DE4418450C2 - Mikroventil - Google Patents
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Mikroventil, das z. B. als Pilotventil in der
Pneumatik eingesetzt werden kann.
Pneumatische Steuerungen finden breite Anwendung in vielen Bereichen der
Technik, da sie sich durch hohe Lebensdauer, Betriebssicherheit und große
Kräfte auszeichnen. Ein über ein elektrisches Signal betätigter elektromechani
scher Wandler (Betätigungselement) wirkt direkt oder über mehrere Druckstufen
auf die eigentliche Ventilstufe (Steuerelement) ein, die ihrerseits eine bestimmte
Betriebsgröße (Druck, Durchfluß) in gewünschter Weise manipuliert.
In der Pneumatik dienen als Steuerelemente hauptsächlich zylindrische Linear
schieberventile für Hauptstufen und zylindrische Sitzventile für direktbetätigte
Ventile bzw. Pilotventile. Als Betätigungselement hat sich der Hubmagnet durch
gesetzt, da sich diese Antriebsart durch hohes Arbeitsvermögen und einfachen
Aufbau auszeichnet. Ein klassisches Hubmagnetventil aus Plastikformteilen hat
Ausmaße von ca. 25 × 25 × 40 mm³, arbeitet bei Drücken bis 8 bar und benötigt im
betätigten Zustand ca. 2,5 W.
Aus Gründen der Kostensenkung, geringeren Materialverbrauchs, Erhöhung der
Flexibilität und Verbesserung der Schalteigenschaften ist auch auf dem Gebiet
der Pneumatik für bestimmte Anwendungen ein Trend zur Miniaturisierung zu
beobachten. Der Raumbedarf pneumatischer Kleinstventile wird dabei immer
wesentlicher von den Abmessungen des Hubmagneten bestimmt, dessen Spule sich nur unter er
heblicher Kostensteigerung bei unvermeidlich sinkender Leistungskraft verkleinern läßt. Mittels
Feinwerktechnik hergestellte Miniatur-Hubmagnetventile (10 × 10 × 15 mm³) sind im Vergleich zu
klassischen mindestens fünfmal so teuer.
Aus der EP 0 208 386 ist ein mit Mikrostrukturtechnik hergestelltes Siliziumventil zur Durchfluß
steuerung einer Flüssigkeit bekannt, das aus einem ersten planaren Teil mit einer Auslaßöffnung
und einem zweiten Teil mit einer planaren Oberfläche besteht, die zum Öffnen und Schließen der
Auslaßöffnung relativ zu dieser bewegt werden kann. Zur Bewegung des Schließkörpers wird auf
diesen eine externe Kraft, z. B. über einen Kolben, ausgeübt. Die gesamte, für die Funktion des
Ventils notwendige Konstruktion ist sehr aufwendig.
Andere für die Bewegung einer Membran als Schließkörper eingesetzte Betätigungsmittel bei
Mikroventilen sind z. B. aus der DE 39 19 876 bekannt. Hier sind insbesondere piezoelektrisch
oder thermoelektrisch arbeitende Beschichtungen der Membran, elektrostatische oder ther
mofluidische Betätigung zu nennen. So sind beispielsweise aus der WO 91/00464 oder der DE 38
14 150 Mikroventile bekannt, deren Membranstruktur beschichtet ist und mit einem oder mehre
ren Heizelementen versehen ist. Das Aufheizen bewirkt aufgrund unterschiedlicher thermischer
Ausdehnungskoeffizienten von Membran- und Schichtmaterial ein Durchbiegen der Membran
struktur und somit ein Öffnen oder Schließen der Ventilöffnung. Gerade beim Öffnen eines Ven
tils gegen den anliegenden Druck ist jedoch im ersten Moment eine größere Kraft nötig als im
weiteren Verlauf des Öffnungsvorgangs, eine Anforderung, die von den oben angeführten Betä
tigungsmitteln nicht erfüllt werden kann.
Piezoelektrische und elektrostatische Mikroventile können zudem die in der Pneumatik geforder
ten Leistungsdaten nicht erbringen. Um die dort auftretenden hohen Drücke (1 bis 7 bar) zu
schalten, wären sehr hohe Steuerspannungen erforderlich. Da die mit diesen Ventilen erreichba
ren Hübe gering sind, müßten die Ventilöffnungen groß sein, um den geforderten Durchfluß (1
bis 30 l/min) zu erzielen. Es würden Probleme mit Verschmutzungen (Öl, Wasser) durch das Ar
beitsmedium (ölverschmutzte, feuchte Druckluft) auftreten. Des weiteren könnte es zu Vereisun
gen kommen. Bei thermischen Ventilen ist dies weniger kritisch, da deren Schließmembran sehr
heiß wird. Der erreichbare Hub ist höher.
Eine thermofluidische Betätigung hat den Nachteil, daß der Abkühlvorgang ohne
zusätzliche störende Hilfsmittel sehr langsam abläuft (geringe Dynamik).
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Mikroventil der in
Rede stehenden Art anzugeben, das für industrielle Pneumatiksteuerungen ge
eignet ist, kostengünstig mit Mitteln der Halbleitertechnologie herstellbar ist und
verbesserte Schalteigenschaften aufweist.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit dem in Anspruch 1 angegebenen Mikro
ventil gelöst. Dieses besteht aus zwei Teilen.
Das erste Teil, das sich auf der Seite des höheren Druckes pin (druckseitig) be
findet, weist eine Membranstruktur auf, die mit einem oder mehreren
Heizelementen versehen ist.
Das zweite Teil ist mit dem ersten auf der dem niedrigeren Druck pout zuge
wandten Seite verbunden. Es enthält einen oder mehrere Auslaßöffnungen und
dazugehörige Ventilsitze.
Weiterhin weisen entweder der Schließkörper des ersten Teils oder Substratbe
reiche des zweiten Teils oder beide Teile eine oder mehrere Gruben definierter
Tiefe auf, wobei alle Gruben so angeordnet sind, daß sie bei geschlossenem
Ventil von Bereichen des jeweils anderen Teils vollständig überdeckt werden, so
daß geschlossene Hohlräume entstehen, in denen sich Heizelemente befinden.
Unter geschlossenen Hohlräumen sind hier auch solche zu verstehen, bei
denen an den Rändern der Gruben herstellungsbedingt Spalte von einigen µm
auftreten.
Die Heizelemente heizen somit unter anderem das in den Gruben befindliche
Gas- oder Flüssigkeitsvolumen auf. Wesentlich an der Anordnung der Gruben
ist, daß damit bei geschlossenem Ventil ein nahezu abgeschlossenes
Flüssigkeits- oder Gasvolumen erzeugt wird, das durch die Heizelemente schnell
erwärmt werden kann. Die Tiefe der Gruben wird so gewählt, daß das Aufheizen
des Gasvolumens in den Gruben schneller erfolgt als das Abfließen des
erwärmten Gases über den Spalt an den Rändern der Gruben. Die Tiefe der
Gruben beträgt vorzugsweise maximal 40 µm (Anspruch 3).
Gemäß Anspruch 2 ist die Membran auf einer Seite mit einem Material be
schichtet ist, das einen thermischen Längenausdehnungskoeffizienten besitzt,
der sich von dem des Membranmaterials unterscheidet. Der Unterschied der
Längenausdehnungskoeffizienten von Membranmaterial und Beschichtungs
material sowie die räumliche Anordnung der Beschichtung auf der Membran
geben die Richtung des Durchbiegens der Membranstruktur vor. Die Membran
struktur kann vollständig oder auch nur an bestimmten Stellen beschichtet sein.
Die Beschichtung muß jedoch so angebracht sein, daß sich die Membranstruk
tur bei Erwärmung gegen den anliegenden Druck pin durchbiegt.
Das erfindungsgemäße Mikroventil arbeitet auf der Grundlage eines kombinier
ten thermomechanischen-thermopneumatischen Wirkungsprinzips. Im stromlo
sen Zustand ist das Ventil geschlossen. Wird die Membran durch die Heizele
mente erwärmt, baut sich eine, die Membran gegen den höheren Druck pin
auslenkbare Kraft auf (thermomechanischer Effekt), die aus der thermischen
Ausdehnung der Membran resultiert. Das Beheizen führt zu inneren
Spannungen in der Membran aufgrund deren Wärmeausdehnung im Vergleich
zum wesentlich kühleren Chiprahmen. Beim Überschreiten einer bestimmten
(druckabhängigen) Membrantemperatur erfolgt ein schlagartiges Ausbuckeln
der Membran. Eine Beschichtung (vgl. Anspruch 2) kann dabei eine die
auslenkende Kraft unterstützende Funktion bei entsprechender
Beschichtungsdicke (Bimetall-Effekt, Anspruch 6) oder auch nur eine die
Auslenkungsrichtung der Membran bestimmende Funktion (vgl. Anspruch 7)
ausüben. Gleichzeitig erwärmt sich das Flüssigkeits- bzw. Gasvolumen (z. B.
Luft) in den Gruben unterhalb der Membran. Da dieses nur über schmale Spalte
abfließen kann, entsteht in den Gruben ein Überdruck. Es kommt zusätzlich zu
einer kurzzeitigen thermopneumatischen Krafteinwirkung auf die Membran.
Dadurch kann das Ventil gegen größere Drücke geöffnet werden, als dies z. B.
eine rein thermomechanische Krafterzeugung zulassen würde. Desweiteren
erhöht sich die Geschwindigkeit, mit der das Ventil öffnet, im Vergleich zum rein
thermomechanischen Antrieb beträchtlich. Auch der Wirkungsgrad wird durch
die bessere Wärmeausnutzung größer. Durch die Aufwärtsbewegung der
Membran wird der thermopneumatische Effekt abgebaut, d. h. im geöffneten
Zustand sind nur thermomechanische Kräfte wirksam. Dem kommt entgegen,
daß die volle Druckdifferenz (pin » pout) nur im ersten Moment des Öffnens
am Ventil anliegt. Es soll z. B. ein Steuervolumen mit Druckluft aufgefüllt und
dadurch eine größere Ventilstufe betätigt werden, d. h. der Schaltvorgang ist
nach dem Druckausgleich beendet (pin = pout). Danach muß nur noch die
elastische Kraft der Membran und eventueller Druckabfall aufgrund von
Leckflüssen kompensiert werden. In diesem Zustand kann die Energiezufuhr im
Vergleich zu herkömmlichen Hubmagnetventilen wesentlich verringert werden.
Zur Anpassung der Heizleistung und somit der thermomechanischen Kraft an
die jeweiligen Erfordernisse können mehrere Heizelemente vorgesehen sein.
Das Schließen des hier beschriebenen mikromechanischen Ventils wird durch
Abschaltung der Heizelemente erreicht. Wesentlich beschleunigt wird der Vor
gang durch das "Entlüften" des Steuervolumens (wieder pin » pout), z. B. über
ein zweites Mikroventil, da der oben (pin-seitig) anliegende Druck die Membran
einfach nach unten (pout-seitig) drückt.
Da die mikromechanischen Ventile ähnlich wie IC′s gefertigt werden können,
entsteht gegenüber Miniatur-Hubmagnetventilen ein deutlicher Preisvorteil. Da
bei wird die Baugröße eines Mikroventils selbst mit Gehäuse nicht mehr als ein
Zehntel des Volumens eines herkömmlichen Miniaturventils betragen.
Als bevorzugtes mikrostrukturierbares Material ist in Anspruch 4 Silizium ange
geben, das sich aufgrund seiner physikalischen Eigenschaften sehr gut zur Her
stellung von Mikroventilen eignet. So können z. B. die beiden Teile des Mikro
ventils zwei durch Silicon Bonding oder Kleben verbundene Chips sein
(Anspruch 5).
In Siliziumtechnologie herstellbare Elemente können zudem sehr kostengünstig
in großer Stückzahl gefertigt werden.
In besonderer Ausgestaltung gemäß Anspruch 6 ist das Beschichtungsmaterial
der Membranstruktur ein Metall. Metalle weisen einen im Vergleich zu
mikrostrukturierbarem Material, wie z. B. Silizium, relativ großen thermischen
Längenausdehnungskoeffizienten auf. Die Metallbeschichtung kann z. B. wie im
Ausführungsbeispiel gezeigt aufgebracht sein, um die Auslenkung der Membran
gegen den anliegenden Druck pin zu bewirken. Die Aufbringung der
Beschichtung kann bei der Herstellung mittels Sputtern, Aufdampfen oder
Galvanik erfolgen.
Als besonders vorteilhaft erweist sich nach Anspruch 7 eine dünne
Beschichtung aus Silizium-Dioxid (SiO₂) oder Silizium-Nitrid (Si₃N₄), die auf der
dem niedrigeren Druck zugewandten Seite (pout-seitig) der Silizium-Membran
aufgebracht ist. Bei Membrandicken von bis zu 12 µm kann die Dicke der
Beschichtung bis zu 500 Nanometer betragen. Bei Erwärmung der Membran
durch die Heizelemente dehnt sich diese aus. Da im ersten Moment die
Einspannung noch kalt bleibt, kommt es zu einer Verwölbung der
Siliziumstruktur aufgrund der Längenausdehnung des Siliziums selbst. Das SiO₂
bzw. Si₃N₄ auf der Seite des niedrigen Druckes pout bewirkt die Auslenkung der
Membran ausschließlich gegen den anliegenden hohen Druck pin, da diese
Materialien einen wesentlich geringeren thermischen
Längenausdehnungskoeffizienten aufweisen als einkristallines Silizium.
Der Vorteil dieses Beschichtungsmaterials liegt vor allem im geringeren
Leistungsbedarf im Vergleich zu einer Metallbeschichtung. Eine Metallbe
schichtung wirkt als Wärmekurzschluß, d. h. die Wärmeabfuhr zum Chip über
die Einspannung ist sehr groß. Bei gleicher Heizleistung erreicht daher eine
Membranstruktur ohne Metallaktoren eine wesentlich höhere Temperatur. Die
Temperatur ist die Größe, die hier die Stärke des thermomechanischen Effekts
bestimmt.
Ventile mit Silizium-Dioxid- bzw. Silizium-Nitrid-Schichten arbeiten mit geringeren
Heizleistungen und weisen eine bessere Dynamik auf (Schaltzeiten im Bereich
einiger msec.) als solche mit Metallbeschichtungen. Die Beschichtung hat in
dieser Ausgestaltung lediglich die Funktion der Richtungsbeeinflussung der
Auslenkung, während durch die thermische Längenausdehnung der Silizium-
Membran selbst die Kraft gegen den äußeren Druck aufgebracht wird.
Anspruch 8 gibt eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Mikroventils an,
bei der die Heizelemente implantierte Leiterbahnen oder Polysiliziumbahnen
sind. Die Aufbringung dieser Bahnen läßt sich mit Methoden der Halbleitertech
nologie realisieren.
Die Membranstruktur ist vorzugsweise brückenförmig (d. h. ein beidseitig einge
spannter Streifen) oder kreuzförmig ausgebildet (Anspruch 9), so daß beim Öff
nen des Ventils das Druckmedium möglichst ungehindert passieren kann.
Durch eine Regelung der Energiezufuhr und damit der Heizleistung gemäß An
spruch 10 läßt sich der Gesamtleistungsverbrauch einer pneumatischen Steue
rung aus Mikroventilen im Vergleich zu herkömmlichen Ventilen deutlich verrin
gern. Eine hohe Heizleistung ist, wie bereits weiter oben dargelegt, nur im ersten
Moment des Öffnens erforderlich.
Anspruch 11 gibt den bevorzugten Einsatzbereich des erfindungsgemäßen Mi
kroventils an.
Ein Ausführungsbeispiel für das in den Ansprüchen angegebene Mikroventil wird
im folgenden anhand der Zeichnungen erläutert.
Dabei zeigen
Fig. 1 und Fig. 2 in schematischer Darstellung mögliche
Ausführungsformen für das erfindungsgemäße Mikroventil.
Das Mikroventil besteht aus zwei Silizium-Chips 1 und 2, die üblicherweise mit
tels Silicon Bonding auf Waferebene verbunden werden. Der obere
(druckseitige) Chip 1 enthält den beweglichen Schließkörper 3 - eine durch an
isotropes Ätzen herausgebildete Membranstruktur (z. B. brücken- oder kreuzför
mig). Die Membran ist gemäß Fig. 2 mit Heizelementen 8 versehen (z. B.
implantierte Leiterbahnen oder Polysiliziumbahnen, in Fig. 1 nicht dargestellt).
Im Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 ist die Membran zusätzlich grubenseitig
selektiv mit Metall beschichtet 4 (z. B. Al oder Au durch Sputtern, Aufdampfen
oder Galvanik). Aus Isolationsgründen befindet sich zwischen der
Metallbeschichtung und den Heizelementen eine weitere, isolierende Schicht (z. B.
thermisches SiO₂, in Fig. 1 nicht enthalten).
Der untere Chip 2 enthält die Auslaßöffnung 7, den anisotrop geätzten Ventilsitz
5 und mehrere Gruben definierter Tiefe 6, die sich sowohl durch isotropes als
auch durch anisotropes Ätzen erzeugen lassen. Die Gruben haben
Abmessungen von maximal 400 × 600 × 40 µm³ und sind so angeordnet, daß sie
von der Membranstruktur überdeckt werden.
Zum Entlüften eines Steuervolumens kann ein zweites erfindungsgemäßes Mi
kroventil eingesetzt werden.
Claims (11)
1. Mikroventil aus mikrostrukturierbarem Material, zumindest bestehend aus einem ersten
druckseitigen Teil (1), das eine Membranstruktur (3) als beweglichen Schließkörper aufweist, und
einem zweiten, mit dem ersten verbundenen Teil (2), mit mindestens einer Auslaßöffnung (7) und
mindestens einem Ventilsitz (5), wobei die Membranstruktur mit einem oder mehreren Heizele
menten (8) versehen ist, und zumindest eines der beiden Teile eine oder mehrere Gruben definier
ter Tiefe (6) aufweist, die so angeordnet sind, daß sie bei geschlossenem Ventil von Bereichen des
anderen Teils vollständig überdeckt werden, so daß geschlossene Hohlräume entstehen, in de
nen sich Heizelemente (8) befinden.
2. Mikroventil nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Membranstruktur auf einer Seite mit einem Material (4), das einen
anderen thermischen Längenausdehnungskoeffizienten besitzt als das
Membranmaterial, zumindest teilweise so beschichtet ist, daß bei Erwär
mung ein Durchbiegen der Membranstruktur gegen den anliegenden
Druck resultiert.
3. Mikroventil nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Gruben eine maximale Tiefe von 40 µm aufweisen.
4. Mikroventil nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß das mikrostrukturierbare Material Silizium ist.
5. Mikroventil nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß die beiden Teile des Mikroventils zwei mittels Silicon Bonding oder
Kleben verbundene Chips sind.
6. Mikroventil nach einem der Ansprüche 2 bis 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Beschichtungsmaterial der Membranstruktur ein Metall ist.
7. Mikroventil nach Anspruch 4 oder 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Beschichtungsmaterial der Membranstruktur SiO₂ oder Si₃N₄ ist,
und daß die Beschichtung an der dem niedrigeren Druck zugewandten
Seite der Membran aufgebracht ist.
8. Mikroventil nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Heizelemente implantierte Leiterbahnen oder Polysiliziumbahnen
sind.
9. Mikroventil nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Membranstruktur brücken- oder kreuzförmig ausgebildet ist.
10. Mikroventil nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die zu seiner Betätigung erforderliche Heizleistung regelbar ist.
11. Mikroventil nach einem der Ansprüche 1 bis 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß es als Pilotventil in pneumatischen Steuerungen eingesetzt wird.
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