DE4130210A1 - Vorrichtung und verfahren zum bestimmen der stroemungsgeschwindigkeit eines gases oder einer fluessigkeit - Google Patents
Vorrichtung und verfahren zum bestimmen der stroemungsgeschwindigkeit eines gases oder einer fluessigkeitInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Be
stimmen der Strömungsgeschwindigkeit eines Gases oder einer
Flüssigkeit sowie ein Verfahren zum Bestimmen der Strömungs
geschwindigkeit eines Gases oder einer Flüssigkeit.
In der älteren, nicht vorveröffentlichten deutschen Patent
anmeldung P 40 27 704.6-52 der Anmelderin sind bereits ein
Verfahren und eine Vorrichtung zum Bestimmen der Strömungs
geschwindigkeit eines Gases oder einer Flüssigkeit beschrie
ben. Bei diesem Verfahren werden zwei voneinander mit dem
Gas bzw. mit der Flüssigkeit in einem leitfähigen Kontakt
stehende Elektroden derart mit einer Spannung beaufschlagt,
daß eine der Elektroden in das Gas bzw. in die Flüssigkeit
Ionen injiziert, deren Ladung zumindest teilweise auf die
andere Elektrode übertragen wird, wodurch ein Meßstrom er
zeugt wird. Es wird die Zeitdauer zwischen der zeitlichen
Änderung des an die Elektroden angelegten Spannungssignales,
das zu der Ioneninjektion geführt hat, und der Erfassung
einer Änderung eines Meßstromes, der von der die Ladung
empfangenden Elektrode stammt, gemessen. Aufgrund der Zeit
dauer zwischen der Änderung der Spannung und somit der
Ioneninjektion und der Änderung des Meßstromes wird die
Strömungsgeschwindigkeit des Gases bzw. der Flüssigkeit zwi
schen den Elektroden bestimmt. Die Ioneninjektion in die be
züglich ihrer Strömungsgeschwindigkeit zu messende Flüssig
keit bzw. in das bezüglich seiner Strömungsgeschwindigkeit
zu messende Gas ist somit eine unabdingbare Voraussetzung
dieses älteren Meßverfahrens. Eine derartige Ioneninjektion
stellt jedoch nötigerweise einen Eingriff in die Zusammen
setzung des Gases bzw. der Flüssigkeit dar, der nicht immer
hingenommen werden kann. Insbesondere bei hohen Reinheits
anforderungen, wie beispielsweise bei medizinischen Anwen
dungen, können derartige Ioneninjektionen unerwünscht sein,
so daß das Meßverfahren nach dieser älteren Anmeldung nicht
für alle Anwendungszwecke mit hohen Reinheitsanforderungen
geeignet ist. Ferner tritt bei dem Verfahren nach der ge
nannten älteren Anmeldung nötigerweise ein Stromfluß über
die Elektrodenoberfläche auf, aufgrund dessen es zu elektro
chemischen Veränderungen an der Elektrodenoberfläche kommen
kann. Auch derartige Veränderungen sind bei Anwendungsfällen
mit extrem hohen Reinheitsanforderungen nicht immer hinnehm
bar.
Aus der Fachveröffentlichung J. Phys. D: Appl. Phys., 15
(1982), 2505-2512 ist es bekannt, daß durch Anlegen einer
Spannung an zwei isolierte Elektroden in einer stationären
Flüssigkeit Raumladungen erzeugt werden, die zu Bildladungen
in dem leitfähigen Teil der Elektroden führen. Diese Schrift
befaßt sich somit nicht mit der Messung von Strömungsge
schwindigkeiten von Gasen oder Flüssigkeiten.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der vorliegen
den Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein
Verfahren zum Bestimmen der Strömungsgeschwindigkeit eines
Gases oder einer Flüssigkeit anzugeben, das eine präzise
Messung ermöglicht, ohne daß die bezüglich ihrer Strömungs
geschwindigkeit zu messende Flüssigkeit bzw. das bezüglich
seiner Strömungsgeschwindigkeit zu messende Gas beeinträch
tigt werden.
Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung gemäß Patentan
spruch 1 sowie durch ein Verfahren gemäß Patentanspruch 10
gelöst.
Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung bzw. dem erfindungsge
mäßen Verfahren werden wenigstens zwei gegenüber dem Gas
bzw. der Flüssigkeit isolierte Elektroden verwendet, die im
wesentlichen in Strömungsrichtung des Gases bzw. der Flüs
sigkeit gegeneinander beabstandet sind und mit einem derar
tigen Spannungssignal beaufschlagbar sind, daß in dem Gas
bzw. in der Flüssigkeit ausgebildete Raumladungen verschoben
werden und hierdurch Bildladungen zwischen den Elektroden
umgeladen werden, wodurch ein Meßstrom erzeugt wird, wobei
die Zeitdauer zwischen einer Änderung der zwischen den Elek
troden anliegenden Spannung und einer Änderung des Meßstro
mes ermittelt und hieraus die Strömungsgeschwindigkeit des
Gases bzw. der Flüssigkeit abgeleitet wird.
Bevorzugte Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung
sowie des erfindungsgemäßen Verfahrens sind in den Unteran
sprüchen angegeben.
Nachfolgend werden unter Bezugnahme auf die beiliegenden
Zeichnungen bevorzugte Ausführungsbeispiele der erfindungs
gemäßen Strömungsgeschwindigkeitsmeßvorrichtung sowie des
erfindungsgemäßen Strömungsgeschwindigkeitsmeßverfahrens
näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1a eine erste Ausgestaltung einer Meßvorrichtung;
Fig. 1b eine zweite Ausgestaltung der Meßvorrichtung;
Fig. 2a,2b Darstellungen der Raumladungs- und Bildladungsver
teilung an den isolierten Elektroden der Meßvor
richtung;
Fig. 3 ein Blockdiagramm für die Bestimmung der Strömungs
geschwindigkeit aufgrund der von der in Fig. 1a ge
zeigten Meßvorrichtung abgegebenen Signale; und
Fig. 4 ein weiteres Blockdiagramm für die Bestimmung der
Strömungsgeschwindigkeit aufgrund der von der in
Fig. 1b gezeigten Meßvorrichtung abgegebenen Signa
le; und
Fig. 5 bis 9 eine perspektivische Darstellung sowie Querschitts
darstellungen einer ersten bis fünften Ausführungs
form einer Elektrodenstruktur für die erfindungsge
mäße Strömungsgeschwindigkeitsmeßvorrichtung.
Die in Fig. 1a gezeigte Durchflußmeßvorrichtung, die in
ihrer Gesamtheit mit dem Bezugszeichen 1 bezeichnet ist, um
faßt eine von einem Fluid durchströmte Röhre 2, in der senk
recht zur Strömungsrichtung eine Mehrzahl von miteinander
leitfähig verbundenen ersten Elektroden 3 und hiervon in
Strömungsrichtung beabstandet und gleichfalls senkrecht zur
Strömungsrichtung angeordnet eine Mehrzahl von ebenfalls
leitfähig miteinander verbundenen zweiten Elektroden 4 vor
gesehen sind.
Wie unter Bezugnahme auf die nachfolgenden Figuren noch
weiter verdeutlicht wird, sind die jeweils miteinander ver
bundenen Elektroden 3, 4 vorzugsweise Bestandteile von ein
stückigen Elektrodenkörpern, die jeweils leitfähige innere
bereiche 3a, 4a haben, welche miteinander in leitender Ver
bindung stehen, und welche ferner isolierende äußere Berei
che 3b, 4b haben, die die leitfähigen inneren Bereiche 3a,
4a umschließen.
An zwei Anschlüssen 5, 6 kann ein Spannungssignal, welches
vorzugsweise die Form eines Spannungsimpulses U(t) hat, zwi
schen den beiden Elektroden 3, 4 angelegt werden.
Wie unter anderem unter Bezugnahme auf die Fig. 2a, 2b näher
erläutert werden kann, sei zunächst der Spezialfall angenom
men, daß an den Elektroden 3, 4 vor Beginn der Messung keine
Spannung anliegt. Im allgemeinen kann jedoch, wie für den
Fachmann offensichtlich ist, eine konstante, von Null ver
schiedene Spannung anliegen. Wie in Fig. 2a gezeigt ist,
haben sich an den beiden Elektroden 3, 4 nach dem Modell von
Stern in der Flüssigkeit bzw. in dem Fluid Raumladungen aus
gebildet, die sich dicht an den Elektroden 3, 4 in der Helm
holtz-Schicht und in der darin anschließenden Goüy- und
Chapman-Schicht befinden. Die Ladungen in diesen beiden
Schichten oder Zonen können die gleiche Polarität haben, wie
dies bei dem gezeigten Beispiel der Fall ist, oder unter
schiedliche Polaritäten besitzen. Die Helmholtz-Schicht wird
von fest an der Grenzfläche der Elektroden absorbierten
Ionen gebildet, die unbeweglich sind und auch von hohen
elektrischen Feldern nicht beeinflußt werden. Diese Schicht
wird von der Messung nur geringfügig beeinflußt. Die Dicke
der Schicht entspricht etwa dem Durchmesser der Ionen, die
diese Schicht bilden. Das elektrische Potential fällt in
diesem Bereich linear ab. Im Gegensatz dazu wird die diffuse
Raumladungszone innerhalb der Goüy- und Chapman-Schicht von
beweglichen Ionen gebildet, wobei die Konzentration dieser
Ionen und das elektrische Potential in diesem Bereich expo
nentiell abfallen, wobei die Dicke dieser Zone stark von der
Konzentration des in der Flüssigkeit vorhandenen Elektroly
ten abhängt. Unter der Dicke dieser Schicht wird diejenige
Strecke bezeichnet, innerhalb der das elektrische Potential
auf 1/e abgefallen ist. In der nachfolgenden Tabelle ist die
Dicke für einwertige Elektrolyten bei einer Temperatur von
300 k bei verschiedenen Konzentrationen angegeben:
c (mol/dm³) | |
10-1 10-3 10-5 10-7 10-9 10-11 | |
Ld (µm) | 10-3 10-2 10-1 10-0 10-1 10-2 |
Der wichtige Unterschied zwischen der Helmholtz-Zone und der
Goüy-Chapman-Zone besteht darin, daß die letztere durch be
wegliche Raumladungen gebildet wird, die bei Anlegen einer
Spannung zwischen den Elektroden von einer Elektrode zu der
anderen bewegt werden.
In Fig. 2b wird eine negative Spannung an die rechte Elek
trode 4 angelegt, wodurch einerseits die positive Bildladung
von der rechten Elektrode abgesaugt und andererseits die ne
gative Raumladung von dieser Elektrode abgestoßen werden.
Die beweglichen Raumladungen wandern dem Potentialgefälle
entsprechend zu der Gegenelektrode 3, wobei die Geschwindig
keit dieser Ionen abhängig von der Strömungsgeschwindigkeit
des zwischen den Elektroden befindlichen Fluids ist. Die Ge
schwindigkeit der Ionen setzt sich zusammen aus der Strö
mungsgeschwindigkeit des Gases bzw. der Flüssigkeit sowie
einem feldstärkeabhängigen Term, der aus dem Produkt der Be
weglichkeit der Ionen und dem elektrischen Feld gebildet
ist. Erfaßbar ist bei der in den Fig. 1 und 2 angedeuteten
Strömungsgeschwindigkeitsmeßanordnung diejenige Geschwindig
keitskomponente des sich bewegenden Fluids, die senkrecht zu
den Elektrodenoberflächen verläuft.
Wie in Fig. 2b angedeutet ist, sammeln sich an der Gegen
elektrode 3 sowohl die Raumladungen in der Flüssigkeit bzw.
dem Gas als auch die Bildladungen in dem leitfähigen Teil 3a
der Elektrode 3, bis ein neuer Gleichgewichtszustand einge
nommen ist. Durch die Verschiebung der Bildladungen wird der
meßstrom erzeugt, dessen Verlauf von der Strömungsgeschwin
digkeit des Gases bzw. der Flüssigkeit abhängt. Der Maximal
wert des Meßstromes wird dann erreicht, wenn die Ladungsträ
ger an der Gegenelektrode 3 eintreffen. Ein beispielshafter
Verlauf des Meßstromes nach Anlegen eines Spannungssprung
signals ist in Fig. 5 gezeigt. Die Zeitdauer zwischen dem
Anlegen der Meßspannung und dem Auftreten des Strommaximums
hängt von der Strömungsgeschwindigkeit in der Flüssigkeit
ab. Rechnerische und experimentell ermittelte Zusammenhänge
zwischen der Zeitdauer und der Strömungsgeschwindigkeit bzw.
der Durchflußmenge sind in den Fig. 6 und 7 gezeigt.
Fig. 1b zeigt eine weitere Ausgestaltung einer erfindungsge
mäßen Durchflußmeßvorrichtung, die in ihrer Gesamtheit mit
dem Bezugszeichen 10 bezeichnet ist. Diese umfaßt gleich
falls eine Röhre 12, eine Mehrzahl von senkrecht zur Strö
mungsrichtung angeordneten und miteinander leitfähig verbun
denen Elektrodenkörpern 13, 14, 15 die jeweils leitfähige
innere Bereiche 13a, 14a, 15a und isolierende äußere Berei
che 13b, 14b, 15b haben. Ein Spannungspuls U(t) kann an An
schlüsse 16, 17 angelegt werden und führt zu einer sich in
Strömungsrichtung ausbreitenden und zu einer sich entgegen
der Strömungsrichtung des Fluids ausbreitenden Ionenfront
bzw. Raumladungsfront.
Bei den Ausführungsformen gemäß den Fig. 1a und 1b führen
die entstehenden Meßströme an dem Meßwiderstand RM bzw. an
den Meßwiderständen R1, R2 zu Spannungen, die als Meßsignale
für die Laufzeitmessung weiter verarbeitet werden können.
Wie später im einzelnen dargelegt wird, wird bei der Ausfüh
rungsform gemäß Fig. 1 die Laufzeit zwischen dem Anlegen des
Spannungspulses und dem Auftreten des Strommaximums und bei
der Ausführungsform gemäß Fig. 1b die Laufzeitdifferenz zwi
schen den Maxima der Ströme und somit der an den Widerstän
den R1, R2 abgenommenen Meßspannungen herangezogen.
Fig. 3 ist ein Blockdiagramm einer Schaltung zum Bestimmen
der Durchflußmenge bzw. Strömungsgeschwindigkeit für die in
Fig. 1 gezeigte Durchflußmeßvorrichtung. Wie in Fig. 3 ge
zeigt ist, umfaßt die Schaltung einen Taktgenerator 20, der
ein Taktsignal zu einem Zähler 21 zuführt. Ein Impulsgenera
tor 22, der zum Erzeugen des bereits erwähnten Spannungsim
pulses U(t) dient, ist ausgangsseitig an die Durchflußmeß-
Vorrichtung 1 angeschlossen, wie dies unter Bezugnahme auf
Fig. 1 erläutert wurde. Mit Erzeugen des Spannungspulses
führt der Pulsgenerator 22 dem Zähler 21 ein Startsignal zu,
woraufhin der Zähler mit dem ihm vom Taktgenerator 20 zuge
führten Taktsignal zu zählen beginnt. Das Ausgangssignal
Um(t) der Durchflußmeßvorrichtung 1 wird einem Spitzenwert
detektor 23 zugeführt, der bei Erfassen des Maximums des
Spannungssignales Um(t) ein Stop-Signal erzeugt, mit dem der
Zähler 21 angehalten wird. Aus dem Zählwert kann, wie spä
ter dargelegt wird, aufgrund einer für die jeweilige Meßan
ordnung vorab bestimmten Zuordnung, die Durchflußmenge bzw.
die Strömungsgeschwindigkeit durch tabellenartige Zuordnung
ermittelt werden. Dieser Zyklus kann nach Rücksetzen des
Zählers und des Detektors kontinuierlich wiederholt ablau
fen.
Fig. 4 ist ein Blockdiagramm einer Schaltung zum Bestimmen
der Durchflußmenge bzw. Strömungsgeschwindigkeit für eine
Durchflußmeßvorrichtung 10, wie sie in Fig. 1b gezeigt ist.
Diese Schaltung umfaßt einen Taktgenerator 24 und einen dem
Taktgenerator 24 nachgeschalteten Zähler 25. Ferner umfaßt
die Schaltung einen Impulsgenerator 26 zum Erzeugen des
Spannungsimpulses U(t), welcher der Durchflußmeßvorrichtung
10 (vergl. Fig. 2) zugeführt wird. Die beiden Meßspannungen
U1(t) und U2(t) von der Durchflußmeßvorrichtung 10, die über
die Widerstände R1 und R2 abfallen, werden einem ersten und
einem zweiten Spitzenwertdetektor 27, 28 zugeführt, deren
Ausgangssignale über ein Exklusiv-Oder-Gatter 29 zu einem
Start-Stop-Signal für den Zähler 25 verknüpft werden. Für
den Fachmann ist es offensichtlich, daß der Zähler 25 dieser
Schaltung die Zeitdifferenz zwischen der Erfassung der Spit
zenwerte durch die Spitzenwertdetektoren 27, 28 erfaßt. Die
ser Zyklus kann nach Rücksetzen des Zählers und des Detek
tors kontinuierlich wiederholt ablaufen.
Bei dem beschriebenen Verfahren kann nun die Abhängigkeit
zwischen der Driftzeit und der Strömungsgeschwindigkeit für
eine gegebene Durchflußmeßvorrichtung 1 ermittelt werden, so
daß jeder gemessenen Driftzeit eine entsprechende Strömungs
geschwindigkeit bzw. Durchflußmenge mittels einer Tabelle
zugeordnet werden kann. Hierbei ist hervorzuheben, daß mit
tels eines einzigen Meßaufbaus die Strömungsgeschwindigkeit
in beiden Strömungsrichtungen ermittelt werden kann, so daß
aus der Bestimmung der Driftzeit t0 nicht nur die absolute
Strömungsgeschwindigkeit, sondern auch deren Richtung abge
leitet werden kann. Veränderungen der elektrochemischen
Eigenschaften des Fluids während der Messung führen jedoch
bei diesem Meßaufbau zu geringfügigen Meßungenauigkeiten, da
die Driftzeit t0 von den elektrochemischen Eigenschaften des
Fluids abhängig ist.
Derartige Meßungenauigkeiten werden durch einen Meßaufbau
der in Fig. 1b gezeigten Art verhindert, bei dem mit Hilfe
zweier, die Ionenfronten in entgegengesetzter Richtung in
dem Fluid bewegenden Elektrodenpaare die Driftzeit t0 sowohl
entgegen als auch mit der Strömungsrichtung bestimmt wird.
Durch diese Differenzbildung wird insbesondere bei sehr
geringen Strömungsgeschwindigkeiten eine außerordentlich
hohe Meßgenauigkeit erreichbar ist.
Ebenfalls ist es denkbar, eine derartige Differenzmessung
mit einem einzigen Elektrodenpaar durchzuführen, das zu
nächst in einer ersten Richtung und dann in einer entgegen
gesetzten Richtung mit einem Spannungspuls beaufschlagt
wird, so daß zunächst eine Ionenfrontdrift in einer ersten
Richtung und dann eine Ionenfrontdrift in einer entgegenge
setzten Richtung durch das strömende Fluid in ihrer Drift
zeit vermessen wird.
Fig. 5 zeigt eine Ausführungsform eines Elektrodenkörpers,
der in seiner Gesamtheit mit dem Bezugszeichen 30 bezeichnet
ist, welcher aus einem Halbleitermaterial mittels mikrome
chanischer Herstellungstechniken gebildet ist. Der Elektro
denkörper besteht aus einem einkristallinen Siliziumhalblei
terkörper, der bevorzugt n⁺-leitend ist, jedoch auch dotier
te epitaktische oder diffundierte Bereiche aufweisen kann.
Bei der gezeigten Ausführungsform hat der Elektrodenkörper
30 eine (100)-Kristallorientierung. Auf der Vorderseite des
Siliziumhalbleiterkörpers ist eine erste Isolationsschicht
31 angeordnet, die zumindest in einem durchströmten Bereich
des Elektrodenkörpers 30 eine Ausnehmung 31a hat. Der Sili
ziumhalbleiterkörper hat ferner eine sich gleichfalls zu
mindest über seinen durchströmten Bereich erstreckende rück
seitige Ausnehmung 31b. Der Elektrodenkörper 30 hat zwischen
der vorderseitigen Ausnehmung 31a und der rückseitigen Aus
nehmung 31b eine gitterförmige Elektrode 33, die eine Mehr
zahl von prismenförmigen Gruben 32 hat, welche den durch
strömten Bereich festlegen. Die gitterförmige Elektrode 33
ist ein einstückiger Bestandteil des Siliziumhalbleiterkör
pers, der den Elektrodenkörper 30 bildet. Die gesamte Ober
fläche der gitterförmigen Elektrode 33 wie auch die Ober
fläche der Randbereiche des Elektrodenkörpers 30 sind von
einer Isolationsschicht umschlossen, die bei der gezeigten
Ausführungsform aus thermischem Siliziumoxid besteht.
Die insoweit beschriebene Struktur des isolierten Elektro
denkörpers 30 wird mit an sich bekannten Herstellungstech
niken der Halbleitertechnologie im Foto-Ätz-Verfahren er
zeugt. Hierzu wird zunächst auf den noch unstrukturierten
einkristallinen Siliziumhalbleiterkörper eine elektrische
Isolationsschicht 11 abgeschieden. Dies kann durch Kathoden
zerstäubung einer Pyrex-Glas-Schicht auf einer thermisch er
zeugten Siliziumdioxidschicht geschehen. Die Ausnehmung 31a
wird vorderseitig mit einem geeigneten Verfahren geöffnet.
Anschließend wird ganzflächig auf den insoweit strukturier
ten Siliziumhalbleiterkörper eine gegen alkalische Ätzlö
sungen beständige Schicht, die beispielsweise aus Silizium
nitrid bestehen kann, auf die Vorder- und Rückseite aufge
bracht. Diese dient als Ätzstoppmaske und wird innerhalb des
zuvor geöffneten Bereiches der vorderseitigen Ausnehmung 31a
mit üblichen Verfahren photolithographisch strukturiert. An
schließend erfolgt ein anisotroper Ätzprozeß, bei dem die
prismenförmigen Gruben 32 erzeugt werden. Falls gitterförmi
ge Elektrodenstrukturen 33 mit steileren Kanten gewünscht
sind, können auch isotrope Ätzverfahren eingesetzt werden.
Bei Verwendung eines anisotropen Ätzverfahrens kann eine
dreißigprozentige KOH-Lösung zur Erzeugung der gezeigten
Strukturen eingesetzt werden. Die Tiefe der prismenförmigen
Gruben 32 beträgt je nach der gewünschten Dicke der später
erzeugten gitterförmigen Elektrode 33 zwischen 1 µm und
200 µm. Nunmehr wird die Struktur vorderseitig ganzflächig
mit einer weiteren Ätzstoppschicht versehen, die widerum aus
Siliziumnitrid bestehen kann. Anschließend wird nach ent
sprechender photolithographischer Behandlung im anisotropen
Ätzverfahren die rückseitige Ausnehmung 11b soweit geätzt,
daß die unteren Bereiche der prismenförmigen Gruben 32 er
reicht werden, wodurch sich die gitterförmige Elektroden
struktur der Elektrode 33 ergibt. Nunmehr werden Reste der
Ätzstoppschicht (nicht dargestellt) entfernt, woraufhin die
gesamte Struktur einem thermischen Oxidationsprozeß unter
worfen wird, durch den sich eine Isolationsschicht aus ther
mischen Siliziumoxid bildet, welche den Elektrodenkörper 30
umschließt.
Fig. 6 zeigt eine Querschnittsdarstellung der Elektrodenan
ordnung einer Meßvorrichtung, wie sie beispielsweise in Fig.
1a schematisch dargestellt ist. Zwei Elektrodenkörper 34,
35, die in Strömungsrichtung übereinander angeordnet sind
und jeweils gitterförmige oder stegförmige Elektroden 36, 37
umfassen, sind derart zueinander ausgerichtet, daß sich die
Elektroden 36, 37 in Strömungsrichtung gegenüberliegen. Bei
dieser Ausführungsform, die sich durch Zusammensetzen zweier
Elektrodenkörper der in Fig. 5 gezeigten Art ergibt, liegen
die Elektroden 36, 37 jeweils im wesentlichen auf der Höhe
der Vorderseite der Elektrodenkörper 34, 35 und sind jeweils
von der Rückseite des Elektrodenkörpers 34, 35 beabstandet.
Die Elektrodenkörper 34, 35 werden vorzugsweise dadurch mit
einander verbunden, daß die Rückseite der Elektrodenkörper
mit der Pyrex-Glas-Schicht durch elektrostatisches Bonden
verbunden wird. Alternativ können bei dieser Ausführungsform
ebenso wie bei der nachfolgend zu beschreibenden Ausfüh
rungsform andere Verbindungsverfahren eingesetzt werden, wie
beispielsweise Waferbonding oder Kleben.
Wie in der Querschnittsdarstellung der Fig. 6 zu sehen ist,
sind beide Elektrodenkörper 34, 35 an sämtlichen Kontakt
flächen mit dem Gas bzw. der Flüssigkeit von einer thermi
schen Oxidschicht 38, 39 umgeben.
Die in Fig. 7 gezeigte Ausführungsform der erfindungsgemäßen
Durchflußmeßvorrichtung unterscheidet sich im wesentlichen
dadurch von der Ausführungsform gemäß Fig. 6, daß die beiden
Elektrodenkörper 40, 41 vorderseitig miteinander verbunden
sind. Hier sind die Elektroden 42, 43 gegenüber der
Vorderseite der Halbleiterkörper zurückgeätzt, wobei das
Ausmaß des Zurückätzens neben der Dicke der Isolations
schicht 44 den gegenseitigen Abstand der beiden Elektroden
42, 43 festlegt.
Wie in Fig. 8 gezeigt ist, umfaßt eine weitere Ausführungs
form einer erfindungsgemäßen Strömungsgeschwindigkeitsmeß
vorrichtung im wesentlichen einen Elektrodenträgerkörper 2′,
der von einem Gehäuse 3′ umschlossen ist. Bei dem Gehäuse 3′
kann es sich beispielsweise um ein aus einem Kunststoff ge
gossenes Gehäuse handeln, welches einen Peripheriebereich 4′
des Elektrodenträgerkörpers 2′ fest umschließt. Die Art der
Ausgestaltung des Gehäuses 3′ als Gußgehäuse oder als ein
aus zwei Hälften mit einer dazwischenliegenden Dichtung ver
schraubtes Gehäuse liegt im Ermessen des Fachmannes und be
darf für Zwecke der vorliegenden Erfindung keiner weiteren
Erläuterung.
Der Elektrodenträgerkörper 2′ wird aus einem einkristallinen
Siliziumhalbleiterkörper gefertigt, der eine (110)-Kristall
orientierung hat. Hierfür wird zunächst auf der Vorder- und
Rückseite 5′, 6′ des Siliziumhalbleiterkörpers 2′ mittels
eines in der Halbleitertechnologie üblichen Verfahrens eine
gegen Ätzlösungen beständige Schicht, wie beispielsweise
Siliziumnitrid aufgebracht. Diese dient als Ätzstoppmaske
und wird zunächst auf der Vorderseite mittels an sich be
kannter photolithographischer Techniken strukturiert. Mit
einem anisotropen Ätzprozeß werden Durchströmungsöffnungen
7a′, 7b′, 7c′, 7d′, 7e′ erzeugt, die bei einer geeigneten
Orientierung der Maske aus zwei parallelen senkrechten und
aus vier zu der Vorderseite 5′ schrägen (111)-Ebenen be
stehen. Vorzugsweise wird eine 8-molare KOH-Lösung als Ätz
lösung verwendet, um die Entstehung konkurrierender Ebenen
zu unterdrücken. Ist die gewünschte Tiefe der Durchströ
mungsöffnungen 7a′ bis 7e′ erreicht, welche zwischen 1
Mikrometer und einigen 100 Mikrometer variieren kann, wird
auf der Vorderseite 5′ eine Ätzstoppschicht aufgebracht und
die rückseitige Ätzstoppschicht geöffnet.
In einem zweiten Ätzschritt wird der Siliziumkörper 2′ zum
Erzeugen einer rückseitigen Flächenausnehmung 8′ zurückge
ätzt, bis die Durchströmungsöffnungen 7′ vollständig durch
den Siliziumkörper 2′ reichen.
Mach Entfernung der verbliebenen Reste der Ätzstoppschicht
wird der gesamte Elektrodenträgerkörper 2′ zum Erzeugen
einer Isolationsschicht 9′ im Bereich der Durchströmungs
öffnungen 7a′ bis 7e′ sowie auf der Vorderseite 5′ und der
Rückseite 6′ des Elektrodenträgerkörpers 2′ thermisch
oxidiert.
Anschließend wird sowohl auf der Vorderseite 5′ wie auch auf
der Rückseite 6′ eine Metallisierung aufgebracht, welche
Elektroden 10′, 11′ bildet. Diese Elektroden 10′, 11′ werden
mit Anschlüssen 12′, 13′ versehen, die sich bis zur Außen
seite des Gehäuses 3′ erstrecken. Auf diese Struktur wird
beidseitig eine weitere Isolationsschicht 17′ aufgebracht.
Bei der skizzenhaften Darstellung gemäß Fig. 8 sind nur
einige wenige Durchströmungsöffnungen 7a′ bis 7e′ gezeigt.
Die Anzahl der Durchströmungsöffnungen 7a′ bis 7e′ kann je
nach Anwendungsfall zwischen eins und einigen tausend
liegen, wobei die Größe einer einzelnen Durchströmungs
öffnung zwischen 0,1 Mikrometer und 1 Millimeter variieren
kann, wobei die Breite und die Länge einer Durchströmungs
öffnung 7a′ bis 7e′ unabhängig voneinander gewählt werden
können.
Die in Fig. 9 gezeigte Ausführungsform der erfindungsgemäßen
Strömungsgeschwindigkeitsmeßvorrichtung 1′ unterscheidet
sich von der Ausführungsform gemäß Fig. 8 im wesentlichen
dadurch, daß bei dieser der Elektrodenträgerkörper 2′ nicht
nur eine rückseitige Flächenausnehmung 8′ aufweist, sondern
ferner eine vorderseitige Flächenausnehmung 14′ hat.
Vorzugsweise wird diese bei dem zweiten Ätzschritt gleich
zeitig mit der Erzeugung der rückseitigen Flächenausnehmung
8′ erzeugt. Durch die vorderseitige und rückseitige Flächen
ausnehmung 8′, 14′ werden bei der Ausführungsform gemäß Fig.
9 jeweils geneigt zu den Hauptflächen verlaufende Schräg
flächen 15′, 16′ gebildet.
Claims (12)
1. Vorrichtung zum Bestimmen der Strömungsgeschwindigkeit
eines Gases oder einer Flüssigkeit, mit
zwei voneinander in dem Gas oder in der Flüssigkeit im wesentlichen in Strömungsrichtung beabstandeten und ge genüber dem Gas oder der Flüssigkeit elektrisch isolier ten Elektroden (3, 4; 13, 14, 15), die mit einer Span nung derartig beaufschlagbar sind, daß um die Elektroden in dem Gas oder der Flüssigkeit ausgebildete Raumladun gen verschoben werden und hierdurch Bildladungen von einem leitfähigen Bereich (3a, 4a; 13a, 14a, 15a) einer Elektrode auf denjenigen einer anderen Elektrode umgela den werden, wodurch ein Meßstrom erzeugt wird,
einem Generator (22; 26) zum Erzeugen eines sich zeit lich ändernden Spannungssignales, das an die leitfähigen Bereiche der Elektroden anlegbar ist,
einem Stromdetektor (23; 27, 28) zum Erfassen einer durch die Änderung der Spannung verursachten Änderung des Meßstromes, und
einer Auswerteeinrichtung (20, 21; 24, 25, 29) zum Mes sen der Zeitdauer zwischen der Änderung der Spannung und der Änderung des Meßstromes und zum Bestimmen der Strö mungsgeschwindigkeit des Gases oder der Flüssigkeit auf grund der gemessenen Zeitdauer.
zwei voneinander in dem Gas oder in der Flüssigkeit im wesentlichen in Strömungsrichtung beabstandeten und ge genüber dem Gas oder der Flüssigkeit elektrisch isolier ten Elektroden (3, 4; 13, 14, 15), die mit einer Span nung derartig beaufschlagbar sind, daß um die Elektroden in dem Gas oder der Flüssigkeit ausgebildete Raumladun gen verschoben werden und hierdurch Bildladungen von einem leitfähigen Bereich (3a, 4a; 13a, 14a, 15a) einer Elektrode auf denjenigen einer anderen Elektrode umgela den werden, wodurch ein Meßstrom erzeugt wird,
einem Generator (22; 26) zum Erzeugen eines sich zeit lich ändernden Spannungssignales, das an die leitfähigen Bereiche der Elektroden anlegbar ist,
einem Stromdetektor (23; 27, 28) zum Erfassen einer durch die Änderung der Spannung verursachten Änderung des Meßstromes, und
einer Auswerteeinrichtung (20, 21; 24, 25, 29) zum Mes sen der Zeitdauer zwischen der Änderung der Spannung und der Änderung des Meßstromes und zum Bestimmen der Strö mungsgeschwindigkeit des Gases oder der Flüssigkeit auf grund der gemessenen Zeitdauer.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, mit
zwei im wesentlichen in Pumpströmungsrichtung übereinan der angeordneten und von einer Isolatorschicht (38, 39) umschlossenen Halbleiterkörpern (30; 34, 35; 40, 41), die derart strukturiert sind, daß die Elektroden (33; 36, 37; 42, 43) einen einstückigen Bestandteil der Halb leiterkörper bilden.
zwei im wesentlichen in Pumpströmungsrichtung übereinan der angeordneten und von einer Isolatorschicht (38, 39) umschlossenen Halbleiterkörpern (30; 34, 35; 40, 41), die derart strukturiert sind, daß die Elektroden (33; 36, 37; 42, 43) einen einstückigen Bestandteil der Halb leiterkörper bilden.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2,
bei der die aus einem Halbleitermaterial bestehenden
Elektroden (33; 36, 37; 42, 43) von einer die Isolator
schicht bildenden Oxidschicht aus einem thermischen Oxid
des Halbleitermateriales umschlossen sind.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
bei der die Elektroden (33; 36, 37; 42, 43) gitterförmig
ausgebildet sind.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
bei der die Elektroden (33; 36, 37; 42, 43) stegförmig
ausgebildet sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1,
bei der beide Elektroden (10′, 11′) an den Hauptflächen
(5′, 6′) eines gemeinsamen Elektrodenträgers (2′) ange
ordnet sind,
der Elektrodenträger (2′) gegenüber wenigstens einer der beiden Elektroden (10′, 11′) isoliert ist,
beide Elektroden (10′, 11′) an ihren dem Elektrodenträ ger (2′) abgewandten Seite eine Isolationsschicht (17′) aufweisen, und
der Elektrodenträger (2′) wenigstens eine sich im we sentlichen vertikal zu seinen Hauptflächen (5′, 6′) er streckende Durchströmungsöffnung (7′) aufweist.
der Elektrodenträger (2′) gegenüber wenigstens einer der beiden Elektroden (10′, 11′) isoliert ist,
beide Elektroden (10′, 11′) an ihren dem Elektrodenträ ger (2′) abgewandten Seite eine Isolationsschicht (17′) aufweisen, und
der Elektrodenträger (2′) wenigstens eine sich im we sentlichen vertikal zu seinen Hauptflächen (5′, 6′) er streckende Durchströmungsöffnung (7′) aufweist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6,
bei der der Elektrodenträgerkörper (2′) aus einem Halb
leitermaterial besteht,
der Elektrodenträgerkörper (2′) von einer Oxidschicht (9′) des Halbleitermaterials umschlossen ist,
die Elektroden (10′, 11′) durch beidseitige Metallisie rungen auf der Oxidschicht (9′) gebildet sind, und
eine weitere Oxidschicht (17′) die Metallisierungen ab deckt.
der Elektrodenträgerkörper (2′) von einer Oxidschicht (9′) des Halbleitermaterials umschlossen ist,
die Elektroden (10′, 11′) durch beidseitige Metallisie rungen auf der Oxidschicht (9′) gebildet sind, und
eine weitere Oxidschicht (17′) die Metallisierungen ab deckt.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, mit
einem Taktgenerator (20), und
einem von dem Taktgenerator (20) getakteten Zähler (21), dessen Zählbeginn von dem Generator (22) festlegbar und dessen Zählende von dem Stromdetektor (23) festlegbar ist.
einem Taktgenerator (20), und
einem von dem Taktgenerator (20) getakteten Zähler (21), dessen Zählbeginn von dem Generator (22) festlegbar und dessen Zählende von dem Stromdetektor (23) festlegbar ist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, mit
einer Durchflußmeßvorrichtung (10) mit zwei Elektroden sätzen (10′, 11′), die von dem Generator (26) mit zwei Spannungssignalen beaufschlagbar sind, und
zwei Spitzenwertdetektoren (27, 28), die der Durchfluß meßvorrichtung (10) nachgeordnet sind und deren Aus gangssignale einem Exklusiv-Oder-Gatter (29) zugeführt werden, das einen getakteten Zähler (25) startet und anhält.
einer Durchflußmeßvorrichtung (10) mit zwei Elektroden sätzen (10′, 11′), die von dem Generator (26) mit zwei Spannungssignalen beaufschlagbar sind, und
zwei Spitzenwertdetektoren (27, 28), die der Durchfluß meßvorrichtung (10) nachgeordnet sind und deren Aus gangssignale einem Exklusiv-Oder-Gatter (29) zugeführt werden, das einen getakteten Zähler (25) startet und anhält.
10. Verfahren zum Bestimmen der Strömungsgeschwindigkeit
eines Gases oder einer Flüssigkeit, bei dem
- - zwischen zwei voneinander in dem Gas oder der Flüssig keit im wesentlichen in Strömungsrichtung beabstande ten und gegenüber dem Gas oder der Flüssigkeit iso lierten Elektroden eine sich zeitlich ändernde Span nung angelegt wird und in dem Gas oder in der Flüssig keit um die Elektroden ausgebildete Raumladungen ver schoben und somit Bildladungen zwischen leitfähigen Bereichen (3a, 4a; 13a, 14, 15a) der Elektroden (3, 4; 13, 14, 15) umgeladen werden, wodurch ein Meßstrom er zeugt wird,
- - die Zeitdauer zwischen der Änderung der Spannung und einer durch die Änderung der Spannung verursachten Än derung des Meßstromes ermittelt wird, und
- - die Strömungsgeschwindigkeit des Gases oder der Flüs sigkeit aufgrund der ermittelten Zeitdauer bestimmt wird.
11. Verfahren nach Anspruch 10, bei dem
- - die sich zeitlich ändernde Spannung ein Spannungs sprungsignal ist, und
- - die ermittelte Zeitdauer die Zeit zwischen dem Anstieg des Spannungssprungsignals und dem Maximum des Meß stromes ist.
12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, bei dem
- - zwischen zwei im wesentlichen in Strömungsrichtung be abstandeten Elektroden (3, 4; 13, 14, 15) eine sich zeitlich ändernde Spannung in der Weise angelegt wird, daß Ionen der Raumladungen das Gas oder die Flüssig keit im wesentlichen in der Strömungsrichtung des Gases oder der Flüssigkeit zu der anderen Elektrode durchlaufen, woraufhin eine erste Zeitdauer zwischen der Änderung der Spannung und der durch die Änderung der Spannung verursachten Änderung des ersten Meßstro mes gemessen wird;
- - zwischen zwei im wesentlichen in Strömungsrichtung be abstandeten Elektroden eine weitere, sich zeitlich än dernde Spannung in der Weise angelegt wird, daß Ionen der Raumladung das Gas oder die Flüssigkeit im wesent lichen entgegen der Strömungsrichtung des Gases oder der Flüssigkeit zu der anderen Elektrode durchlaufen, woraufhin eine zweite Zeitdauer zwischen der Änderung der weiteren Spannung und der durch die Änderung der weiteren Spannung Verursachten Änderung des zweiten Meßstromes gemessen wird, und
- - die Strömungsgeschwindigkeit des Gases oder der Flüs sigkeit aufgrund der Differenz zwischen der ersten und zweiten Zeitdauer bestimmt wird.
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CN109613066A (zh) * | 2018-11-26 | 2019-04-12 | 四川省环科院科技咨询有限责任公司 | 一种利用直流充电法测定地下水流速和优势流向的方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3184967A (en) * | 1962-11-14 | 1965-05-25 | Elmer B Rogers | Electric charge flow meter |
DE1623997A1 (de) * | 1967-09-26 | 1971-07-08 | Fett Karl | Elektronischer Durchflussmesser |
DE2202512A1 (de) * | 1972-01-20 | 1973-07-26 | Karl Fett | V8rrichtung zur bestimmung des durchflusses elektrisch leitender und elektrisch nichtleitender fluessigkeiten |
DE2454469A1 (de) * | 1974-11-16 | 1976-05-26 | Fischer & Porter Gmbh | Induktiver durchflussmesser |
DE2458719B2 (de) * | 1973-12-11 | 1980-09-25 | Societe Nationale Elf Aquitaine, Courbevoie (Frankreich) | Ionisations-Durchflußmesser |
GB1591216A (en) * | 1978-05-15 | 1981-06-17 | Ml Aviation Co Ltd | Fluid flow speed indicator systems |
DE3925749C1 (de) * | 1989-08-03 | 1990-10-31 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev, 8000 Muenchen, De |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2491618B1 (fr) * | 1980-10-07 | 1985-06-07 | Renault | Capteur ionique de debit a temps de transit de type differentiel |
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- 1991-09-11 DE DE19914130210 patent/DE4130210C2/de not_active Expired - Fee Related
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3184967A (en) * | 1962-11-14 | 1965-05-25 | Elmer B Rogers | Electric charge flow meter |
DE1623997A1 (de) * | 1967-09-26 | 1971-07-08 | Fett Karl | Elektronischer Durchflussmesser |
DE2202512A1 (de) * | 1972-01-20 | 1973-07-26 | Karl Fett | V8rrichtung zur bestimmung des durchflusses elektrisch leitender und elektrisch nichtleitender fluessigkeiten |
DE2458719B2 (de) * | 1973-12-11 | 1980-09-25 | Societe Nationale Elf Aquitaine, Courbevoie (Frankreich) | Ionisations-Durchflußmesser |
DE2454469A1 (de) * | 1974-11-16 | 1976-05-26 | Fischer & Porter Gmbh | Induktiver durchflussmesser |
GB1591216A (en) * | 1978-05-15 | 1981-06-17 | Ml Aviation Co Ltd | Fluid flow speed indicator systems |
DE3925749C1 (de) * | 1989-08-03 | 1990-10-31 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev, 8000 Muenchen, De |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
A. Saad and R. Tobazeon: Study of the double layer..., In: J. Phys. D. Appl. Phys., Vol. 15(1982), S. 2502-2510 * |
Also Published As
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