DE4140891C2 - Beschichtete Folienbahn - Google Patents

Beschichtete Folienbahn

Info

Publication number
DE4140891C2
DE4140891C2 DE19914140891 DE4140891A DE4140891C2 DE 4140891 C2 DE4140891 C2 DE 4140891C2 DE 19914140891 DE19914140891 DE 19914140891 DE 4140891 A DE4140891 A DE 4140891A DE 4140891 C2 DE4140891 C2 DE 4140891C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
metal
film
layer
film web
edge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19914140891
Other languages
English (en)
Other versions
DE4140891A1 (de
Inventor
Thomas Dr Krug
Albert Dr Feuerstein
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold AG filed Critical Leybold AG
Priority to DE19914140891 priority Critical patent/DE4140891C2/de
Publication of DE4140891A1 publication Critical patent/DE4140891A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4140891C2 publication Critical patent/DE4140891C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/005Electrodes
    • H01G4/015Special provisions for self-healing
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/20Metallic material, boron or silicon on organic substrates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G13/00Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine beschichtete Folienbahn insbesondere für Kunststoff-Folienkon­ densatoren.
Aus der US 50 32 461 ist bereits eine Folienbahn für Kondensatoren bekannt, die in einem druckdicht verschließbaren Gehäuse hergestellt wird, in dem eine Einrichtung zur Aufnahme und Weiterbewegung der Folienbahn sowie eine im Gehäuse vorgesehene Verdampfungsquelle mit minde­ stens einer Einrichtung zur Abgabe des zu verdampfenden Mittels, insbesondere Metall, auf die vorbeilaufende, aus einem Polymerwerkstoff bestehende Folienbahn vor­ gesehen ist. Elektrische Filmkondensatoren werden übli­ cherweise aus zwei Folien hergestellt, wobei eine Folie doppelseitig oder zwei Folien einseitig mit Metall bedampft werden. Die Folien dienen gleichzeitig als Dielektrikum zur elektrischen Isolation und als Träger­ material für die aufgedampfte Schicht. Derartig herge­ stellte Folien sind jedoch aufwendig und teuer.
Aus der DE 37 33 410 A1 ist bereits ein Kunststoff-Folienkondensator bekannt, der aus zwei Me­ tallschichten gebildet ist, zwischen denen eine Iso­ lierschicht vorgesehen ist. Die Metallschichten weisen gegenüberliegende Kondensatorflächenbereiche auf sowie Verbindungsflächenbereiche zur Verbindung von Kondensa­ torflächenbereichen mit Anschlußkontakten. Die gering­ fügig schmälere Folie ist an beiden Längsrändern mit einem als Isolierrand dienenden, schmalen, nicht metal­ lisierten Randstreifen versehen. Ferner ist im Bereich der breiten Mitte der Folie eine in Umfangsrichtung sich erstreckende Reihe aufeinanderfolgender recht­ eckiger Aussparungen vorgesehen, d. h. also wiederum Flächenbereiche der Folie ohne Metallisierung. Zwischen aufeinanderfolgenden Aussparungen werden auf diese Weise als Leistungsstreifen bezeichnete Flächenbereiche mit Metallisierung gebildet. Diese Leistungsstreifen bilden zusammen einen mit R bezeichneten Ohmschen Wi­ derstand, der so dimensioniert ist, daß die Leistungs­ streifen verdampfen, sofern durch diese Strom mit über­ höhter Stromstärke fließt.
Demgemäß besteht die Erfindungsaufgabe darin, die zu beschichtende Folie derart auszubilden, daß Material­ kosten eingespart werden können, wobei sichergestellt wird, daß Kurzschlüsse während des späteren Einsatzes ausgeschlossen werden.
Gelöst wird die Aufgabe erfindungsgemäß durch folgende Merkmale:
Eine Grundfolie besteht aus wenigstens zwei darauf an­ geordneten Metallschichten und einer dazwischen liegen­ den Isolierschicht, die erste Metallschicht ist bis an einen ersten Rand der Grundfolie aufgedampft und bildet am zweiten Rand der Grundfolie einen ersten metall­ freien Randstreifen, die Isolierschicht deckt ferner den ersten metallfreien Randstreifen ab und bildet am ersten Rand einen isolierschichtfreien Randstreifen auf der ersten Metallschicht, die zweite Metallschicht reicht bis an den zweiten Rand und bildet auf der Iso­ lierschicht am ersten Rand einen gegenüber dem isolier­ schichtfreien Randstreifen treppenförmig versetzten zweiten metallfreien Randstreifen, die beschichtete Fo­ lienbahn weist mehrere Abschnitte auf, die durch Zwi­ schenräume, die bis auf die erste Metallschicht rei­ chen, voneinander getrennt sind, und schließlich ist die Grundfolie zwischen den Abschnitten durchtrennbar und der beschichtete Folienbahnabschnitt dann als Kon­ densator aufwickelbar.
Durch die vorteilhafte erfindungsgemäße Ausgestaltung der Folienbahn mit den zugehörigen Flächenstreifen läßt sich auf einem einzigen Träger zwischen zwei Metall­ schichten ein Isolierwerkstoff einbringen und dadurch auf die bisher übliche zweite Folienbahn gänzlich ver­ zichten. Ferner läßt sich in vorteilhafter Weise auf diese Art die Folienbahn als Dielektrikum zur elek­ trischen Isolation und gleichzeitig auch als Träger­ material für die aufzudampfende Schicht einsetzen.
Hierzu ist es vorteilhaft, daß die erste Metallschicht aus Al und/oder Zn, die Isolierschicht aus SiO₂ und die zweite Metallschicht aus Al und/oder Zn bestehen und daß die Isolierschicht eine Dicke von 0,1 bis 1,0 µm aufweist.
Vorteilhaft ist es ferner, daß die Grundfolie eine Dicke von 0,5 bis 40 µm, 15 bis 30 µm oder 18 bis 22 µm, insbesondere 20 µm, aufweist.
Es ist jedoch auch möglich, nur eine Folie zu verwen­ den, die zunächst mit Aluminium oder Zink bedampft wird und dann mit einer isolierenden Schicht, bspw. SiO₂, und letztlich mit einer dritten, aus Metall bestehenden Schicht bedampft wird. Nach der Metallisierung wird die aus mehreren Abschnitten gebildete Folie in einzelne Folienstreifen geschnitten und kernlos zu einem Konden­ sator gewickelt. Durch die vorteilhafte Aufbringung der verschiedenen Schichten und die sehr zweckmäßige Wick­ lung der Folienbahn wird auf einfache Weise auf einem einzigen Trägermaterial ein Kondensator-Material ge­ schaffen, das sehr kostengünstig hergestellt werden kann, da es nicht mehr notwendig ist, wie bisher, zwei Folien herzustellen, wobei eine Folie doppelseitig oder zwei Folien einseitig mit Metall bedampft werden.
Von besonderer Bedeutung ist also für die vorliegende Erfindung, daß die auf die Folienbahn aufgebrachte erste, aus Metall bestehende Schicht bis an einen ersten Rand der Folienbahn aufgedampft ist und zu dem zweiten Rand der Folienbahn einen Abstand zur Bildung eines ersten bzw. rechten Randstreifens aufweist. Hier­ durch wird auf einfache Weise, wie bereits erwähnt, auf einem einzigen Träger zwischen zwei Metallschichten ein Isolierwerkstoff eingebracht. Durch die vorteilhafte Herstellung der Folienbahn mit mehreren beschichteten Zwischenräumen ist es möglich, diese nach dem Aufdampfungsprozeß in Folienbahnabschnitte zu unterteilen und diese Abschnitte dann als Kondensator aufzuwickeln.
Weitere Einzelheiten der Erfindung sind in den Unter­ ansprüchen, in der Beschreibung und in den Figuren beschrieben bzw. dargestellt, wobei bemerkt wird, daß alle Einzelmerkmale und alle Kombinationen von Einzel­ merkmalen erfindungswesentlich sind.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Figuren dargestellt. Es zeigt:
Fig. 1 den letzten rechten Abschnitt der Folienbahn gemäß Fig. 2 einer Folienbahn mit drei auf diese auf­ gedampften Schichten im Schnitt,
Fig. 2 eine schematische Darstellung der nach der Herstellung gebildeten Folienbahnen im Querschnitt nach der Metallisierung und vor der Trennung in einzelne Folienbahnen.
Wie aus den Fig. 1 und 2 ferner hervorgeht, werden zur dreilagigen Beschichtung der Folie 3 drei in der Zeichnung nicht dargestellte Beschichtungsstationen mit den Verdampfungsschiffchen hintereinander geschaltet. An der ersten Beschichtungsstation wird über das Verdampfungsschiffchen Metall, beispielsweise Al oder Zn bzw. eine Mischung aus Al und Zn, auf die Oberfläche der Folie 3 aufgedampft; anschließend wird über das zweite Schiffchen an der zweiten Beschichtungsstation eine isolierende Schicht, beispielsweise SiO₂, auf die erste Metallschicht 7 aufgedampft und dann an der dritten Beschichtungsstation wieder Metall, insbesondere Al, auf die isolierende zweite Schicht bzw. Isolierschicht 8 aufgedampft. Es können jedoch auch andere geeignete Metalle auf die Oberfläche der Folie 3 aufgedampft werden.
In Fig. 2 ist eine schematische Darstellung der nach der Herstellung gebildeten Folienbahn 3 im Querschnitt wiedergegeben. Nach der Herstellung wird die in Fig. 3 dargestellte Folienbahn in einzelne Folienbahnen geschnitten und entweder kernlos oder auf einen Kern aufgewickelt. Der zwischen den einzelnen Abschnitten 38 gebildete Freiraum bzw. die einzelnen Zwischenräume 40 sind erfindungsgemäß und in dem nachfolgenden Arbeits­ verfahren beschrieben.
Wie aus den Fig. 1, 2 hervorgeht, sind auf der Folienbahn 3 drei Schichten übereinander aufgebracht. Die erste aus Metall bestehende Schicht 7 ist bis an einen ersten Rand 12 der Folienbahn 3 aufgedampft und weist zu einem zweiten Rand 13 der Folienbahn 3 einen Abstand zur Bildung eines ersten Randstreifens 14 auf, wobei die zweite Schicht 8 den ersten Randstreifen 14 der Folienbahn 3 abdeckt und mit Abstand zum ersten Rand 12 der Folienbahn 3 angeordnet ist. Dadurch wird ein zweiter Randstreifen 15 auf der ersten Schicht 7 gebildet. Die dritte Schicht 9 wird ebenfalls bis an den zweiten Rand 13 der Folie 3 herangeführt und ist mit Bezug auf den unteren zweiten Randstreifen 15 der ersten Schicht 7 seitlich versetzt, so daß dadurch ein dritter Randstreifen 16 gebildet wird.
Wie aus Fig. 1 hervorgeht, werden die Randstreifen 15 bzw. 16 durch ein auf Umlenkrollen geführtes Abdeckband gebildet, das beim Beschichtungsvorgang an der zu beschichtenden Folienbahn vorbeiläuft und dafür sorgt, daß jeweils ein unbedampfter Randstreifen 14, 15 oder 16 frei bleibt. Es ist vorteilhaft, für die Bildung eines jeden Randstreifens ein entsprechendes Abdeckband den Beschichtungsstationen zuzuordnen.
Nach dem kernlosen Aufwickelvorgang der getrennten Abschnitte 38 der Folienbahn 3 zu einem Folien­ kondensator kann an der ersten Schicht 7 aus Al eine Kontaktierung vorgenommen werden, ohne daß ein Kurz­ schluß an der zweiten Schicht entsteht.

Claims (4)

1. Beschichtete Folienbahn, insbesondere für Kunst­ stoff-Folienkondensatoren, bei der
  • - eine Grundfolie (3) aus wenigstens zwei darauf angeordneten Metallschichten (7, 9) und einer da­ zwischen liegenden Isolierschicht (8) besteht,
  • - die erste Metallschicht (7) bis an einen ersten Rand (12) der Grundfolie (3) aufgedampft ist und am zweiten Rand (13) der Grundfolie (3) einen er­ sten metallfreien Randstreifen (14) bildet,
  • - die Isolierschicht (8) den ersten metallfreien Randstreifen (14) abdeckt und am ersten Rand (12) einen isolierschichtfreien Randstreifen (15) auf der ersten Metallschicht (7) bildet,
  • - die zweite Metallschicht (9) bis an den zweiten Rand (13) reicht und auf der Isolierschicht (8) am ersten Rand (12) einen gegenüber dem isolier­ schichtfreien Randstreifen (15) treppenförmig versetzten zweiten metallfreien Randstreifen (16) bildet,
  • - die beschichtete Folienbahn (17) mehrere Ab­ schnitte (38) aufweist, die durch Zwischen­ räume (40), die bis auf die erste Metallschicht (7) reichen, voneinander getrennt sind,
  • - die Grundfolie (3) zwischen den Abschnit­ ten (38) durchtrennbar und der beschichtete Fo­ lienbahnabschnitt dann als Kondensator aufwickel­ bar ist.
2. Beschichtete Folienbahn nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Metallschicht (7) aus Al und/oder Zn, die Isolierschicht (8) aus SiO₂ und die zweite Metallschicht (9) aus Al und/oder Zn bestehen.
3. Beschichtete Folienbahn nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Isolier­ schicht (8) eine Dicke von 0,1 bis 1,0 µm auf­ weist.
4. Beschichtete Folienbahn nach einem der vorher gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundfolie (3) eine Dicke von 0,5 bis 40 µm, 15 bis 30 µm oder 18 bis 22 µm, insbesondere 20 µm, aufweist.
DE19914140891 1991-12-12 1991-12-12 Beschichtete Folienbahn Expired - Fee Related DE4140891C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19914140891 DE4140891C2 (de) 1991-12-12 1991-12-12 Beschichtete Folienbahn

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19914140891 DE4140891C2 (de) 1991-12-12 1991-12-12 Beschichtete Folienbahn

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4140891A1 DE4140891A1 (de) 1993-06-17
DE4140891C2 true DE4140891C2 (de) 1995-08-03

Family

ID=6446827

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19914140891 Expired - Fee Related DE4140891C2 (de) 1991-12-12 1991-12-12 Beschichtete Folienbahn

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4140891C2 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013101127A1 (de) * 2013-02-05 2014-08-07 Heinz-Glas Group Holding HGGH GmbH & Co. KGaA Siegelfolie sowie Vorrichtung und Verfahren zu Überprüfung der Versiegelung der Mündung von offenen Glasgefäßen durch eine Siegelfolie
EP3929324A1 (de) * 2020-06-26 2021-12-29 Bühler Alzenau GmbH Beschichtungsverfahren und -vorrichtung

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3955127A (en) * 1975-04-25 1976-05-04 Trw Inc. Method of manufacturing electrical capacitors and the electrical capacitors formed by the method
US5032461A (en) * 1983-12-19 1991-07-16 Spectrum Control, Inc. Method of making a multi-layered article
DE3732430A1 (de) * 1987-09-25 1989-04-13 Roederstein Kondensatoren Elektrischer kondensator, insbesondere impraegnierter metallisierter polypropylenkondensator
DE3733410A1 (de) * 1987-10-02 1989-04-20 Roederstein Kondensatoren Wickel-kondensator, insbesondere kunststoffolien-kondensator

Also Published As

Publication number Publication date
DE4140891A1 (de) 1993-06-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3927181C2 (de) Spulenchip und Herstellungsverfahren für einen im hohen Maße miniaturisierten Spulenchip
DE69830987T2 (de) Elektronisches bauelement
DE1765434A1 (de) Verfahren zur Herstellung von flexiblen elektrischen Flachkabeln
DE2843581C2 (de) Elektrischer Schichtkondensator und Verfahren zu seiner Herstellung
WO1983001697A1 (fr) Dispositif d'identification sous forme d'une bande portee par un objet en forme d'etiquette
DE2654699A1 (de) Kondensator und verfahren zu dessen herstellung
DE2953393T1 (de) Metallized film capacitor and method of manufacture
DE4203114C2 (de) Verfahren zum Herstellen einer Bandträgervorrichtung für Halbleitereinrichtungen
DE2110543A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Duennfilmtransistoren
DE2509912A1 (de) Elektronische duennfilmschaltung
DE1764671A1 (de) Integrierte magnetische Schaltung
DE4140891C2 (de) Beschichtete Folienbahn
DE2361804A1 (de) Verfahren zur herstellung von supraleitenden kontakten und schaltkreisen mit josephson-elementen
EP0207549B1 (de) Elektrolytischer Wickelkondensator
DE2229293A1 (de) Elektrischer Kondensator
DE69924072T2 (de) Chipkarte und flachspule dafür
EP1109175A2 (de) Flachleiter Bandleitung
DE1950667A1 (de) Elektrischer Kondensator
DE1931295A1 (de) Elektronische Duennfilm-Schaltelemente sowie Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung solcher Schaltelemente
DE1613322A1 (de) Kommutatormotor mit Scheibenrotor und Verfahren zur Herstellung der Rotorwicklung
DE2234408A1 (de) Verfahren zur herstellung einer elektrischen leiteranordnung
CH368236A (de) Elektrische Wickelanordnung, insbesondere für Transformatoren und Kondensatoren
DE2356582A1 (de) Rc-netzwerk
DE1013793B (de) Kondensator mit ausbrennfaehigen Belegungen
DE2831736A1 (de) Verfahren zur herstellung elektrischer schichtkondensatoren mit kunststoffolie

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: UNAXIS DEUTSCHLAND HOLDING GMBH, 63450 HANAU, DE

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: APPLIED FILMS GMBH & CO. KG, 63755 ALZENAU, DE

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG, 63755 ALZENAU, DE

8339 Ceased/non-payment of the annual fee