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Die
Erfindung betrifft ein Raman-Mikroskop, insbesondere für ein Fouriertransform
(FT)-Spektrometer, mit einem Objektiv zur vergrößernden Abbildung eines punktförmigen Bereichs
auf einer Oberfläche
einer Meßprobe,
mit Mitteln zum Einstrahlen von Laserstrahlung auf den punktförmigen Bereich und
mit Mitteln zur Detektion der emittierten Raman-Strahlung.
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Ein
solches Raman-Mikroskop ist beispielsweise bekannt aus dem Konferenzbeitrag "Holographic Optical
Components for Laser Spectroscopy Applications" von Harrt Owen, verteilt auf der Konferenz "Holographics International '92", 26.–29. Juli
1992, London, England.
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DE 1 598 667 A offenbart
eine Vorrichtung zur Messung des Raman-Effekts von Proben kleinster
Größe mithilfe
einer konkaven Spiegelanordnung, wobei das Raman-Licht nur in Transmission
nachgewiesen werden kann.
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EP 0 116 321 B1 offenbart
ein Infrarotspektrometer mit einem Cassegrain Spiegelobjektiv.
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Aus
DE 40 05 878 C2 ist
ein Infrarot-Spektrometer bekannt, mit dem Raman-Messungen auch
im Infrarot Spektralbereich ausgeführt werden können.
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Die
Raman-Streuung ist ein sehr schwacher Prozeß, bei dem ein Photon in Wechselwirkung
mit einem Molekül
tritt und dabei inelastisch gestreut wird. Das Photon verliert oder
gewinnt bei diesem Prozeß also
Energie, die sich in einer Frequenzverschiebung des gestreuten Photons
ausdrückt.
Diese Frequenzverschiebung entspricht Rotations-, Vibrations- oder
elektronischen Zustandsübergängen des Moleküls, an dem
das Photon gestreut wird. Für
Vibrations-Übergänge liegt
die Streuwahrscheinlichkeit ungefähr bei 10–7. Demgegenüber ist
der als Rayleigh-Streuung bekannte elastische Streuprozeß, bei dem
während
der Wechselwirkung zwischen Photon und Molekül kein Energietransfer stattfindet,
erheblich stärker.
Die Raman-Spektroskopie
ist zu einer sehr empfindlichen und aussagekräftigen Methode zur Bestimmung
von chemischen und molekularen Strukturen in Flüssigkeiten, Festkörpern und
an Oberflächen
entwickelt worden. Sie liefert komplementäre Aussagen zu der üblichen
Infrarot (IR)-Spektroskopie, da bei Raman-Prozessen molekulare Übergänge möglich sind,
die bei den Prozessen der IR-Spektroskopie verboten sind.
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In
den letzten Jahren wurden verstärkt
auch Nahinfrarot (NIR)-Laser,
wie beispielsweise Neodym-YAG-Laser für die Raman-Spektroskopie, insbesondere in Fouriertransform
(FT)-Spektrometern verwendet. Ein solches FT-IR-Spektrometer ist
beispielsweise in der Firmenschrift "IFS 66" der Firma Bruker Analytische Meßtechnik
GmbH beschrieben. Das bei den klassischen Raman- Experimenten äußerst störende Fluoreszenzlicht im sichtbaren
Bereich kann durch die Verwendung von NIR-Lasern zur Anregung von
Raman-Prozessen im wesentlichen vermieden werden.
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Für die Untersuchung
von sehr kleinen oder inhomogenen Proben mit Hilfe der Raman-Spektroskopie
werden im Raman-Spektrometer Mikroskope mit entsprechenden Objektiven
zur vergrößernden Abbildung
eines punktförmigen
Bereichs auf der Oberfläche
der Meßprobe
verwendet. Ein solches üblicherweise
aus optischen Linsen aufgebautes Mikroskop-Objektiv ist in beiden
oben zitierten Druckschriften beschrieben. Ein derartiges kommerziell
erhältiches,
für den
sichtbaren Wellenlängenbereich optimiertes
Glasobjektiv, das für
den Einschuß von fokussiertem
Laserlicht auf die Probenoberfläche und
zur Aufnahme des emittierten Raman-Spektrums eingesetzt wird, hat jedoch
den Nachteil einer chromatischen Aberration, die zu einer Verzerrung der
aufgenommenen Spektren führt.
Daher sind diese Glasobjektive nur in einem sehr eingeschränkten optischen
Bereich einsetzbar.
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Gegen
die chromatische Aberration in einem bestimmten Wellenlängenbereich
werden herkömmliche
Glasobjektive durch Beschichtung entspiegelt. Diese Entspiegelung
wirkt aber nur im sichtbaren Wellenlängenbereich, während das
Objektiv im NIR-Bereich zu Abbildungsfehlern führt. Zwar wäre auch eine Entspiegelung
und Korrektur der bekannten Glasobjektive für den IR-Bereich prinzipiell
möglich.
Derartige Objektive wären
jedoch in der Herstellung sehr aufwendig, und die Korrekturwirkung
würde auch
nur für
einen kleinen Ausschnitt aus dem IR-Wellenlängenbereich wirksam werden.
Daher sind entspiegelte IR-Glasobjektive im normalen Handel kaum
erhältlich
und sehr teuer.
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Wenn
Laserlicht zum Zwecke der Raman Mikroskopie ohne weitere Maßnahmen
auf eine Messprobe eingestrahlt wird das Laserlicht mit hoher Intensität in den
Detektor reflektiert. Diese aus der intensiven Laserlichtquelle
stammende reflektierte Strahlung überdeckt im Detektor die demgegenüber ziemlich
schwachen Signale der gestreuten Raman Strahlung, so dass letztere
im Rauschen völlig
untergeht.
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Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Raman-Mikroskop der oben
beschriebenen Art vorzustellen, das auf einfache Weise aus kommerziell
leicht erhältlichen
optischen Bauteilen aufgebaut ist, keine chromatische Aberration auf-Weist und das oben
beschriebene Rauschproblem löst.
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Erfindungsgemäß wird diese
Aufgabe durch ein Raman-Mikroskop mit den Merkmalen des Patentanspruchs
1 gelöst.
Die Laserstrahlung liegt erfindungsgemäß im Infrarot (IR), vorzugsweise
im Nahinfrarot (NIR)-Bereich. Das erfindungsgemäße Objektiv ist ein Cassegrain-Spiegelobjektiv
mit einem rotationssymmetrisch zu einer optischen Achse angeordneten
Konvexspiegel und einem ebenfalls zur optischen Achse des Objektivs
rotationssymmetrischen Konkavspiegel, wobei der auf der optischen
Achse liegende Brennpunkt des Konkavspiegels mit dem punktförmigen Bereich
auf der Oberfläche
der Meßprobe übereinstimmt.
Das verwendete Cassegrain-Spiegelobjektiv, das beispielsweise aus
der Druckschrift
DE
33 03 140 A1 sich bekannt ist, ist achromatisch und führt daher
zu keinen Verzerrungen im NIR-Raman-Spektrum.
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Bei
einer Ausführungsform
der Erfindung sind die Mittel zum Einstrahlen der Laserstrahlung
so ausgebildet, daß die
Laserstrahlung zunächst
auf die spiegelnde Fläche
des Konvexspiegels trifft, wobei der wesentliche Teil der Laserstrahlung
mit Abstand von der optischen Achse des Cassegrain-Spiegelobjektivs
eingestrahlt wird. Durch die Anordnung der Mittel zum Einstrahlen
der Laserstrahlung auf der probenabgewandten Seite des Cassegrain-Spiegelobjektivs
entstehen keine Platzprobleme hinsichtlich der Positionierung des
oder der Einkoppelspiegel. Aufgrund der Einstrahlung zumindest eines
wesentlichen Teils des Laserlichts mit seitlichem Versatz von der
optischen Achse des Objektivs wird kaum oder gar kein Laserlicht
in den zu einem Detektor führenden
Strahlengang des aus dem Objektiv austretenden Raman-Streulichts
eingekoppelt.
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Eine
Möglichkeit
der Einkopplung die jedoch nicht unter den Schutzbereich der Erfindung
fällt,
besteht darin, dass die Laserstrahlung über einen halbdurchlässigen Planspiegel,
der auf der optischen Achse mit Abstand vom Cassegrain-Spiegelobjektiv auf
der der Meßprobe
entgegengesetzten Seite unter einem Winkel zur optischen Achse angeordnet
ist, auf den Konvexspiegel gelenkt wird, wobei die Laserstrahlung
derart divergierend aufgeweitet ist, daß sie als symmetrisch zur optischen
Achse kegelförmiger Strahl
auf den Konvexspiegel auftrifft, und wobei der Kegelwinkel so gewählt ist,
daß die
Laserstrahlung nach Durchlaufen des Cassegrain-Spiegelobjektivs auf
den punktförmigen
Bereich fokussiert wird.
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Dadurch
wird das Cassegrain-Spiegelobjektiv von der einfallenden Laserstrahlung
voll ausgeleuchtet und die letztere optimal zur Raman-Anregung auf
der Probenoberfläche
ausgenutzt.
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Dabei
kann der halbdurchlässige
Planspiegel für
Ramanstrahlung in einem beobachteten Wellenlängenbereich transmitierend
und für
die eingestrahlte NIR-Laserstrahlung reflektierend sein. Auf diese
Weie kann die eingekoppelte Laserstrahlung vollständig und
ohne Verluste für
die Raman-Messung nutzbar gemacht werden.
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Bei
einer bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung wird die Einkopplung dadurch bewirkt, daß die Laserstrahlung
als Parallelbündel
mit geringem Strahldurchmesser über
einen vollständig
reflektierenden Plan-spiegel, der mit seitlichem Versatz zur optischen
Achse und auf der proben-abgewandten Seite des Cassegrain-Spiegelobjektivs
angeordnet ist, unter einem solchen Winkel bezüglich der optischen Achse auf
den Konvexspiegel gelenkt wird, daß das Parallelbündel nach
Durchlaufen des Cassegrain-Spiegelobjektivs auf den punktförmigen Bereich
auftrifft. Auch in dieser Anordnung wird eine Reflektion des eingekoppelten
Laserlichts in Richtung auf die Detektoranordnung des Spektrometers
verhindert, wobei allerdings ein Teil der aus dem Cassegrain-Spiegelobjektiv
austretenden Raman-Strahlung durch den vollständig reflektierenden Planspiegel
ebenfalls ausgeblendet bleibt. Das eingekoppelte Laserlicht, bei
dem es sich um einen im Querschnitt sehr dünnen, hoch intensiven Strahl
handeln kann, läuft
bei dieser Ausführungsform
am günstigsten
auf der Mantelfläche
des Kegels, der normalerweise beim Betrieb des Cassegrain-Spiegelobjektivs
mit sichtbarem Licht mit einem bestimmten Aufweitungswinkel eingestrahlt
wird, um den Konvex-Spiegel möglichst
vollständig
auszuleuchten, und der vom Spiegelobjektiv auf einen punktförmigen Bereich
auf der Probenoberfläche
fokussiert wird.
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Bei
einer besonders bevorzugten Ausführungsform
wird die Einkoppelung der Laserstrahlung dadurch bewirkt, daß die Mittel
zum Einstrahlen der Laserstrahlung ein auf der optischen Achse zwischen der
Probe und dem Cassegrain-Spiegelobjektiv angeordnetes reflektierendes
Element umfassen, mit dessen Hilfe ein im wesentlichen quer zur
optischen Achse eingestrahlter, parallelgebündelter Laserstrahl längs der
optischen Achse auf den punktförmigen Bereich
auf der Oberfläche
der Meßprobe
gelenkt werden kann. Bei dieser geometrisch äußerst einfachen Anordnung entstehen
keine Verluste der auf die Probe einfallenden Laserstrahlung aufgrund
von Streuung oder Absorption im Objektiv. Darüberhinaus ist auch kein Strahlteiler
im Strahlengang des Raman-Mikroskops erforderlich, der normalerweise zu
zusätzlichen
Verlusten des gestreuten Ramanlichts führen würde.
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Bei
einer besonders vorteilhaften Weiterbildung dieser Ausführungsform
weist das reflektierende Element eine geringere räumliche
Ausdehnung quer zur optischen Achse auf, als der Konvex-Spiegel des Cassegrain-Spiegelobjektivs.
Damit liegt das Reflektorelement im Schatten des Konvex-Spiegels, so
daß die
Lichtausbeute des von der Probe austretenden Raman-Lichts durch
das Reflektorelement nicht geschwächt wird.
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Um
eine höhere
Strahlungsdichte des eingestrahlten Laserlichts auf der Probenoberfläche zu erzielen,
wirkt das reflektierende Element bei einer vorteilhaften Ausführungsform
fokussierend, insbesondere fokussiert es die einfallende Laserstrahlung
auf den punktförmigen
Bereich auf der Oberfläche
der Meßprobe.
Auf diese Weise wird vor allem eine bessere Ortsauflösung des
FTIR-Raman-Spektrometers erzielt.
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Das
fokussierende Reflektorelement kann einen unter einem Winkel zur
optischen Achse angeordneten Planspiegel sowie eine im Strahlengang der
Laserstrahlung, vorzugsweise in Strahlrichtung vor dem Planspiegel
angeordnete fokussierende Linse umfassen.
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Bevorzugt
ist demgegenüber
jedoch eine Ausführungsform,
bei der das reflektierende Element ein vorzugsweise unter 45° zur optischen
Achse angeordneter Parabolspiegel ist. Der Einschuß des Laserstrahls
erfolgt dann unter 90° zur
optischen Achse. Bei dieser vorteilhaften Lösung wird lediglich ein optisches
Element für
Strahlumlenkung und Fokussierung des einfallenden Laserstrahls benötigt, so daß die Verluste
besonders klein gehalten werden.
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Die
Erfindung wird im folgenden anhand der in der Zeichnung dargestellten
Ausführungsbeispiele näher beschrieben
und erläutert.
Die der Beschreibung und der Zeichnung zu entnehmenden Merkmale
können
bei anderen Ausführungsformen
der Erfindung einzeln, für
sich oder zu mehreren in beliebigen Kombinationen Anwendung finden.
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Es
zeigen:
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1a ein
schematisches Diagramm des Strahlengangs in einem Raman-Mikroskop
mit einem Glasobjektiv nach dem Stand der Technik;
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1b ein
Schema des Strahlengangs durch ein Cassegrain-Spiegelobjektiv;
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2a den
schematischen Strahlengang durch ein erfindungsgemäßes Raman-Mikroskop
mit Einkopplung des Laserlichts von oben, wobei der Laserstrahl
stark gebündelt
und mit seitlichen Versatz von der optischen Achse bzw. in das Cassegrain-Spiegelobjektiv eingekoppelt
wird;
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2b den
schematischen Strahlengang durch ein nicht unter den Schutzbereich
der Erfindung fallendes Raman-Mikroskop mit Einkoppelung des Laserlichts
von oben, wobei der Laserstrahl stark aufgeweitet auf den optimalen
Ein-Fallskegel in
das Cassegrain-Spiegelobjekt eingekoppelt wird;
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3 den schematischen Strahlengang durch
ein erfindungsgemäßes Raman-Mikroskop
mit Laserstrahleinkopplung zwischen dem Cassegrain-Spiegelobjektiv
und der Probe, wobei der Laserstrahl
- a) stark
gebündelt
ist und über
einen Planspiegel auf die Probe gelenkt wird,
- b) zunächst
aufgeweitet ist, auf eine fokussierende Linse trifft und mit einem
Planspiegel auf die Probe fokussiert wird, bzw.
- c) zunächst
aufgeweitet ist und mit einem Parabolspiegel abgelenkt und auf die
Probe fokussiert wird.
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Bei
dem in 1a dargestellten Strahlengang
durch ein herkömmliches
Raman-Mikroskop wird aus einem Laser 10 ein Laserstrahl 20 über einen
halbdurchlässigen
oder dichroitischen Spiegel 6 durch ein Glasobjektiv 30 auf
eine Probe 2 gelenkt. Die von der Probenoberfläche durch
das Glasobjektiv 30 zurückgestreute
Raman- (und Rayleigh-)Strahlung durchläuft das Glasobjektiv 30 nunmehr
in umgekehrter Richtung, wird von dem halbdurchlässigen Spiegel 6 durchgelassen
und nach Durchlaufen von anderen, in der Zeichnung nicht dargestellten
Teilen des Spektrometers in einem Detektor 40 nachgewiesen.
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1b zeigt
schematisch den Strahlengang durch ein Cassegrain-Spiegelobjektiv mit
einem zur optischen Achse 5 rotationssymmetrischen Konvexspiegel 3,
durch den ein in das Objektiv einfallendes, zunächst divergendes Strahlenbüschel 21 auf
einen ebenfalls zur optischen Achse 5 rotationssymmetrischen
Konkavspiegel 4 abgelenkt und von dort als einfallendes
Strahlenbüschel 22 auf
einen punktförmigen
Bereich 1 der Meßprobe 2,
die auf einer Unterlage 12 angebracht ist, fokussiert wird.
Das von dem punktförmigen
Bereich 1 reflektierte Streulicht kann auf dem umgekehrten
Weg das Cassegrain-Spiegelobjektiv 3, 4 wieder
verlassen und zu in der Zeichnung nicht dargestellten anderen Spektrometerteilen und
letztlich zu einem ebenfalls nicht dargestellten Detektor geführt werden.
Eine solche im Stand der Technik für die Verwendung in IR-Spektrometern
an sich bekannte Vorrichtung wurde bislang nie zur Untersuchung
von Raman-Strahlung eingesetzt.
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Bei
der in 2a) gezeigten Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Raman-Mikroskops wird
der Laserstrahl 20 aus einem Infrarot (IR)-, vorzugsweise
einem Nahinfrarot (NIR)-Laser 11 über einen auf der probenabgewandten
Seite des Cassegrain-Spiegelobjektivs 3, 4 mit
seitlichem Versatz zur optischen Achse 5 angeordneten Planspiegel 7 durch
das Cassegrain-Objektiv 3, 4 auf den punktförmigen Bereich 1 auf
der Oberfläche
der Meßprobe 2 gelenkt.
Der aus dem IR-Laser 11 austretende Laserstrahl 20 ist
bei diesem Ausführungsbeispiel
parallel gebündelt
und weist einen lediglich geringen Strahldurchmesser auf. Der möglichst
vollständig
reflektierende Planspiegel 7 ist so angeordnet, daß der Laserstrahl 20 auf
eine Mantellinie 23 des optimalen Einfallskegels in das
Cassegrain-Spiegelobjektiv 3, 4 abgelenkt wird,
aus dem er dann auf dem Teilpfad 24 austritt und im punktförmigen Bereich 1 auf
die Probenoberfläche
trifft.
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Das
von der Meßprobe 2 reflektierte
Raman-Licht wandert dann auf dem Teilpfad 25 in das Cassegrain-Spiegelobjektiv 3, 4 und
verläßt dieses auf
einem Teilpfad 26 in Richtung auf die einen Detektor enthaltenden,
in der Zeichnung nicht dargestellten Spektrometerteile.
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Dem
Vorteil dieser Ausführungsform,
daß relativ
stark gebündelte
Laserstrahlung auf den punktförmigen
Bereich 1 der Meßprobe 2 gerichtet
wird, steht der Nachteil gegenüber,
daß bei
einem geringen axialen Versatz der Meßprobe 2 parallel
zur optischen Achse 5 ein völlig anderer Bereich auf der Probenoberfläche getroffen
wird.
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Dieser
Nachteil besteht nicht bei dem in 2b) gezeigten
Beispiel, in welchem aus dem IR-Laser ein bereits aufgeweiteter,
divergierender Laserstrahl 20 auf einen halbdurchlässigen Planspiegel 6 gerichtet
wird, der ein Strahlenbüschel 21 symmetrisch
zur optischen Achse 5 in das Cassegrain-Spiegelobjektiv 3, 4 einkoppelt.
Der Divergenzwinkel des Laserstrahls 20 und damit des Strahlenbüschels 21 sollte
dabei so gewählt
werden, daß das Strahlenbüschel 21 mit
dem optimalen Einfallskegel des Cassegrain-Spiegelobjektivs 3, 4 übereinstimmt, so
daß der
Konvexspiegel 3 optimal ausgeleuchtet wird. Das aus dem
Objektiv austretende Strahlenbüschel 22 wird
dann wie bei der in 1b gezeigten Anordnung auf den
punktförmigen
Bereich 1 der Meßprobe 2 fokussiert.
Das reflektierte bzw. gestreute Raman-Licht nimmt den umgekehrten
Strahlenweg durch das Cassegrain-Objektiv 3, 4 zurück auf den
halbdurchlässigen
Spiegel 6, welcher für
die eingestrahlte Laserstrahlung reflektierend, für die zu
beobachtende Raman-Strahlung hingegen transparent ist.
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Bei
einem kleinen axialen Versatz der Meßprobe 2 parallel
zur optischen Achse 5 wird die Oberfläche der Meßprobe 2 immer noch
um den punktförmigen
Bereich 1 herum bestrahlt, wobei dann allerdings ein ausgedehnterer
Brennfleck entsteht, der bei exakter Justage der Meßprobe 2 dem
Brennpunkt 1 entspricht.
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Bei
den in den 3a) bis 3c) gezeigten Ausführungsbeispielen
erfolgt die Einkoppelung der IR-Laserstrahlung jeweils über ein
zwischen der Meßprobe 2 und
dem Cassegrain-Spiegelobjektiv 3, 4 angeordnetes
Reflektorelement.
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In 3a)
ist eine einfache Anordnung mit einem Planspiegel 8 auf
der optischen Achse zwischen dem Konvexspiegel 3 und der Meßprobe 2 dargestellt.
Der parallel gebündelte
Laserstrahl 20 aus dem IR-Laser 11 trifft im gezeigten
Beispiel von der Seite auf den um ca. 45° gegen die optische Achse 5 gekippten
Planspiegel 8 auf und wird von diesem längs der optischen Achse 5 auf
den punktförmigen
Bereich 1 auf der Oberfläche der Meßprobe 2 abgelenkt.
Die von der Meßprobe 2 emittierte
Raman-Strahlung wird in einem Hohlkegelbereich 22' von dem Cassegrain-Spiegelobjektiv 3, 4 aufgefangen
und in einem Kegelbereich 21' konvergierend
in die weiteren, in der Zeichnung nicht dargestellten Teile des
Raman-Spektrometers weitergeleitet. Dadurch kann einerseits ein
relativ stark gebündelter
Laserstrahl 20 mit hoher Intensitätsdichte auf den punktförmigen Bereich 1 aufgebracht
werden, wobei andererseits aber, im Gegensatz zu der in 2a)
gezeigten Ausführungsform
keine teilweise Ausblendung des vom Spiegelobjektiv aufgefangenen
und konvergierend weitergereichten Raman-Streulichts erfolgt.
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Bei
den in 3b) und 3c) gezeigten Ausführungsbeispielen
wird die aus dem IR-Laser 11 austretende Laserstrahlung 20 nicht
nur umgelenkt, sondern auch fokussiert. In 3b) ist
eine Anordnung gezeigt, bei der aus dem IR-Laser 11 ein
relativ stark aufgeweitetes Parallelbündel 20 austritt,
das über
eine fokussierende Linse 9 und einen wie bei der Ausführungsform
in 3a) angeordneten Planspiegel 8 auf den
punktförmigen
Bereich 1 der Meßprobe 20 fokussiert
wird. Ein derart aufgeweiteter, parallel gebündelter Laserstrahl 20 hat
gegenüber
einen Laserstrahl mit engem Querschnitt den Vorteil, daß er relativ
große
Strecken ohne nennenswerte Divergenz geführt werden kann. Demgegenüber fällt der
Nachteil einer Absorption eines gewissen Anteils des Laserlichts
in der Linse 9 kaum ins Gewicht.
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In 3c)
schließlich
ist ein besonders bevorzugtes Ausführungsbeispiel dargestellt,
bei dem das reflektierende Element zwischen dem Cassegrain-Spiegelobjektiv 3, 4 und
der Meßprobe 2 den einfallenden,
parallel aufgeweiteten Laserstrahl 20 nicht nur umlenkt,
sondern auch gleichzeitig auf den punktförmigen Bereich 1 der
Meßprobe 2 fokussiert. Dies
wird durch einen vorzugsweise unter 45° zur optischen Achse 5 angeordneten
Parabolspiegel 13 erreicht.
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Besonders
vorteilhaft ist es, wenn der Planspiegel 8 bzw. der Parabolspiegel 13 eine
geringere räumliche
Ausdehnung quer zur optischen Achse 5 aufweisen als der
Konvexspiegel 3 des Cassegrain-Spiegelobjektivs 3, 4.
In diesem Fall befindet sich nämlich
das reflektierende Element 8, 13 jeweils im Schatten
des Konvexspiegels 3, so daß das von der Oberfläche der
Meßprobe 2 in
den Hohlkegel 22' emittierte
Raman-Licht durch das reflektierende Element 8, 13 nicht
abgeschwächt
wird.