DE4408468A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Individualisierung von galvanisch getrennten elektrisch leitfähigen Körpern - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Individualisierung von galvanisch getrennten elektrisch leitfähigen KörpernInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrich
tung zur Individualisierung von elektrisch leitfähigen
Körpern, die benachbart liegen und zwischen denen keine
Leitverbindung besteht, insbesondere zum Lokalisieren
von Bruchstellen oder Trennungsgebieten von Drähten oder
dergleichen.
Eine gattungsgemäße Vorrichtung ist aus der AS 16 73 841
bekannt. Dort ist ein kapazitiver Schalter offenbart,
welcher eine aktive Fläche aufweist, die an einen Oszil
lator gekoppelt ist. Bei dem Oszillator handelt es sich
dort im Ausführungsbeispiel um einen Multivibrator, wo
bei der mit der aktiven Fläche verbundene Transistor in
Basisschaltung betrieben wird. Der Multivibrator ist
dort emitter-gekoppelt. Dem Oszillator schließt sich
beim vorbekannten Schalter ein Demodulator und ein
Schwellwertschalter an. Zusätzlich ist ein Kontakt als
Signalgeber vorgesehen. Der vorbekannte Schalter eignet
sich zum Anzeigen von Füllständen in Behältern. Er ist
jedoch nicht dazu geeignet, beispielsweise Drahtbrüche
an Sitzheizungen von Kraftfahrzeugen aufzuspüren oder
anderweitig Bruchstellen von Drähten oder Trennungsgebie
te von elektrisch leitfähigen Körpern zu ermitteln.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, das
eingangs genannte Verfahren zu vereinfachen und eine
hierzu brauchbare Vorrichtung anzugeben.
Die Aufgabe wird durch die in den beiden nebengeordneten
Ansprüchen 1 und 2 angebene Erfindung gelöst.
Die Unteransprüche stellen vorteilhafte Weiterbildungen
dar.
Erfindungsgemäß ist vorgesehen, daß zumindest einer der
elektrisch leitfähigen Körper wenigstens kapazitiv mit
der Versorgungsspannung der einen Sensor darstellenden
Vorrichtung verbunden ist und ein anderer Körper zumin
dest kapazitiv mit einem um 180° phasenverschobenen
Prüfsignal gekoppelt ist. Zufolge dieser Kopplung werden
die Dämpfungseigenschaften des Oszillators bei Annähe
rung der aktiven Fläche an die Körper geändert. Liegt
beispielsweise die aktive Fläche benachbart zu dem Kör
per, welcher mit der Versorgungsspannung des Oszillators
gekoppelt ist, so schwingt der Oszillator mit maximaler
Amplitude. Die Kapazität zwischen Versorgungsleitung und
aktiver Fläche wird dabei vergrößert. Distanziert man
den Sensor von diesem Körper, so geht die Amplitude zu
rück. Sie kann dabei sogar bis auf Null reduziert wer
den. Eine Dämpfung des Oszillators wird ebenfalls dann
erreicht, wenn sich die aktive Fläche einem mit dem
Prüfsignal beaufschlagten elektrisch leitfähigen Körper
nähert. Dann vergrößert sich die Kapazität zwischen
diesem elektrisch leitfähigen Körper und der aktiven
Fläche. Das Auffinden eines Drahtbruches bei einer elek
trischen Sitzheizung oder dergleichen geschieht nun in
folgender Weise: Ein Ende des Heizdrahtes wird mit der
Versorgungsspannung, beispielsweise dem Minuspol der
Spannungsversorgung des Sensors, verbunden. Das andere
Ende des Heizdrahtes wird mit dem um 180° zum Oszillator
signal phasenverschobenen Prüfsignal verbunden. Es ist
nun möglich, mit dem Oszillator unter Beobachtung des
Signalgebers jeweils die eine oder andere Drahthälfte zu
verfolgen, bis ein Signalumschlag erkennbar wird, wel
cher anzeigt, daß die Bruchstelle erreicht ist. Es ist
bevorzugt vorgesehen, daß der Prüfsignalausgang einem
Verstärker oder Impedanzwandler vorgeordnet ist. Weiter
hin kann vorgesehen sein, daß der Oszillator ein emitter
gekoppelter Multivibrator ist, wobei die aktive Fläche
mit der Basis des ersten Transistors verbunden ist und
das Prüfsignal am Kollektor des ersten Transistors oder
am Emitter des zweiten Transistors abgegriffen wird. Der
Kollektor des ersten Transistors kann dabei mit der
Basis des zweiten Transistors verbunden sein, wobei der
die Schwingfrequenz charakterisierende Kondensator zwi
schen den beiden Emittern der Transistoren angeordnet
ist, welche jeweils über einen Widerstand mit der Versor
gungsleitung verbunden sind. Das Signal kann von einer
Leuchtdiode angezeigt werden. Der Signalgeber kann aber
auch als Summer oder dergleichen ausgebildet sein.
Eine besonders bevorzugte Weiterbildung der Erfindung
sieht vor, daß zwei Signalgeber vorgesehen sind. Jeder
dieser Signalgeber, welche auch die vorgenannte Ausge
staltung als Summer aufweisen können, ist einem gesonder
ten Schwellwertschalter zugeordnet. Die Schwellwerte
besitzen eine unterschiedliche Höhe, so daß die beiden
Signalgeber bei unterschiedlichen Oszillatoramplituden
einschalten. Der Signalgeber, welcher der niedrigeren
Schwelle zugeordnet ist, kann darüber hinaus auch einem
Fensterdiskriminator nachgeordnet sein, so daß das Si
gnal wieder verlöscht, wenn der Schwellwert des anderen
Signalgebers überschritten worden ist. Es ist weiter
möglich, daß der Oszillator so abgestimmt ist, daß er in
Abwesenheit von einem elektrischen Leiter oder einem Ma
terial mit geringer Dielektrizität vor der aktiven Flä
che nicht schwingt. Die Schwingung des Oszillators soll
erst beginnen, wenn er sich einem Körper mit höherer Di
elektrizität annähert oder einem elektrisch leitenden
Körper, welcher mit der Versorgungsspannung zumindest
kapazitiv gekoppelt ist. Es ist aber auch möglich, daß
der Oszillator so abgestimmt ist, daß er schwingt, wenn
Material mit einer gewissen Dielektrizität anwesend ist,
und die Schwingungsamplitude beim Annähern an einen
elektrisch leitenden Körper, welcher mit der Versorgungs
spannung gekoppelt ist, ansteigt. Wird dagegen die akti
ve Fläche einem elektrisch leitenden Körper angenähert,
welcher mit dem Prüfsignal verbunden ist, so soll die
Schwingung des Oszillators gedämpft werden.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand beige
fügter Zeichnungen nachfolgend im Detail erörtert. Es
zeigen
Fig. 1 eine erfindungsgemäße Vorrichtung in der An
sicht, vorliegend auch als Sensor bezeichnet,
Fig. 2 ein Schaltbild einer Vorrichtung nach Fig. 1,
Fig. 3 ein Ersatzschaltbild des Oszillatorkreises,
Fig. 4 ein Schaltbild einer zweiten Ausführungsform
der Erfindung,
Fig. 5 eine schematische Darstellung der Signalausga
be (Amplitude) in Abhängigkeit vom Schwingungs
niveau (Dämpfung) des Oszillators und
Fig. 6 ein Anwendungsbeispiel des Verfahrens.
Die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung weist ein im
wesentlichen zylindrisches Gehäuse auf, an welchem ein
endig insgesamt drei Klemmen 4, 5, 6 zum Anklemmen von
elektrischen Leitungen vorgesehen sind. An die Klemme 4
und 5 wird beispielsweise die Versorgungsspannung und an
die Klemme 6 eine Leitung angeklemmt, die vom Sensor 1
mit dem Prüfsignal beaufschlagt wird. Auf der Wandung
des Sensors 1 befindet sich eine Leuchtdiode 7, welche
von einem Signalgeber 14, vergleiche auch Fig. 2, ge
trieben wird. An der den elektrischen Anschlüs
sen 4, 5, 6 gegenüberliegenden Stirnseite des Sensors 1
befindet sich die aktive Fläche 2. Die aktive Fläche 2
ist kreisrund ausgebildet und zur Achse des Sensorkör
pers 1 zentriert. Koaxial zur kreisrunden aktiven Flä
che 2 befindet sich eine Abschirmung 3. Die Abschir
mung 3 erstreckt sich randseitig bis nahezu an den Rand
der Stirnfläche des Sensorkörpers 1. Zwischen der Ab
schirmung 3 und der aktiven Fläche 2 ist ein ringförmi
ger isolierender Bereich vorgesehen, so daß die elek
trisch leitende Abschirmung 3 und die ebenfalls elek
trisch leitende aktive Fläche 2 nichtleitend miteinander
verbunden sind.
Wie der Fig. 2 zu entnehmen ist, ist die aktive Flä
che 2 mit der Basis eines Transistors T1 verbunden. Der
Transistor T1 und der Transistor T2 bilden zusammen mit
dem Kondensator C1 und mit den an den Emitter der beiden
Transistoren geschalteten Widerstände R1, R2 einen emit
ter-gekoppelten Multivibrator. Die Basis des Transi
stors T1 ist zusätzlich über einen Widerstand R3 mit dem
Emitter des Transistors T2 verbunden, welcher mit seiner
Basis mit dem Kollektor des Transistor T1 verbunden ist.
Der Kollektor des Transistors T1 ist zudem mit der Ab
schirmung 3 verbunden. Die Abschirmung 3 ist optional.
Der Kollektor des Transistors T1 ist zudem über einen
Widerstand R4 mit der Versorgungsspannung verbunden. Der
Kollektor des Transistors T2 ist dagegen unmittelbar mit
der Versorgungsspannung verbunden. Über einen weiteren
Kondensator C2, durch welchen das (Oszillator-)Ausgangs-
Signal ausgekoppelt wird, ist der Emitter des Transi
stors T2 mit einem Verstärker 12 verbunden, welchem ein
Schwellwertschalter 13 nachgeordnet ist. Der Schwell
wertschalter 13 ist beispielsweise ein Schmittrigger
und ihm ist der Signalgeber 14 nachgeordnet, welcher im
Ausführungsbeispiel die Leuchtdiode 7 treiben kann.
Am Emitter des Transistors T2 wird ein Prüfsignal ab
gegriffen. Dieses Prüfsignal hat zufolge der Schaltungs
eigenschaften eine zu dem an der aktiven Fläche 2 anlie
genden Oszillatorsignal um 180° gedrehte Phasenlage. Diese
Phasenlage weist annähernd auch das an der Abschirmung 3
anliegende Signal auf. Das am Emitter des Transi
stors T2 abgegriffene Prüfsignal wird von einem Verstär
ker 17 verstärkt und dem mit P bezeichneten Prüfsignal
ausgang zugeleitet. Dort kann dieses Signal abgegriffen
werden, wenn an den mit 4 (minus) und 5 (plus) bezeichne
ten Versorgungsspannungsklemmen eine Versorgungsspannung
anliegt.
Im Anwendungsbeispiel ist ein Draht 8 einer Sitzheizung
an der mit 22 bezeichneten Stelle gebrochen. Der Draht
bildet somit zwei elektrisch leitende Körper aus, die
benachbart sind oder galvanisch getrennt sind, nämlich
die Drahtenden 8′ und 8′′.
Bei dem Prinzipschaltbild in Fig. 3 ist zwischen der
Basis des Transistors T1 und dem Minuspol der Versor
gungsspannung ein Kondensator 10 eingezeichnet. Dieser
Kondensator repräsentiert die Kapazität, welche zwischen
der aktiven Fläche 2 und dem Drahtende 8′, welches mit
dem Minuspol verbunden ist, gebildet wird. Die Kapazi
tät 10 hängt im wesentlichen von der Distanz der aktiven
Fläche 2 vom Drahtende 8′ ab. Der Kondensator 9 präsen
tiert die Kapazität, die zwischen dem am Prüfsignalaus
gang P angeschlossenen Drahtende 8′′ und der aktiven
Fläche 2 gebildet ist. Diese Kapazität 9 ändert sich in
Abhängigkeit von der Distanz der aktiven Fläche 2 vom
Drahtende 8′′. Je nach dem Verhältnis der beiden Kapazi
täten 9, 10 ändert sich die Dämpfung des Multivibrators.
Zur Durchführung des Verfahrens zum Auffinden beispiels
weise eines Drahtbruches 22 in einer Sitzheizung, weiche
aus einem Heizdraht 8 besteht, wird das mit (minus) be
zeichnete Ende eines Heizdrahtendes 8′ eines Heizdrah
tes 8 mit dem Minuspol oder dem Pluspol der Versorgungs
spannung des Sensors verbunden. Das mit (P) bezeichnete
Ende des Heizdrahtendes 8′′ wird dann mit dem mit P be
zeichneten Anschluß der Schaltung, also mit dem Prüfsi
gnal verbunden. Beim Anwendungsbeispiel in Fig. 6 ist
der Sensor 1 mit seinem Minuspol mit der Erde verbunden,
und der Draht 8 ist mit seinem einen Ende 8′ mit der
Erde und mit seinem zweiten Ende 8′′ mit dem Prüfsignal
anschluß verbunden. Der Drahtbruch 22 wird nun dadurch
ermittelt, daß der Sensor über die Sitzfläche des Sitzes
geschoben wird. Der Oszillator ist so eingestellt, daß
er mit einer geringen Amplitude schwingt, wenn sich ein
nicht mit Draht versehener Bereich des Sitzes vor der
aktiven Fläche 2 befindet. Befindet sich dagegen die
aktive Fläche 2 über dem Drahtende 8′, welches mit der
Versorgungsspannung des Sensors 1 verbunden ist, so
steigt die Oszillatoramplitude, da dann der im Prinzip
schaltbild (Fig. 3) dargestellte Kondensator 10 einen
hohen Wert annimmt. Wird der Sensor dagegen mit seiner
aktiven Fläche 2 über das Drahtende 8′′, welcher jen
seits der Bruchstelle 22 ist, verlagert, so wird im
Prinzipschaltbild (Fig. 3) die Kapazität des Kondensa
tors 9 größer als die Kapazität des Kondensators 10, so
daß der Schwingkreis gedämpft wird. Diese Dämpfung führt
so weit, daß der Oszillator aufhört zu schwingen. Die
Lage der beiden Kondensatoren 9, 10, welche körperlich
selbst nicht vorhanden sind, sondern - wie oben ausge
führt - nur die Kapazitäten darstellen, welche durch die
räumliche Beziehung jeweils der Leiterpaare 2, 8′
und 2, 8′′ gebildet werden, ist in Fig. 2 gestrichelt
angedeutet und mit dem Bezugszeichen 9 und 10 bezeichnet.
Bei dem in den Fig. 4, 5 und 6 dargestellten
Ausführungsbeispiel sind hinter dem Verstärker 12,
welcher gleichzeitig auch der Demodulator für das an der
mit A bezeichneten Stelle anliegenden Hochfrequenzsignal
(Ausgangssignal) ist, zwei Schwellwertschalter 13, 16
angeschlossen, welche jeweils einen unterschiedlichen
Schwellwert aufweisen. Der Schwellwertschalter mit dem
niedrigen Schwellwert schaltet bei Unterschreiten seiner
Schwelle ein. Der Schwellwertschalter mit dem hohen
Schwellwert schaltet bei Überschreiten seiner Schwelle
ein. Zwischen den beiden Schwellwerten ergibt sich ein
Bereich, wo beide Ausgänge aus sind. Jedem
Schwellwertschalter 13, 16 ist individuell ein
Signalgeber 14, 15 nachgeordnet, welche wiederum jeweils
individuell eine Leuchtdiode 7, 7′ treiben können. Die
Leuchtdioden 7, 7′ haben unterschiedliche Farben, sie
können grün und rot sein. Je nach Höhe der
Oszillatoramplitude soll dann entweder die eine oder die
andere Leuchtdiode aufleuchten. An den Oszillator 11 ist
darüber hinaus noch der Verstärker 17 angeschlossen,
welcher dann das Prüfsignal P liefert, welches um 180° zu
dem an der aktiven Fläche 2 anliegenden Signal gedreht
ist.
Bei dem in Fig. 5 dargestellten Schema ist in
Pfeilrichtung 18 die Amplitudenhöhe des Oszillators
abgetragen. Mit 0 ist der Nullpunkt, also die
vollständige Dämpfung des Oszillators markiert. Die
Schaltung der Leuchtdioden erfolgt dort wie folgt: In
einem Schaltzustand 21, bei dem der Oszillator stark
gedämpft ist, das heißt, daß seine Amplitude 0 ist, soll
die rote Leuchtdiode aufleuchten. Dies signalisiert, daß
sich der Sensor im Bereich eines elektrisch leitenden
Körpers 8′′ befindet, welcher mit dem Prüfsignal P
gekoppelt ist. In einem Bereich 20, bei welchem der
Oszillator eine mittlere Dämpfung erfährt hat die
Amplitude eine gewisse Größe erreicht und es soll keine
Leuchtdiode leuchten. Dieser Bereich entspricht dem
Zustand, bei welchem die aktive Sensorfläche 2 weder in
Nachbarschaft zu dem einen elektrisch leitenden Körper 8′
noch in Nachbarschaft zu dem anderen elektrischen Körper
8′′ ist. Kommt dagegen die aktive Fläche 2 in den Bereich
des elektrisch leitenden Körpers 8′, welcher mit der
Versorgungsspannung gekoppelt ist, so wird der Oszillator
entdämpft und erreicht die Amplitude einen Wert, der im
Bereich 19 angesiedelt ist. Hier soll die grüne
Leuchtdiode leuchten.
Die Vorrichtung eignet sich wie erwähnt besonders dazu,
das Aufspüren von Drahtbrüchen bei Sitzheizungen in
Automobilen zu detektieren. Es ist aber ebenso gut
möglich, mit dieser Vorrichtung Leitungsbrüche in anderen
Bereichen zu detektieren. Darüber hinaus ist es möglich,
eine Vielzahl von parallel laufenden Leitungen zu
identifizieren. Dabei braucht nur jeweils eine Leitung
mit dem Prüfsignal und eine oder mehrere andere Leitungen
mit der Versorgungsspannung verbunden zu sein. Je nachdem
welche dieser Leitungen dann in der Nähe der aktiven
Fläche 2 ist, leuchtet die eine oder andere Leuchtdiode.
Zur Kopplung der elektrischen Körper 8′ bzw. 8′′ mit den
entsprechenden Klemmen 4, 5 oder 6 (letztere
repräsentiert das Prüfsignal und erstere die
Versorgungsspannung) ist eine galvanische Verbindung
nicht nötig. Es reicht aus, wenn hier eine lediglich
kapazitive Kopplung vorgesehen ist. Es kann
beispielsweise ausreichen, daß der eine elektrisch
leitende Körper 8′ lediglich parallel zu einem die
Versorgungsspannung führenden Kabel liegt.
Alle offenbarten Merkmale sind erfindungswesentlich.
Claims (9)
1. Verfahren zum Individualisieren von voneinander ge
trennten elektrisch leitfähigen Körpern (8′, 8′′), insbe
sondere zur Lokalisierung von Bruchstellen (22) oder
Trennungsgebieten von Drähten (8) oder dergleichen
wobei die an einen Oszillator (11) gekoppelte aktive
Fläche (2) eines kapazitiven Sensors (1) über zu indivi
dualisierenden Körper (8′, 8′′) verlagert wird, wobei
der erste Körper (8′) zumindest kapazitiv mit der Versor
gungsspannung des Sensors und ein zweiter Körper (8′′)
zumindest kapazitiv mit einem um 180° zum Oszillatorsi
gnal phasenverschobenen Prüfsignal (P) gekoppelt wird.
2. Vorrichtung insbesondere zur Durchführung des Verfah
rens nach Anspruch 1, mit einer an einen Oszilla
tor (11) gekoppelten elektrisch leitenden, aktiven Flä
che (2) und mit einem über einen Demodulator (12) und
einen Schwellwertschalter (13, 16) an den Oszillator
gekoppelten Signalgeber (14, 15), dadurch gekennzeich
net, daß neben den Anschlüssen zur Spannungsversor
gung (4, 5) zusätzlich ein Prüfsignalanschluß (P) vorge
sehen ist, an dem von außen an einer Klemme oder derglei
chen ein um 180° zu dem an der aktiven Fläche (2) anlie
genden Oszillatorsignal verschobenes Prüfsignal (P) ab
greifbar ist.
3. Vorrichtung oder Verfahren nach einem oder mehreren
der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnete
daß der Prüfsignalausgang (P) einem Verstärker (17) oder
Impedanzwandler vorgeordnet ist.
4. Vorrichtung oder Verfahren nach einem oder mehreren
der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß der Oszillator (11) ein emitter-gekoppelter Multivi
brator ist, wobei die aktive Fläche (2) mit der Basis
des ersten Transistors (T1) verbunden ist und das Prüf
signal (P) am Kollektor des ersten Transistors (T1) oder
am Emitter des zweiten Transistors (T2) abgegriffen wird.
5. Vorrichtung oder Verfahren nach einem oder mehreren
der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß der Signalgeber (14, 15) eine Leuchtdiode (7, 7′)
treibt.
6. Vorrichtung oder Verfahren nach einem oder mehreren
der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß zwei Signalgeber (14, 15) vorgesehen sind, welchen
verschiedene Schwellwerte (21, 19) des Oszillatoraus
gangssignals (A) zugeordnet sind.
7. Vorrichtung oder Verfahren nach einem oder mehreren
der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnete
daß der Oszillator (11) so abgestimmt ist, daß er - in
Abwesenheit von elektrisch leitenden Körpern (8′, 8′′)
oder Körpern mit einer über einen gewissen Schwellwert
liegenden Dielektrizität vor der Fläche (2) - schwingt
und bei Annäherung von mit der Versorgungsspannung zumin
dest kapazitiv gekoppelten Leitern (8′) mit einer
höheren Amplitude schwingt und bei Anwesenheit von
zumindest kapazitiv mit dem Prüfsignal (P) gekoppelten
Leitern (8′′) gedämpft wird.
8. Vorrichtung oder Verfahren nach einem oder mehreren
der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnete
daß die Dämpfung bei Anwesenheit von mit dem Prüfsig
nal (P) gekoppelten Leitern (8′′) so groß ist, daß der
Oszillator (11) nicht mehr schwingt.
9. Vorrichtung oder Verfahren nach einem oder mehreren
der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß der Oszillator bei Anwesenheit eines Dielektrikums
nicht schwingt und nur bei Anwesenheit von mit der
Versorgungsspannung gekoppelten Leitern (8′) mit einer
Amplitude schwingt und bei Anwesenheit von mit dem
Prüfsignal gekoppelten Leitern (8′′) nicht mehr
schwingt.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4408468A DE4408468A1 (de) | 1994-03-12 | 1994-03-12 | Verfahren und Vorrichtung zur Individualisierung von galvanisch getrennten elektrisch leitfähigen Körpern |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4408468A DE4408468A1 (de) | 1994-03-12 | 1994-03-12 | Verfahren und Vorrichtung zur Individualisierung von galvanisch getrennten elektrisch leitfähigen Körpern |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4408468A1 true DE4408468A1 (de) | 1995-09-14 |
Family
ID=6512655
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4408468A Withdrawn DE4408468A1 (de) | 1994-03-12 | 1994-03-12 | Verfahren und Vorrichtung zur Individualisierung von galvanisch getrennten elektrisch leitfähigen Körpern |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4408468A1 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10563447B2 (en) | 2011-12-21 | 2020-02-18 | Brose Fahrzeugteile Gmbh & Co. Kg, Hallstadt | Control system |
CN111678957A (zh) * | 2020-06-03 | 2020-09-18 | 福州瑞芯微电子股份有限公司 | 一种裂纹检测装置、方法及电子设备 |
-
1994
- 1994-03-12 DE DE4408468A patent/DE4408468A1/de not_active Withdrawn
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8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |