DE4219125A1

DE4219125A1 - Reinigungsvorrichtung für Reinraumbereiche

Info

Publication number: DE4219125A1
Application number: DE4219125A
Authority: DE
Inventors: Rudolf Dr Ing Simon; John Crawford Dryden
Original assignee: Meissner and Wurst GmbH and Co
Current assignee: Meissner and Wurst GmbH and Co
Priority date: 1992-06-11
Filing date: 1992-06-11
Publication date: 1993-12-16
Anticipated expiration: 2012-06-12
Also published as: DE59304862D1; GR3022494T3; TW341317U; ES2096143T3; EP0573906B1; DE4219125C2; DK0573906T3; EP0573906A2; DE4231264A1; EP0573906A3; ATE146873T1; US5364425A

Description

Die Erfindung betrifft eine Reinigungsvorrichtung für Reinraumbereiche nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.

In Reinräumen werden z. B. an der Decke Filter-Venti lator-Einheiten angeordnet. Die Filter-Ventilator- Einheiten liegen auf einer Tragkonstruktion auf, oder sie sind an ihr angeschraubt. Es sind auch Filter- Ventilator-Einheiten bekannt, die an der Reinraumdecke einzeln abgehängt sind. Zur Anordnung der Filter-Venti lator-Einheiten in einer bestimmten Konfiguration ist eine sorgfältige Planung notwendig. Außerdem ist die Tragkonstruktion aufwendig und teuer und schwierig zu montieren. Sie kann nicht in Selbstbauweise, son dern nur vom Lieferanten eingebaut werden.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die gattungs gemäße Reinigungsvorrichtung so auszubilden, daß sie einfach ausgebildet ist und auch vom Anwender selbst montiert werden kann.

Diese Aufgabe wird bei einer Reinigungsvorrichtung der gattungsbildenden Art erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.

Infolge der erfindungsgemäßen Ausbildung können mehrere Filter-Ventilator-Einheiten in Modulbauweise zur selbst tragenden Baueinheit miteinander verbunden werden. Dadurch lassen sich solche Baueinheiten einfach und auch vom Anwender selbst montieren, zumal die Baueinheiten auf einfachen Stützen befestigt werden können. Eine konstruktiv aufwendige und damit teure Tragkonstruktion für die Filter-Ventilator-Einheiten ist nicht erfor derlich. Die Baueinheiten lassen sich an Ort und Stel le aus den Filter-Ventilator-Einheiten zusammenstellen. Da eine aufwendige Tragkonstruktion entfällt, ist eine besondere Planung zur Errichtung der erfindungsgemäßen Reinigungsvorrichtung nicht notwendig, so daß mit den Baueinheiten außer einer kostengünstigen, variablen und einfachen Montage auch ein schneller Aufbau der Reinigungsvorrichtung möglich ist. Insbesondere bei größeren Einrichtungen macht sich dieser Vorteil be sonders bemerkbar. Mit der Modulbauweise können nicht nur kleine Einrichtungen erstellt werden; auch größere Reinräume lassen sich auf die erfindungsgemäße Weise preisgünstig und einfach herstellen.

Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den weiteren Ansprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen.

Die Erfindung wird nachstehend anhand einiger in den Zeichnungen dargestellter Ausführungsformen näher er läutert. Es zeigt:

Fig. 1 in perspektivischer Darstellung oberhalb von Transporteinrichtungen angeordnete selbsttragende Baueinheiten, die aus Filter-Ventilator-Einheiten zusammengesetzt sind,

Fig. 2 in vergrößerter und perspektivischer Darstellung eine aus vier Filter-Ventilator-Einheiten zusammengesetzte Baueinheit, die von Stützen getragen wird,

Fig. 3 in vergrößerter und perspektivischer Darstellung eine aus vier Filter-Ventilator-Einheiten zusammengesetzte Baueinheit, die hängend angeord net ist,

Fig. 4 in Explosivdarstellung ein Verbindungselement, mit dem vier Filter-Ventilator-Einheiten zu einer selbsttragenden Baueinheit zusammengesetzt wer den können,

Fig. 5 in perspektivischer und teilweise in explosiver Darstellung eine Filter-Ventilator-Einheit einer erfindungsgemäßen Reinigungsvorrichtung,

Fig. 6 bis 9 verschiedene Ausführungsformen von Filter-Ven tilator-Einheiten,

Fig. 10 und 11 die Befestigungsmöglichkeit eines Vorhanges am Gehäuse gemäß Fig. 6 einer Filter-Ventila tor-Einheit,

Fig. 12 die Gehäusewand gemäß Fig. 10 mit in Profil teilen vorgesehenen Dichtungen,

Fig. 13 in perspektivischer Darstellung eine weitere Möglichkeit der Anordnung von selbsttragenden Baueinheiten, die aus Filter-Ventilator-Ein heiten gebildet sind,

Fig. 14 eine weitere Ausführungsform einer Baueinheit der erfindungsgemäßen Reinigungsvorrichtung.

Im Reinraumbereich 3 gemäß Fig. 1 werden schmutzempfind liche Produkte, z. B. Wafer, in bekannter Weise in Behält nissen mittels Transporteinrichtungen 1 transportiert, die auf Tischen 2 oder dgl. vorgesehen sind. Der Rein raumbereich 3 wird nach oben durch Filter-Ventilator- Einheiten 4 und seitlich durch Wandteile 5 begrenzt, die an den Filter-Ventilator-Einheiten befestigt sind. Die Filter-Ventilator-Einheiten 4 sind mit Stützen 6 (Fig. 2) auf dem Boden abgestützt. Die Stützen 6 sind in Fig. 1 der Übersichtlichkeit wegen nicht dargestellt.

Der Reinraumbereich 3 kann jede beliebige Form haben. Im dargestellten Ausführungsbeispiel besteht er aus rechtwinklig zueinander liegenden Abschnitten.

Die Filter-Ventilator-Einheiten 4 sind als Module aus gebildet, die zu selbsttragenden Baueinheiten 7 (Fig. 2) zusammengesetzt werden können. Gemäß Fig. 2 sind vier gleich ausgebildete Filter-Ventilator-Einheiten 4 zu einer Baueinheit verbunden. Wie Fig. 1 zeigt, kön nen aber auch mehrere in Reihe hintereinander liegende Filter-Ventilator-Einheiten 4 zu einer Baueinheit 7′ oder beispielsweise zwei nebeneinander liegende Filter- Ventilator-Einheiten zu einer Baueinheit 7′′ mitein ander verbunden sein. Die Filter-Ventilator-Einheiten 4 können in beliebiger Anordnung und Zahl zu unterschied lichen Baueinheiten miteinander verbunden werden. Bei der Baueinheit 7 gemäß Fig. 2 liegen jeweils zwei Filter- Ventilator-Einheiten 4, die rechteckigen Umriß haben, mit ihren Längsseiten aneinander, während die beiden Paare von Filter-Ventilator-Einheiten außerdem mit ihren Schmalseiten aneinanderliegen. Die Baueinheit 7′ (Fig. 1) wird durch eine Reihe von Filter-Ventilator-Einheiten 4 gebildet, die mit ihren Längsseiten aneinanderliegen. Die Filter-Ventilator-Einheiten 4 der Baueinheit 7′′ liegen mit ihren Schmalseiten aneinander.

Die Filter-Ventilator-Einheiten 4 der jeweiligen Bau einheit sind durch Verbindungsteile 8 bis 10 (Fig. 2) miteinander verbunden. Die Verbindungsteile 8 bis 10 bestehen aus metallischem Flachmaterial und sind mit Schrauben 11 und Nutensteinen 12 (Fig. 4) am Gehäuse 13 der jeweiligen Filter-Ventilator-Einheit 4 befestigt. Zur Verbindung von vier paarweise aneinanderliegenden Filter-Ventilator-Einheiten 4 werden kreuzförmige Ver bindungsteile 8 und zur Verbindung von zwei aneinander liegenden Filter-Ventilator-Einheiten T-förmige und laschenförmige Verbindungsteile 9 und 10 eingesetzt. Anstelle dieser Verbindungsteile 8 bis 10 oder zusätzlich zu ihnen kann auch ein über die ganze Länge der Baueinheit durchgehend sich erstreckender Träger (Fig. 14) vorgesehen sein.

Die kreuzförmigen Verbindungsteile 8 sind an Knoten punkten an der Ober- und Unterseite vorgesehen, an denen vier Filter-Ventilator-Einheiten zusammenstoßen. Die T- förmigen Verbindungsteile 9 sind an den Rändern der Filter-Ventilator-Einheit 4 auf deren Ober- und Unterseite befestigt, während die laschenförmigen Verbindungsteile 10 an den Seitenwänden der Baueinheit angeordnet sind (Fig. 2).

Jede Filter-Ventilator-Einheit 4 hat zwei mit Abstand nebeneinander liegende Ventilatoren 70, 71 (Fig. 2). An der Oberseite jeder Filter-Ventilator-Einheit 4 befinden sich Anschlußbuchsen 18, 18′ für die Strom zuführung zu den Ventilatoren 70, 71. Über die An schlußbuchsen 18, 18′ ist es in einfacher Weise möglich, einander benachbarte Filter-Ventilator-Einheiten 4 durch Kabel 19 elektrisch miteinander zu verbinden. Die Filter- Ventilator-Einheit kann abweichend vom dargestellten Ausführungsbeispiel auch nur einen Ventilator oder mehr als zwei Ventilatoren aufweisen.

Das Verbindungsteil 8 hat vier gleich lange Arme 20 (Fig. 4), die an ihren freien Enden 21 jeweils vier Durchsteck öffnungen 22 für die Schrauben 11 haben. Jeder Schraube ist jeweils ein Nutenstein 12 zugeordnet. Die Nuten steine werden in Profilnuten 14 geschoben, die am Ge häuse 13 der Filter-Ventilator-Einheit vorgesehen sind und in welche die Schrauben 11 geschraubt werden. Wie Fig. 4 zeigt, wird jeder Arm 20 mittels der Nutensteine 12 und der Schrauben 11 an zwei aneinanderliegenden Filter-Ventilator-Einheiten 4 befestigt. Da jedem Arm 20 jeweils vier Schrauben 11 zugeordnet sind, ist eine sichere Befestigung des Verbindungsteiles 8 am Knotenpunkt der vier Filter-Ventilator-Einheiten 4 gewährleistet. Das kreuzförmige Verbindungsteil 8 verleiht der aus den vier Filter-Ventilator-Einheiten gebildeten Bauein heit 7 im Knotenpunkt infolge der beschriebenen Aus bildung und Befestigung eine hohe Festigkeit.

Bei T-förmigen Verbindungsteilen 9 (Fig. 5) ist der Steg 25 schmaler als der Fuß 26, der etwa gleiche Brei te wie die Arme 20 des Verbindungsteiles 8 hat. Der Fuß 26 wird ebenso wie der Arm 20 des kreuzförmigen Verbindungsteiles 8 in zwei nebeneinander liegenden Pro filnuten 14 einander benachbarter Filter-Ventilator- Einheiten 4 befestigt (Fig. 2), während der Steg 25 in fluchtend zueinander liegenden Profilnuten 14 dieser Filter-Ventilator-Einheiten 4 gehalten ist. Im Fuß 26 sind am freien Ende für den Durchtritt der Schrauben 11 vier Öffnungen 27 vorgesehen, während an den beiden Enden 28, 29 des Steges 25 jeweils zwei Durchstecköffnungen 30 bzw. 31 vorgesehen sind, die in Längsrichtung des Steges 25 jeweils mit Abstand hintereinander liegen. Infolge der T-förmigen Ausbildung werden benachbarte Filter- Ventilator-Einheiten 4 einer Baueinheit besonders sicher aneinander gehalten.

Anstelle der T-förmigen Verbindungsteile 9 oder zusätz lich zu ihnen können benachbarte Filter-Ventilator-Ein heiten 4 einer Baueinheit auch durch die laschenförmigen Verbindungsteile 10 miteinander verbunden werden, die an den Stirnseiten der Filter-Ventilator-Einheiten 4 (Fig. 2) oder an deren Ober- und/oder Unterseite mit Nutensteinen 12 und Schrauben 11 befestigt werden können. Die Verbindungsteile 10 haben an ihren Enden jeweils zwei in Längsrichtung mit Abstand hintereinander liegende Durchstecköffnungen 16, 16′ und 17, 17′.

Das Gehäuse der Filter-Ventilator-Einheiten 4 wird durch Profilwände 15 gebildet, die vorzugsweise an allen Gehäuseseiten gleich ausgebildet sind. Wie Fig. 5 zeigt, ist die Wand 15 als Hohlkammerprofil teil ausgebildet, das zwei übereinander liegende, durch eine Zwischenwand 35 voneinander getrennte Hohlräume 34, 34′ aufweist, die im wesentlichen spiegelsymmetrisch in bezug auf eine die Zwischenwand 35 enthaltende Ebene ausgebildet sind. Die Wand 15 kann selbstverständlich auch asymmetrisch ausgebildet sein. Die Zwischenwand 35 kann auch entfallen; bei entsprechender Ausbildung der Wand 15 können aber auch weitere Zwischenwände vorgesehen sein. Die Hohlräume 34, 34′ sind im wesent lichen rechteckig ausgebildet und werden von zwei zuein ander parallelen Seitenwänden 72, 73 begrenzt, die in halber Breite durch die Zwischenwand 35 mitein ander verbunden sind. An beiden Enden sind die Seiten wände 72, 73 durch Profilteile 23 und 24 miteinander verbunden, welche jeweils die Profilnut 14 aufweisen (Fig. 5 und 6). Im Anschluß an die Profilteile 23, 24 sind in der Seitenwand 72 zwei weitere Profilteile 32, 32′ vorgesehen, die ebenso wie die Profil teile 23, 24 C-förmigen Querschnitt haben. Die Pro filteile 32, 32′ verlaufen senkrecht zu den Profil teilen 23, 24, so daß die Schlitze 33, 33′ der Pro filteile 32, 32′ in der Ebene der Seitenwand 72 lie gen. Die Profilteile 32, 32′ ragen in den jeweiligen Hohlraum 34, 34′. Durch die Ausbildung der Hohlpro filteile hat die Wand 15 bei geringem Gewicht eine hohe Stabilität.

Die Profilteile 23, 24 und 32, 32′ sind vorzugsweise gleich ausgebildet. Wie Fig. 6 zeigt, ragen die Pro filteile 23, 24 über die die Innenseite des Wandteiles 15 bildende Seitenwand 73.

Die beiden Schenkel 14a, 14b und 14a′, 14b′ der Profil teile 23, 24 sind unterschiedlich breit. Die an die äußere Seitenwand 72 anschließenden Schenkel 14a, 14a′ sind etwa doppelt so breit wie die Schenkel 14b, 14b′.

Von der innenseitigen Seitenwand 73 stehen Längsstege 37 bis 39 senkrecht ab. Der Steg 37 liegt wenig unter halb der Zwischenwand 35 und der Steg 38 mit geringem Abstand oberhalb des über die Seitenwand 73 ragenden Bodens 41 des Profilteiles 23. Der Längssteg 39 bildet eine Verlängerung des über die Seitenwand 73 ragenden Bodens 42 des Profilteiles 24. Nur hinsichtlich der Ausbildung dieser Längsstege 37 bis 39 ist die Profil wand 15 nicht spiegelsymmetrisch zur Zwischenwand 35 ausgebildet.

Das untere Profilteil 23 dient zur Befestigung des Wandteiles 5 des Reinraumes 3, das vorzugsweise ein aus Polyvinylchlorid bestehender Vorhang ist (Fig. 10), der aber auch aus anderen geeigneten Materialien bestehen kann. Er wird an einem Haltestück 43 verschraubt, das am Profilteil 23 befestigt ist. Das Haltestück 43 ist im Ausführungsbeispiel eine Winkelschiene mit L-förmigem Querschnitt, deren kurzer Schenkel 44 mit Hilfe min destens eines Nutensteines 12, der in der Profilnut 14 liegt, und mit Schrauben 45 am Profilteil 23 ge halten ist. Der Schenkel 44 liegt auf den Schenkeln 14a′, 14b′ des Profilteiles 23 auf. Am längeren Schenkel 47 des Haltestückes 43 ist der Vorhang be festigt, der zwischen dem Schenkel und einer Klemm schiene 48 mittels Schrauben 49 verklemmt ist, die den oberen Rand des Wandteiles 5 und die Klemm schiene 48 durchsetzen und in Gewindebohrungen des Schenkels 47 des Haltestückes 43 geschraubt werden.

Der Vorhang 5 kann auch eine Glas- oder Kunststoff scheibe sein. Der Vorhang kann auch im seitlichen Pro filteil 32′ befestigt werden, wie Fig. 11 zeigt. In diesem Fall sind in die Nut des Profilteiles 32′ Nuten steine 50 eingelegt. Der Vorhang liegt auf den Schenkeln des Profilteiles 32′ auf und ist zwischen diesen und dem Klemmteil 48 mit den Schrauben 45 festgespannt. In die Profilteile 32 und 32′ können Dichtprofilteile 51, 52 eingelegt werden (Fig. 12), die die nebeneinander liegen den Filter-Ventilator-Einheiten 4 einer Baueinheit 7 gegeneinander an den Berührungsflächen abdichten. Die Dichtteile 51 und 52 können aus Gummi, Kunststoff oder einem ähnlichen Material bestehen und haben einen im Querschnitt dreieckförmigen Halterungsteil 36, 36′, der in der Nut der Profilteile 32, 32′ liegt und an den ein leistenförmiger Dichtkörper 45, 45′ anschließt, der durch den Schlitz 33, 33′ der Profilteile 32, 32′ nach außen ragt. Die Dichtprofilteile 51, 52 lassen sich durch die Schlitze 33, 33′ sehr leicht in die Nuten der Profilteile 32, 32′ drücken. Der Halterungsteil 36, 36′ der Dichtpro filteile 51, 52 hintergreift die Schenkel 40, 40′ und 46, 46′ der Profilteile 32, 32′, so daß die Dicht profilteile sicher gehalten sind.

Wie die Fig. 5 und 6 zeigen, liegt auf dem Längssteg 39 der Wand 15 der Rand einer oberen Wand 53 des Ge häuses 13 auf. In den zwischen dem Boden 41 des un teren Profilteiles 23 und dem Längssteg 38 gebildeten Spalt ragt der Rand 55 eines Bodens 54. Oberhalb des Bodens 54 ist ein Filterpaket 56 angeordnet, das nach oben durch den Längssteg 37 gesichert ist, der das Filter paket randseitig übergreift. Der Boden 54 hat in be kannter Weise Durchtrittsöffnungen für die Luft und wird vorzugsweise durch ein Streckmetallgitter gebildet.

Gemäß Fig. 6 ist die obere Wand 53 des Gehäuses 13 auf dem Längssteg 39 mit Schrauben 58 befestigt.

Wie Fig. 7 zeigt, kann anstelle des überstehenden Längssteges 39 mit geringem Abstand unterhalb des Bo dens 42 des oberen Profilteiles 24 ein senkrecht von der Seitenwand 73 nach außen abstehender Steg 39′ vor gesehen sein, der gleich weit wie der Profilteil 24 über die Seitenwand 73 ragt. In den Spalt 57 zwischen dem Längssteg 39′ und dem Boden 42 des Profilteiles 24 kann der Rand der Wand 53 eingesetzt werden. Eine Sicherung mit Schrauben ist nicht erforderlich. Im übrigen ist diese Profilwand 15′ gleich ausgebildet wie das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 6.

Die Ausführungsform nach Fig. 8 unterscheidet sich vom Ausführungsbeispiel nach Fig. 6 nur dadurch, daß die Profilwand 15′′ nicht als Hohlprofilteil ausge bildet ist, sondern nur eine Wand 61 aufweist. Der Schlitz bzw. Spalt 62 zwischen dem Boden 41 des unteren Profilteiles 23 und dem Längssteg 38 ist breiter als bei der zuvor beschriebenen Ausführungs form. Im übrigen ist dieses Ausführungsbeispiel gleich ausgebildet wie bei der Ausführungsform gemäß Fig. 6.

Die Ausführungsform gemäß Fig. 9 unterscheidet sich von der Ausführungsform nach Fig. 8 nur dadurch, daß die obere Gehäusewand 53 mit ihrem Rand wie bei der Ausbildung gemäß Fig. 7 zwischen dem Boden 42 des Profilteiles 24 und dem Längssteg 39 gehalten ist.

Damit entspricht dieses Ausführungsbeispiel - abge sehen von der einwandigen Ausbildung - der Ausführungs form nach Fig. 7.

Anstelle der Stützen 6 gemäß Fig. 2 können die Bauein heiten 7 auch hängend an einer Decke, einer Unterkon struktion eines Raumes oder dgl. befestigt werden (Fig. 3). Hierzu sind Drahtseile 59 vorgesehen, die über Kupplungsteile 63, wie Klötze oder dgl., an den oberen Profilteilen 24 befestigt werden. Die Kupplungsteile 63 können wie die Stützen über Nutensteine an den Profil teilen verschraubt werden. Anstelle der Drahtseile können auch Profilstreben aus Stahl, Aluminium oder dgl. verwendet werden.

Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 14 können die Stützen 6 auch über Längsträger 64 miteinander verbunden werden, die auf den Profilteilen 24 und/oder mit den Stützen verbunden werden. Auf diesen Längsträgern 64 können Querträger 65 befestigt werden, über die die Baueinheiten in Querrichtung mit den Längsträgern 64 verbunden werden können. Die Längsträger 64 und/oder die Querträger 65 verleihen der Baueinheit eine hohe Eigenstabilität.

Schließlich können die Filter-Ventilator-Einheiten 4 auch nur in einer Reihe hintereinander zur Baueinheit 7′ (Fig. 13) miteinander verbunden werden, wobei die Filter-Ventilator-Einheiten mit ihren Schmalseiten aneinanderliegen. Im dargestellten Ausführungsbei spiel ist an diese Baueinheit 7′ eine ebenfalls aus in Reihe hintereinander liegenden Filter-Ventilator- Einheiten 4 gebildete und senkrecht dazu liegende Baueinheit 7′′ angeschlossen. Diese konstruktiv sehr einfache Anordnung dient z. B. zur Abdichtung eines Transportsystems 66 für Wafer, das unterhalb der Baueinheit 7′, 7′′ liegt. Die Baueinheiten 7′, 7′′ sind an Wänden 67 bis 69 hängend über Halter 74 befestigt. Sie sind vorzugsweise als dreieckförmige Winkelteile ausgebildet, die mit einem Schenkel 75 an der Wand 67 bis 69 befestigt sind. Mit dem anderen Schenkel 76 werden sie auf den Filter-Ventilator-Einheiten 4 und dort auf deren Profilteil in der beschriebenen Weise, vorzugsweise mit Nutensteinen und Schrauben, befestigt.

Claims

1. Reinigungsvorrichtung für Reinraumbereiche, mit an einer Trageinrichtung angeordneten Filter- Ventilator-Einheiten, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest zwei Filter- Ventilator-Einheiten (4) über Verbindungsteile (8 bis 10; 64, 65) zu einer selbsttragenden Bau einheit (7, 7′, 7′′) miteinander verbunden sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Filter- Ventilator-Einheiten ein Gehäuse haben, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsteile (8 bis 10) Leisten- und/oder Winkelteile sind, die in Profilteilen (23, 24, 32, 32′) des Gehäuses (13) befestigt, vorzugsweise verschraubt, sind.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsteile (8, 9) T- und/oder kreuzförmig ausgebildet sind.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsteile (8 bis 10) unter Zwischenlage von an den Profil teilen (23, 24, 32, 32′) angeordneten Klemmteilen (12), wie Nutensteinen, Hammerkopfschrauben oder dgl., gehalten sind.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Profilteile (23, 24, 32, 32′) etwa C-förmige Aufnahmen (14) für die darin verschiebbaren Klemmteile (12) aufwei sen.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Profilteile (23, 24, 32, 32′) an einer Wand (15), vorzugsweise einer als Hohlprofilteil ausgebildeten Seiten wand des Gehäuses (13), vorgesehen sind.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Profilteile (23, 24) am oberen und/oder unteren Längsrand der Wand (15) vorgesehen sind.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Profilteile (32, 32′) an der Außenseite (72) der Wand (15) liegen.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Profil teile (23, 24, 32, 32′) im wesentlichen über die ganze Länge der Wand (15) erstrecken.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß an mindestens einem, vorzugsweise an beiden Längsrändern der Wand (15) jeweils mindestens zwei unmittelbar einander benachbarte, vorzugsweise senkrecht zueinander verlaufende Profilteile (23, 32′, 24, 32) vorge sehen sind.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen einander benachbarten Filter-Ventilator-Einheiten (4) der Baueinheit (7, 7′, 7′′) mindestens ein Dichtprofil (51, 52) angeordnet ist.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Dichtprofil (51, 52) im Profilteil (32, 32′) liegt.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die untere Wand (54) des Gehäuses (15) durch ein Gitter, vorzugsweise ein Streckmetallgitter, gebildet ist.

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Gitter (54) mit seinem Rand in einen Längskanal (62) oberhalb des den unteren Längsrand der Seitenwand (15) bildenden Profilteiles (23) ragt.

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Baueinheit (7, 7′, 7′′) auf Stützen (6) gelagert ist, die an den Profilteilen (32, 32′) befestigt, vorzugsweise verschraubt, sind.

16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Stützen (6) mit entsprechenden Verbindungsteilen (11), wie Schrau ben oder dgl., unter Zwischenlage der Klemmteile (12) an den Wänden (15), vorzugsweise in deren Profilteilen (32, 32′), lösbar befestigt sind.

17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Stützen (6) über Längsträger (64) und/oder Querträger (65) mitein ander verbunden sind.

18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Querträger (65) auf den Längsträgern (64) befestigt, vorzugs weise verschraubt, sind.

19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Stützen (6) und die Längsträger (64) miteinander lösbar verbunden, vorzugsweise verschraubt, sind.

20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Baueinheit (7, 7′, 7′) aus den Filter-Ventilator-Einheiten (4) an Hängeteilen (59), wie Drahtseilen, aufge hängt ist, die über Kupplungsteile (63) an den Wänden (15), vorzugsweise deren Profilteilen (24), gehalten sind.

21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Teil der Filter-Ventilator-Einheiten (4) der Bauein heit (7) über elektrische Verbindungsteile (19), wie Kabel oder dgl., elektrisch miteinander ver bunden sind.

22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrischen Verbindungsteile (19) an Anschlußbuchsen (18, 18′) der Filter-Ventilator-Einheiten (4) an schließbar sind.

23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß zur Befestigung der Baueinheit (7) Halteteile (74), wie Winkelträger oder dgl., vorgesehen sind.

24. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß am Umfang der Baueinheit (7, 7′, 7′′) eine Abtrennung (5) zur Umgebung ange ordnet ist.