessen und reduziert wird
DE10325942B4 (de) * 2003-06-07 2010-09-16 Jurca Optoelektronik Gmbh & Co. Kg Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Dickenmessung transparanter Körper
KR100728482B1 (ko) * 2005-03-15 2007-06-13 오므론 가부시키가이샤 계측 영역의 자동 설정 수단을 구비한 변위 센서
DE102010002249A1 (de) 2010-02-23 2011-08-25 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle des Auftrags einer eine flüchtige Verbindung enthaltenden Flüssigkeit auf eine Oberfläche
DE102015103706A1 (de) 2015-03-13 2016-09-15 CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH Optische Sensoranordnung zur Bestimmung der Eigenschaften einer dünnen Schicht

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1566398A (en) * 1975-11-07 1980-04-30 Planer Ltd G Thickness measurements
DE3136887A1 (de) * 1981-09-17 1983-03-31 Ibm Deutschland Gmbh, 7000 Stuttgart Verfahren und einrichtung zur interferometrischen dickenmessung
EP0248552A1 (de) * 1986-05-14 1987-12-09 Walter Roland Tole Vorrichtung zur Bestimmung der Dicke von Material
EP0249235A2 (de) * 1986-06-13 1987-12-16 Nippon Kokan Kabushiki Kaisha Schichtdickenmessgerät mit linearpolarisiertem Licht
EP0452665A2 (de) * 1990-04-20 1991-10-23 Electronic Systems S.P.A. Vorrichtung und Verfahren zum Messen der Dicke undurchsichtiger oder durchsichtiger Schichten irgendeines Typs, unter Benutzung eines Lasers
EP0467763A2 (de) * 1990-07-17 1992-01-22 Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha Messfühler für einen Wasserfilm auf einer Platte einer Druckmaschine

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1566398A (en) * 1975-11-07 1980-04-30 Planer Ltd G Thickness measurements
DE3136887A1 (de) * 1981-09-17 1983-03-31 Ibm Deutschland Gmbh, 7000 Stuttgart Verfahren und einrichtung zur interferometrischen dickenmessung
EP0248552A1 (de) * 1986-05-14 1987-12-09 Walter Roland Tole Vorrichtung zur Bestimmung der Dicke von Material
EP0249235A2 (de) * 1986-06-13 1987-12-16 Nippon Kokan Kabushiki Kaisha Schichtdickenmessgerät mit linearpolarisiertem Licht
EP0452665A2 (de) * 1990-04-20 1991-10-23 Electronic Systems S.P.A. Vorrichtung und Verfahren zum Messen der Dicke undurchsichtiger oder durchsichtiger Schichten irgendeines Typs, unter Benutzung eines Lasers
EP0467763A2 (de) * 1990-07-17 1992-01-22 Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha Messfühler für einen Wasserfilm auf einer Platte einer Druckmaschine

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP 01270603 A, englischsprachiges Abstract *
JP 1-270603 A, englischsprachiges Abstract

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007049381A1 (de) 2007-10-15 2009-04-16 Heidelberger Druckmaschinen Ag Vorrichtung zur Kontrolle und Regelung einer aufzubringenden Klebstoffschicht bei der Herstellung von Druckerzeugnissen
EP2050579A1 (de) 2007-10-15 2009-04-22 Heidelberger Druckmaschinen Aktiengesellschaft Vorrichtung zur Kontrolle und Regelung einer aufzubringenden Klebstoffschicht bei der Herstellung von Druckerzeugnissen

Also Published As

Publication number Publication date
DE4423288A1 (de) 1996-01-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3021622C2 (de) Optisches Abbildungssystem mit einem optoelektronischen Detektionssystem zur Bestimmung einer Abweichung zwischen der Bildfläche des Abbildungssystems und einer zweiten Fläche, auf der abgebildet wird
DE3787320T2 (de) Schichtdickenmessgerät mit linearpolarisiertem Licht.
DE3240234C2 (de) Oberflächenprofil-Interferometer
DE102004023739A1 (de) Messgerät und Verfahren zum Betreiben eines Messgeräts zur optischen Inspektion eines Objekts
DE4434822C1 (de) Vorrichtung zur berührungslosen Messung von Abständen zu reflektierenden Grenzflächen oder Abstandsdifferenzen dazwischen, insbesondere zur Bestimmung der Dicke von Meßobjekten aus transparentem Material
EP0962746B1 (de) Verfahren und Vorrichtung, ob zwei hintereinander angeordnete Wellen fluchten
DE10308016A1 (de) Verschiebungsmessgerät mit Interferenzgitter
DE4423288B4 (de) Anordnung zum Messen der Dicke einer transparenten Beschichtung auf einem Druckerzeugnis
DE2602158C3 (de)
DE19734646A1 (de) Ellipsometer-Meßvorrichtung
WO2009080756A1 (de) Schichtdickenmessung an transparenten schichten
DE19928171B4 (de) Verfahren zur kontinuierlichen Bestimmung der optischen Schichtdicke von Beschichtungen
EP2276999A1 (de) Optische anordnung zur beleuchtung eines messobjektes und interferometrische anordnung zur vermessung von flächen eines messobjektes
DE102008029970A1 (de) Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie sowie Verfahren zum Überwachen einer lateralen Abbildungsstabilität
DE69126918T2 (de) Messverfahren des Einfallwinkels eines Lichtstrahls, Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens sowie deren Verwendung zur Entfernungsmessung
EP1710608A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Fokuslage
DE2853816A1 (de) Ebenheits-messeinrichtung
DE4017935A1 (de) Mikro-ellipso-profilometrie
DE10026280C2 (de) Elektro-optisch abtastendes abtastende Sonde und Meßverfahren unter Verwendung der Sonde
DE4233336A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Fokusablagen
DE102016222551B3 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Oberflächenmodifikationen auf optisch transparenten Bauteilen
DE19818190B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Messung der Wanddicke
EP0415143A2 (de) Interferometrisches Messsystem
DE19840725B4 (de) Verfahren und interferenzoptische Messeinrichtung zur optoelektronischen Vermessung der Mikrostrukturen eines mikroelektronischen Bauelementes
DE3341066C2 (de)

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8110 Request for examination paragraph 44
8364 No opposition during term of opposition
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20130201