DE4228691A1 - Vorrichtung für die elektrische Funktionsprüfung von Verdrahtungsfeldern, insbesondere von Leiterplatten - Google Patents

Description

Die weitergehende Integration und Miniaturisierung bei elek­ tronischen Bauelementen erfordert Leiterplatten mit verrin­ gerten Rasterabständen, feineren Leiterbahnen und einer er­ höhten Lagenzahl. Im Sinne einer frühzeitigen Fehlerelimi­ nierung in der Flachbaugruppenfertigung müssen Leiterplatten vor der Bestückung vollständig auf ihre elektrische Funktion geprüft werden, wobei die elektrische Funktionsprüfung so­ wohl eine Durchgangsprüfung als auch eine Isolationsprüfung umfaßt. Voraussetzung für eine derartige elektrische Funkti­ onsprüfung der Leiterplatten ist die Kontaktierung an den relevanten Meßstellen. Diese Kontaktierung erfolgt in der Praxis mechanisch durch Kontaktiernadeln, wobei jedoch einer derartigen Nadelkontaktierung durch die Verringerung der Ra­ stermaße bei gleichzeitig großen Leiterplattenformaten sehr deutliche Grenzen hinsichtlich der feinwerktechnischen Mach­ barkeit sowie einer Realisierung unter wirtschaftlichen Ge­ sichtspunkten gesetzt sind. Weitere Probleme resultieren bei feinen Rastern aus der Kontaktierzuverlässigkeit bedingt durch die hohe Anzahl von Nadelkontakten sowie aus der me­ chanischen Beschädigung der Kontaktierfelder als Folge der notwendigen Kontaktierkraft.

Aus der EP-A-0 102 565 ist eine Vorrichtung für die elektri­ sche Funktionsprüfung von Verdrahtungsfeldern bekannt, bei der die vorstehend beschriebene Kontaktierung der Meßstellen mittels Kontaktiernadeln durch eine berührungslose Kontak­ tierung mittels Gasentladungsstrecken ersetzt wird. Hierzu wird in eine auf die Verdrahtungsfelder aufsetzbare Träger­ platte aus elektrisch isolierendem Material eine Vielzahl von mit Elektroden versehenen Gasentladungskanälen einge­ bracht, wobei die im Raster der Verdrahtungsfelder angeord­ neten Gasentladungskanäle zu den Meßstellen hin offen sind. Legt man diese Anordnung in einen Unterdruck und legt an die Elektroden eine Spannung, so zünden in den entsprechenden Gasentladungskanälen zwei Gasentladungen in Serie, sofern zwischen den beiden zugeordneten Meßstellen eine elektrisch leitende Verbindung besteht und sofern die Spannung minde­ stens doppelt so hoch ist wie die Zündspannung einer Einzel­ entladung. Bei einem hinreichend hohen Isolationswiderstand zwischen den Meßstellen unterbleibt diese Zündung. Dieses Prinzip ermöglicht somit ohne mechanische Berührung der Meß­ stellen von Verdrahtungsfeldern, einen Prüfstrom auf eine Leiterbahn zu bringen und wieder abzunehmen. Die Stärke des über die Gasentladungsstrecken fließenden Stromes gibt Auf­ schluß über den Durchgangs- bzw. Isolationswiderstand.

Der im Anspruch 1 angegebenen Erfindung liegt das Problem zugrunde, bei der elektrischen Funktionsprüfung durchkontak­ tierter Verdrahtungsfelder eine beidseitige berührungsfreie Kontaktierung der Meßstellen mittels Gasentladungsstrecken zu ermöglichen.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbeson­ dere darin, daß mit der beidseitig berührungsfreien Kontak­ tierung von Verdrahtungsfeldern eine elektrische Prüfung al­ ler Verbindungen einschließlich Durchkontaktierungen ermög­ licht wird. Liegen zwei ausgewählte Meßstellen auf verschie­ denen Seiten eines zu prüfenden Verdrahtungsfeldes und sind sie elektrisch leitend miteinander verbunden, so bilden die zugeordneten Gasentladungskanäle in den einander gegenüber­ liegenden Trägerplatten zwei in Serie geschaltete Gasentla­ dungsstrecken, die durch Anlegen einer hinreichend hohen Spannung an die entsprechenden Elektroden gezündet werden können. Der hierbei einsetzende Stromfluß von einer Seite der Verdrahtungsfelder zu der gegenüberliegenden Seite kann nachgewiesen und zu Prüfzwecken ausgewertet werden. Liegen zwei Meßstellen auf der selben Seite eines Verdrahtungsfel­ des, so kann die Prüfung von Verbindungen zwischen diesen beiden Meßstellen auf die aus der EP-A-0 102 565 bekannte Weise über die Gasentladungskanäle der einzelnen auf dieser Seite angeordneten Trägerplatte durchgeführt werden.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den An­ sprüchen 2 bis 8 angegeben.

Die Weiterbildung nach Anspruch 2 ermöglicht eine verein­ fachte Adressierung ausgewählter Meßstellen über die zuge­ ordneten Sammelleitungen. Falls erforderlich, kann die ein­ deutige Ansteuerung eines Gasentladungskanals zusätzlich zu der Ansteuerung über eine Sammelleitung durch die Beauf­ schlagung des Gasentladungskanals mit einer ionisierenden Strahlung oder durch die Verwendung einer die Kontaktierung nicht ausgewählter Meßstellen verhindernden Zwischenmaske realisiert werden.

Die Ausgestaltung nach Anspruch 3 ermöglicht eine besonders einfache und zuverlässige Ansteuerung ausgewählter Meßstel­ len durch die Zündung von Steuergasentladungen in den zuge­ ordneten Gasentladungskanälen. Sind dabei die zusätzlichen Elektroden gemäß Anspruch 4 über Sammelleitungen ansteuer­ bar, so kann die Ansteuerung ausgewählter Meßstellen mittels einer Matrixadressierung vorgenommen werden.

Die Weiterbildung nach Anspruch 5 ermöglicht auch eine zu­ verlässige elektrische Funktionsprüfung von Verdrahtungsfel­ dern, die beispielsweise im Bereich von Bauteilanschlußstel­ len kleinste Rasterabstände unterhalb 100 µm aufweisen.

Die Ausgestaltung nach Anspruch 6 ermöglicht eine besonders einfache und wirtschaftliche Prüfung von Durchkontaktierun­ gen.

Die Weiterbildung nach Anspruch 7 ermöglicht eine flexible Anpassung einer oder beider Trägerplatten an eventuelle Ver­ wölbungen eines Verdrahtungsfeldes und damit eine wesentli­ che Steigerung der Kontaktierzuverlässigkeit der beidseiti­ gen Kontaktierung. Derartige Verwölbungen, die insbesondere mit zunehmender Größe der Verdrahtungsfelder auftreten, wer­ den bei der bislang bekannten einseitigen Kontaktierung mit­ tels Gasentladungsstrecken durch eine flexible Anpassung der Verdrahtungsfelder an die starren Trägerplatten ausgegli­ chen.

Gemäß Anspruch 8 ist Polyimid als Material für flexible Trä­ gerplatten besonders gut geeignet, da Polyimid sich durch seine hohe Elastizität und seine sehr guten elektrischen Isolationseigenschaften auszeichnet.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben.

Es zeigen:

Fig. 1 das Grundprinzip einer erfindungsgemäßen Vorrichtung für die beidseitige Kontaktierung von Leiterplatten durch Gasentladungsstrecken,

Fig. 2 eine erste Variante, bei welcher die Ansteuerung ausgewählter Gasentladungskanäle über Steuergasentladungen vorgenommen wird,

Fig. 3 eine zweite Variante, bei welcher in kleinsten Ra­ sterabständen angeordnete Meßstellen über eine Gruppen-Elek­ trode angesteuert werden,

Fig. 4 eine dritte Variante, bei welcher die Ansteuerung sämtlicher Meßstellen einer Leiterplattenseite über eine einzige, durch eine elektrisch leitfähige Platte gebildete Elektrode vorgenommen wird und

Fig. 5 eine nach dem in Fig. 1 dargestellten Prinzip ar­ beitende Vorrichtung zur beidseitigen Kontaktierung von Lei­ terplatten durch Gasentladungsstrecken.

Fig. 1 zeigt in stark vereinfachter schematischer Darstel­ lung die prinzipielle Wirkungsweise einer Vorrichtung für die elektrische Funktionsprüfung von Leiterplatten auf der Basis einer berührungslosen Kontaktierung der auf gegenüber­ liegenden Seiten angeordneten Meßstellen über Gasentladungs­ kanäle. Es ist ein Teil einer mit Lp bezeichneten Leiter­ platte zu erkennen, auf deren Oberseite die Enden einer Lei­ terbahn Lb Meßstellen M11 und M12 bilden. Auf der Unterseite der Leiterplatte Lp befinden sich Meßstellen M21 und M22, deren Raster im dargestellten Beispiel dem Raster der Meß­ stellen M11 und M12 entspricht. Grundsätzlich können die Meßstellen auf der Oberseite und Unterseite der Leiterplatte Lp jedoch auch stark unterschiedliche Raster aufweisen.

Auf die Oberseite der Leiterplatte Lp ist eine Trägerplatte T1 aus einem flexiblen, elektrisch isolierenden Material wie z. B. Polyimid aufgesetzt, in welche in Form von Sacklöchern eine Vielzahl von Gasentladungskanälen Gk1 eingebracht ist. Im dargestellten Ausschnitt sind dabei nur die den Meßstel­ len M11 und M12 zugeordneten Gasentladungskanäle Gk1 zu er­ kennen. Auf den den Meßstellen gegenüberliegenden Seiten der Gasentladungskanäle Gk1 befinden sich Elektroden E1.

Auf die Unterseite der Leiterplatte Lp ist eine Trägerplatte T2 aufgesetzt, die ebenfalls aus einem flexiblen, elektrisch isolierenden Material wie z. B. Polyimid besteht. In die Trägerplatte T2 ist in Form von Sachlöchern eine Vielzahl von Gasentladungskanälen Gk2 eingebracht, wobei im darge­ stellten Ausschnitt nur die den Meßstellen M21 und M22 zuge­ ordneten Gasentladungskanäle Gk2 zu erkennen sind. Auf den den Meßstellen gegenüberliegenden Seiten der Gasentladungs­ kanäle Gk2 befinden sich Elektroden E2.

Werden nun bei der elektrischen Funktionsprüfung der Leiter­ platte Lp die Meßstelle M11 auf der Oberseite und die Meß­ stelle M22 auf der Unterseite ausgewählt, so wird an die Elektroden E1 und E2 der zugeordneten Gasentladungskanäle Gk1 und Gk2 eine Spannung angelegte die die Zündung von zwei Gasentladungen in Serie bewirkt. Die entsprechenden Gasent­ ladungsstrecken in den Gasentladungskanälen Gk1 und Gk2 sind durch Pfeile Gs1 bzw. Gs2 angedeutet. Voraussetzungen für die Zündung der Gasentladungen sind das Bestehen einer in der Zeichnung nicht erkennbaren elektrisch leitenden Verbin­ dung zwischen den beiden ausgewählten Meßstellen M11 und M22 und das Anlegen einer Spannung, die mindestens doppelt so hoch ist wie die Zündspannung einer Einzelentladung. Nach dem Zünden der Gasentladungen wird eine mit U_p bezeichnete Prüfspannung an die Elektroden E1 und E2 angelegt, wobei die Stärke eines über einen Vorwiderstand Rp und über die Ga­ sentladungsstrecken Gs1 und Gs2 fließenden Stromes I_p Auf­ schluß über den Durchgangs- bzw. Isolationswiderstand der eine Durchkontaktierung einschließenden Verbindung zwischen den Meßstellen M11 und M22 gibt.

Die Möglichkeit einer Ansteuerung der Elektroden E1 bzw. E2 über Sammelleitungen wird an späterer Stelle im Zusammenhang mit dem in Fig. 5 dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert.

Fig. 2 zeigt eine erste Variante des in Fig. 1 dargestell­ ten Prinzips, bei welcher die Gasentladungskanäle Gk1 und Gk2 mit zusätzlichen Elektroden E10 bzw. E20 ausgerüstet sind. Der der ausgewählten Meßstelle M11 zugeordnete Gasent­ ladungskanal Gk1 kann nun über in Fig. 2 nicht näher darge­ stellte Sammelleitungen und die entsprechenden Elektroden E1 und E10 in Form einer Matrixadressierung angesteuert werden. Dabei wird an die Elektroden E1 und E10 eine Zündspannung U_z angelegt, die im Gasentladungskanal Gk1 die Zündung einer mit Se bezeichneten Steuergasentladung bewirkt. Mit R_v ist ein in den Stromkreis der Steuergasentladung Se eingeschal­ teter Vorwiderstand bezeichnet. Die Ansteuerung des der aus­ gewählten Meßstelle M22 zugeordneten Gasentladungskanals Gk2 erfolgt in analoger Weise durch die Zündung einer Steuerga­ sentladung Se zwischen den Elektroden E2 und E20. Durch die Steuergasentladungen Se werden in den angesteuerten Gasent­ ladungskanälen Gk1 und Gk2 ständig freie Ladungsträger er­ zeugt. Bei Bestehen einer elektrisch leitenden Verbindung zwischen den ausgewählten Meßstellen M11 und M22 bewirkt das Anlegen einer wieder mit U_p bezeichneten Prüfspannung an die Elektroden E1 und E2 das Fließen eines Prüfstromes I_p, der zu Prüfzwecken ausgewertet wird. Analog zu dem in Fig. 1 dargestellten Beispiel sind die Gasentladungsstrecken in den angesteuerten Gasentladungskanälen Gk1 und Gk2 wieder mit Gs1 bzw. Gs2 bezeichnet. Auch der in den Prüfstromkreis ein­ geschaltete Vorwiderstand ist wieder mit R_v bezeichnet.

Nähere Einzelheiten über die Ansteuerung ausgewählter Ga­ sentladungskanäle durch Steuergasentladungen gehen aus der EP-A-0 322 607 hervor.

Fig. 3 zeigt eine zweite Variante des in Fig. 1 darge­ stellten Prinzips, bei welcher in die untere Trägerplatte T2 neben den im normalen Raster angeordneten Gasentladungskanä­ len Gk2 mindestens ein Gasentladungskanal Gk20 in Form eines mit einer Gruppen-Elektrode GE versehenen Gruppen-Ga­ sentladungskanals eingebracht ist. Über den Gasentladungska­ nal Gk20 und die Gruppen-Elektrode GE können dann auf der Unterseite der Leiterplatte Lp mit kleinsten Rasterabständen unter 100 µm angeordnete Meßstellen M210 angesteuert werden. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Gruppen-Elek­ trode GE eine Gruppe von sechs Meßstellen M210 zugeordnet, wobei die zweite von links gesehene Meßstelle M210 mit der Meßstelle M11 auf der Oberseite der Leiterplatte Lp elek­ trisch leitend verbunden sein soll. Die Kontaktierung dieser beiden elektrisch leitend miteinander verbundenen Meßstellen M11 und M210 erfolgt dann über Gasentladungsstrecken, die wieder durch Pfeile Gs1 bzw. Gs2 angedeutet sind.

Bei dem in Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel erfolgt die Ansteuerung der Gasentladungskanäle Gk1 und Gk2 über Steuergasentladungen Se gemäß dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel. Insbesondere für die Gasentladungskanäle Gk2 der unteren Trägerplatte T2 kommt jedoch auch eine An­ steuerung über Einzelelektroden gemäß dem in Fig. 1 darge­ stellten Prinzip in Frage. Für die Gasentladungskanäle Gk1 der oberen Trägerplatte T1 wird eine Ansteuerung über Steu­ ergasentladungen bevorzugt.

Nähere Einzelheiten über die Ansteuerung von mit kleinsten Rasterabständen angeordneten Meßstellen über Gruppen-Gasent­ ladungskanäle und Gruppen-Elektroden gehen aus der WO91/02986 hervor.

Fig. 4 zeigt eine dritte Variante des in Fig. 1 darge­ stellten Prinzips, bei welcher sämtlichen Gasentladungskanä­ len Gk2 der unteren Trägerplatte T2 nur eine einzige, durch eine elektrisch leitfähige Platte gebildete Elektrode PE zu­ geordnet ist. Diese plattenförmige Elektrode PE ist auf die Trägerplatte T2 aufgesetzt und bildet gleichzeitig auch den unteren Abschluß der Gasentladungskanäle Gk2. Im dargestell­ ten Ausführungsbeispiel wird die Meßstelle M11 auf der Ober­ seite der Leiterplatte Lp gemäß der in Fig. 2 dargestellten Variante über eine Steuergasentladung Se angesteuert. Beim Anlegen einer hinreichend hohen Spannung an die der Meß­ stelle M11 zugeordnete Elektrode E1 und die plattenförmige Elektrode PE zünden zwei Gasentladungen in Serie, sofern die Meßstelle M11 mit einer der Meßstellen auf der Unterseite der Leiterplatte Lp elektrisch leitend verbunden ist. Im dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Meßstellen M11 und M22 elektrisch leitend verbunden. Die Gasentladungs­ strecken in den entsprechenden Gasentladungskanälen Gk1 und Gk2 sind wieder durch Pfeile Gs1 bzw. Gs2 angedeutet.

Die anhand der Fig. 4 erläuterte dritte Variante ist für Leiterplatten Lp geeignet, die beliebige Verbindungsstruktu­ ren aber - wie dargestellt - beidseitig gleiche Raster der Meßstellen aufweisen. Wird die zu prüfende Leiterplatte Lp im Testverlauf einmal gewendet, so können sämtliche Verbin­ dungen einschließlich Durchkontaktierungen geprüft werden.

Fig. 5 zeigt in stark vereinfachter auseinandergezogener Darstellung eine Vorrichtung für die Funktionsprüfung von Leiterplatten Lp, die beidseitig über Gasentladungsstrecken kontaktiert werden. Die stark vereinfacht dargestellte Lei­ terplatte Lp trägt auf der Oberseite Meßstellen M11 und M12 und auf der Unterseite Meßstellen M21 und M22, wobei die Meßstellen M11 und M21 und die Meßstellen M12 und M22 je­ weils durch Leiterbahnen Lb und eine Durchkontaktierung D elektrisch leitend miteinander verbunden sind. Das Raster der auf der Oberseite der Leiterplatte Lp angeordneten Meß­ stellen M11 und M12 ist dabei deutlich größer als das Raster der auf der Unterseite angeordneten Meßstellen M21 und M22.

In der auseinandergezogenen Darstellung ist oberhalb der Leiterplatte Lp eine Trägerplatte T1 aus elektrisch isolie­ rendem Material zu erkennen, in die entsprechend dem Raster­ maß der auf der Oberseite angeordneten Meßstellen M11, M12 nach oben und unten offene Gasentladungskanäle Gk1 einge­ bracht sind. Oberhalb der Trägerplatte T1 befindet sich eine ebenfalls aus isolierendem Material bestehende Deckplatte D1, in deren Unterseite in Form von Sammelleitungen ausge­ bildete Elektroden E1 eingelassen bzw. eingesteckt sind. Die streifenförmigen Elektroden E1 sind dabei so angeordnet, daß sie jeweils diagonale Reihen zugeordneter Gasentladungskanä­ le Gk1 überqueren.

Unterhalb der Leiterplatte Lp ist in der auseinandergezoge­ nen Darstellung eine Trägerplatte T2 aus elektrisch isolie­ rendem Material zu erkennen, in die entsprechend dem Raster­ maß der auf der Unterseite angeordneten Meßstellen M21, M22 nach oben und unten offene Gasentladungskanäle Gk2 einge­ bracht sind. Unterhalb der Trägerplatte T2 befindet sich ei­ ne ebenfalls aus isolierendem Material bestehende Deckplatte D2, in deren Oberseite in Form von Sammelleitungen Elektro­ den E2 eingelassen bzw. eingesteckt sind. Die streifenförmi­ gen Elektroden E2 sind dabei so angeordnet, daß sie jeweils diagonale Reihen zugeordnet er Gasentladungskanäle Gk2 über­ queren.

Die Trägerplatten T1 und T2 sowie die Deckplatten D1 und D2 bestehen vorzugsweise aus einem elastischem Material, insbe­ sondere Polyimid, das eine flexible Anpassung an eventuelle Verwölbungen der zu prüfenden Leiterplatte Lp ermöglicht.

Werden bei der elektrischen Funktionsprüfung von Leiterplat­ ten Lp die Meßstelle M12 auf der Oberseite und die Meßstelle M22 auf der Unterseite ausgewählt, so wird an die Elektroden E1 und E2 der zugeordneten Gasentladungskanäle Gk1 und Gk2 eine Spannung angelegt, die die Zündung von zwei Gasentla­ dungen in Serie bewirkt. Die entsprechenden Gasentladungs­ strecken sind wieder durch Pfeile Gs1 und Gs2 angedeutet. Die Vorgänge bei der elektrischen Funktionsprüfung entspre­ chen im übrigen dem in Fig. 1 dargestellten Prinzip. Bei einem Vergleich der Fig. 1 und 5 ist jedoch aus der jeweiligen Richtung der Pfeile Gs1 und Gs2 erkennbar, daß die Prüfspannung U_p in den dargestellten Beispielen mit ver­ schiedener Polarität angelegt ist.

Die in Fig. 5 dargestellte Vorrichtung kann bei einfacher Verbindungsstruktur einer zu prüfenden Leiterplatte, wie z. B. bei steckernahen Rangierlagen von Mikroverdrahtungen, ohne zusätzliche Maßnahmen eingesetzt werden. Bei kompli­ zierten Verbindungsstrukturen kann die eindeutige Ansteue­ rung der den ausgewählten Meßstellen zugeordneten Gasentla­ dungskanäle durch eine zusätzliche Beaufschlagung der ent­ sprechenden Gasentladungskanäle mit ionisierender Strahlung oder durch Zwischenmasken vorgenommen werden, welche die Kontaktierung nicht ausgewählter Meßstellen verhindern. Bei dem in Fig. 5 dargestellten vereinfachten Fall würde zwi­ schen der Trägerplatte T1 und der Leiterplatte Lp beispiels­ weise eine Zwischenmaske angeordnet, die lediglich ein der Meßstelle M12 zugeordnetes Loch trägt. In entsprechender Weise würde zwischen der Trägerplatte T2 und der Leiter­ platte Lp eine zweite Zwischenmaske angeordnet, die ledig­ lich ein der Meßstelle M22 zugeordnetes Loch trägt.

Weitere Einzelheiten über die Ansteuerung ausgewählter Meß­ stellen durch Sammelleitungen und durch die Kontaktierung nicht ausgewählter Meßstellen verhindernder Zwischenmasken gehen aus der EP-A-0 285 799 hervor.

Beim praktischen Einsatz der erfindungsgemäßen Vorrichtungen werden die Trägerplatten T1 und T2 gegebenenfalls zusammen mit den in Fig. 5 dargestellten Deckplatten D1 bzw. D2 in eine Hubeinrichtung eingesetzt, die eine Relativbewegung zwischen den Trägerplatten T1 und T2 in vorjustierter Lage ermöglicht. Nach dem Einlegen einer zu prüfenden Leiter­ platte Lp werden dann durch Betätigung der Hubeinrichtung die Trägerplatten T1 und T2 an die Oberseite bzw. Unterseite der Leiterplatte Lp angelegt, wobei gleichzeitig eine flexible Anpassung an eventuelle Verwölbungen der Leiter­ platte Lp erfolgt.

Claims (8)

1. Vorrichtung für die elektrische Funktionsprüfung von Verdrahtungsfeldern, insbesondere von Leiterplatten (Lp), die auf einer Seite erste Meßstellen (M11, M12) und auf der anderen Seite zweite Meßstellen (M21, M22; M210) aufweisen, mit

• - einer auf die eine Seite der Verdrahtungsfelder auf­ setzbaren ersten Trägerplatte (T1), in welchen den ersten Meßstellen (M11, M12) zugeordnete und mit er­ sten Elektroden (E1) versehene erste Gasentladungs­ kanäle (Gk1) eingebracht sind,
• - einer auf die andere Seite der Verdrahtungsfelder aufsetzbaren zweiten Trägerplatte (T2), in welche den zweiten Meßstellen (M21, M22; M210) zugeordnete und mit zweiten Elektroden (E2; GE; PE) versehene zweite Gasentladungskanäle (Gk2, Gk20) eingebracht sind, wobei
• - eine ausgewählte erste Meßstelle (M11, M12) und eine ausgewählte, mit der ersten Meßstelle (M11, M12) elektrisch leitend verbundene zweite Meßstelle (M21, M22; M210) durch eine erste Gasentladungsstrecke (Gs1) im zugeordneten ersten Gasentladungskanal (Gk1) und eine in Serie dazu geschaltete zweite Ga­ sentladungsstrecke (Gs2) im zugeordneten zweiten Ga­ sentladungskanal (Gk2; Gk20) kontaktierbar sind, die durch Anlegen einer hinreichend hohen Spannung an die zugeordnete erste Elektrode (E1) und die zuge­ ordnete zweite Elektrode (E2; GE; PE) gezündet wer­ den.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Elektroden (E1) und/oder die zweiten Elektroden (E2) reihenweise in Form von Sammelleitungen elektrisch leitend miteinander verbunden sind.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Gasentladungskanäle (Gk1) und/oder die zweiten Gasentladungskanäle (Gk2) zumindest teilweise mit zusätzlichen Elektroden (E10, E20) ausgerüstet sind, wobei diese Gasentladungskanäle (Gk1, Gk2) durch das Zünden von Steuergasentladungen (Se) zwischen der zuge­ ordneten Elektrode (E1, E2) und der zugeordneten zusätz­ lichen Elektrode (E10, E20) ansteuerbar sind.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzlichen Elektroden (E10, E20) reihenweise in Form von Sammelleitungen elektrisch leitend miteinan­ der verbunden sind.

5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Gasentladungskanal (Gk20) in Form ei­ nes mit einer Gruppen-Elektrode (GE) versehenen Gruppen- Gasentladungskanals mehreren mit kleinsten Rasterabstän­ den angeordneten Meßstellen (M210) zugeordnet ist.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die zweiten Elektroden (PE) durch eine einzige auf die zweite Trägerplatte (T2) aufsetzbare, elektrisch leitfähige Platte gebildet sind.

7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eine Trägerplatte (T1, T2) aus einem ela­ stischen Material besteht und flexibel an Verwölbungen des Verdrahtungsfeldes angepaßt werden kann.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerplatte (T1, T2) aus Polyimid besteht.