DE4214968C2 - Vorrichtung zur Bilderkennung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Bilderkennungsvorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung zur Bilderkennung, welche für die optische Prüfung von zu inspizierenden Objekten, wie elektronische Einrichtungen, gedruckte Schaltungen und weiteres, verwendet wird.

Eine Vorrichtung der eingangs genannten Art ist aus IBM Technischen Veröffentlichungsbericht (Vol. 30, Nr. 4 September 1987, Seiten 1506 bis 1508) bekannt. Hierbei besteht die Vorrichtung aus einem Servotisch, drei Spiegeln, einer Linse, einer Kamera, einer Kontrolleinrichtung sowie einem Videomonitor. Diese Vorrichtung ist mit Hilfe seiner Spiegel in der Lage, verschiedene Abschnitte eines sich auf dem Servotisch befindlichen, über Anschlußdrähte an eine Platine gelöteten Bauelementes bildlich zu erfassen. Ein Nachteil dieser Vorrichtung liegt darin, daß der Gebrauch von drei Spiegeln die Gesamtanordnung kompliziert und unhandlich macht.

Bei der Qualitätskontrolle ist es nicht nur notwendig, die Ei­ genschaften und Leistungen einer elektronischen Komponente zu prüfen, sondern auch die Komponente in bezug auf ihre Erschei­ nung, Dimensionen, Befestigungszustand auf einer gedruckten Schaltungsplatine und derartiges mehr zu überprüfen. Zum Bei­ spiel benötigt eine integrierte Schaltung, welche innerhalb eines Gehäuses mit nach außen geführten Kontakten angeordnet ist, etwa in einem "Small-outline-package", eine Überprüfung in bezug auf die Länge, den Abstand und die Form der Anschlüsse, welche von beiden Seiten des Kunstharzgehäuses abstehen.

Auf konventionelle Weise wird die Prüfung des Äußeren einer elektronischen Komponente typischerweise unter Verwendung einer optischen Bilderkennungsvorrichtung durchgeführt. Nachstehend wird für die verständliche Erklärung der mit der vorliegenden Erfindung zu lösenden Probleme Bezug genommen auf die Fig. 6 und 7 der beigefügten Zeichnungen. Fig. 6 zeigt eine Bilder­ kennungsvorrichtung herkömmlicher Art, weiterhin zeigt Fig. 7 eine integrierte Schaltung, welche in einem "Small-outline- package" beherbergt ist und welche durch die Bilderkennungsvor­ richtung optisch zu inspizieren ist.

In Fig. 7 ist der IC bzw. die integrierten Schaltung mit einem Kunstharzgehäuse M dargestellt und hat paarige Anordnungen von Anschlüssen A1 bis A5, B1 bis B5, welche von beiden Seiten des Gehäuses wegstehen. Es ist klar, daß beide Anordnungen von Kon­ takten bzw. Kontaktstreifen von außen untersucht werden müssen.

Wie in Fig. 6 dargestellt, enthält die Bilderkennungsvorrich­ tung herkömmlicher Art einen transparenten Glasträger 100 bzw. Objekttisch 100 zum Lagern des IC′s bzw. der integrierten Schaltung (zu inspizierendes Objekt) darauf, eine Positionier­ einrichtung 101 für die horizontale Bewegung des Trägers 100, eine Beleuchtung 102 zur Beleuchtung des IC′s von unten her und eine Bildaufnahmeeinheit (Kamera) 103, welche ein Mikroskop enthält. Die Vorrichtung zur Bilderkennung enthält weiterhin eine zentrale Prozessoreinheit (CPU) 104, welche mit der Bild­ aufnahmeeinheit 103 verbunden ist und eine Monitoranzeige 105, welche mit der CPU verbunden ist. Die CPU kontrolliert und/oder steuert die Positioniereinrichtung 101 und die Be­ leuchtungseinrichtung 102.

Wie in Fig. 7 dargestellt, stellt die Bildaufnahmeeinheit oder Bilderfassungseinheit 103 ein sichtbares Feld 106 bzw. Bildfeld 106 zur Verfügung, wobei die Anzeige des Monitors 105 ein schmaleres Anzeigefeld 107 bereitstellt. Somit muß, um simultan die jeweiligen Anordnungen von Kontakten A1 bis A5, B1 bis B5 zu prüfen, daß gesamte Bild des IC′s innerhalb des Anzeigefel­ des 107 enthalten sein.

In gut bekannter Weise nimmt die Auflösung der Bilderfassungs­ einheit 103 zu, wenn die Vergrößerung des verwendeten Linsen­ systems zunimmt, so daß eine höhere Inspektionsgenauigkeit dar­ aus resultiert. Auf der anderen Seite resultiert eine höhere Vergrößerung des Linsensystems in einer Reduktion des sichtba­ ren Bereiches innerhalb des limitierten Sichtfeldes 106 der Bilderfassungseinheit 103.

Somit kann bei dem Fall der Prüfung der jeweiligen Kontaktan­ ordnungen, welche auf beiden Seiten der integrierten Schaltung angeordnet sind, eine der Kontaktanordnungen aus dem sichtbaren Feld 106 heraustreten (aus dem Sichtfeld 107 ebenfalls), falls die Bilderfassungseinheit 103 für die Erhöhung der Bildauflö­ sung (und somit der Inspektionsgenauigkeit) ein Linsensystem mit hoher Vergrößerung verwendet, wie in Fig. 7 dargestellt. In diesem Falle ist es nötig, zweimal die Prüfung der Kontakt­ anschlüsse an zwei verschiedenen Stellen durchzuführen, wodurch die nochmalige Justierung der Position des Trägers 100 benötigt wird. Weiterhin muß die CPU 104 eine zusätzliche Kontroll- und/oder Steuerungsfunktion zur Bestimmung, ob das neu aufge­ nommene Bild nach der Neujustierung der Position wirklich das derselben integrierten Schaltung ist, aufweisen.

Es ist natürlich möglich, die Vergrößerung des verwendeten Lin­ sensystems für die simultane Prüfung der jeweiligen Anschluß­ anordnungen der integrierten Schaltungseinrichtung zu reduzier­ en. Jedoch wird eine solche Lösung zwangsläufig von einer dra­ stischen Verschlechterung der Inspektionsgenauigkeit begleitet.

Dementsprechend ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Bilderkennungsvorrichtung bereitzustellen, welche in der Lage ist, effizient die optische Prüfung eines zu inspizieren­ den Objektes durchzuführen, ohne Inspektionsgenauigkeit zu op­ fern, sogar wenn das Objekt verschiedene Inspektionsbereiche aufweist, welche um einen relativ großen Betrag voneinander beabstandet sind.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Vorrichtung zur Bilderkennung bereitgestellt mit einem Träger zur Plazierung eines Testobjektes darauf und einer Bilderfassungseinheit zur Detektion eines Bildes des Testobjektes, welche von dem Träger entfernt angeordnet ist, wobei die Vorrichtung zur Bilderken­ nung weiterhin charakterisiert ist durch eine Einheit zum Wech­ seln des Bildes, welche in einem optischen Pfad angeordnet ist, der sich zwischen dem Träger und der Bilderfassungseinheit er­ streckt, wobei die Einheit zum Wechseln des Bildes ein quadra­ tisches Prisma enthält, welches eine longitudinale Achse auf­ weist, die im wesentlichen parallel zu dem Träger ist, wobei das quadratische Prisma zwei Einfallsflächen aufweist, welche dem Träger zugewandt sind und zwei Austrittsflächen aufweist, welche von dem Träger weggerichtet sind.

Weitere Aufgaben, Eigenschaften und Vorteile der vorliegenden Erfindung können der nachfolgenden, detaillierten Beschreibung entnommen werden, welche unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen gegeben wird.

Es zeigt

Fig. 1 eine schematische, teilweise im Querschnitt gegebene Ansicht, die eine Vorrichtung zur Bilderkennung, wel­ che die vorliegende Erfindung verkörpert, darstellt,

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht, welche die Positions­ verhältnisse zwischen den zwei quadratischen Prismen darstellt, welche in der Vorrichtung zur Bilderken­ nung enthalten sind,

Fig. 3 eine perspektivische Ansicht, welche ein Beispiel eines zu inspizierenden Objektes zeigt,

Fig. 4 eine Ansicht der Vorrichtung zur Bilderkennung aus der Blickrichtung der Pfeile IV-IV in Fig. 1,

Fig. 5 eine Ansicht eines Bildes des zu inspizierenden Ob­ jektes,

Fig. 6 eine schematische Ansicht, welche eine Vorrichtung zur Bilderkennung herkömmlicher Art darstellt, und

Fig. 7 eine Ansicht eines Bildes eines zu inspizierenden Objektes, wie es bei einer Vorrichtung zur Bilderken­ nung herkömmlicher Art zu erhalten ist.

Es wird Bezug genommen auf Fig. 1 der beigefügten Zeichnungen. Eine Vorrichtung zur Bilderkennung 1, welche die vorliegende Erfindung verkörpert, enthält eine Beleuchtung 2, einen trans­ parenten Träger 3, eine optische Einheit 4 zum Wechseln des Bildes bzw. zum Vertauschen des Bildes und eine Bilderfassungs­ einheit (Kamera) 5. Die Vorrichtung zur Bilderkennung enthält weiterhin eine Positioniereinrichtung 6, eine zentrale Prozes­ soreinheit (CPU) 7, eine Monitoranzeige (CRT bzw. TV-Monitor) 8 und einen Manipulator 9.

Der transparente Träger 3, welcher aus Glas bestehen kann, trägt ein zu inspizierendes Objekt 1, welches durch die Be­ leuchtung 2 von unten her beleuchtet ist. Zur Justierung der Position des Objektes 1 kann der Träger 3 horizontal in X- und Y-Richtung durch die Positioniereinrichtung 6 bewegt werden. Die Positioniereinrichtung 6 kann Schrittmotoren enthalten.

Gemäß dem dargestellten Ausführungsbeispiel, ist das zu inspi­ zierende Objekt eine integrierte Schaltung in einem "Small-out­ line-package" bzw. eine integrierte Schaltung in einem Gehäuse mit Kontakten, welche nach außen geführt sind, welche ein Kunstharzgehäuse 11 aufweist und paarige Anordnungen von An­ schlüssen bzw. Kontakten A1 bis A5, B1 bis B5, welche an beiden Seiten einer zentralen Bezugslinie 11A, wie in Fig. 3 darge­ stellt, angeordnet sind. Jedoch ist die vorliegende Erfindung gleichermaßen anwendbar für ein beliebiges zu inspizierendes Objekt, welches verschiedene zu inspizierende Bereiche auf bei­ den Seiten einer Bezugslinie aufweist.

Die Bilderfassungseinheit 5 enthält eine vergrößernde Objektiv­ linse 5A. Die Bilderfassungseinheit beinhaltet weiterhin darin zweidimensionale CCD-Elemente und andere Komponenten (welche hier nicht dargestellt sind), welche nötig sind für die Bild­ erkennung. Die Bilderfassungseinheit 5 ist mit der zentralen Prozessoreinheit 7 verbunden, welche wiederrum mit der Positio­ niereinrichtung 6, der Anzeige 8 und dem Manipulator 9 verbun­ den ist. Somit kann die Bewegung der Positioniereinheit 6 und der Manipulator 9 durch die CPU 7 kontrolliert und/oder ge­ steuert werden.

Die optische Einheit 4 zum Wechseln des Bildes ist zwischen dem zu inspizierenden Objekt 10 und der Bilderfassungseinheit 5 zwischengeschaltet. Gemäß dem illustrierten Ausführungsbeispiel umfaßt die Einheit 4 zum Wechseln des Bildes eine Halteröhre 12 bzw. einen Tubus 12 und zwei quadratische Prismen 13, 14, wel­ che innerhalb des Tubus 12 befestigt gehalten sind und vertikal voneinander beabstandet sind.

Jedes der quadratischen Prismen 13, 14 hat eine quadratische Querschnittsfläche. Das untere Prisma 13 weist eine longitudi­ nale Achse 15 auf (sh. Fig. 2) und vier longitudinale Flächen 13A bis 13D (sh. Fig. 1). In ähnlicher Weise hat des obere Prisma 14 eine longitudinale Achse 16 (sh. Fig. 2) und hat vier longitudinale Oberflächen 14A bis 14D (sh. Fig. 4). Die jeweiligen Prismen 13, 14 sind in der nachfolgenden Weise orientiert.

Das untere Prisma 13 ist derart angeordnet, daß seine longitu­ dinale Achse 15 parallel zu der zentralen Bezugslinie 11A des zu inspizierenden Objektes 10 ausgerichtet ist. Weiterhin sind zwei longitudinale Flächen (Eintritts- bzw. Eingangsflächen) 13A, 13B des unteren Prismas unter 45° relativ zu dem Träger 3 geneigt und sind ausgerichtet, um die jeweiligen Anordnungen von Anschlußkontakten A1 bis A5, B1 bis B5 (sh. Fig. 1) zu sehen, wobei die verbleibenden zwei longitudinalen Oberflächen (Aus­ trittsoberflächen) 13C, 13D von dem Träger 3 weggerichtet sind.

Weiterhin ist das obere Prisma 14 derart angeordnet, daß dessen longitudinale Achse 16 parallel zu dem Träger 3 und senkrecht zu der longitudinalen Achse 15 des unteren Prismas 13 ist. Wei­ terhin sind zwei longitudinale Oberflächen (Eintrittsoberflä­ chen) 14A, 14B des oberen Prismas 14 auf den Träger 3 zu ge­ richtet bei einem Neigungswinkel von 45° relativ zu diesem, wobei die anderen Oberflächen (Austrittsflächen) 14C, 14D von dem Träger 3 weggerichtet sind.

Bei Verwendung der zwei quadratischen Prismen 13, 14 ist es nötig, das Testobjekt 10 an einer Position anzuordnen, welche zu einem Ende 13A des unteren Prismas 13 versetzt ist, wobei die Bilderfassungseinheit 5 zu dem anderen Ende 13B des unteren Prismas versetzt angeordnet ist, wie in Fig. 4 dargestellt. Als Resultat tritt das Bild des zu inspizierenden Objektes 10 in das obere Prisma 14 nur in eine seiner longitudinalen Flä­ chen 14B ein und tritt aus dem oberen Prisma nur auf der gegen­ überliegenden longitudinalen Oberfläche 14C zum Eintreten in die Bilderfassungseinheit 5 aus. In offensichtlicher Weise kann das zu inspizierende Objekt 10 zu dem anderen Ende 13B des un­ teren Prismas 13 versetzt angeordnet sein, so daß das Bild des zu inspizierenden Objektes in das obere Prisma 14 nur durch dessen andere longitudinale Oberfläche 14A eintritt. Der Grund für eine derartig versetzte Anordnung wird später beschrieben.

Im Betriebszustand ist des zu inspizierende Objekt 10 von unten her durch die Beleuchtung 2 beleuchtet und die Bildstrahlen treten in das untere Prisma 13 unter einem Eintrittswinkel von 45° relativ zu dessen Eintrittsfläche 13A, 13B ein, wie in Fig. 1 dargestellt. Die Bildstrahlen werden beim Eintreten in das untere Prisma unter einem Brechungswinkel gebrochen, wel­ cher bestimmt wird durch sin^-1 (sin 45°/n), wobei n der Bre­ chungsindex des Prismenmaterials relativ zu Luft ist. Die ge­ brochenen Bildstrahlen treten aus der jeweiligen Austrittsflä­ che 13C, 13D des unteren Prismas bei 45° relativ zu diesem aus. Als Ergebnis ist das Bild des Objektes 10 vertauscht in seiner Position oder alterniert relativ zur zentralen Bezugslinie 11A (Fig. 3) des zu inspizierenden Objektes.

Nach dem Durchtreten des unteren Prismas 13, treten die Bild­ strahlen in das obere Prisma 14 nur durch eine seiner Ein­ trittsflächen 14B ein, wegen der vorstehend erwähnten versetz­ ten Positionierung des Objektes 10 und treten nur aus einer Austrittsoberfläche 14C aus, um in die Bilderfassungseinheit 5 einzutreten, wie es in Fig. 4 dargestellt ist. Somit tritt keine Bildvertauschung oder Alternierung bei dem oberen Prisma auf und das obere Prisma dient nur dazu, optische Fehler oder Störungen zu korrigieren, welche durch das unteren Prisma 13 aufgetreten sind.

Fig. 5 zeigt ein Bildfeld 17, welches durch die Bilderfas­ sungseinheit 5 zur Verfügung gestellt wird, sowie ein Anzeige­ feld 18 (dargestellt durch Phantomlinien), welches durch die Anzeige 8 zur Verfügung gestellt wird. Wie klar bewußt wird, sind die Anordnungen von Kontaktanschlüssen A1 bis A5, B1 bis B5 simultan bzw. gleichzeitig innerhalb des Anzeigefeldes 18 enthalten (und in dem Sichtfeld 17 ebenfalls) aufgrund der Bil­ dalternierung, bzw. des Bildwechsels, genauer wegen des Wech­ sels von Bildanteilen, welcher durch das untere Prisma 13 gege­ ben ist. Somit ist es möglich, wenn einmal die Position des Trägers 13 korrekt justiert ist, die nötigen Prüfungen in si­ multaner Weise in bezug auf beide Kontaktanordnungen (zum Bei­ spiel äußere Erscheinung, Kontaktabstand und weitere) durchzu­ führen. Weiterhin ist es unnötig, die Vergrößerung der Bilder­ fassungseinheit 5 zu reduzieren (der Objektlinse 5A) zum Zweck der Vergrößerung des sichtbaren Bereiches, welcher für das li­ mitierte sichtbare Feld 17 (das Displayfeld 18) verfügbar ist, so daß die Auflösung des Bildes ausreichend hoch aufrechterhal­ ten werden kann.

Wie beschrieben, ist das zu inspizierende Objekt 10 versetzt zu einem Ende 13A des unteren Prismas 13 angeordnet. Falls das Testobjekt in der Mitte zwischen beiden Enden 13A, 13B des un­ teren Prismas angeordnet ist, ist das Bild des Objektes in be­ zug auf seine Position alterniert durch das obere Prisma 14, relativ zu einer transversalen zentralen Linie CL (sh. Fig. 5), welches dazu führt, daß das Bild der Kontaktanschlüsse A1 bis A5, B1 bis B5 in Unordnung gerät in dem angeordneten Mu­ ster.

Die zentrale Prozessoreinheit 7 verarbeitet die Bilddaten der Kontaktanschlüsse A1 bis A5, B1 bis B5. Die CPU beinhaltet ROM- Speicher (Read Only Memory) zum Speichern von Vergleichsdaten im vorhinein (zum Beispiel die benötigte Anzahl von Kontakten, Referenzkontaktanschlußform, Referenzkontaktanschlußweite bzw. -abstand, Dimensionstoleranzen usw.) und eines Kontroll- bzw. Steuerungsprogramms, einen RAM-Speicher (Random Access Memory) für die Speicherung und des Auslesen der detektierten Bilddaten (zum Beispiel der detektierten Anzahl von Kontaktan­ schlüssen, der aktuellen Kontaktform, des aktuellen Kontaktab­ standes und weiterer Daten), ein Input-Output-Interface bzw. eine Eingabe- und/oder Ausgabeschaltung und weitere nötige Ver­ arbeitungselemente. Somit ist die CPU in der Lage, die detek­ tierten Bilddaten mit den Referenzdaten zu vergleichen, um zu bestimmen, ob das Objekt 10 akzeptabel ist oder nicht.

Der Manipulator 9 wird durch die CPU 7 veranlaßt, nicht zu ak­ zeptierende Objekte in einen Auswurfbehälter auszuwerfen und ordnungsgemäß akzeptable Objekte in einen Behälter für akzep­ tierte Objekte einzuführen. Weiterhin kann die CPU eine nicht dargestellte Markierungseinheit veranlassen, einen Zurückwei­ sungsvermerk auf jedes unakzeptable Objekt aufzubringen. Alter­ nativ kann der Bediener manuell die Sortierung durch Überwa­ chung der Monitoranzeige 8 durchführen.

Gemäß der vorliegenden Erfindung ist das Bild des zu inspizie­ renden Objektes 10 in bezug auf die Position vertauscht oder alterniert in bezug auf die zentrale Bezugslinie 11A beim Durchtreten durch das untere Prisma 13. Somit ist, obwohl die jeweiligen Anordnungen von Kontaktanschlüssen A1 bis A5, B1 bis B5 tatsächlich von der Bezugslinie 11A entfernt liegen, das Bild der jeweiligen Anschlußanordnungen in die Nähe der Mitte des Bildfeldes gebracht, wobei die simultane Prüfung der jewei­ ligen Kontaktanschlußanordnungen innerhalb des Sichtfeldes 17 durch eine einzige Positionsjustierung des Trägers 3 ermöglicht wird. Auf diese Weise ist es möglich, die betriebliche Effi­ zienz bei der Durchführung der Anschlußkontaktprüfung zu erhö­ hen.

Wie vorstehend beschrieben, ist das obere Prisma 14 nur zur Korrektur optischer Störungen vorgesehen, und die vorgesehene Bildvertauschung oder Alternierung wird nur durch das untere Prisma 13 vorgenommen. Somit kann das obere Prisma 14 weggelas­ sen werden, wenn die optische Störung bzw. der Bildfehler ak­ zeptabel ist. Gemäß dem dargestellten Ausführungsbeispiel, ist die vergrößernde Objektlinse 5A in der Bilderfassungseinheit 5 selbst angeordnet. Jedoch kann die Objektlinse zwischen dem Träger 3 und der Bildvertauschungseinheit 4 angeordnet sein. Weiterhin kann die Vorrichtung zur Bilderfassung 1 derart aus­ geführt sein, daß diese eine zweite Vergrößerungslinse zusätz­ lich zur Linse 5A enthält, welche an der Bilderfassungseinheit 5 vorgesehen ist.

Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Beleuchtung 2 bzw. die Beleuchtungseinrichtung 2 unterhalb des transparenten Trägers 3 angeordnet. Jedoch kann die Beleuchtungseinrichtung 2 oberhalb des Trägers 3 angeordnet sein, und die Bilderfas­ sungseinheit 5 kann derart ausgestaltet sein, daß diese reflek­ tierte Bildstrahlen erfaßt. Weiterhin kann die Beleuchtungsein­ richtung 2 weggelassen werden, falls ausreichendes umgebendes Licht vorhanden ist.

Es ist klar, daß die Vorrichtung zur Bildverarbeitung gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet werden kann, um verschiedene Arten von zu inspizierenden Objekten, auch andere als elektro­ nische Komponenten, zu prüfen. Zum Beispiel kann die Vorrich­ tung ausgebildet sein, um Anschlußmasken bzw. Anschlußstellen von verlöteten Kontaktverbindungen auf einer gedruckten Schal­ tung zu prüfen.

Die vorliegende Erfindung, welche hier beschrieben wurde, kann in offensichtlicher Weise in vielen anderen Variationen verän­ dert werden. Diese Variationen werden nicht als von dem Geist und dem Umfang der Erfindung abweichend angesehen, und alle derartigen Modifikationen sind, wie es für einen Fachmann klar ist, auch innerhalb des Umfangs der nachfolgenden Ansprüche mit einzubeziehen.

Beschrieben wird eine Vorrichtung zur Bilderkennung mit einem Träger 3 zur Plazierungen eines zu inspizierenden Objektes 10 darauf, einer Bilderfassungseinheit 6 zur Detektion und/oder Erfassung eines Bildes von dem zu inspizierenden Objekt, welche zu dem Träger beabstandet angeordnet ist und einer Einheit 4 zur Vertauschung von Bildbestandteilen, welche in einem opti­ schen Weg angeordnet ist, welcher sich zwischen dem Träger und der Bilderfassungseinheit erstreckt. Die das Bild vertauschende Einheit enthält ein quadratisches Prisma 3, welches eine lon­ gitudinale Achse aufweist, die sich im wesentlichen parallel zu dem Träger erstreckt, wobei das quadratische Prisma zwei Ein­ trittsflächen 13A, 13B aufweist, welche in Richtung des Trägers weisen und zwei Austrittsflächen 13C, 13D aufweist, welche von dem Träger wegweisen.

Claims (7)

1. Vorrichtung zur Bilderkennung mit einem Träger (3) für die Anordnung eines zu inspizierenden Objektes (10) darauf, einer optischen Einrichtung (4) zur getrennten Bilderaufnahme verschiedener Abschnitte (A1-A5, B1-B5) des zu inspizierenden Objektes (10), und eine Bilderfassungseinheit (5), welche von dem Träger (3) für die Detektion der getrennten Bilder des zu inspizierenden Objektes (10) aus optischen Einrichtungen (4) in einem einzelnen Bildfeld (17) beabstandet ist, wobei die optische Einrichtung (4) in einem optischen Weg angeordnet ist, welcher sich zwischen dem Träger (3) und der Bilderfassungseinheit (5) erstreckt, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Einrichtung (4) eine Einheit zur Bildvertauschung aufweist, zu welcher ein quadratisches Prisma (13) gehört, welches eine im wesentlichen zu dem Träger (3) parallele longitudinale Achse (15) besitzt, ein quadratisches Prisma (13) mit zwei Eintrittsflächen (13a, 13b), welche zum Träger (3) gerichtet sind, und zwei Austrittsflächen (13c, 13d), welche vom Träger (13) weg gerichtet sind.

2. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß weiterhin eine Positioniereinheit (6) für die Bewegung des Trägers (3) in einer Ebene vorgesehen ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß die Einheit (4) für das Vertauschen von zumindest Bildbestandteilen weiterhin ein zweites quadratisches Prisma (14) enthält, welches zwischen dem zuerst erwähnten Prisma (13) und der Bilderfassungseinheit (5) angeordnet ist, wobei das zweite Prisma eine longitudinale Achse (16) aufweist, welche sich parallel zu dem Träger (3) aber senkrecht zu der longitudinalen Achse (15) des zuerst er­ wähnten Prismas erstreckt, wobei das zweite Prisma zwei Eintrittsflächen (14A, 14B) hat, welche in Richtung des Trägers weisen, und zwei Austrittsflächen (14C, 14D), wel­ che von dem Träger wegweisen, wobei das zu inspizierende Objekt (10) versetzt zu einem Ende (13A) des zuerst er­ wähnten Prismas angeordnet ist und die Bilderfassungsein­ heit versetzt zu dem anderen Ende (13B) des zuerst erwähn­ ten Prismas angeordnet ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das jeweilige Prisma (13, 14) befestigt in einem Tubus (12) gehalten ist.

5. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine zentrale Prozessoreinheit (7) mit der Bilderfassungseinheit (5) zur Verarbeitung des erfaßten Bildes des zu inspizierenden Objektes (10) ver­ bunden ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein Manipulator (9) mit der zentralen Prozessoreinheit (7) für das Einwirken auf das zu inspizierende Objekt (10) verbunden ist.

7. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Bilderfassungsein­ heit (5) eine vergrößernde Objektivlinse (5A) aufweist.