DE4138468A1 - Einrichtung und verfahren zum abtragen von material von einem substrat - Google Patents
Einrichtung und verfahren zum abtragen von material von einem substratInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Abtragen
von Material von einem Substrat, mit einem Laser, der
Strahlung auf eine die optische Achse des Lasers
schneidende Arbeitsebene aussendet, in der ein zu bear
beitender Abschnitt des Substrats angeordnet werden
kann, wodurch das die Strahlung absorbierende Material
erhitzt und verdampft oder mechanisch abgetrennt wird.
Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Abtra
gen von Material von einem Substrat, wobei auf einen zu
bearbeitenden Abschnitt des Substrats eine Strahlung
eines Lasers gerichtet und das die Strahlung absorbie
rende Material erhitzt und verdampft oder mechanisch
abgetrennt wird.
Eine solche bekannte Einrichtung bzw. ein solches Ver
fahren dient zum flächigen Abtragen von Material, z. B.
von organischem Gewebe wie Hornhautgewebe des Auges,
Knorpel oder Knochen. Als Material kommen aber auch
Kunststoffe und andere organische Stoffe in Betracht,
die Strahlung, beispielsweise Infrarotstrahlung, ab
sorbieren.
Aufgrund dieser Absorption der Strahlung erwärmt sich
das bestrahlte Material bis oberhalb seines Siedepunk
tes und verdampft oder es wird aufgrund der zugeführten
Energie mechanisch abgetrennt. Ein günstiger Wirkungs
grad wird dann erzielt, wenn das Spektrum der vom Laser
ausgesendeten Strahlung an das Absorptionsspektrum des
Materials angepaßt ist. Zum Beispiel für den infraroten
Teil des Spektrums ist Wasser ein wichtiger Absorber.
Wird ein wasserhaltiges Material, beispielsweise Orga
nisches Gewebe, mit der energiereichen Strahlung eines
Lasers bestrahlt, so kann es vorkommen, daß an einigen
Stellen des bestrahlten Gebietes das thermisch empfind
liche Material während der Abtragung austrocknet. Ins
besondere an der Oberfläche der durch Abtragen freige
legten Zone kann es zu einer solchen partiellen Aus
trocknung kommen. Es bilden sich trockene Inseln aus,
die als Oberflächenirregularitäten negative Wirkungen
hervorrufen können.
Wenn eine weitere Bestrahlung der freigelegten Oberflä
che erfolgt, so werden die Inseln infolge fehlenden
Wassers und damit fehlender Absorptionsfähigkeit nicht
in ausreichendem Maße erhitzt und folglich nicht abge
tragen. Die Inseln werden sogar größer und verhärten.
Im Ergebnis erhält man nach dem Abtrag eine unregelmä
ßige Oberfläche, die den gewünschten Erfolg beeinträch
tigt. So können beispielsweise beim Abtragen von Horn
haut des Auges zur Korrektur der Fehlsichtigkeit die
dabei entstehenden Gewebeinseln die optische Qualität
der Augenlinse verringern. Außerdem tritt in der Umge
bung der Gewebeinseln eine thermische Schädigung des
verbleibenden Gewebes auf, da die unregelmäßige Ober
fläche eine ungleichmäßige Verteilung der Strahlungs
energie bewirkt.
Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Einrichtung und ein
Verfahren zum Abtragen von Material von einem Substrat
anzugeben, mit der bzw. mit dem ein Materialabtrag mit
hoher geometrischer Genauigkeit möglich ist.
Diese Aufgabe wird für eine Einrichtung eingangs ge
nannter Art dadurch gelöst, daß mindestens eine von
der Arbeitsebene beabstandete Sprühvorrichtung vorgese
hen ist, die einen aus einem Flüssigkeits-Gas-Gemisch
bestehenden kontinuierlichen Sprühstrahl erzeugt, des
sen Strahlachse die optische Achse des Lasers in der
Arbeitsebene schneidet.
Beim Betrieb der Einrichtung trifft das Flüssigkeits-
Gas-Gemisch des Sprühstrahls auf den zu bearbeitenden
Abschnitt des Substrats flächig auf, und es bildet sich
durch Niederschlag der Flüssigkeit auf dem Abschnitt
eine Flüssigkeitsansammlung aus. Diese wird insbesonde
re durch den nachströmenden Gasanteil im Sprühstrahl
auseinandergetrieben, so daß ein Fließfilm mit konstan
ter Dicke und mit kontrollierter Strömungsgeschwindig
keit im Bereich des auftreffenden Laserstrahls ent
steht. Das nachströmende Gas bewirkt auch, daß die
Oberfläche des Fließfilms geglättet wird. Seine Ober
fläche hat dann annähernd optische Qualität, so daß der
Laserstrahl, ohne optisch verzerrt zu werden, durch ihn
zum Material hindurchdringen kann. Ein gleichmäßiger
Materialabtrag ist somit gewährleistet, da das Intensi
tätsprofil des Laserstrahls über seinen Querschnitt
durch den Fließfilm nicht verändert wird. Der zu bear
beitende Abschnitt wird gemäß der Erfindung kontinuier
lich befeuchtet, so daß der Gefahr der Austrocknung
einzelner Stellen des Abschnitts und somit der Insel
bildung sowie einer Schädigung des zurückbleibenden Ma
terials wirkungsvoll begegnet wird. Die nach dem
Materialabtrag freigelegte Oberfläche des Substrats ist
daher frei von Oberflächenunregelmäßigkeiten. Ein even
tuell auf einen ersten Materialabtrag folgender weite
rer Materialabtrag kann mit hoher geometrischer Präzi
sion erfolgen, da ein definierter Ausgangszustand ge
schaffen worden ist. Als Ergebnis erhält man einen Ma
terialabtrag innerhalb enger vorgegebener geometrischer
Grenzen mit einer hohen Oberflächengüte der verbleiben
den Oberfläche.
Als Sprühvorrichtung kann im einfachsten Fall eine
Spraydose verwendet werden, die mit Gas und Flüssigkeit
gefüllt ist und mittels einer Sprühdüse einen gerichte
ten Sprühstrahl erzeugt. Ferner können mit Pumpen be
triebene Spritzapparate eingesetzt werden, die nach Art
einer Spritzpistole arbeiten, wie sie beispielsweise
zum Auftragen von Farbe verwendet wird.
Eine bevorzugte Weiterbildung ist dadurch gekennzeich
net, daß die Sprühvorrichtung eine Ringspaltdüse ent
hält, die ein inneres Düsenrohr, dem Flüssigkeit zu
führbar ist, und ein konzentrisch um das innere Düsen
rohr angeordnetes äußeres Düsenrohr hat, dem Gas zum
Zerstäuben der Flüssigkeit zuführbar ist.
Dadurch ist eine getrennte Luft- und Wasserführung bis
zum Austritt am Ringspalt der Ringspaltdüse möglich.
Die Durchsatzmengen von Gas und Flüssigkeit können
somit auf einfache Weise unabhängig voneinander einge
stellt werden.
Bei einer anderen Weiterbildung ist vorgesehen, daß der
mittlere Abstand der Sprühvorrichtung von der Arbeits
ebene und/oder der Einfallswinkel des Sprühstrahls auf
die Arbeitsebene einstellbar sind.
Dadurch ist es möglich, die Strömungsgeschwindigkeit
des Fließfilms, seine Lage in bezug auf den abzutragen
den Abschnitt, seine Fläche und Dicke zu steuern. Dabei
bestehen folgende Zusammenhänge: Eine Vergrößerung des
Abstandes zwischen der Sprühvorrichtung und der Ar
beitsebene bewirkt eine Verringerung der Strömungsge
schwindigkeit der Flüssigkeit im Fließfilm auf dem Sub
strat, mit der Folge, daß die Schichtdicke des Fließ
films zunimmt. Ein flacher Einfallswinkel bewirkt eine
Erhöhung der Strömungsgeschwindigkeit des Flüssigkeits-
Gas-Gemischs des Sprühstrahls relativ zum Abschnitt.
Die Strömungsgeschwindigkeit der Flüssigkeit im Fließ
film nimmt dadurch zu, was zu einer Verringerung der
Fließfilmdicke führt. Die Dicke des Fließfilms bestimmt
neben weiteren optischen Stoffeigenschaften der Flüs
sigkeit die von ihm absorbierte Strahlungsenergie.
Durch Ändern der Schichtdicke des Fließfilms ist es
also möglich, die zum Substrat durchgelassene Strah
lungsenergie und damit die Abtragleistung des Lasers zu
steuern.
Eine bevorzugte Weiterbildung ist dadurch gekennzeich
net, daß mehrere Ringspaltdüsen vorgesehen sind, die
konzentrisch zur optischen Achse des Lasers angeordnet
sind. Durch diese Maßnahme wird die Arbeitsebene, in
der sich das Substrat befindet, gleichmäßig aus mehre
ren Quellen besprüht, so daß eine große Fläche mit
homogenem Fließfilm auf dem zu bearbeitenden Abschnitt
entsteht. Die Sprühleistung der einzelnen Ringspaltdü
sen kann dann auch bei hoher Gesamtleistung klein sein.
Ferner ist bei einer anderen Weiterbildung vorgesehen,
daß die Flüssigkeit bzw. der Flüssigkeitsfilm des Ab
schnitts einen die Strahlung des Lasers streuenden
Stoff enthält.
Durch diese Maßnahme wird erreicht, daß das räumliche
Strahlprofil des Laserstrahls durch Lichtstreuung im
Flüssigkeits-Gas-Gemisch des Sprühstrahls oder im Flüs
sigkeitsfilm geglättet wird. Die über den Querschnitt
des Laserstrahls vorhandenen räumlichen Intensitäts
schwankungen werden dabei ausgemittelt. Aufgrund des
gleichmäßigen Intensitätsverlaufs kann somit die Genau
igkeit des Materialabtrags noch weiter erhöht werden.
Außerdem läßt sich mit Hilfe des streuenden Stoffs die
absorbierenden Moleküle im Flüssigkeitsfilm verdrängen
und damit die Eindringtiefe der Strahlung in ihn erhö
hen.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden
an Hand der Zeichnungen erläutert. Darin zeigt:
Fig. 1 eine schematische Teildarstellung
einer Einrichtung zum Abtragen von
Material mit konzentrisch um einen
Laser angeordneten Ringspaltdüsen,
Fig. 2 die Ausbildung eines Flüssigkeits
films auf dem Abschnitt eines Sub
strats, und
Fig. 3a, b eine graphische Darstellung von
Strahlprofilen eines Laserstrahls
über seinen Durchmesser.
In Fig. 1 ist in einer schematischen Darstellung eine
Einrichtung zum Abtragen von Material von einem Sub
strat nach der Erfindung wiedergegeben. Die optische
Achse 18 eines Lasers 12 schneidet eine Arbeitsebene 14
in einem rechten Winkel. In der Arbeitsebene 14 ist ein
zu bearbeitender Abschnitt 9 eines Substrats 8 angeord
net, z. B. die Hornhaut eines Auges. Der Laser 12 sendet
einen Laserstrahl 19 längs der optische Achse auf den
Abschnitt 9 aus. Als Laser 12 kann ein CO2- Laser,
ein Neodym-Laser, ein Thulium-Laser, ein Holmium-Laser
oder ein Erbium-Laser eingesetzt werden. Vorzugsweise
wird als Laserstrahlung gepulste Infrarotstrahlung im
Bereich von 1,3 bis 15 µm verwendet, die von Wasser gut
absorbiert wird. Der typische Durchmesser des Laser
strahls 19 liegt bei einigen mm, beispielsweise bei ca.
5 mm. Jedoch kann dieser Durchmesser durch optische
Vorsatzgeräte (nicht dargestellt) in einem weiten Be
reich verändert und an die Geometrie des Substrats 8
bzw. an das abzutragende Gebiet angepaßt werden.
Konzentrisch zur optische Achse 18 sind mehrere Ring
strahldüsen 20 einer Sprühvorrichtung 10 angeordnet,
von denen zwei in der Fig. 1 dargestellt sind. Die
Ringspaltdüsen 20 werden aus einem Luftdruckbehälter 26
mit Luft 34 und aus einem unter Druck stehenden Flüs
sigkeitsbehälter 28 mit Wasser 36 gespeist. Anstelle
von Wasser 36 kann auch eine Kochsalzlösung verwendet
werden.
Mit Regulierventilen 30, 32 können die den Ringstrahl
düsen 20 zuzuführenden Durchflußmengen an Wasser 36
bzw. Luft 34 pro Zeiteinheit unabhängig voneinander
eingestellt werden. Die Ringspaltdüsen 20 erzeugen je
weils einen kontinuierlichen Sprühstrahl 22, dessen
Strahlachse 16 die optische Achse 18 des Lasers 12 in
der Arbeitsebene 14 schneidet. Die Sprühstrahlen 22
haben Öffnungskegel mit an die Fläche des Abschnitts 9
angepaßtem Kegelwinkel 24, so daß im Bereich der auf
treffenden Strahlung des Laserstrahls 19 eine ausrei
chende Versorgung mit dem Luft-Wasser-Gemisch gewähr
leistet ist.
In Fig. 2 sind weitere Einzelheiten der Einrichtung
nach Fig. 1 dargestellt, wobei zur besseren Übersicht
nur eine Ringspaltdüse 20 eingezeichnet ist. Die Ring
spaltdüse 20 besteht aus einem inneren Düsenrohr 38,
dem Wasser 36 unter Druck zugeführt wird. Das innere
Düsenrohr 38 ist von einem äußeren Düsenrohr 40 umge
ben, das sich in seinem vorderen Abschnitt 41 verjüngt.
Dem zwischen dem inneren Düsenrohr 38 und dem äußeren
Düsenrohr 40 gebildeten Raum wird Luft 34 unter Druck
zugeführt. Beim Austritt der Luft 34 aus einem Ring
spalt 42 zwischen den Düsenrohren 38, 40 wird die
Druckenergie der Luft 38 in Geschwindigkeitsenergie um
gewandelt - die Luft 34 entspannt sich und verwirbelt
den Wasserstrahl, der aus dem inneren Düsenrohr 38 aus
tritt. Es entsteht der Sprühstrahl 22 der aus einem
feinen Gemisch aus Wassertröpfchen 45 und Luft 34 be
steht.
Der Sprühstrahl 22 trifft auf eine Fläche des Substrats
8 auf, die auch den zu bearbeitenden Abschnitt 9 der
Hornhaut umfaßt. Die Wassertröpfchen 45 schlagen sich
auf der Oberfläche des Substrats 8 nieder und bilden
eine Wasseransammlung 44. Das nachströmende Wasser 36
und insbesondere die nachströmende Luft 34 bewirken,
daß das Wasser in der Wasseransammlung 44 relativ zur
feststehenden Oberfläche des Substrats 8 mit einer
Strömungsgeschwindigkeit nach außen fließt.
Im Bereich des Schnittpunkts der Strahlachse 16 mit der
Oberfläche des Substrats 8 bildet sich somit ein Fließ
film 46 aus, der den Abschnitt 9 vollkommen überdeckt.
Dieser Fließfilm 46 ist homogen, d. h. er bildet eine
zusammenhängende Flüssigkeitsschicht. Seine Schichtdicke
ist weitgehend konstant. Die Oberfläche des Fließ
films 46 ist glatt und ihre makroskopische Form ent
spricht der Gestalt der Oberfläche des Substrats 8. Der
einfallende Laserstrahl 19 wird somit durch den Fließ
film 46 optisch nicht verzerrt.
Die Ausbildung des Wasserfilms 44 in Dicke und Abmes
sung kann durch gezieltes Verändern des Einfallswinkels
des Sprühstrahls 22 auf den Abschnitt 9, durch Ändern
des Abstands zwischen der Ringspaltdüse 20 und dem Ab
schnitt 9 sowie durch Ändern des Drucks oder der Durch
flußmengen von Wasser 36 und Luft gesteuert werden. Die
Strömungsgeschwindigkeit des Wasserfilms 44 wird im we
sentlichen durch die Strömungsgeschwindigkeit der Luft
34 im Sprühstrahl 22 bestimmt. Eine Vergrößerung des
Abstandes zwischen der Ringspaltdüse 20 und dem Ab
schnitt 9 sowie eine Verringerung des Luftdrucks bewir
ken eine Verringerung der Strömungsgeschwindigkeit der
Luft 34. Damit verringert sich auch die Strömungsge
schwindigkeit des Wasserfilms 44. Ein geringerer Abfluß
des Wassers 34 führt zu einer Zunahme der Dicke des
Wasserfilms 44. Ferner führt auch eine Erhöhung der je
Zeiteinheit zugeführten Menge an Wasser 36, wodurch der
Sprühstrahl 22 mehr mit Wassertröpfchen 45 angereichert
wird, zu einer Zunahme der Dicke des Wasserfilms 44.
Durch Abstimmen der vorgenannten Parameter aufeinander
ist es möglich, Schichtdicken im Bereich von 1 bis 50 µm
herzustellen, die im zu bearbeitenden Abschnitt 9
mindestens annähernd konstant sind. Erst außerhalb des
Abschnitts 9 bilden sich an den Stellen 48 Wirbel auf
grund des abfließenden Wassers 34. Diese stören aber
den Abtragungsvorgang nicht, da sie nicht im Bereich
des Laserstrahls 19 liegen.
Beim Abtragen des Materials sendet der Laser 12 einen
oder mehrere Strahlungsimpulse hoher Energiedichte auf
den Abschnitt 9 aus. Der Laserstrahl 19 durchsetzt
dabei den Wasserfilm 44 und dringt teilweise in das
Substrat 8 an der gestrichelt eingezeichneten Zone 50
ein. Das Material wird an dieser Stelle aufgrund der
absorbierten Strahlungsenergie erhitzt und verdampft
oder mechanisch abgetrennt. Da der Wasserfilm 44 das
abzutragende Material fortlaufend umspült, können sich
in der Zone 50 keine trockenen Inseln ausbilden. Das
Material wird somit entsprechend dem räumlichen Inten
sitätsprofil des Laserstrahls 19 geometrisch präzise
abgetragen. Die nach dem Abtrag zurückbleibende Ober
fläche ist glatt und regelmäßig; eine thermische Be
schädigung dieser Oberfläche wird verringert.
Dadurch ist es möglich, den Laserstrahl 19 sehr ener
giereich auszulegen, so daß je Laserimpuls ein hohes
Abtragvolumen erzielt wird. Beispielsweise kann dadurch
die zum Abtragen von Hornhautgewebe zur Korrektur der
Fehlsichtigkeit erforderliche Zahl von Laserimpulsen,
die bei konventionellen Einrichtungen bei einigen hun
dert Impulsen liegt, auf etwa 1 bis 5 Impulse verrin
gert werden. Das Auge des Patienten wird so geschont,
und die mit wachsender Zahl an Impulsen größer werdende
Gefahr von fehlerhaften Impulsen wird deutlich verrin
gert.
Dem Wasser 36 ist ein Streumedium zugesetzt. Beim
Durchgang des Laserstrahls 19 durch den Sprühstrahl 22
und den Fließfilm 46 gemäß Fig. 2 wird die Strahlung am
Streumedium gestreut. Örtliche Intensitätsspitzen des
Laserstrahls werden dabei abgeflacht. Über den Quer
schnitt des Laserstrahls 19 erfolgt ein Energieaus
gleich der Strahlung.
Dieser Effekt wird im folgenden anhand der Fig. 3a, b
erläutert. In Fig. 3a ist die Intensität des Laser
strahls 19 längs seines Durchmessers d aufgetragen. In
der Realität ist der Intensitätsverlauf nicht glatt,
sondern aufgrund von Inhomogenitäten der elektrischen
Feldverteilung im Laser mit einer Welligkeit behaftet.
Vorhandene Intensitätsspitzen 60 erzeugen beim Abtra
gen von Material unerwünschte Oberflächenrauheiten auf
der zurückbleibenden Oberfläche.
In der Fig. 3b ist der Intensitätsverlauf des Laser
strahls 19 nach Durchgang durch einen Wasserfilm aufge
tragen, der mit Streumedium angereichert ist. Die Wel
ligkeiten der Strahlungsintensität werden durch die
Streuung geglättet. Ein derartiges Strahlprofil gewähr
leistet einen geometrisch präzisen Materialabtrag und
hinterläßt glatte Oberflächen.
Claims (21)
1. Einrichtung zum Abtragen von Material von einem
Substrat, mit einem Laser, der Strahlung auf eine
die optische Achse des Lasers schneidende Arbeits
ebene aussendet, in der ein zu bearbeitender Ab
schnitt des Substrats angeordnet werden kann, wo
durch das die Strahlung absorbierende Material er
hitzt und verdampft oder mechanisch abgetrennt
wird, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine
von der Arbeitsebene (14) beabstandete Sprühvor
richtung (10, 20) vorgesehen ist, die einen aus
einem Flüssigkeits-Gas-Gemisch bestehenden konti
nuierlichen Sprühstrahl (22) erzeugt, dessen
Strahlachse (16) die optische Achse (18) des La
sers (12) in der Arbeitsebene (14) schneidet.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die Sprühvorrichtung (10) eine Ring
spaltdüse (20) enthält, die ein inneres Düsenrohr
(38), dem Flüssigkeit (36) zuführbar ist, und ein
konzentrisch um das innere Düsenrohr (38) ange
ordnetes äußeres Düsenrohr (40) hat, dem Gas (34)
zum Zerstäuben der Flüssigkeit (36) zuführbar ist.
3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge
kennzeichnet, daß die dem inneren Düsenrohr (38)
zuführbare Durchflußmenge der Flüssigkeit (36) pro
Zeiteinheit einstellbar ist und vorzugsweise im
Bereich von 0,1 bis 5 ml/min liegt.
4. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß die dem äußeren
Düsenrohr (40) zuführbare Durchflußmenge des Gases
(34) pro Zeiteinheit einstellbar ist und vorzugs
weise im Bereich von 0,5 bis 20 l/min, vorzugswei
se im Bereich von 2 bis 10 l/min liegt.
5. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß der Sprühstrahl
(22) einen Öffnungskegel mit einem Kegelwinkel
(24) im Bereich von 3° bis 20° hat.
6. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß der mittlere Ab
stand der Sprühvorrichtung (10, 20) von der Ar
beitsebene (14) und/oder der Einfallswinkel des
Sprühstrahls (16) auf die Arbeitsebene (14) ein
stellbar ist.
7. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Ring
spaltdüsen (20) vorgesehen sind, die konzentrisch
zur optischen Achse (18) des Lasers (12) angeord
net sind.
8. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß der Laser (12)
Infrarotstrahlung im Wellenlängenbereich von 1,3
bis 15 µm aussendet.
9. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß als Laser (12)
ein CO2-Laser, ein Neodym-Laser, ein Thulium-
Laser, ein Holmium-Laser oder ein Erbium-Laser
vorgesehen ist.
10. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeich
net, daß der Laser (12) ein im Impulsbetrieb ar
beitender Laser ist.
11. Verfahren zum Abtragen von Material von einem
Substrat, wobei auf einen zu bearbeitenden Ab
schnitt des Substrats die Strahlung eines Lasers
gerichtet und das die Strahlung absorbierende Ma
terial erhitzt und verdampft oder mechanisch abge
trennt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Ab
schnitt (9) des Substrats (8) während der Bestrah
lung mit einem Flüssigkeitsfilm (44, 46) überzogen
wird.
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich
net, daß der Flüssigkeitsfilm (44, 46) relativ zum
Substrat (8) mit einer vorgegebenen Strömungsge
schwindigkeit fließt.
13. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Strahlung des Lasers (12) ge
pulst wird.
14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtdicke des
Flüssigkeitsfilms (44, 46) in dem zu bearbeitenden
Abschnitt (9) des Substrats (8) annähernd konstant
ist.
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeich
net, daß die Schichtdicke im Bereich von 1 bis
50 µm, vorzugsweise im Bereich von 4 bis 15 µm
liegt.
16. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der Flüssigkeitsfilm
(44, 46) aus Wasser (36) oder aus einer Kochsalz
lösung besteht.
17. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der Flüssigkeitsfilm
(44, 46) einen die Strahlung streuenden Stoff
enthält, vorzugsweise Latex- oder Polysterolkügel
chen, die vorzugsweise einen Durchmesser annähernd
der Wellenlänge der verwendeten Laserstrahlung
ist.
18. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß zum Abtragen von bio
logischem Material der Flüssigkeitsfilm (44, 46)
einen pharmazeutischen Wirkstoff enthält, vor
zugsweise Antibiotikum, Anästhetikum und/oder My
driatikum.
19. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur des
Flüssigkeitsfilms annähernd gleich der Temperatur
des Substrats (8) ist und/oder im Bereich von 0°
bis 35°C, vorzugsweise im Bereich von 5°C bis 20°C
liegt.
20. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (8) Was
ser mit der Konzentration im Bereich von 2 bis 90
Vol.% enthält.
21. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich
net, daß das Substrat (8) ein biologischer Stoff,
vorzugsweise organisches Gewebe, insbesondere
Hornhaut-, Knochen- oder Knorpelgewebe ist.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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ID=6445379
Family Applications (1)
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DE4138468A Withdrawn DE4138468A1 (de) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | Einrichtung und verfahren zum abtragen von material von einem substrat |
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