DE4138468A1 - Einrichtung und verfahren zum abtragen von material von einem substrat - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Abtragen von Material von einem Substrat, mit einem Laser, der Strahlung auf eine die optische Achse des Lasers schneidende Arbeitsebene aussendet, in der ein zu bear­ beitender Abschnitt des Substrats angeordnet werden kann, wodurch das die Strahlung absorbierende Material erhitzt und verdampft oder mechanisch abgetrennt wird.

Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Abtra­ gen von Material von einem Substrat, wobei auf einen zu bearbeitenden Abschnitt des Substrats eine Strahlung eines Lasers gerichtet und das die Strahlung absorbie­ rende Material erhitzt und verdampft oder mechanisch abgetrennt wird.

Eine solche bekannte Einrichtung bzw. ein solches Ver­ fahren dient zum flächigen Abtragen von Material, z. B. von organischem Gewebe wie Hornhautgewebe des Auges, Knorpel oder Knochen. Als Material kommen aber auch Kunststoffe und andere organische Stoffe in Betracht, die Strahlung, beispielsweise Infrarotstrahlung, ab­ sorbieren.

Aufgrund dieser Absorption der Strahlung erwärmt sich das bestrahlte Material bis oberhalb seines Siedepunk­ tes und verdampft oder es wird aufgrund der zugeführten Energie mechanisch abgetrennt. Ein günstiger Wirkungs­ grad wird dann erzielt, wenn das Spektrum der vom Laser ausgesendeten Strahlung an das Absorptionsspektrum des Materials angepaßt ist. Zum Beispiel für den infraroten Teil des Spektrums ist Wasser ein wichtiger Absorber. Wird ein wasserhaltiges Material, beispielsweise Orga­ nisches Gewebe, mit der energiereichen Strahlung eines Lasers bestrahlt, so kann es vorkommen, daß an einigen Stellen des bestrahlten Gebietes das thermisch empfind­ liche Material während der Abtragung austrocknet. Ins­ besondere an der Oberfläche der durch Abtragen freige­ legten Zone kann es zu einer solchen partiellen Aus­ trocknung kommen. Es bilden sich trockene Inseln aus, die als Oberflächenirregularitäten negative Wirkungen hervorrufen können.

Wenn eine weitere Bestrahlung der freigelegten Oberflä­ che erfolgt, so werden die Inseln infolge fehlenden Wassers und damit fehlender Absorptionsfähigkeit nicht in ausreichendem Maße erhitzt und folglich nicht abge­ tragen. Die Inseln werden sogar größer und verhärten. Im Ergebnis erhält man nach dem Abtrag eine unregelmä­ ßige Oberfläche, die den gewünschten Erfolg beeinträch­ tigt. So können beispielsweise beim Abtragen von Horn­ haut des Auges zur Korrektur der Fehlsichtigkeit die dabei entstehenden Gewebeinseln die optische Qualität der Augenlinse verringern. Außerdem tritt in der Umge­ bung der Gewebeinseln eine thermische Schädigung des verbleibenden Gewebes auf, da die unregelmäßige Ober­ fläche eine ungleichmäßige Verteilung der Strahlungs­ energie bewirkt.

Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Einrichtung und ein Verfahren zum Abtragen von Material von einem Substrat anzugeben, mit der bzw. mit dem ein Materialabtrag mit hoher geometrischer Genauigkeit möglich ist.

Diese Aufgabe wird für eine Einrichtung eingangs ge­ nannter Art dadurch gelöst, daß mindestens eine von der Arbeitsebene beabstandete Sprühvorrichtung vorgese­ hen ist, die einen aus einem Flüssigkeits-Gas-Gemisch bestehenden kontinuierlichen Sprühstrahl erzeugt, des­ sen Strahlachse die optische Achse des Lasers in der Arbeitsebene schneidet.

Beim Betrieb der Einrichtung trifft das Flüssigkeits- Gas-Gemisch des Sprühstrahls auf den zu bearbeitenden Abschnitt des Substrats flächig auf, und es bildet sich durch Niederschlag der Flüssigkeit auf dem Abschnitt eine Flüssigkeitsansammlung aus. Diese wird insbesonde­ re durch den nachströmenden Gasanteil im Sprühstrahl auseinandergetrieben, so daß ein Fließfilm mit konstan­ ter Dicke und mit kontrollierter Strömungsgeschwindig­ keit im Bereich des auftreffenden Laserstrahls ent­ steht. Das nachströmende Gas bewirkt auch, daß die Oberfläche des Fließfilms geglättet wird. Seine Ober­ fläche hat dann annähernd optische Qualität, so daß der Laserstrahl, ohne optisch verzerrt zu werden, durch ihn zum Material hindurchdringen kann. Ein gleichmäßiger Materialabtrag ist somit gewährleistet, da das Intensi­ tätsprofil des Laserstrahls über seinen Querschnitt durch den Fließfilm nicht verändert wird. Der zu bear­ beitende Abschnitt wird gemäß der Erfindung kontinuier­ lich befeuchtet, so daß der Gefahr der Austrocknung einzelner Stellen des Abschnitts und somit der Insel­ bildung sowie einer Schädigung des zurückbleibenden Ma­ terials wirkungsvoll begegnet wird. Die nach dem Materialabtrag freigelegte Oberfläche des Substrats ist daher frei von Oberflächenunregelmäßigkeiten. Ein even­ tuell auf einen ersten Materialabtrag folgender weite­ rer Materialabtrag kann mit hoher geometrischer Präzi­ sion erfolgen, da ein definierter Ausgangszustand ge­ schaffen worden ist. Als Ergebnis erhält man einen Ma­ terialabtrag innerhalb enger vorgegebener geometrischer Grenzen mit einer hohen Oberflächengüte der verbleiben­ den Oberfläche.

Als Sprühvorrichtung kann im einfachsten Fall eine Spraydose verwendet werden, die mit Gas und Flüssigkeit gefüllt ist und mittels einer Sprühdüse einen gerichte­ ten Sprühstrahl erzeugt. Ferner können mit Pumpen be­ triebene Spritzapparate eingesetzt werden, die nach Art einer Spritzpistole arbeiten, wie sie beispielsweise zum Auftragen von Farbe verwendet wird.

Eine bevorzugte Weiterbildung ist dadurch gekennzeich­ net, daß die Sprühvorrichtung eine Ringspaltdüse ent­ hält, die ein inneres Düsenrohr, dem Flüssigkeit zu­ führbar ist, und ein konzentrisch um das innere Düsen­ rohr angeordnetes äußeres Düsenrohr hat, dem Gas zum Zerstäuben der Flüssigkeit zuführbar ist.

Dadurch ist eine getrennte Luft- und Wasserführung bis zum Austritt am Ringspalt der Ringspaltdüse möglich. Die Durchsatzmengen von Gas und Flüssigkeit können somit auf einfache Weise unabhängig voneinander einge­ stellt werden.

Bei einer anderen Weiterbildung ist vorgesehen, daß der mittlere Abstand der Sprühvorrichtung von der Arbeits­ ebene und/oder der Einfallswinkel des Sprühstrahls auf die Arbeitsebene einstellbar sind.

Dadurch ist es möglich, die Strömungsgeschwindigkeit des Fließfilms, seine Lage in bezug auf den abzutragen­ den Abschnitt, seine Fläche und Dicke zu steuern. Dabei bestehen folgende Zusammenhänge: Eine Vergrößerung des Abstandes zwischen der Sprühvorrichtung und der Ar­ beitsebene bewirkt eine Verringerung der Strömungsge­ schwindigkeit der Flüssigkeit im Fließfilm auf dem Sub­ strat, mit der Folge, daß die Schichtdicke des Fließ­ films zunimmt. Ein flacher Einfallswinkel bewirkt eine Erhöhung der Strömungsgeschwindigkeit des Flüssigkeits- Gas-Gemischs des Sprühstrahls relativ zum Abschnitt. Die Strömungsgeschwindigkeit der Flüssigkeit im Fließ­ film nimmt dadurch zu, was zu einer Verringerung der Fließfilmdicke führt. Die Dicke des Fließfilms bestimmt neben weiteren optischen Stoffeigenschaften der Flüs­ sigkeit die von ihm absorbierte Strahlungsenergie. Durch Ändern der Schichtdicke des Fließfilms ist es also möglich, die zum Substrat durchgelassene Strah­ lungsenergie und damit die Abtragleistung des Lasers zu steuern.

Eine bevorzugte Weiterbildung ist dadurch gekennzeich­ net, daß mehrere Ringspaltdüsen vorgesehen sind, die konzentrisch zur optischen Achse des Lasers angeordnet sind. Durch diese Maßnahme wird die Arbeitsebene, in der sich das Substrat befindet, gleichmäßig aus mehre­ ren Quellen besprüht, so daß eine große Fläche mit homogenem Fließfilm auf dem zu bearbeitenden Abschnitt entsteht. Die Sprühleistung der einzelnen Ringspaltdü­ sen kann dann auch bei hoher Gesamtleistung klein sein. Ferner ist bei einer anderen Weiterbildung vorgesehen, daß die Flüssigkeit bzw. der Flüssigkeitsfilm des Ab­ schnitts einen die Strahlung des Lasers streuenden Stoff enthält.

Durch diese Maßnahme wird erreicht, daß das räumliche Strahlprofil des Laserstrahls durch Lichtstreuung im Flüssigkeits-Gas-Gemisch des Sprühstrahls oder im Flüs­ sigkeitsfilm geglättet wird. Die über den Querschnitt des Laserstrahls vorhandenen räumlichen Intensitäts­ schwankungen werden dabei ausgemittelt. Aufgrund des gleichmäßigen Intensitätsverlaufs kann somit die Genau­ igkeit des Materialabtrags noch weiter erhöht werden. Außerdem läßt sich mit Hilfe des streuenden Stoffs die absorbierenden Moleküle im Flüssigkeitsfilm verdrängen und damit die Eindringtiefe der Strahlung in ihn erhö­ hen.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden an Hand der Zeichnungen erläutert. Darin zeigt:

Fig. 1 eine schematische Teildarstellung einer Einrichtung zum Abtragen von Material mit konzentrisch um einen Laser angeordneten Ringspaltdüsen,

Fig. 2 die Ausbildung eines Flüssigkeits­ films auf dem Abschnitt eines Sub­ strats, und

Fig. 3a, b eine graphische Darstellung von Strahlprofilen eines Laserstrahls über seinen Durchmesser.

In Fig. 1 ist in einer schematischen Darstellung eine Einrichtung zum Abtragen von Material von einem Sub­ strat nach der Erfindung wiedergegeben. Die optische Achse 18 eines Lasers 12 schneidet eine Arbeitsebene 14 in einem rechten Winkel. In der Arbeitsebene 14 ist ein zu bearbeitender Abschnitt 9 eines Substrats 8 angeord­ net, z. B. die Hornhaut eines Auges. Der Laser 12 sendet einen Laserstrahl 19 längs der optische Achse auf den Abschnitt 9 aus. Als Laser 12 kann ein CO₂- Laser, ein Neodym-Laser, ein Thulium-Laser, ein Holmium-Laser oder ein Erbium-Laser eingesetzt werden. Vorzugsweise wird als Laserstrahlung gepulste Infrarotstrahlung im Bereich von 1,3 bis 15 µm verwendet, die von Wasser gut absorbiert wird. Der typische Durchmesser des Laser­ strahls 19 liegt bei einigen mm, beispielsweise bei ca. 5 mm. Jedoch kann dieser Durchmesser durch optische Vorsatzgeräte (nicht dargestellt) in einem weiten Be­ reich verändert und an die Geometrie des Substrats 8 bzw. an das abzutragende Gebiet angepaßt werden.

Konzentrisch zur optische Achse 18 sind mehrere Ring­ strahldüsen 20 einer Sprühvorrichtung 10 angeordnet, von denen zwei in der Fig. 1 dargestellt sind. Die Ringspaltdüsen 20 werden aus einem Luftdruckbehälter 26 mit Luft 34 und aus einem unter Druck stehenden Flüs­ sigkeitsbehälter 28 mit Wasser 36 gespeist. Anstelle von Wasser 36 kann auch eine Kochsalzlösung verwendet werden.

Mit Regulierventilen 30, 32 können die den Ringstrahl­ düsen 20 zuzuführenden Durchflußmengen an Wasser 36 bzw. Luft 34 pro Zeiteinheit unabhängig voneinander eingestellt werden. Die Ringspaltdüsen 20 erzeugen je­ weils einen kontinuierlichen Sprühstrahl 22, dessen Strahlachse 16 die optische Achse 18 des Lasers 12 in der Arbeitsebene 14 schneidet. Die Sprühstrahlen 22 haben Öffnungskegel mit an die Fläche des Abschnitts 9 angepaßtem Kegelwinkel 24, so daß im Bereich der auf­ treffenden Strahlung des Laserstrahls 19 eine ausrei­ chende Versorgung mit dem Luft-Wasser-Gemisch gewähr­ leistet ist.

In Fig. 2 sind weitere Einzelheiten der Einrichtung nach Fig. 1 dargestellt, wobei zur besseren Übersicht nur eine Ringspaltdüse 20 eingezeichnet ist. Die Ring­ spaltdüse 20 besteht aus einem inneren Düsenrohr 38, dem Wasser 36 unter Druck zugeführt wird. Das innere Düsenrohr 38 ist von einem äußeren Düsenrohr 40 umge­ ben, das sich in seinem vorderen Abschnitt 41 verjüngt. Dem zwischen dem inneren Düsenrohr 38 und dem äußeren Düsenrohr 40 gebildeten Raum wird Luft 34 unter Druck zugeführt. Beim Austritt der Luft 34 aus einem Ring­ spalt 42 zwischen den Düsenrohren 38, 40 wird die Druckenergie der Luft 38 in Geschwindigkeitsenergie um­ gewandelt - die Luft 34 entspannt sich und verwirbelt den Wasserstrahl, der aus dem inneren Düsenrohr 38 aus­ tritt. Es entsteht der Sprühstrahl 22 der aus einem feinen Gemisch aus Wassertröpfchen 45 und Luft 34 be­ steht.

Der Sprühstrahl 22 trifft auf eine Fläche des Substrats 8 auf, die auch den zu bearbeitenden Abschnitt 9 der Hornhaut umfaßt. Die Wassertröpfchen 45 schlagen sich auf der Oberfläche des Substrats 8 nieder und bilden eine Wasseransammlung 44. Das nachströmende Wasser 36 und insbesondere die nachströmende Luft 34 bewirken, daß das Wasser in der Wasseransammlung 44 relativ zur feststehenden Oberfläche des Substrats 8 mit einer Strömungsgeschwindigkeit nach außen fließt.

Im Bereich des Schnittpunkts der Strahlachse 16 mit der Oberfläche des Substrats 8 bildet sich somit ein Fließ­ film 46 aus, der den Abschnitt 9 vollkommen überdeckt. Dieser Fließfilm 46 ist homogen, d. h. er bildet eine zusammenhängende Flüssigkeitsschicht. Seine Schichtdicke ist weitgehend konstant. Die Oberfläche des Fließ­ films 46 ist glatt und ihre makroskopische Form ent­ spricht der Gestalt der Oberfläche des Substrats 8. Der einfallende Laserstrahl 19 wird somit durch den Fließ­ film 46 optisch nicht verzerrt.

Die Ausbildung des Wasserfilms 44 in Dicke und Abmes­ sung kann durch gezieltes Verändern des Einfallswinkels des Sprühstrahls 22 auf den Abschnitt 9, durch Ändern des Abstands zwischen der Ringspaltdüse 20 und dem Ab­ schnitt 9 sowie durch Ändern des Drucks oder der Durch­ flußmengen von Wasser 36 und Luft gesteuert werden. Die Strömungsgeschwindigkeit des Wasserfilms 44 wird im we­ sentlichen durch die Strömungsgeschwindigkeit der Luft 34 im Sprühstrahl 22 bestimmt. Eine Vergrößerung des Abstandes zwischen der Ringspaltdüse 20 und dem Ab­ schnitt 9 sowie eine Verringerung des Luftdrucks bewir­ ken eine Verringerung der Strömungsgeschwindigkeit der Luft 34. Damit verringert sich auch die Strömungsge­ schwindigkeit des Wasserfilms 44. Ein geringerer Abfluß des Wassers 34 führt zu einer Zunahme der Dicke des Wasserfilms 44. Ferner führt auch eine Erhöhung der je Zeiteinheit zugeführten Menge an Wasser 36, wodurch der Sprühstrahl 22 mehr mit Wassertröpfchen 45 angereichert wird, zu einer Zunahme der Dicke des Wasserfilms 44.

Durch Abstimmen der vorgenannten Parameter aufeinander ist es möglich, Schichtdicken im Bereich von 1 bis 50 µm herzustellen, die im zu bearbeitenden Abschnitt 9 mindestens annähernd konstant sind. Erst außerhalb des Abschnitts 9 bilden sich an den Stellen 48 Wirbel auf­ grund des abfließenden Wassers 34. Diese stören aber den Abtragungsvorgang nicht, da sie nicht im Bereich des Laserstrahls 19 liegen.

Beim Abtragen des Materials sendet der Laser 12 einen oder mehrere Strahlungsimpulse hoher Energiedichte auf den Abschnitt 9 aus. Der Laserstrahl 19 durchsetzt dabei den Wasserfilm 44 und dringt teilweise in das Substrat 8 an der gestrichelt eingezeichneten Zone 50 ein. Das Material wird an dieser Stelle aufgrund der absorbierten Strahlungsenergie erhitzt und verdampft oder mechanisch abgetrennt. Da der Wasserfilm 44 das abzutragende Material fortlaufend umspült, können sich in der Zone 50 keine trockenen Inseln ausbilden. Das Material wird somit entsprechend dem räumlichen Inten­ sitätsprofil des Laserstrahls 19 geometrisch präzise abgetragen. Die nach dem Abtrag zurückbleibende Ober­ fläche ist glatt und regelmäßig; eine thermische Be­ schädigung dieser Oberfläche wird verringert.

Dadurch ist es möglich, den Laserstrahl 19 sehr ener­ giereich auszulegen, so daß je Laserimpuls ein hohes Abtragvolumen erzielt wird. Beispielsweise kann dadurch die zum Abtragen von Hornhautgewebe zur Korrektur der Fehlsichtigkeit erforderliche Zahl von Laserimpulsen, die bei konventionellen Einrichtungen bei einigen hun­ dert Impulsen liegt, auf etwa 1 bis 5 Impulse verrin­ gert werden. Das Auge des Patienten wird so geschont, und die mit wachsender Zahl an Impulsen größer werdende Gefahr von fehlerhaften Impulsen wird deutlich verrin­ gert.

Dem Wasser 36 ist ein Streumedium zugesetzt. Beim Durchgang des Laserstrahls 19 durch den Sprühstrahl 22 und den Fließfilm 46 gemäß Fig. 2 wird die Strahlung am Streumedium gestreut. Örtliche Intensitätsspitzen des Laserstrahls werden dabei abgeflacht. Über den Quer­ schnitt des Laserstrahls 19 erfolgt ein Energieaus­ gleich der Strahlung.

Dieser Effekt wird im folgenden anhand der Fig. 3a, b erläutert. In Fig. 3a ist die Intensität des Laser­ strahls 19 längs seines Durchmessers d aufgetragen. In der Realität ist der Intensitätsverlauf nicht glatt, sondern aufgrund von Inhomogenitäten der elektrischen Feldverteilung im Laser mit einer Welligkeit behaftet. Vorhandene Intensitätsspitzen 60 erzeugen beim Abtra­ gen von Material unerwünschte Oberflächenrauheiten auf der zurückbleibenden Oberfläche.

In der Fig. 3b ist der Intensitätsverlauf des Laser­ strahls 19 nach Durchgang durch einen Wasserfilm aufge­ tragen, der mit Streumedium angereichert ist. Die Wel­ ligkeiten der Strahlungsintensität werden durch die Streuung geglättet. Ein derartiges Strahlprofil gewähr­ leistet einen geometrisch präzisen Materialabtrag und hinterläßt glatte Oberflächen.

Claims (21)

1. Einrichtung zum Abtragen von Material von einem Substrat, mit einem Laser, der Strahlung auf eine die optische Achse des Lasers schneidende Arbeits­ ebene aussendet, in der ein zu bearbeitender Ab­ schnitt des Substrats angeordnet werden kann, wo­ durch das die Strahlung absorbierende Material er­ hitzt und verdampft oder mechanisch abgetrennt wird, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine von der Arbeitsebene (14) beabstandete Sprühvor­ richtung (10, 20) vorgesehen ist, die einen aus einem Flüssigkeits-Gas-Gemisch bestehenden konti­ nuierlichen Sprühstrahl (22) erzeugt, dessen Strahlachse (16) die optische Achse (18) des La­ sers (12) in der Arbeitsebene (14) schneidet.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Sprühvorrichtung (10) eine Ring­ spaltdüse (20) enthält, die ein inneres Düsenrohr (38), dem Flüssigkeit (36) zuführbar ist, und ein konzentrisch um das innere Düsenrohr (38) ange­ ordnetes äußeres Düsenrohr (40) hat, dem Gas (34) zum Zerstäuben der Flüssigkeit (36) zuführbar ist.

3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die dem inneren Düsenrohr (38) zuführbare Durchflußmenge der Flüssigkeit (36) pro Zeiteinheit einstellbar ist und vorzugsweise im Bereich von 0,1 bis 5 ml/min liegt.

4. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß die dem äußeren Düsenrohr (40) zuführbare Durchflußmenge des Gases (34) pro Zeiteinheit einstellbar ist und vorzugs­ weise im Bereich von 0,5 bis 20 l/min, vorzugswei­ se im Bereich von 2 bis 10 l/min liegt.

5. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß der Sprühstrahl (22) einen Öffnungskegel mit einem Kegelwinkel (24) im Bereich von 3° bis 20° hat.

6. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß der mittlere Ab­ stand der Sprühvorrichtung (10, 20) von der Ar­ beitsebene (14) und/oder der Einfallswinkel des Sprühstrahls (16) auf die Arbeitsebene (14) ein­ stellbar ist.

7. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Ring­ spaltdüsen (20) vorgesehen sind, die konzentrisch zur optischen Achse (18) des Lasers (12) angeord­ net sind.

8. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß der Laser (12) Infrarotstrahlung im Wellenlängenbereich von 1,3 bis 15 µm aussendet.

9. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß als Laser (12) ein CO₂-Laser, ein Neodym-Laser, ein Thulium- Laser, ein Holmium-Laser oder ein Erbium-Laser vorgesehen ist.

10. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeich­ net, daß der Laser (12) ein im Impulsbetrieb ar­ beitender Laser ist.

11. Verfahren zum Abtragen von Material von einem Substrat, wobei auf einen zu bearbeitenden Ab­ schnitt des Substrats die Strahlung eines Lasers gerichtet und das die Strahlung absorbierende Ma­ terial erhitzt und verdampft oder mechanisch abge­ trennt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Ab­ schnitt (9) des Substrats (8) während der Bestrah­ lung mit einem Flüssigkeitsfilm (44, 46) überzogen wird.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich­ net, daß der Flüssigkeitsfilm (44, 46) relativ zum Substrat (8) mit einer vorgegebenen Strömungsge­ schwindigkeit fließt.

13. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Strahlung des Lasers (12) ge­ pulst wird.

14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtdicke des Flüssigkeitsfilms (44, 46) in dem zu bearbeitenden Abschnitt (9) des Substrats (8) annähernd konstant ist.

15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeich­ net, daß die Schichtdicke im Bereich von 1 bis 50 µm, vorzugsweise im Bereich von 4 bis 15 µm liegt.

16. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Flüssigkeitsfilm (44, 46) aus Wasser (36) oder aus einer Kochsalz­ lösung besteht.

17. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Flüssigkeitsfilm (44, 46) einen die Strahlung streuenden Stoff enthält, vorzugsweise Latex- oder Polysterolkügel­ chen, die vorzugsweise einen Durchmesser annähernd der Wellenlänge der verwendeten Laserstrahlung ist.

18. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zum Abtragen von bio­ logischem Material der Flüssigkeitsfilm (44, 46) einen pharmazeutischen Wirkstoff enthält, vor­ zugsweise Antibiotikum, Anästhetikum und/oder My­ driatikum.

19. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur des Flüssigkeitsfilms annähernd gleich der Temperatur des Substrats (8) ist und/oder im Bereich von 0° bis 35°C, vorzugsweise im Bereich von 5°C bis 20°C liegt.

20. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (8) Was­ ser mit der Konzentration im Bereich von 2 bis 90 Vol.% enthält.

21. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich­ net, daß das Substrat (8) ein biologischer Stoff, vorzugsweise organisches Gewebe, insbesondere Hornhaut-, Knochen- oder Knorpelgewebe ist.