DE4415852A1

DE4415852A1 - Verfahren und Anordnung zur Dichtheitsprüfung

Info

Publication number: DE4415852A1
Application number: DE19944415852
Authority: DE
Inventors: Gerhart Schroff; Michael Stetter
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1994-05-05
Filing date: 1994-05-05
Publication date: 1995-11-09

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Anordnung zur Dichtheitsprüfung von Behältern und/oder Gehäusen, wonach ein derartiges Prüfobjekt mit einem Testfluid beaufschlagt wird, das gegenüber der Umgebung unter erhöhtem Druck steht, so daß bei Vorhandensein eines Lecks Fluid aus dem Prüfobjekt austritt und hieraus das Leck erkannt wird.

Zur Dichtheitsprüfung von Behältern, z. B. von Wasserkühlern für Kraftfahrzeuge, ist es bekannt, die Behälter an einer vorhandenen Öffnung mit Druckluft zu beauf schlagen, wobei weitere eventuell vorhandene Öffnungen zuvor beispielsweise mit Gummistopfen abgedichtet werden und den Behälter sodann in das Wasser eines Prüfbeckens einzutauchen. Etwaige Lecks können dann anhand aufsteigender Blasen festgestellt werden. Nachteilig hierbei ist, daß die Prüfobjekte naß werden und daher nach der Prüfung wieder getrocknet werden müssen. Ferner unterliegt die Prüfung subjektiven Kriterien des mit der Prüfung betrauten Beobachters. Eine Quantifizierung eines eventuell vorhandenen Leckstroms ist nicht möglich.

Eine weitere Möglichkeit der Dichtheitsprüfung besteht darin, daß das Prüfobjekt unter statischen Fluiddruck gesetzt wird und aus einem über längere Zeit zu be obachtenden Druckabfall auf das Vorhandensein etwaiger Lecks geschlossen wird. Diese Methode kann jedoch nur bei relativ großen Lecks eingesetzt werden, da sich beispielsweise thermische Effekte (Ausdehnung) sonst stark bemerkbar machen.

Für kleine Lecks wird vielfach das sogenannte Helium-Lecktestverfahren einge setzt. Dabei wird das Prüfobjekt an der Außen- oder Innenseite mit Helium be drückt. Alles Gas der Niederdruckseite wird abgesaugt und bei sehr geringem Druck einem Massenspektrometer zugeführt, so daß das Vorhandensein des He-Moleküls nachgewiesen werden kann. Diese empfindliche Methode ist im indu striellen Einsatz nur schwer handhabbar, da sehr geringe Drücke mit aufwendigen, teuren Vakuumpumpen erzeugt werden müssen. He-Lecktestgeräte bieten jedoch die Möglichkeit des "Schnüffelns". Dabei wird Gas durch eine Kapillare eingesaugt. Wird diese Kapillare in die Nähe des mit Helium bedrückten Prüfobjekts gebracht, so enthält das eingesaugte Gas, sofern das Prüfobjekt an dieser Stelle ein Leck hat, Helium-Gas. Dies kann dann detektiert werden. Es ist eine Lokalisierung des Lecks möglich.

Hiervon ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, Dichtheitsprüfungen der eingangs genannten Art sehr viel preiswerter als bisher und vollautomatisiert durchführen zu können. Dabei soll sowohl ein Integraltest als auch eine Leck lokalisierung durchgeführt werden können.

Diese Aufgabe wird hinsichtlich des Verfahrens durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruchs i, dem Grundgedanken nach, sowie in Ausfüh rungsvarianten und Ausgestaltungen desselben durch die Merkmale der Unter ansprüche 2 bis 9 und hinsichtlich der Anordnung durch die Merkmale des An spruchs 10 und in Ausgestaltungen durch die weiteren Unteransprüche 11 bis 18 gelöst.

Hiernach wird - gemäß der Erfindung - zur Detektion von Leckstellen des Prüf objektes ein Testfluid verwendet, das elektromagnetische Wellen wenigstens einer bestimmten Frequenz absorbieren kann. Werden elektromagnetische Wellen - Laserlicht - mit einer, auf eine Absorptionsfrequenz des Testfluids abgestimmten Frequenz in ein Untersuchungsvolumen, in das das Testfluid gelangt, falls Leck stellen vorhanden sind, eingestrahlt, so wird ein Teil der Moleküle des Testfluids durch Absorption der elektromagnetischen Wellen in einen energetisch angeregten Zustand gebracht. Durch Stöße mit anderen Molekülen in dem Untersuchungs volumen können die angeregten Moleküle ihre Anregungsenergie ganz oder teil weise abgeben und in Translations-, Rotations- oder Schwingungsenergie der Stoßpartner umwandeln. Die Erhöhung der Translationsenergie der im Untersu chungsvolumen vorhandenen Moleküle bedeutet eine Temperaturerhöhung und damit einen Druckanstieg. Ein Gleichgewicht stellt sich dabei relativ schnell ein (Größenordnung: 1 µs). Wird das in das Untersuchungsvolumen eingestrahlte Wellenfeld periodisch in der Intensität oder in der Frequenz verändert, vorzugs weise ein- und ausgeschaltet, so ergibt sich eine periodische Druckschwankung, die mittels eines Drucksensors, vorzugsweise eines empfindlichen Mikrofons, nachgewiesen werden kann. Erfindungsgemäß wird das Vorhandensein eines Lecks also dadurch erkennbar, daß periodische Druckschwankungen, mit der Frequenz der Intensitäts- oder Frequenzänderung des eingestrahlten Wellenfeldes oder Oberwellen hiervon, von dem Drucksensor in dem Untersuchungsvolumen aufgenommen werden. Die Amplitude der Druckschwankungen mit der genannten Frequenz ist dabei, von Sättigungseffekten abgesehen, proportional zur Konzen tration des Testfluids im Untersuchungsvolumen.

Eine Intensitätsmodulation der verwendeten elektromagnetischen Welle, z. B. des Laserstrahls, kann durch das periodische Einbringen einer Blende in den Strahlen gang, vorzugsweise durch Rotation der Blende, erreicht werden (Chopper). Alter nativ hierzu kann auch die Strahlungsquelle ein- und ausgeschaltet werden. Die Nachweis-Empfindlichkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens kann dadurch erheblich gesteigert werden, daß das Untersuchungsvolumen derartig begrenzt wird, daß durch die eingestrahlte elektromagnetische Welle möglichst keine Energie in ein das Untersuchungsvolumen begrenzendes Gehäuse (Proben kammer) eingetragen wird. Dies kann beispielsweise durch die Verwendung von Fenstern mit Antireflexbelägen, oder - bei linear polarisiertem Licht - durch Brew ster-Fenster an der Eintritts- und Austrittsöffnung der Probenkammer erfolgen.

Eine weitere Steigerung der Nachweisempfindlichkeit kann dadurch erreicht werden, daß die Modulationsfrequenz der eingestrahlten elektromagnetischen Welle und die akustische Eigenresonanzfrequenz der Probenkammer aufeinander abgestimmt werden.

Ein Prüfobjekt kann, wenn es auf die Lokalisierung des Lecks nicht ankommt, in eine abgedichtete Testkammer derart eingebracht werden, daß bei Beaufschla gung der Innenseite des Prüfobjekts mit dem Testfluid ein, falls das Prüfobjekt undicht ist, Leckfluß entsteht, so daß Spuren des Testfluids aus dem Zwischenraum zwischen Prüfobjekt und Testkammer abgesaugt werden können, oder aber daß bei Beaufschlagung des Zwischenraumes zwischen dem Prüfobjekt und der Test kammer mit dem Testfluid, falls das Prüfobjekt undicht ist, aus dem Innenraum des Prüfobjekts Spuren des Testfluids abgesaugt werden können (Integraltest). Das derart, im Falle eines undichten Prüfobjekts, abgesaugte Testfluid wird nun erfin dungsgemäß in eine Probenkammer eingebracht, die von einer intensitäts- oder frequenzmodulierten elektromagnetischen Welle, beispielsweise einem Laser strahl, durchsetzt wird, so daß dem Leckfluß entsprechende Druckschwankungen entstehen, die dann detektiert werden.

Eine Lecklokalisierung kann erfindungsgemäß dadurch durchgeführt werden, daß Gas durch eine Kapillare (Prüfsonde) eingesaugt und in eine Probenkammer, die von einer intensitäts- oder frequenzmodulierten elektromagnetischen Welle durch setzt wird und in der ein Schalldetektor angebracht ist, eingebracht wird. Befindet sich die Ansaugstelle - das Ende der Kapillare - in der Nähe einer Leckstelle des mit dem Testfluid beaufschlagten Prüfobjekts, so wird ein Teil des angesaugten Gases aus dem Testfluid bestehen, so daß der Schalldetektor in der Proben kammer ein Signal erkennt. Für den Fall, daß sich die Kapillare nicht in der Nähe eines Lecks befindet, wird das angesaugte Gas das Testfluid nicht enthalten, so daß der Schalldetektor kein Signal (keine Druckänderung) anzeigt (Lokaltest).

Im folgenden wird die Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 die optische Anordnung eines Lecktestsystems in schematischer Darstellung;

Fig. 2 die schematische Darstellung eines Lecktestsystems zur integralen Detektion eines Lecks eines Prüfobjekts;

Fig. 3 die schematische Darstellung eines Lecktestsystems zur Lokalisierung des Lecks an einem Prüfobjekt.

Die in Fig. 1 dargestellte Anordnung dient dem Nachweis von Spuren eines Testfluids zur Leckdetektion.

Die aus der vorzugsweise als Laser ausgebildeten Strahlungsquelle 1 austretende elektromagnetische Strahlung 2 - ein Laserstrahl - wird durch geeignete Maßnah men in der Intensität, beispielsweise durch das Einbringen eines mechanischen Unterbrecherrads 3 (Chopper), oder in der Emissionswellenlänge ( bzw. Emis sionsfrequenz) moduliert. Diese Modulation erfolgt mit der Frequenz ω. Die Strahlung 2 tritt gemäß ihrer Ausbreitungsrichtung durch das Fenster 4 in die Probenkammer 5 ein, verläßt diese wieder durch das Fenster 6 und wird in der Strahlfalle 7 vernichtet (in Wärme umgesetzt). Geringe Konzentrationen eines geeigneten Testfluids (d. h. das Testfluid besitzt mindestens eine Absorptionslinie bei der Frequenz der Strahlung 2) in der Probenkammer 5 führen zu einer teilwei sen Absorption der eingestrahlten Welle 2. Diese infolge der Absorption in das Testfluid eingetragene Energie führt zu Temperatur- und damit Druckschwan kungen. Diese Druckschwankungen sind infolge des mit der Frequenz ω modu lierten Strahls 2 periodisch und ändern sich ebenfalls mit der Frequenz ω oder Oberwellen hiervon. Die Druckänderungen in der Probenkammer 5 können also als Schallwellen aufgefaßt werden. Der Drucksensor 8, vorzugsweise ausgebildet als empfindliches Mikrofon, empfängt die Druckschwankungen und liefert ein Ausgangssignal, von Sättigungseffekten abgesehen, proportional zur Konzentra tion des Testfluids in der Probenkammer 5. Die Anschlüsse 9 und 10 dienen der Befüllung bzw. Entleerung der Probenkammer 5. Die Probenkammer 5 wird vor zugsweise so ausgelegt, daß die Fluidströmung im Inneren laminar bleibt und somit keinen oder nur sehr geringen, die eigentliche Konzentrationsmessung störenden Schall hervorruft. Eventuelle turbulente, mit einem hohen störenden Schallpegel verbundene, Strömungsverhältnisse in der Probenkammer 5 können dadurch unterbunden werden, daß während der eigentlichen Konzentrations messung des Testfluids in der Probenkammer 5 die beiden Anschlüsse 9 und 10 durch Ventile verschlossen werden und die Strömung in der Probenkammer 5 dadurch zum Stillstand kommt.

Die Probenkammer 5 wird vorteilhafterweise so dimensioniert, daß die akustische Resonanzfrequenz, in longitudinaler, azimutaler oder radialer Richtung mit der An regungsfrequenz ω der Strahlung 2 übereinstimmt, so daß der Drucksensor 8 ein größeres Signal aufnimmt und das Gesamtsystem empfindlicher auf geringe Test fluidkonzentrationen in der Probenkammer 5 reagiert.

Fig. 2 zeigt eine Anordnung zum integralen Test eines Prüfobjekts auf Undichtig keiten.

Die insgesamt mit 11 bezeichnete Anordnung entspricht der Anordnung aus Fig. 1. Das im Inneren mit dem Testfluid beaufschlagte und unter Druck stehende Prüf objekt 12 hat beispielsweise an der Stelle 13 ein Leck. Infolge des Lecks strömt ein Teil des Testfluids aus dem Prüfobjekt 12 in den Zwischenraum 14 zwischen Prüf objekt und der Innenseite der Testkammer 15. Bei arbeitender Vakuumpumpe 16, offenem Ventil 17, geschlossenem Ventil 18, offenem Ventil 20, geschlossenem Ventil 22 sowie arbeitender Vakuumpumpe 23 wird ein Teil des, im Falle eines Lecks des Prüfobjekts 12, im Zwischenraum 14 befindlichen Testfluids durch die Probenkammer 5 sowie durch die verstellbare Drossel 21 gepumpt. Mit Hilfe der verstellbaren Drossel 21 kann die Fluidströmung eingestellt werden. Auf die oben beschriebene Art und Weise kann nun die Konzentration des Testfluids in der Pro benkammer 5 bestimmt werden. Aus der Testfluidkonzentration in der Proben kammer 5 kann nun nach entsprechender Kalibrierung der Gesamtanordnung auf den Leckfluß aus dem Prüfobjekt 12 geschlossen werden. Nach Entfernen des Prüfobjekts 12 und Einbringen eines anderen Prüfobjekts 12 in die Testkammer 15 muß das gesamte System, insbesondere die Probenkammer 5 gespült werden. Hierzu wird das Ventil 17 geschlossen, die Ventile 18, 20 und 22 geöffnet und die Pumpe 23 eingeschaltet. Das am Ventil 18 anstehende, das Testfluid nicht ent haltende Gas, z. B. Luft, wird nun durch das System gesaugt, so lange, bis alle Reste des Testfluids das System verlassen haben. Danach kann das neue Prüf objekt 12 in der oben beschriebenen Weise geprüft werden. Um viele Prüfobjekte in kurzer Zeit prüfen zu können, kann bei geschlossenem Ventil 17 die Test kammer 15 mit Hilfe der Pumpe 16 über das Rückschlagventil 19 vorevakuiert werden, während die Probenkammer 5 bei geöffneten Ventilen 18, 20 und 22 gespült wird.

Die Anordnung in Fig. 3 dient der Lokalisierung eines eventuell vorhandenen Lecks an einem Prüfobjekt.

Die insgesamt mit 11 bezeichnete Anordnung entspricht der Anordnung aus Fig. 1. Bei geöffnetem Ventil 25, geschlossenem Ventil 26, geöffnetem Ventil 27 ge schlossenem Ventil 29 und arbeitender Vakuumpumpe 30, wird aus der Umgebung der Öffnung der Prüfsonde 31 Gas abgesaugt und durch die Probenkammer 5 so wie die verstellbare Drossel 28 gepumpt. Mit Hilfe der Drossel 28 kann der Volu menstrom eingestellt werden. Für den Fall, daß das Prüfobjekt 12 an der Stelle 13 undicht ist, reichert sich die unmittelbare Umgebung 24 der Leckstelle 13 mit dem Testfluid stark an. Falls nun die Prüfsonde 31 in die Umgebung 24 des Lecks ge bracht wird, so wird ein Teil des Testfluids in die Prüfsonde 31 eingesaugt und gelangt in die Probenkammer 5, wo es nach dem oben beschriebenen Verfahren nachgewiesen wird. Um beispielsweise nach einem großen gemessenen Leck die dann hohe Konzentration des Testfluids in der Probenkammer 5 schnell verringern zu können, kann das Ventil 25 geschlossen und die Ventile 26, 27 und 29 geöffnet werden, so daß die Probenkammer 5 schnell gespült wird.

Claims

1. Verfahren zur Dichtheitsprüfung von Behältern und/oder Gehäusen oder Gehäuseteilen, wonach ein derartiges Prüfobjekt an mindestens einer Innen- oder Außenseite mit einem Testfluid beaufschlagt wird, das gegen über der Umgebung unter erhöhtem Druck steht, so daß bei Vorhandensein eines Lecks Testfluid aus dem mit Testfluid beaufschlagten Bereich ent weicht und hieraus das Leck erkannt wird, dadurch gekennzeichnet, daß ein Testfluid verwendet wird, das elektromagnetische Strahlung von minde stens einer, genau bestimmten Frequenz absorbieren kann und die aufge nommene Energie zumindest teilweise in Wärme übergeht, daß das aus dem Prüfobjekt austretende Testfluid in einem Untersuchungsvolumen einem elektromagnetischen Wellenfeld ausgesetzt wird, das Frequenz anteile besitzt, die von dem Testfluid wenigstens teilweise absorbiert werden, so daß in dem Untersuchungsvolumen eine Temperaturänderung und/oder eine Druckänderung entsteht, hieraus auf das Vorhandensein des Testfluids im Untersuchungsvolumen und dadurch auf die Existenz eines Lecks am Prüfobjekt geschlossen wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei dem eingestrahlten elektromagnetischen Wellenfeld um Lichtstrahlen handelt, die vorzugsweise von einem frequenzstabilisierten und/oder monochro matischen Laser erzeugt werden.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Anregungs-Wellenfeld in der Intensität und/oder Frequenz moduliert ist und im Untersuchungsvolumen bei Vorhandensein des Testfluids dadurch Temperatur- und Druckschwankungen mit der Frequenz der Modulation oder Vielfachen hiervon (Oberwellen) entstehen.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die bei Vorhandensein des Testfluids entstehenden Druckschwankungen im weitesten Sinne als akustische Schallwelle betrachtet werden und zur Detektion dieser Druckschwankungen ein Mikrofon eingesetzt wird.

5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Untersuchungsvolumen in Form einer Probenkammer mechanisch begrenzt wird und daß die Probenkammer mindestens eine Öffnung aufweist, durch die das elektromagnetische Wellenfeld in das Innere der Kammer ein dringen kann.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Proben kammer, beispielsweise durch die Verwendung von entspiegelten Ein- und Austrittsfenstern für die elektromagnetische Welle, so ausgeführt wird, daß der Energieeintrag in die Probenkammer ohne Testfluid im Inneren der Kammer, möglichst gering wird.

7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die mechanischen Abmessungen der Probenkammer so gewählt werden, daß eine akustische Resonanzfrequenz im Inneren der Kammer mit der Anre gungsfrequenz, bedingt durch die Modulation der eingestrahlten elektro magnetischen Welle übereinstimmt und so die Druckschwankungen, bei vorhandenem Testfluid, verstärkt werden.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Prüfobjekt in eine Testkammer gebracht wird, der Innenraum des Prüfobjekts bzw. der Zwischenraum zwischen Testkammer und Prüfobjekt mit dem Testfluid beaufschlagt wird, das im Falle eines Lecks in den Zwi schenraum zwischen Testkammer und Prüfobjekt bzw. in das Innere des Prüfobjekts eindringt und von dort mit Hilfe einer Pumpe abgesaugt und in die Probenkammer gepumpt wird, so daß Spuren des Testfluids bei undich tem Prüfobjekt in der Probenkammer nachgewiesen werden können.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß zur Lokalisierung eines eventuell vorhandenen Lecks an dem mit dem Testfluid beaufschlagten Prüfobjekt eine Prüfsonde räumlich in die Nähe eines vermuteten Lecks gebracht wird, ein Gemisch des in der Nähe der Prüfsonde vorhandenen Gases mit dem, im Falle eines Lecks, vorhandenen Testfluid mit Hilfe einer Pumpe in die Prüfsonde eingesaugt und weiter in die Probenkammer befördert wird, wo dann der Nachweis des Testfluids erfolgt und hierdurch die Stelle eines eventuell vorhandenen Lecks erkannt wird.

10. Anordnung zur Dichtheitsprüfung von Behältern und/oder Gehäusen oder Gehäuseteilen, die mit einem vorzugsweise gas- oder dampfförmigen Test fluid beaufschlagbar sind, das gegenüber der Umgebung unter einem er höhten Druck steht, dadurch gekennzeichnet, daß eine vorzugsweise als Laser ausgebildete Strahlungsquelle (1) eingesetzt wird, deren Strahlung (2) in eine Probenkammer (5), in der sich ein Drucksensor (8) befindet und in die das Testfluid durch Anschlüsse (9 und/oder 10) eingebracht wird, durch ein Fenster (4) eindringt, diese wieder durch ein Fenster (6) verläßt und in einer Strahlfalle (7) in Wärme umgewandelt wird.

11. Anordnung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Strah lung (2) intensitäts- oder frequenzmoduliert ist, wobei eine Intensitäts modulation vorzugsweise dadurch erreicht wird, das in den Strahlengang der Strahlung (2) eine rotierende, den Strahl periodisch unterbrechende Blende (3) (Chopper) eingebracht wird.

12. Anordnung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß als Drucksensor ein empfindliches Mikrofon eingesetzt wird

13. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekenn zeichnet, daß die Probenkammer (5) geometrisch so dimensioniert wird, daß die akustische Resonanzfrequenz der Kammer (5), bei vorhandenem Testfluid in der Kammer (5), sich so ergibt, daß sie mit der Anregungs frequenz durch die Strahlung (2) übereinstimmt und dadurch die durch den Drucksensor (8) gemessene Druckschwankungsintensität eine Resonanz überhöhung aufweist.

14. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekenn zeichnet, daß das Prüfobjekt (12) in eine Testkammer (15) eingebracht wird, Gas aus dem Inneren (14) der Testkammer (15) mit Hilfe einer Vakuumpumpe (16) absaugbar ist, das Abgas der Pumpe (16) bei ge öffneten Ventilen (17, 20) und geschlossenen Ventilen (18, 22) durch die Drossel (21), zur Justage des Volumenstroms, mit Hilfe der Vakuumpumpe (23) durch die Probenkammer (5) gepumpt wird und bei undichtem Prüf objekt (12) Testfluidkonzentrationen in der Probenkammer (5) nachgewie sen werden.

15. Anordnung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß zum schnel len Absaugen des Gases im Zwischenraum (14), nach einem Wechsel des Prüfobjekts (12) und der damit verbundenen Belüftung der Testkammer (15), das Ventil (17) geschlossen und das Abgas der Pumpe (16) über das Rückschlagventil (19) abgeführt wird, so daß gleichzeitig bei geöffneten Ventilen (18, 20 und 22) Reste des eventuell noch in der Probenkammer (5) vorhandenen Testfluids bei arbeitender Vakuumpumpe (23) ausgespült werden können.

16. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekenn zeichnet, daß die Prüfsonde (31) zur Lokalisierung eines Lecks des Prüfobjekts (12) in die Nähe der vermuteten Leckstelle (13) gebracht wird, ausgetretenes Testgas, zusammen mit Teilen des die Sonde (31) umge benden Gases, bei geöffneten Ventilen (25 und 27) und geschlossenen Ventilen (26 und 29) durch die Drossel (28) mit Hilfe der Vakuumpumpe (30) eingesaugt wird, wodurch es in der Probenkammer (5) gelangt und dort, bei undichtem Prüfobjekt (12), nachgewiesen wird.

17. Anordnung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß bei ge schlossenem Ventil (25), offenen Ventilen (26, 27, 29) und arbeitender Pumpe (30) die Probenkammer (5) schnell gespült werden kann.

18. Anordnung nach einem der Ansprüche 14 bis 17, dadurch gekenn zeichnet, daß störende, durch Strömungen in der Probenkammer (5) be dingte Druckschwankungen in der Probenkammer (5) während der Konzen trationsmessung dadurch unterbunden werden, daß die Strömungsge schwindigkeit in der Probenkammer (5) durch Schließen der Ventile (17, 18, 20) bzw. der Ventile (25, 26, 27) auf Null herabgesetzt wird.