DE4132712A1 - Vakuumofen zur plasmaaufkohlung metallischer werkstuecke - Google Patents

Vakuumofen zur plasmaaufkohlung metallischer werkstuecke

Info

Publication number
DE4132712A1
DE4132712A1 DE4132712A DE4132712A DE4132712A1 DE 4132712 A1 DE4132712 A1 DE 4132712A1 DE 4132712 A DE4132712 A DE 4132712A DE 4132712 A DE4132712 A DE 4132712A DE 4132712 A1 DE4132712 A1 DE 4132712A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
heating chamber
vacuum
batch
vacuum furnace
cooling gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE4132712A
Other languages
English (en)
Other versions
DE4132712C2 (de
Inventor
Bernd Edenhofer
Juergen Schroeder
Albert Fleiter
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ipsen International GmbH
Original Assignee
Ipsen International GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=6441930&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE4132712(A1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Ipsen International GmbH filed Critical Ipsen International GmbH
Priority to DE9117052U priority Critical patent/DE9117052U1/de
Priority to DE4132712A priority patent/DE4132712C2/de
Priority to AT92112630T priority patent/ATE123820T1/de
Priority to EP92112630A priority patent/EP0535319B1/de
Priority to DE59202520T priority patent/DE59202520D1/de
Priority to ES92112630T priority patent/ES2074773T3/es
Publication of DE4132712A1 publication Critical patent/DE4132712A1/de
Publication of DE4132712C2 publication Critical patent/DE4132712C2/de
Application granted granted Critical
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/36Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
    • C23C8/38Treatment of ferrous surfaces

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Furnace Details (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft einen Vakuumofen zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke in einem künstlich erzeugten elektrischen Feld mittels eines kohlenstoffhaltigen Gases mit einer elektrischen Heizeinrichtung, einer Vakuumpumpe zur Erzeugung eines Vakuums in der Heizkammer sowie einer Mehrzahl von Düsen, mittels derer von einem Gebläse gefördertes und über einen Wärmetauscher geführtes Kühlgas der Charge zugeführt wird.
Vakuumöfen zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke mittels eines kohlenstoffhaltigen Gases, beispielsweise Methan oder Propan, sind bekannt. Bei der Plasmaaufkohlung wird die Charge in dem Vakuumofen auf eine Temperatur zwischen etwa 800 und 1050°C erhitzt. Anschließend wird das kohlenstoffhaltige Prozeßgas in die Ofenkammer geleitet und ein elektrisches Feld an die Charge angelegt. Hierzu wird die Charge elektrisch mit einer externen Spannungsversorgung verbunden und bildet die Kathode, während das Ofengehäuse die Funktion der Anode übernimmt. Die Charge wird also auf ein hohes negatives Potential bezüglich der Ofenkammer gelegt, wobei sich diese Ofenkammer üblicherweise auf Erdpotential befindet. Durch den Einfluß des elektrischen Feldes ionisiert das kohlenstoffhaltige Gas, wobei sich die positiv geladenen Kohlenstoffionen auf der kathodischen, also negativ geladenen Charge absetzen. Durch diesen Effekt wird die Aufkohlungsgeschwindigkeit im Vergleich zu rein thermischen Aufkohlungsverfahren wesentlich erhöht. Da die Diffusion der Kohlenstoffatome in das Werkstückgefüge wesentlich schneller abläuft, wird die gewünschte Aufkohlungstiefe in kürzerer Zeit als bei den bekannten Aufkohlungsverfahren erreicht.
Ein solcher Vakuumofen zur Plasmaaufkohlung ist in dem Beitrag "Plasma Carburizing - Facility Design and Operating Data" von Graham Legge in der Zeitschrift Industrial Heating, März 1988, Seiten 26ff. beschrieben. Dieser bekannte Aufkohlungsofen besteht aus insgesamt zwei Kammern, wobei die erste Kammer die Heizkammer zur Plasmaaufkohlung bildet, während die zweite Kammer der Abkühlung der Charge dient und zu diesem Zweck ein Öl-Abschreckbad enthält. Beide Kammern sind über eine vakuumdicht verschließbare Tür miteinander verbunden. Nachteilig bei diesem Aufkohlungsofen ist, daß dieser teuer im Aufbau ist und sehr viel Raum zu seiner Aufstellung erfordert.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Vakuumofen zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke zu schaffen, der bei gleichem Einsatzbereich wesentlich kleiner baut als bekannte Aufkohlungsöfen.
Zur Lösung dieser Aufgabenstellung wird vorgeschlagen, daß das als Druckbehälter ausgebildete Ofengehäuse hinsichtlich seiner zulässigen Druckbelastung sowie der Antrieb des Gebläses hinsichtlich des beim Kühlen der Charge erreichbaren Gasdrucks auf einen Druck von mindestens 20 bar ausgelegt sind und die das Kühlgas führenden Düsen allseitig um die Heizkammer herum angeordnet und mit ihren Austrittsöffnungen auf die Charge ausgerichtet sind.
Mit einem solcherart ausgebildeten Vakuumofen zur Plasmaaufkohlung ist es möglich, die aufgekohlte Charge zur Vervollständigung des Wärmebehandlungsprozesses zu härten, ohne daß die Charge hierzu aus der Heizkammer entnommen werden muß. Sämtliche Schritte des Wärmebehandlungsverfahrens lassen sich ausschließlich innerhalb der Heizkammer duchführen, so daß weitere Kammern zur Wärmebehandlung sowie Einrichtungen zur Überführung der Charge zwischen diesen Kammern entfallen. Der Vakuumofen ist daher nicht nur einfach aufgebaut, sondern weist im Vergleich zu bekannten Aufkohlungsöfen auch eine wesentlich geringere Baugröße auf.
Die Abkühlung der Charge beim Härten erfolgt durch ein allseitiges Anströmen der Charge durch das aus den Austrittsöffnungen der Düsen austretende Kühlgas. Allerdings ist allein die durch die Bewegung des Kühlgases von der Charge abgeführte Wärme nicht ausreichend. Mit der Erfindung wird daher vorgeschlagen, das Ofengehäuse als Druckbehälter auszubilden und weiterhin den Antrieb des Gebläses so auszulegen, daß der Vakuumofen bei einem Druck von mindestens 20 bar betrieben werden kann. Die sich dabei einstellende Dichte des Kühlgases, die in etwa das Dreifache der bei herkömmlichen Drücken vorliegenden Dichte entspricht, führt zu einem wesentlich verbesserten Wärmeübergang und damit zu einer höheren Kühlleistung während des Härtens.
Da die das Kühlgas führenden Düsen allseitig um die Heizkammer herum angeordnet und mit ihren Austrittsöffnungen auf die Charge ausgerichtet sind, wird zudem eine gleichmäßige Abkühlung der Charge und damit ein gleichmäßiges Härteergebnis erreicht.
Hierbei ist es von Vorteil, zusätzliche Düsen vorzusehen, welche stirnseitig in der Heizkammer angeordnet sind und das Kühlgas axial in die Heizkammer einleiten.
Bei einer Ausgestaltung des Vakuumofens ist die Heizkammer allseitig von Heizelementen der elektrischen Heizeinrichtung umgeben. Die Heizelemente sind vorteilhaft jeweils ringförmig um die Heizkammer herum angeordnet.
Um trotz der begrenzten Platzverhältnisse innerhalb der Heizkammer eine möglichst gleichmäßige Erhitzung und Abkühlung der Charge zu gewährleisten, wird mit einer Weiterbildung des Vakuumofens vorgeschlagen, daß jeweils mehrere Düsen in einer gemeinsamen radialen Ebene angeordnet sind, die zu der durch jeweils ein Heizelement definierten radialen Ebene axial versetzt ist.
Ferner wird eine die Heizkammer ringförmig umschließende Verteilerkammer zur Zuführung des Kühlgases zu den Düsen vorgeschlagen. Dadurch wird der Kühlgasstrom besonders gleichmäßig auf die einzelnen Düsen verteilt.
Zur Erzielung einer kompakten Bauweise des Vakuumofens wird ferner vorgeschlagen, daß die Verteilerkammer von einem in dem Ofengehäuse angeordneten Mantel umschlossen ist, wobei sich zwischen Mantel und Ofengehäuse ein Ringraum zur Rückführung des Kühlgases befindet. In diesem Fall ist bei einer bevorzugten Ausgestaltung vorgesehen, daß an der Innenwand des Ofengehäuses den Mantel durchdringende Chargenstützen befestigt sind, wobei die Chargenstützen zum Mantel hin elektrisch isoliert sind. Auf diese Weise wirkt auch der Mantel als Anode, so daß lediglich die Charge sowie Teile der Chargenstützen die Kathode des erzeugten elektrischen Feldes bilden.
Schließlich wird vorgeschlagen, daß der kathodenseitige elektrische Anschluß durch mindestens eine der Chargenstützen hindurch erfolgt. Hierdurch vereinfacht sich der Aufbau des Vakuumofens, da für das Kathodenkabel keine gesonderten Durchführungen durch den Mantel sowie die Wand der Heizkammer hindurch erforderlich sind.
Ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Vakuumofens zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke in einem künstlich erzeugten elektrischen Feld wird nachfolgend anhand der schematischen Zeichnungen beschrieben. In diesen zeigt:
Fig. 1 einen Längsschnitt durch einen Vakuumofen und
Fig. 2 einen Querschnitt durch den Vakuumofen nach Fig. 1.
Der Vakuumofen in Fig. 1 besteht aus einem Ofengehäuse 1, welches auf einer Seite durch eine Ofentür 2 druckdicht verschließbar ist. An der gegenüberliegenden Stirnseite des Ofengehäuses 1 ist innerhalb einer druckfesten Kappe 3 ein leistungsstarker Elektroantrieb 4 angeordnet. Ofengehäuse 1, Ofentür 2 und Kappe 3 sowie alle Flansche und sonstigen Verbindungsteile sind druckfest ausgeführt und auf einen Betriebsdruck von mindestens 20 bar ausgelegt.
Innerhalb des Ofengehäuses 1 ist eine allseits von einer Heizkammerwand 5 umschlossene Heizkammer 6 angeordnet. Innerhalb der Heizkammer 6 befindet sich eine aufzukohlende Charge 7. Dabei liegt die Charge 7 auf Chargenstützen 8 auf, welche die Heizkammer 5 durchdringen und an der Innenwand des zylindrischen Ofengehäuses 1 befestigt sind.
Fig. 1 läßt in Verbindung mit Fig. 2 erkennen, daß in die Heizkammerwand 5 eine Vielzahl an Düsen 9 eingelassen ist. Die Düsen ermöglichen den Durchtritt von Kühlgas aus einer die Heizkammerwand 5 umschließenden Verteilerkammer 10 in die Heizkammer 6. Die Düsen 9 sind über den gesamten Umfang der Heizkammer 6 verteilt und jeweils so ausgerichtet, daß der aus den Düsen 9 austretende Kühlluftstrahl unmittelbar auf die Charge 7 gelangt. Knapp innerhalb der Heizkammerwand 5 befinden sich außerdem mehrere Heizelemente 11. Jedes Heizelement 11 besteht aus einem mehrfach abgeknickten und dadurch die Gestalt eines nahezu geschlossenen Vielecks einnehmenden Band aus Graphit. Die Heizelemente 11 sind an eine gemeinsame Stromversorgung 12 angeschlossen. Beim Ausführungsbeispiel sind insgesamt vier Heizelemente 11 vorgesehen, die aufgrund ihrer die Charge 7 allseitig umschließenden, ringähnlichen Gestalt eine gleichmäßige Strahlungserwärmung der Charge 7 ermöglichen.
Der Vakuumofen ist zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke vorgesehen und ist hierzu über Stromleiter 13, 14 an einen Generator 15 angeschlossen. Der Stromleiter 13 bildet den positiven Anschluß und ist unmittelbar an das Ofengehäuse 1 und damit an das Erdpotential angeschlossen. Der Stromleiter 14 ist in isolierter Art und Weise durch eine der Chargenstützen 8 hindurchgeführt und stellt den unmittelbaren elektrischen Kontakt zu einem metallischen Chargenträger 16 her, auf dem die Charge 7 aufliegt. Bei Betrieb des Generators 15 wird in der Heizkammer 6 ein elektrisches Feld generiert, wobei die Charge 7 die Kathode und die die Charge 7 umgebenden Bauteile die Anode dieses elektrischen Feldes bilden. Isolierungen 17 an den Chargenstützen 8 verhindern einen metallischen Kontakt und damit Kurzschlüsse zwischen den negativ geladenen Chargenstützen 8 und dem positiv geladenen Ofengehäuse 1 sowie einem ebenfalls positiv geladenen, die Verteilerkammer 10 umschließenden metallischen Mantel 10.
Beim Betrieb des Vakuumofens wird zunächst die Charge 7 auf den Chargenstützen 8 dem Chargenträger 16 abgesetzt. Nach druckdichtem Verschließen der Ofentür 2 werden die Heizelemente 11 über die Stromversorgung 12 betrieben. Dies erfolgt in Abhängigkeit von Signalen einer zentralen Steuerung 19. Nach Erreichen der Betriebstemperatur zwischen 800°C und 1050°C wird über einen Anschluß 20 ein kohlenstoffhaltiges Gas, beispielsweise Methan oder Propan, in den Vakuumofen eingeleitet. Zugleich wird über die Steuerung 19 der Generator 15 eingeschaltet, so daß sich in der Heizkammer 6 das elektrische Feld ausbildet und die Plasmaaufkohlung einsetzt. Nach Abschluß der in der Regel intervallmäßig betriebenen Plasmaaufkohlung werden die Stromversorgung 12 sowie der Generator 15 abgeschaltet und die kohlenstoffhaltige Atmosphäre abgebaut. Anschließend wird ein Kühlgas in das Ofengehäuse 1 eingeleitet und der Elektroantrieb 4 in Betrieb gesetzt. Das Kühlgas gelangt über einen ringförmigen Wärmetauscher 21 auf die Saugseite eines für hohe Brücke ausgelegten Gebläses 22. Das von dem Gebläse 22 geförderte Kühlgas wird innerhalb der Verteilerkammer 10 auf die einzelnen Düsen 9 verteilt und strömt unter Kühlwirkung unmittelbar auf die Charge 7. Die Rückführung des Kühlgases zum Wärmetauscher 21 erfolgt über einen Ringraum 23 zwischen Mantel 18 und Ofengehäuse 1. Der hierbei im Ofeninneren herrschende Druck des Kühlgases beträgt mindestens 20 bar, kann bei entsprechender konstruktiver Anpassung zur weiteren Erhöhung der Abkühlwirkung aber auch auf Werte deutlich oberhalb 20 bar angehoben werden.
Aus Fig. 1 ist erkennbar, daß jeweils mehrere Düsen 9 in einer gemeinsamen radialen Ebene angeordnet sind, die zu der durch jeweils ein Heizelement 11 definierten radialen Ebene axial versetzt ist. Dadurch wird die auf der Innenseite der Heizkammerwand 5 zur Verfügung stehende Fläche optimal ausgenutzt.
Bezugszeichenliste
 1 Ofengehäuse
 2 Ofentür
 3 Kanne
 4 Elektroantrieb
 5 Heizkammer
 7 Charge
 8 Düse
 9 Verteilerkammer
11 Heizelement
12 Stromversorgung
13 Stromleiter
14 Stromleiter
15 Generator
16 Chargenträger
17 Isolierng
18 Mantel
19 Steuerung
20 Anschluß
21 Wärmetauscher
22 Gebläse
23 Ringraum
24 Vakuumpumpe

Claims (9)

1. Vakuumofen zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke in einem künstlich erzeugten elektrischen Feld mittels eines kohlenstoffhaltigen Gases mit einer elektrischen Heizeinrichtung, einer Vakuumpumpe zur Erzeugung eines Vakuums in der Heizkammer sowie einer Mehrzahl von Düsen, mittels derer von einem Gebläse gefördertes und über einen Wärmetauscher geführtes Kühlgas der Charge zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß das als Druckbehälter ausgebildete Ofengehäuse (1) hinsichtlich seiner zulässigen Druckbelastung sowie der Antrieb (4) des Gebläses (22) hinsichtlich des beim Kühlen der Charge (7) erreichbaren Gasdrucks auf einen Druck von mindestens 20 bar ausgelegt sind und die das Kühlgas führenden Düsen (9) allseitig um die Heizkammer (6) herum angeordnet und mit ihren Austrittsöffnungen auf die Charge (7) ausgerichtet sind.
2. Vakuumofen nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch zusätzliche, stirnseitig in der Heizkammer (6) angeordnete Düsen (9) zur axialen Einleitung des Kühlgases in die Heizkammer (6).
3. Vakuumofen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizkammer (6) allseitig von Heizelementen (11) der elektrischen Heizeinrichtung umgeben ist.
4. Vakuumofen nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizelemente (11) jeweils ringförmig um die Heizkammer (6) herum angeordnet sind.
5. Vakuumofen nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils mehrere Düsen (9) in einer gemeinsamen radialen Ebene angeordnet sind, die zu der durch jeweils ein Heizelement (11) definierten radialen Ebene axial versetzt ist.
6. Vakuumofen nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine die Heizkammer (6) ringförmig umschließende Verteilerkammer (10) zur Zuführung des Kühlgases zu den Düsen (9).
7. Vakuumofen nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Verteilerkammer (10) von einem in dem Ofengehäuse (1) angeordneten Mantel (18) umschlossen ist, wobei sich zwischen Mantel (18) und Ofengehäuse (1) ein Ringraum (23) zur Rückführung des Kühlgases befindet.
8. Vakuumofen nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß an der Innenwand des Ofengehäuses (1) den Mantel (18) durchdringende Chargenstützen (8) befestigt sind, wobei die Chargenstützen (8) zum Mantel (18) hin elektrisch isoliert sind.
9. Vakuumofen nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der kathodenseitige elektrische Anschluß durch mindestens eine der Chargenstützen (8) hindurch erfolgt.
DE4132712A 1991-10-01 1991-10-01 Vakuumofen zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke Expired - Lifetime DE4132712C2 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE9117052U DE9117052U1 (de) 1991-10-01 1991-10-01 Vakuumofen zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke
DE4132712A DE4132712C2 (de) 1991-10-01 1991-10-01 Vakuumofen zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke
DE59202520T DE59202520D1 (de) 1991-10-01 1992-07-23 Vakuumofen zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke.
EP92112630A EP0535319B1 (de) 1991-10-01 1992-07-23 Vakuumofen zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke
AT92112630T ATE123820T1 (de) 1991-10-01 1992-07-23 Vakuumofen zur plasmaaufkohlung metallischer werkstücke.
ES92112630T ES2074773T3 (es) 1991-10-01 1992-07-23 Horno de vacio para la carburacion por plasma de piezas metalicas.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4132712A DE4132712C2 (de) 1991-10-01 1991-10-01 Vakuumofen zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4132712A1 true DE4132712A1 (de) 1993-04-08
DE4132712C2 DE4132712C2 (de) 1995-06-29

Family

ID=6441930

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4132712A Expired - Lifetime DE4132712C2 (de) 1991-10-01 1991-10-01 Vakuumofen zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke
DE59202520T Revoked DE59202520D1 (de) 1991-10-01 1992-07-23 Vakuumofen zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke.

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE59202520T Revoked DE59202520D1 (de) 1991-10-01 1992-07-23 Vakuumofen zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke.

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP0535319B1 (de)
AT (1) ATE123820T1 (de)
DE (2) DE4132712C2 (de)
ES (1) ES2074773T3 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011029565A1 (de) * 2009-09-10 2011-03-17 Ald Vacuum Technologies Gmbh Verfahren und vorrichtung zum härten von werkstücken, sowie nach dem verfahren gehärtete werkstücke
US10196730B2 (en) 2009-09-10 2019-02-05 Ald Vacuum Technologies Gmbh Method and device for hardening workpieces, and workpieces hardened according to the method

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5876118A (en) * 1995-12-08 1999-03-02 The Perkin-Elmer Corporation Calorimeter having rapid cooling of a heating vessel therein
DE19709957A1 (de) * 1997-03-11 1998-09-17 Linde Ag Verfahren zur Gasabschreckung metallischer Werkstücke nach Wärmebehandlungen
DE10157840C1 (de) * 2001-11-24 2002-10-24 Ald Vacuum Techn Ag Vakuumofen zur Wärmebehandlung von metallischen Werkstücken
EP1318696B1 (de) * 2001-11-28 2005-06-15 Ipsen International GmbH Verfahren zum elektrischen Beheizen von Öfen für die Wärmebehandlung metallischer Werkstücke
CN104296524A (zh) * 2013-07-16 2015-01-21 东阳市和顺磁业有限公司 一种高真空烧结炉
CN103557710B (zh) * 2013-10-28 2016-06-15 北京泰科诺科技有限公司 一种快速循环气冷真空炉
KR101909794B1 (ko) 2016-12-29 2018-10-18 정원기 담금질 장치
KR102078915B1 (ko) 2018-03-26 2020-02-19 정원기 담금질 장치
CN108870983A (zh) * 2018-07-11 2018-11-23 昆山金美创机械有限公司 一种可选择进气方式的真空炉
DE102020114053B4 (de) 2020-05-26 2022-07-14 Audi Aktiengesellschaft Prozessanordnung zur Herstellung eines warmumgeformten und pressgehärteten Stahlblechbauteils

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3736501C1 (de) * 1987-10-28 1988-06-09 Degussa Verfahren zur Waermebehandlung metallischer Werkstuecke

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4124199A (en) * 1977-07-11 1978-11-07 Abar Corporation Process and apparatus for case hardening of ferrous metal work pieces

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3736501C1 (de) * 1987-10-28 1988-06-09 Degussa Verfahren zur Waermebehandlung metallischer Werkstuecke

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Technische Rundschau, 2/90, S. 28-33 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011029565A1 (de) * 2009-09-10 2011-03-17 Ald Vacuum Technologies Gmbh Verfahren und vorrichtung zum härten von werkstücken, sowie nach dem verfahren gehärtete werkstücke
US9518318B2 (en) 2009-09-10 2016-12-13 Ald Vacuum Technologies Gmbh Method and device for hardening work pieces and workpieces hardened according to said method
US10196730B2 (en) 2009-09-10 2019-02-05 Ald Vacuum Technologies Gmbh Method and device for hardening workpieces, and workpieces hardened according to the method

Also Published As

Publication number Publication date
ATE123820T1 (de) 1995-06-15
DE59202520D1 (de) 1995-07-20
ES2074773T3 (es) 1995-09-16
DE4132712C2 (de) 1995-06-29
EP0535319A1 (de) 1993-04-07
EP0535319B1 (de) 1995-06-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4132712C2 (de) Vakuumofen zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke
DE3736502C1 (de) Vakuumofen zur Waermebehandlung metallischer Werkstuecke
EP2986751B1 (de) Verfahren und vorrichtung für das thermochemische härten von werkstücken
DE3788160T2 (de) Plasmabehandlungsvorrichtung.
DE1521273B2 (de) Glimmentladungsapparat
EP0735149A1 (de) Vorrichtung zur Wärmebehandlung metallischer Werkstücke unter Vakuum
DE2826310A1 (de) Autoklavofen
DE3028773A1 (de) Autoklavenofen mit mechanischer zirkulation
EP0247397B1 (de) Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung von Werkstücken
EP2330372B1 (de) Elektrisch beheizter Retortenofen zur Wärmebehandlung von metallischen Werkstücken
EP2791606B2 (de) Geschlossenes transportfluidsystem zum ofeninternen wärmeaustausch zwischen glühgasen
EP1080250A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur behandlung von elektrisch leitfähigem endlosmaterial
DE9117052U1 (de) Vakuumofen zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke
DE1060217B (de) Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung der Oberflaeche von Koerpern metallischer oder anderer Natur mittels einer elektrischen Glimmentladung
EP1228668A1 (de) Strahlungsheizung mit einer hohen infrarot-strahlungsleistung für bearbeitungskammern
DE102021104666A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Plasmanitrieren einer Oberfläche eines Bauteils
DE3209245A1 (de) Drehherdofen
DE19628383A1 (de) Ofen zur Wärmebehandlung von Chargen metallischer Werkstücke
DE68910887T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Einstellen eines homogenen austenitischen Gefüges.
DE102021107670A1 (de) Heizvorrichtung für ein stangenartiges Werkstück
DE4333683A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Fullerenen
EP0273975A1 (de) Plasma-induktionsofen
DE933580C (de) Elektrisch beheizter Ofen fuer das Erwaermen oder Warmbehandeln von insbesondere metallischen Werkstuecken
DE2633424C2 (de) Vorrichtung zur Wärmebehandlung eines Werkstückes im Plasma einer Glimmentladung
DE929851C (de) Verfahren und Einrichtung zur Oberflaechenhaertung von Stahl

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8125 Change of the main classification

Ipc: C21D 1/06

D2 Grant after examination
8363 Opposition against the patent
8330 Complete renunciation