DE4124875C2 - - Google Patents
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Description
Ein Strahlenwandlerschirm, häufig auch Leuchtschirm, Fluoreszenz
schirm oder Phosphoreszenzschirm genannt, umfaßt eine Schicht
aus einem lumineszenzfähigen Material, die auch als Leuchtstoff
schicht bezeichnet wird.
In einem Strahlenwandlerschirm wird eine hochenergetische
Photonenstrahlung in eine weniger energetische Photonenstrahlung
umgewandelt. So werden insbesondere UV-, Röntgen- und Gamma
strahlung in sichtbares Licht umgewandelt. Dabei wird in der
Leuchtstoffschicht des Strahlenwandlerschirms die energie
reiche Strahlung absorbiert und die Emission sichtbaren
Lichtes angeregt (Lumineszenz).
Strahlenwandlerschirme finden unter anderem Anwendung bei
Kathodenstrahlröhren, wie sie z. B. als Fernsehbildröhre ver
wendet werden, sowie bei Röntgenbildverstärkern als Eingangs-
und Ausgangsschirm und als Röntgendetektionssysteme bei der
medizinischen Diagnostik. Dabei wird ein zwei- oder ein
dimensionales Muster einer Strahlung, die für das Auge nicht
sichtbar bzw. für einen verwendeten Detektor nicht nachweisbar
ist, in ein sichtbares oder detektierbares Bild umgewandelt.
Neben dem Konversionsgrad und der Leuchtstärke kommt es bei
einem solchen Strahlenwandlerschirm auf dessen Auflösungsver
mögen an. Bei vielen Leuchtstoffschichten breitet sich das in
der Leuchtstoffschicht erzeugte Licht isotrop aus. Durch
seitliches Ausbreiten des Lichtes, sogenannte Querleitung,
wird das ursprüngliche Bild unscharf, weil jeder von der
Röntgenstrahlung beleuchtete Punkt als Kreis sichtbaren
Lichtes abgebildet wird. Dadurch verschlechtert sich die Auf
lösung.
Aus der Literatur sind verschiedene Möglichkeiten bekannt, die
Querleitung zu unterbinden oder dafür zu sorgen, daß die Quer
leitung nur von kurzer Reichweite ist. Auf diese Weise wird
die Lichtausbreitung bevorzugt senkrecht zur Schichtebene ge
lenkt.
Es ist bekannt, Strahlenwandlerschirme durch Aufbringen von
Leuchtstoffpigmenten auf ein transparentes Trägersubstrat her
zustellen (s. z. B. JP-OS 57-1 36 730, US 41 55 024, EP 01 87 066).
Die Leuchtstoffschichten werden dabei durch einzelne Pulver
partikel gebildet, die voneinander mehr oder weniger isoliert
sind. In solchen Schichten findet eine isotrope Lichtaus
breitung statt, wobei das Licht wegen Streuung und Reflexion
nur wenige Partikellagen durchdringt. Einfluß auf die Quer
leitung kann in diesen Schichten nur durch Abstimmung von
Partikelgröße, Packungsdichte und Schichtdicke genommen
werden.
Aus JP-OS 01-3 599, JP-OS 59-1 58 058, EP 03 72 395 ist bekannt,
zur Verbesserung der Auflösung als Strahlenwandlerschirm Loch
platten zu verwenden, deren zylindrische Hohlräume mit Leucht
stoffpigmenten gefüllt sind. Die Lochplatte selbst besteht aus
lumineszenzinaktivem Material. In einem solchen Aufbau ist
Lichtleitung längs der einzelnen Leuchtstoffkanäle möglich.
Das Auflösungsvermögen ist bei diesen Strahlenwandlerschirmen
durch die Abstände im Lochraster begrenzt. Diese können
technologisch bedingt nicht beliebig klein werden. Außerdem
wird die Lichtleitung in den Leuchtstoffkanälen durch
optische Streuung an Poren zwischen einzelnen Pigmentpartikeln
beeinträchtigt. Aus EP 02 72 581 ist bekannt, für einen
solchen Strahlenwandlerschirm geschichtete, perforierte
Wolframbleche zu verwenden.
Aus EP 03 22 715, DE 28 32 141 ist bekannt, Strahlenwandler
schirme durch Aufdampfen von Leuchtstoffen mit gerichteter
Kristallorientierung zu erzeugen. Die Leuchtstoffschicht be
steht aus aneinander haftenden Kristallnadeln, die senkrecht
zur Schichtebene orientiert sind. Durch diese Orientierung der
Leuchtstoffkristalle wird ein optischer Lichtleiteffekt in
Richtung der Kristallängsachse erzielt. Dieser Effekt wird
durch Risse oder Spalte zwischen den Kristallnadeln verstärkt.
Die Entstehung solcher Risse und Spalte wird bei Verwendung
von Trägersubstraten mit einer Mosaik- oder Netzstruktur be
günstigt (s. DE 28 10 920). Auf diese Weise werden Schirme
aus dotierten Alkalihalogeniden wie z. B. CsI:Na und ZnS,
(ZnCd)S hergestellt. Die Riß- und Spaltenstruktur ist dabei
statistisch, so daß das Auflösungsvermögen nicht streng re
guliert werden kann. Eine vollständige Separierung aller
Kristallnadeln ist in diesen Aufbauten nicht möglich.
Aus EP 00 68 536 ist bekannt, zur Herstellung eines Strahlen
wandlerschirms mit Hilfe eines Plasmaspritzverfahrens Leucht
stoffpigmente auf strukturierte Substrate aufzuspritzen. Auch
hier wird die Auflösung des Strahlenwandlerschirms durch
Bildung von Rissen zwischen Kristalliten verbessert. Dieses
Verfahren wird auf Leuchtstoff aus CaWO4, Y2O3(Eu), ZnS und
CsI(Na) angewendet.
Aus GB 20 00 173 A ist bekannt, einen Strahlenwandlerschirm
durch epitaktisches Aufwachsen einer lumineszenzfähigen
Schicht auf einem selbsttragenden, einkristallinen Körper her
zustellen. Die lumineszenzfähige Schicht enthält einen
Aktivatorzusatz. Die Herstellung der Schicht erfolgt z. B.
durch Flüssigphasenepitaxie. Der Aktivator wird z. B. durch
Eindiffundieren eingebracht. Der Strahlenwandlerschirm wird
z. B. aus Granaten von Y, Gd, Ga und Al gebildet und mit Tb,
Tm, Eu, Ce und Nd aktiviert. Dieses Herstellverfahren ist
wegen der Notwendigkeit eines einkristallinen Trägers sehr
aufwendig und auf kleinen Flächen und Schichtdicken begrenzt.
Die Auflösung des Strahlenwandlerschirms ist überdies wegen
der optisch isotropen Durchlässigkeit des Einkristallkörpers
begrenzt.
Aus der DE 33 25 035 A1 und aus der EP 04 11 194 A1 sind
Röntgenleuchtschirme bekannt, die als Matrix eine Loch
rasterplatte aus Glaskeramik aufweisen, deren Hohlräume
mit Leuchtstoffe gefüllt sind.
Aus der EP 03 22 715 A2 ist ein Röntgenverstärkerschirm
bekannt mit einer z. B. aus Zinksulfid bestehenden Matrix
und einem lumineszenzaktiven Aktivator.
Aus dem Journal of Luminescence, Band 36, 1986, Seite 65 bis
74 ist eine mit einem Übergangsmetallion dotierte Glas
keramikplatte bekannt, die unter Laserlicht luminesziert.
Ein aus Cäsiumiodidnadeln aufgebauter Röntgenverstärker
schirm ist aus der EP 03 52 152 A1 bekannt.
Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, einen Strahlen
wandlerschirm und ein Verfahren zu dessen Herstellung anzugeben,
der ein hohes Auflösungsvermögen aufweist, der in Größe, Dicke
und Form möglichst beliebig ausgebildet werden kann und der
einfach und kostengünstig und in seiner Struktur kontrollierbar
herstellbar ist.
Das Problem wird erfindungsgemäß gelöst durch einen Strahlen
wandlerschirm nach Anspruch 1 oder 4 sowie durch Verfahren zu dessen
Herstellung nach den Ansprüchen 8 und 9.
Als Leuchtstoffschicht wird eine Glaskeramik verwendet, die
mindestens einen Lumineszenzaktivator enthält. Die Glas
keramik kann selbsttragend sein oder auf einem optisch
transparenten Träger z. B. aus Glas angeordnet sein. Glaskeramik
materialien entstehen durch kontrollierte Kristallisation von
Gläsern.
In Glaskeramiken sind kristalline Bereiche in einer Glasmatrix
eingebettet. Diese Struktur wird durch spezielle Temperaturbe
handlungen von Gläsern aus einem glaskeramischen Stoffsystem
erzielt. Bei der Herstellung wird eine Glasschmelze zu einem
Glaskörper unter Verwendung typischer glastechnischer Verfahrens
weisen wie z. B. gießen, pressen, ziehen, geformt. Der Glas
körper wird durch Tempern aus seinem amorphen Strukturzustand
mindestens teilweise in einen kristallinen Zustand übergeführt.
Durch Zugabe entsprechender Aktivatoren, wie z. B. seltene
Erden oder Übergangselemente, hat die fertige Glaskeramik
Lumineszenzeigenschaften.
Lumineszente Glaskeramiken sind z. B. aus J. Andrews, H. Beall,
A. Lempicki, J. Lumin. 36 (1986), 65-74 und G. Boulon, Mat.
Chem. Phys. 16(1987), 301-347 bekannt. Sie werden hin
sichtlich Laseranwendungen untersucht.
Durch die erfindungsgemäße Verwendung einer Glaskeramik als
Leuchtstoffschicht ist der erfindungsgemäße Strahlenwandler
schirm in einfacher Glastechnologie herstellbar. Der Strahlen
wandlerschirm ist optisch transparent und stabil. Er ist groß
flächig, dünn und strukturierbar herstellbar. In der Erfindung
werden die physikalischen und technologischen Eigenschaften von
Glaskeramiken mit der Lumineszenzfähigkeit kristalliner und
amorpher Festkörper kombiniert. Erfindungsgemäße Strahlen
wandlerschirme lassen sich daher mit großer Wirtschaftlichkeit
herstellen.
Dabei liegt es im Rahmen der Erfindung, die Leuchtstoffschicht
durch entsprechende Temperaturbehandlung so herzustellen, daß
sie aus senkrecht zur Schichtebene orientierten Kristalliten
besteht, die durch eine verbleibende Glasphase separiert
sind.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung, ist die Leucht
stoffschicht auf einem Träger angeordnet und so strukturiert,
daß sie aus in der Schichtebene periodisch angeordneten,
einzelnen Leuchtstoffblöcken besteht. Durch Verwendung einer
photoempfindlichen Glaskeramik kann diese Ausführungsform vor
teilhaft durch Belichten, Tempern und selektives Herausätzen
der belichteten Teile hergestellt werden. Zur Verbesserung der
Auflösung können die Seitenflächen der Leuchtstoffblöcke mit
reflektierendem Material versehen werden. Eine weitere Ver
besserung der Auflösung wird durch Auffüllen der Zwischenräume
zwischen benachbarten Leuchtstoffblöcken mit reflektierendem
Material erzielt. Zur Kollimierung der einfallenden energie
reichen Röntgen- oder Gammastrahlung können die Hohlräume zu
sätzlich mit einem Kollimatormaterial ausgefüllt sein, das
gegenüber der einfallenden Strahlung eine hohe Absorption auf
weist, wie z. B. Pb oder W.
Weitere Ausgestaltungen der Erfindung gehen aus den übrigen
Ansprüchen hervor.
Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen
und der Figuren näher erläutert.
Fig. 1 zeigt einen Ausschnitt aus einem Strahlenwandlerschirm,
in dem die Leuchtstoffschicht aus senkrecht zur Schicht
ebene orientierten Kristalliten besteht.
Fig. 2 zeigt einen Ausschnitt aus einem Strahlenwandlerschirm,
bei dem die Leuchtstoffschicht aus polykristallinen
Glaskeramikblöcken besteht.
Fig. 3 zeigt einen Ausschnitt aus einem Strahlenwandlerschirm,
bei dem die Leuchtstoffschicht aus amorphen Glaskeramik
blöcken besteht.
Auf einem Träger 11 ist eine Leuchtstoffschicht 12 aus Glas
keramik angeordnet (s. Fig. 1). Der Träger 11 besteht z. B.
aus Glas. Die Leuchtstoffschicht 12 besteht aus einer Glas
keramik aus dem Stoffsystem SrO-BaO-TiO2-Ln2O3, wobei Ln
mindestens ein Element aus der Gruppe Y, Gd, Eu, Ce, Tb, Sm,
Nd, Pr, La, Dy, Tm, Lu, Ho, Er, Yb ist. Ln wirkt dabei unter
anderem als Lumineszenzaktivator.
Die Leuchtstoffschicht 12 ist so ausgebildet, daß senkrecht
zur Schichtebene orientierte Kristallite 13 durch eine
restliche Glasphase 14 separiert sind. Damit ist die Leucht
stoffschicht 12 anisotrop.
Die Leuchtstoffschicht 12 wird insbesondere durch gerichtete
Kristallisation einer Glasschicht entsprechender Zusammen
setzung in einem Temperaturgradienten hergestellt.
Die Kristallite 13 und die Glasphasenanteile 14 sind in der
Leuchtstoffschicht 12 chemisch und strukturell verschieden.
Demnach zeigen sie unterschiedliche Brechungsindices für das
emittierte Lumineszenzlicht. Dadurch wird eine Lichtleitung in
Richtung der Längsachse der Kristallite 13 bzw. der Glasphase
14 bewirkt. Je größer der Unterschied der Brechungsindices
ist, desto effektiver ist die Lichtleitung. Dadurch wird die
optische Querleitung in der Leuchtstoffschicht 12 minimiert.
Auf diese Weise wird ein hohes Auflösungsvermögen erreicht.
Auf einem Träger 21 aus z. B. Glas ist eine Leuchtstoffschicht
22 angeordnet (s. Fig. 2). Die Leuchtstoffschicht 22 ist
strukturiert. Sie besteht aus Leuchtstoffblöcken 221 und
zwischen benachbarten Leuchtstoffblöcken 221 angeordneten
Füllschichten 222. Die Füllschichten 222 werden aus einem
solchen Material ausgebildet, daß sie als Reflektorschichten
oder Strahlungskollimatorschichten wirken. Die Leuchtstoff
blöcke 221 sind voneinander vollständig getrennt.
Die Leuchtstoffblöcke 221 bestehen aus vielen einzelnen
Kristalliten 23, die durch eine Glasphase 24 vernetzt sind.
Die Kristallite 23 und die Glasphase 24 bilden zusammen einen
porenfreien, völlig geschlossenen Materialblock. Die Füll
schichten 222 dienen zur optischen Kapselung der Leuchtstoff
blöcke 221 oder zur Strahlenkollimierung. Auf diese Weise wird
das Auflösungsvermögen des Strahlenwandlerschirms verbessert.
Als Füllschicht 222 wird z. B. eine Metallschicht aus Al oder
Au oder eine Oxidschicht aus TiO2, MgO oder Al2O3 verwendet.
Die Füllschicht 222 wirkt dann als Reflektorschicht. Je nach
Anwendungsfall kann es ausreichend sein, nur die Oberflächen
der Seitenwände der Leuchtstoffblöcke 221 mit einer Verspiegelung
zu versehen. In diesem Fall entfallen die die Hohlräume aus
füllenden Füllschichten 222. Zur Strahlungskollimierung der
einfallenden Strahlung kann die Füllschicht 222 auch aus ab
sorbierendem Kollimatormaterial, z. B. aus Pb oder W, bestehen.
Die Leuchtstoffschicht 22 besteht z. B. aus dem Stoffsystem
SiO2-R2O-Ln2O3, wobei Ln mindestens ein Element aus der Gruppe
Y, Gd, Eu, Ce, Tb, Sm, Nd, Pr, La, Dy, Tm, Lu, Ho, Er, Yb ist
und R mindestens ein Element der Alkaligruppe ist. Es ist be
sonders vorteilhaft, der Leuchtstoffschicht eine geringe Bei
mengung einer photoempfindlichen Verbindung mindestens eines
der Elemente Ag, Ce, Cu, Sn oder Au zuzusetzen. In diesem Fall
ist die Leuchtstoffschicht sehr einfach strukturierbar.
Die Leuchtstoffschicht 22 aus photoempfindlicher Glaskeramik
wird durch Aufbringen einer photoempfindlichen Glasschicht aus
einem glaskeramischen Stoffsystem auf den Träger 21 hergestellt.
Die photoempfindliche Glasschicht wird selektiv belichtet und
anschließend getempert. Dabei kristallisieren die belichteten
Stellen aus. Diese Kristallphasen, die an den belichteten
Stellen entstehen, weisen gegenüber den Glasphasen, die an den
nichtbelichteten Stellen übrigbleiben, eine größere Löslichkeit
auf. Aufgrund dieser größeren Löslichkeit werden die Kristall
phasen selektiv herausgeätzt. Es entsteht eine Schicht, die
aus einzelnen Glasblöcken besteht. Die Glasblöcke werden durch
erneutes Belichten und Tempern zu einer Glaskeramik aus
kristallisiert. Dabei bilden sich die Kristallite 23 in der
Glasphase 24. Mit diesem Herstellverfahren können Leuchtstoff
schichten praktisch beliebiger Größe und Ausdehnung herge
stellt werden. Die Dimensionen der Leuchtstoffblöcke und der
Zwischenräume zwischen den Leuchtstoffblöcken sind im
wesentlichen durch das Auflösungvermögen der bei der selektiven
Belichtung verwendeten Belichtungseinheit begrenzt.
Auf einem Träger 31 aus z. B. Glas ist eine Leuchtstoffschicht
32 angeordnet (s. Fig. 3). Die Leuchtstoffschicht 32 ist
strukturiert. Sie besteht aus periodisch auf dem Träger 31 an
geordneten Leuchtstoffblöcken 321. Die Leuchtstoffblöcke 321
sind voneinander vollständig getrennt. Die Leuchtstoffblöcke
321 bestehen aus Glas einer Glaskeramik, das nicht aus
kristallisiert ist. Die Leuchtstoffblöcke 321 sind daher
amorph. Sie bestehen aus dem Stoffsystem SiO2-R2O-Ln2O3, wobei
Ln und R dieselbe Bedeutung wie in dem anhand von Fig. 2 be
schriebenen Ausführungsbeispiel haben. Dem glaskeramischen
Stoffsystem, aus dem die Leuchtstoffblöcke 321 bestehen, ist
zusätzlich eine photoempfindliche Verbindung mindestens eines
der Elemente Ag, Ce, Cu, Sn oder Au beigemengt.
Zwischen den Leuchtstoffblöcken 321 können Füllschichten 322
angeordnet sein. Die Füllschichten 322 werden aus einem
solchen Material gebildet, daß sie als Reflektorschichten oder
als Strahlungskollimatorschichten wirken. Die Füllschichten
322 dienen damit zur optischen Kapselung der Leuchtstoff
blöcke 321 oder zur Strahlenkollimierung. Auf diese Weise wird
das Auflösungsvermögen des Strahlenwandlerschirms verbessert.
Als Füllschicht 322 wird z. B. eine Metallschicht aus Al oder
Au oder eine Oxidschicht aus TiO2, MgO oder Al2O3 verwendet.
Die Füllschicht 322 wirkt dann als Reflektorschicht. Je nach
Anwendungsfall kann es ausreichend sein, nur die Oberflächen
der Seitenwände der Leuchtstoffblöcke 321 mit einer Ver
spiegelung zu versehen. In diesem Fall entfallen die die Hohl
räume ausfüllenden Füllschichten 322. Zur Strahlenkollimierung
der einfallenden Strahlung kann die Füllschicht 322 auch aus
absorbierendem Kollimatormaterial, z. B. aus Pb oder W bestehen.
Die Leuchtstoffschicht 32 wird durch Aufbringen einer Glas
schicht der genannten Zusammensetzung auf den Träger 31 her
gestellt. Durch selektive Belichtung und anschließende
Temperung werden die belichteten Stellen auskristallisiert.
Wie anhand von Fig. 2 beschrieben, werden diese Kristallphasen
selektiv zur verbleibenden Glasphase entfernt. Dabei ent
stehen die amorphen Leuchtstoffblöcke 321. Eine Verbesserung
des Auflösungsvermögens läßt sich durch optische Vergütung der
Seitenflächen der Leuchtstoffblöcke 321, wie auch anhand von
Fig. 2 beschrieben, erzielen. Im Innern der Leuchtstoffblöcke
321 ist eine störungsfreie und verlustfreie Ausbreitung des
emittierten Lumineszenzlichtes sichergestellt, da im Innern
der Leuchtstoffblöcke 321 weder Korngrenzen noch sekundäre
Phasen vorhanden sind.
Das Verfahren zur Strukturierung von photoempfindlichen Gläsern,
das in den Beispielen, die anhand von Fig. 2 und 3 beschrieben
wurden, verwendet wird, ist zur Strukturierung von Glas bzw.
Glaskeramik bekannt. Verfahren zur Herstellung von Glas bzw.
Glaskeramik sind z. B. in US-PS 26 28 160, S. D. Stookey, Ind.
Engineer. Chem. Bd. 45, S. 115-118 (1953) und G. P. Smith,
Glass Techn. Bd. 20, S. 149-157 (1979) beschrieben.
Claims (9)
1. Strahlenwandlerschirm, der eine Leuchtstoffschicht (12)
aus Glaskeramik mit mindestens einem Lumineszenzaktivator
enthält, dadurch gekennzeichnet, daß
die Leuchtstoffschicht (12) aus senkrecht zur Schicht
ebene orientierten Kristalliten (13), die durch eine Glas
phase (14) separiert sind, besteht.
2. Strahlenwandlerschirm nach Anspruch 1,
bei dem die Leuchtstoffschicht (12) auf einem licht
durchlässigen Träger (11) angeordnet ist.
3. Strahlenwandlerschirm nach Anspruch 1 oder 2,
bei dem die Glaskeramik aus dem Stoffsystem SrO-BaO-TiO2-Ln2O3
besteht, wobei Ln mindestens ein Element aus der Gruppe Y, Gd,
Eu, Ce, Tb, Sm, Nd, Pr, La, Dy, Cm, Lu, Ho, Er, Yb ist und als
Lumineszenzaktivator wirkt.
4. Strahlenwandlerschirm, der eine Leuchtstoffschicht (22, 32) aus Glaskeramik mit
mindestens einem Lumineszenzaktivator enthält, dadurch gekenzeichnet, daß
die Leuchtstoffschicht (22, 32) aus photoempfindlicher
Glaskeramik besteht, und daß die Leuchtstoffschicht (22,
32) so strukturiert ist, daß sie aus in der Schichtebene
periodisch angeordneten, einzelnen Leuchtstoffblöcken (221,
321) besteht, wobei die zur Schichtebene senkrechten Flächen der Leucht
stoffblöcke (221) mit reflektierendem Material (222) ver
sehen sind.
5. Strahlenwandlerschirm nach Anspruch 4,
bei dem die Glaskeramik Beimengungen von einer photoempfindlichen
Verbindung mindestens eines der Stoffe Ag, Ce, Cu, Sn, und Au
enthält.
6. Strahlenwandlerschirm nach Anspruch 4,
bei dem die Zwischenräume zwischen benachbarten Leuchtstoff
blöcken (221) mit reflektierendem Material (222) aufgefüllt
sind.
7. Strahlenwandlerschirm nach einem der Ansprüche 4 bis 6,
bei dem die Leuchtstoffblöcke (221) aus vielen einzelnen
Kristalliten (23) bestehen, die mit einer Glasphase (24) ver
netzt sind.
8. Verfahren zur Herstellung eines Strahlenwandlerschirms,
der eine Leuchtstoffschicht aus Glaskeramik mit mindestens
einem Lumineszenzaktivator aufweist, bei dem in der Glas
keramik durch gerichtete Kristallisation in einem Temperatur
gradienten senkrecht zur Schichtebene orientierte Kristallite
(13) gebildet werden.
9. Verfahren zur Herstellung eines Strahlenwandlerschirms,
der eine Leuchtstoffschicht aus Glaskeramik mit mindestens
einem Lumineszenzaktivator aufweist,
- - bei dem auf einen lichtdurchlässigen Träger (21, 31) eine Schicht aus einem glaskeramischen Stoffsystem mit einer Beimengung einer lichtempfindlichen Verbindung mindestens eines der Elemente Ag, Ce, Cu, Sn oder Au aufgebracht wird,
- - bei dem in der Schicht durch selektive Belichtung und an schließende Temperung an den belichteten Stellen Kristall phasen gebildet werden,
- - bei dem die Kristallphasen aufgrund ihrer größeren Löslich keit im Vergleich zur unbelichteten Schicht selektiv heraus geätzt werden, und
- - bei dem nach der Strukturierung der Schicht aus dem glas keramischen Stoffsystem die strukturierte Schicht (22) aus dem glaskeramischen Stoffsystem durch ein weiteres Belichten und Tempern zu Glaskeramik auskristallisiert wird.
Priority Applications (3)
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DE4124875A1 DE4124875A1 (de) | 1993-01-28 |
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EP (1) | EP0597874A1 (de) |
DE (1) | DE4124875A1 (de) |
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