DE4116074A1 - Als fusstritt ausgebildeter widerstandstester fuer personen, die elektrostatische ladungen ableitende schuhe tragen - Google Patents

Als fusstritt ausgebildeter widerstandstester fuer personen, die elektrostatische ladungen ableitende schuhe tragen

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen elektrischen Widerstandstester, der als Trittfläche ausgebildet ist, auf die Personen treten können, die Schuhe tragen, welche eine elektrostatische Ladung ableiten (ESD), und insbesondere bezieht sich die Erfindung auf ein Prüfgerät für elektrostatische Ladungen ableitende Schuhe, welches an Ort und Stelle durch Personen benutzt werden kann, die zwei solche Schuhe tragen, damit der ungefähre elektrische Widerstand zwischen dem Boden und solchen Schuhen in solchen Räumen bestimmt werden kann, die im Hinblick auf elektrostatische Entladungen empfindlich sind.
Es sind spezielle Schuhe bekannt, die einen elektrischen Schutz geben, und hierunter gibt es elektrisch isolierende Schuhe oder für elektrische Stoßwellen widerstandsfähige Schuhe (ESR), Schuhe, die eine elektrostatische Ableitungen bewirken (ESD), und Schuhe, die leitfähig sind. Die ESR-Schuhe haben einen Widerstandsbereich von etwa unendlich, die ESD-Schuhe haben einen Widerstandsbereich von etwa 10⁶ Ohm bis etwa 10⁹ Ohm, während die leitfähigen Schuhe einen Widerstand von etwa einem Megohm oder weniger besitzen.
Es gibt Stellen, beispielsweise im Operationssaal von Krankenhäusern, und andere Orte, wo beispielsweise explosive Gegenstände hergestellt oder verarbeitet werden und die als potentiell explosiv-gefährdet betrachtet werden müssen und wo ein einziger elektrostatischer Funke möglicherweise schwerwiegende Konsequenzen haben kann. Leitfähige Schuhe sind für Personen verfügbar, die in solchen Räumen arbeiten, die funkenverhindernde Widerstände bis zu 1 000 000 Ohm besitzen. Die Nationale Feuerschutzbehörde empfiehlt aber, daß die leitfähigen Schuhe und andere zwischen Personen und Boden befindliche leitfähige Vorrichtungen immer dann geprüft werden, wenn eine Benutzung beabsichtigt ist. Ein derartiges Prüfgerät, welches seit einigen Jahren verfügbar ist, ist das Modell TM, welches von Dwyer Instruments Inc., Michigan City, Indiana, hergestellt wird und welches in der Zeitschrift unter dem Titel "Safe-T-Ohm Schuhprüfgerät" beschrieben ist.
Herkömmliche Schuhprüfgeräte dieser Bauart, die bisher verfügbar sind, basieren auf der Voraussetzung, daß der kombinierte Widerstand beider Schuhe und des Körpers der Person, die die Schuhe trägt, niedriger als 1 Megohm ist, wobei dieser Pegel immer noch zu einer unerwünschten Funkenbildung führen kann, wie Versuche erwiesen haben.
Ein Hauptziel vorliegender Erfindung ist die Schaffung eines ESD-Schuh-Testgerätes dieser allgemeinen Bauart zur Benutzung in ESD-Umgebungen, welches einsteckbar ist wie das Dwyer-Modell TM, welches eine derart erhöhte Empfindlichkeit hat, daß es zuversichtlich Widerstände mit einer Größe von etwa 2000 Megohm mißt.
Gemäß der vorliegenden Erfindung besitzt der verbesserte Tester die gleiche Grundhardwarezusammensetzung wie der Dwyer-Modell-TM-Schuhtester, einschließlich von zwei Bodenplatten, dem Verbindungsteil hierfür, einem Meßgehäuse, einer Skala am Meßgehäuse, eines drehbar gelagerten Anzeigearms, der annehmbare und nicht annehmbare Widerstandswerte gegenüber einer Skala ablesen läßt, wobei eine elektronische Schaltung in geeigneter Weise innerhalb des Gehäuses angeordnet und elektrisch über eine Steckverbindung mit einer herkömmlichen geerdeten Netzleitung von beispielsweise 115 V Wechselspannung zur elektrischen Erregung des Testgerätes verbunden werden kann.
Vorrichtungen dieser Bauart erfordern jedoch, daß die jeweilige Spannung an den Körper der die ESD-Schuhe tragenden Person angelegt wird. Daher muß die Spannung auf einen Wert begrenzt werden, der eine Verletzung des Schuhträgers ausschließt. Bisher war eine Widerstandsmessung für ESD-Schuhe mit einem Widerstand von etwa 2000 Megohm praktisch nicht durchführbar.
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist eine Elektronikschaltung vorgesehen, die aus kommerziell verfügbaren Schaltungselementen und Verstärkeranordnungen besteht, die die Möglichkeit schaffen, daß der Prüfstrom, der durch die die Schuhe tragende Person geschickt wird, unter einem Sicherheitspegel bleibt, wobei gleichzeitig der Widerstand der Schuhe mit dem gewünschten 2000-Megohm-Widerstand gemessen werden kann.
Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht darin, ein ESD-Schuh-Prüfgerät zu schaffen, welches ein hochwertiges elektronisches Instrument aufweist, das präzise gebaut ist und hochfein polierte Aluminiumfußtrittplatten besitzt und so ausgebildet ist, daß es jahrelang wartungsfrei arbeitet und stets betriebsbereit ist, wenn der Stecker in einen Netzanschluß eingesteckt wird, wobei die Abmessungen des Gerätes klein und das Gewicht gering sind.
Nachstehend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung beschrieben. In der Zeichnung zeigt
Fig. 1 eine Draufsicht auf das Prüfgerät, woraus die prinzipiellen Hardwarekomponenten ersichtlich sind,
Fig. 2 eine Seitenansicht des Prüfgerätes, von der Unterseite gemäß Fig. 1 her betrachtet,
Fig. 3 eine schematische Ansicht der Skalenplatte, die von dem Meßgerätegehäuse des Prüfgerätes gelagert wird,
Fig. 4 eine perspektivische Ansicht des Prüfgerätes,
Fig. 5 ein Blockschaltbild der Elektronikschaltung des erfindungsgemäßen Prüfgerätes,
Fig. 6 eine schematische Darstellung der Erregerschaltung für das Prüfgerät,
Fig. 7 eine schematische Darstellung der Prüfschaltung, die durch die Schaltung gemäß Fig. 6 erregt wird.
Es ist jedoch klar, daß die Zeichnung nur Ausführungsbeispiele veranschaulicht und daß zahlreiche Abwandlungen möglich sind.
In den Fig. 1 bis 4 ist eine Ausführungsform 10 eines Prüfgerätes für ESD-Schuhe dargestellt. Das Prüfgerät 10 besteht in üblicher Weise aus zwei Aluminiumschuhtrittplatten 12, die jeweils fein polierte Oberflächen 14 besitzen, auf die die Person, die die (nicht dargestellten) ESD-Schuhe trägt, tritt, wobei jeweils ein Schuh auf eine Platte aufgesetzt wird. Ferner ist eine Bodenplatte 16 für jede Schuhplatte 12 vorgesehen, und ein Verbindungsträger 18 verbindet in geeigneter Weise die nach oben abgewinkelten Enden 20 der jeweiligen Schuhplatten 12 derart miteinander, daß die Schuhplatten 12 in der üblichen Weise seitlich nebeneinanderliegen. Ein Meßgerätegehäuse 22 ist in geeigneter Weise an dem Träger 18 befestigt, und es enthält die benutzte elektronische Schaltung und die elektrische Verdrahtung 24 für die Energiezufuhr, wobei die Zuleitung 24 mit einem Stecker 26 ausgerüstet ist, damit das Prüfgerät 10 mit einem Netzanschluß von beispielsweise 115 V Wechselspannung angeschlossen werden kann.
Wie aus Fig. 2 ersichtlich, sind die Bodenplatten 16 jeweils mit den Fußplatten 12 durch (nicht dargestellte) Schrauben mit Verankerungsgummifüßen 28 und mit Ansätzen 30 der jeweiligen Fußplatten 12 verbunden, wie dies üblich ist. Die Schrauben sind innerhalb der Füße 28 untergebracht, und für jede Platte 12 sind mehrere Füße 28 und Distanzstücke 30 vorgesehen, so daß das Gewicht der die zu prüfenden Schuhe tragenden Person auf den jeweiligen Fußplatten 12 der Vorrichtung 10 vom Boden 31 über jede Schuhplatte 12 abgestützt werden kann.
Der Träger 18 kann an den jeweiligen Enden 20 der Fußplatten 12 fixiert werden, indem herkömmliche Schraub- und Mutterverbindungen 32 oder dergleichen benutzt werden, wie dies in den Fig. 1, 2 und 4 dargestellt ist. In herkömmlicher Weise ist das Gehäuse 22 an der Trägerplatte 18 und den Enden 20 der jeweiligen Platten 12 durch ähnliche Schraubverbindungen 33 festgelegt. Das Gehäuse 22 trägt eine Skalenplatte 34 (Fig. 3) und eine Abdeckung 35 hierfür, die bei 35A transparent und bei 35B opak ist. Mit der Skalenplatte 34 wirkt ein Zeiger 36 zusammen, wobei die Skalenplatte 34 eine Skala 37 in Form eines Schlitzes 39 trägt, der mit dem Radius des Zeigerarms 36 um dessen Drehachse geschlagen ist, wobei gefärbte Bereiche, beispielsweise grüne Bereiche, 38 einen annehmbaren Widerstandspegel anzeigen, während an den Enden der Skalenfläche 38 auf der gleichen Krümmung Indexlinien 39 und 41 den Beginn von Anlaufflächen 40 und 42 anzeigen, die beispielsweise rot gefärbt sind und unzulässige Widerstandswerte an beiden Enden des Bereichs 38 anzeigen. Die Skala 37 ist vorzugsweise in Megohm geeicht, und gemäß dieser Art des Schuhprüfgerätes ist die Elektronikschaltung des Gehäuses 22 ganz oder teilweise auf Printplatten untergebracht, die in geeigneter Weise innerhalb des Gehäuses 22 untergebracht sind, wodurch der Zeigerarm 36 eines geeigneten Meßgerätes 57 im Gehäuse 22 (Fig. 5 und 7) aktiviert werden kann, wenn der Stecker 26 in eine Netzdose eingesteckt ist. Die Vorrichtung 10 läßt man erst aufwärmen, und danach werden die einzelnen getragenen ESD-Schuhe auf die jeweiligen Schuhplatten 12 in der angegebenen Weise abgestellt, wobei die Schuhe vorzugsweise in Richtung auf das Gehäuse 22 hin weisen, während die Prüfung durchgeführt wird. Der Abdeckabschnitt 35A gibt die Skala 37 frei und auch den Teil des darüberwandernden Zeigers 36.
Es ist wichtig, daß die Sohlen der zu prüfenden Schuhe frei von Wachs und Schmutz sind. Infolgedessen müssen die der Prüfung zu unterwerfenden Sohlen der Schuhe in geeigneter Weise gereinigt werden, bevor die Prüfung stattfindet, und wenn die Ergebnisse unbefriedigend sind, kann eine Reinigung der Schuhe zu befriedigenden Testergebnissen führen. In gleicher Weise sollten die Oberflächen 14 der Fußplatten 12 gereinigt werden, sollten sie schmutzig geworden sein, und zwar sollte die Reinigung mit einem weichen Tuch erfolgen, oder es sollte mit Stahlwolle oder feinem Sandpapier poliert werden.
Das Gehäuse 22 kann von herkömmlicher Bauart sein, wobei die einzelnen Teile durch Schrauben 45 miteinander verbunden sind.
Die unter Bezugnahme auf Fig. 1 bis 4 beschriebene Hardware für den Schuhtester ist grundsätzlich durch den Dwyer-Modell-TM-Schuhtester bekannt. Die Verbesserung vorliegender Erfindung betrifft die in den Fig. 5 und 7 dargestellte Verstärkeranordnung.
Im Blockschaltbild gemäß Fig. 5 ist das Netzgerät mit 50 bezeichnet, welches in Fig. 6 im Schaltbild dargestellt ist. Das Netzgerät 50 speist den Verstärker 52, der gemäß der Erfindung vorgesehen ist, einen Differenzverstärker 54 und eine Meßschaltung 56 für ein herkömmliches Meßgerät 57 sowie einen Komparator 58, der Leuchtdioden steuert, die in geeigneter Weise mit der Skalenplatte 34 und dem Zeigerarm 36 und der Skala 37 zusammenwirken, um zulässige und unzulässige Widerstandspegel anzuzeigen.
Unter der Annahme, daß eine ein Paar ESD-Schuhe tragende Person in der beschriebenen Weise auf der Vorrichtung 10 steht und daß die Vorrichtung 10 mit dem Netzstecker 26 an eine geeignete Wechselspannungsquelle angeschlossen ist (als Wechselspannungsquelle kommt eine Steckdose in Betracht, die üblicherweise 115 V Wechselspannung hat) und aufgewärmt ist, dann arbeitet das elektronische System wie folgt:
Es wird auf Fig. 6 Bezug genommen. Das Netzgerät 50 wird aus der Steckdose 60 gespeist und liefert einen gefilterten ungeregelten Gleichstromausgang von 18 V. Dieser Ausgang wird einem Spannungsregler 62 zugeführt, der in herkömmlicher Weise so programmiert ist, daß er eine geregelte Gleichspannung von 16 V abgibt, wobei Widerstände 64 und 66 als Spannungsteiler geschaltet sind. Die Kondensatoren 68 und 70 sind herkömmliche Filterkondensatoren, die Schwingungen dämpfen. Weitere Widerstände 72 und 74 bilden einen Spannungsteiler 76, der zusammen mit einem Operationsverstärker 78 und einem Transistor 80 eine Gleichspannung von 8 V liefert. Die positive Seite 81 der Gleichspannung ist an den Verstärker 52 bei 85 (Fig. 7) angeschaltet. Der Komparator 58 ist bei 87 und 87A (Fig. 7) an die positive Seite 81 der Spannungsquelle angeschlossen und außerdem ist hieran ein Operationsverstärker 132 bei 89 angeschlossen (Fig. 7), der als Komparator wirkt. Die negative Seite 83 der Spannungsquelle ist bei 91 (Fig. 7) an den Verstärker 54 angelegt und bei 93 und 95 (Fig. 7) an den Komparator.
Der Verstärker 52 (Fig. 7), der die Meßschaltung 81 gemäß der Erfindung einschließt, muß betriebsmäßig mit den Schuhplatten 12 des Prüfgerätes 10 verbunden werden. Die Schaltung 81 hat die Gestalt eines invertierenden Verstärkers 82. Im Verstärker 52 bilden die Widerstände 84 und 86 einen Spannungsteiler 88, der ein Eingangssignal von etwa 45 mV an den Bereichswiderstand 90 anlegt. Wie in Fig. 7 dargestellt, sind die Platten 12 des Instrumentes 10 in der Rückkopplungsschleife 92 des Operationsverstärkers 94 angeordnet. Der Träger der ESD-Schuhe überbrückt den Spalt zwischen den Instrumentenplatten 12, und auf diese Weise werden die Schuhe überprüft. Die Rückkopplungsschleife ist mit den Fußplatten des Testgerätes in herkömmlicher Weise verbunden. Die Verstärkung des Operationsverstärkers 94 wird während des Versuchs durch den Widerstand zwischen den zu prüfenden Schuhen und den jeweiligen Platten 12 und den Widerstandsbereichs-Widerstand 90 bestimmt. Eine Änderung des Widerstandswertes des Widerstandes liefert den gewünschten Widerstandsbereich, der für die jeweiligen zu prüfenden ESD-Schuhe ausgewählt ist. Die Widerstände 96 und 98 liegen zum Zwecke der Strombegrenzung in Reihe mit den jeweiligen Platten 12, da der Strom auch der Person zugeführt wird, die die Schuhe trägt, und deshalb muß der Strom innerhalb sicherer Grenzen liegen und einen für die Person harmlosen Pegel von nicht mehr als etwa 8 V Gleichspannung aufweisen. Der resultierende Strom liefert das Prüfsignal.
Ein Kondensator 100 liegt in der Rückkopplungsschleife 92 des Operationsverstärkers 94, um zu verhindern, daß der Operationsverstärker 94 zu schwingen beginnt. Bei der in Fig. 7 dargestellten Schaltung beträgt der zwischen den Platten 12 über die die ESD-Schuhe tragende Person fließende Strom etwa 5 V Gleichspannung bei 200 nA.
Dieses Prüfsignal vom Operationsverstärker 94 wird dem Spannungsteiler 102 zugeführt, der durch den Widerstand 104 und den geerdeten Widerstand 106 gebildet wird, und danach nach dem nicht invertierenden Eingang des Differenzverstärkers 108 des Differenzverstärkers 54. Der Differenzverstärker 108 benutzt eine Versetzungsspannung, die in geeigneter Weise vorher mit einem Nullpotentiometer 112 eingestellt wurde (das durch die Schaltung 50 erregt ist), und diese eingestellte Versetzungsspannung ist außerdem in geeigneter Weise korrigiert und stabilisiert, wie dies von den Widerständen 111 und 113 und dem Kondensator 115 gefordert wird, und diese Spannung wird dem invertierenden Eingang des Differenzverstärkers 108 zugeführt. Der Ausgang des Differenzverstärkers 108 wird dann dem geerdeten Potentiometer 114 zugeführt, das vorher so eingestellt wurde, daß das gewünschte Signal geliefert wird, das dann in die zwei Schaltungen 56 und 58 geschickt wird, die zur Anzeige des Widerstandes dienen, der zwischen den Platten 12 gemessen wird. Die betreffende Spannung wird in üblicher Weise so ausgebildet und eingestellt, daß die Skalenabschnitte 38, 40 und 42 des Prüfgerätes beleuchtet sind, wenn der Anzeigearm 36 des Meßgerätes darüberliegt (die Skalenabschnitte 40 und 42 können gleichzeitig durch eine einzige Leuchtdiode beleuchtet werden, indem geeignete optische Techniken benutzt werden).
Die Schaltung 56 (Fig. 7) weist eine Spannungsfolgeschaltung 116 auf, die durch das durch den Widerstand 117 fließende Signal aktiviert wird, der in herkömmlicher Weise benutzt wird, um das Meßgerät 57 zu erregen, das in geeigneter Weise geerdet ist und den Anzeigearm 36 relativ zur Skala 37 eingestellt, um eine Ablesung für die Schaltung 56 in Ausdrücken von Megohm bei dem 2000-Megohm-Pegel zu liefern.
Eine zweite Ausleseschaltung, die durch das Signal aktiviert wird, ist die Schaltung 58, die ihrer Natur nach eine Komparatorschaltung ist, welche Leuchtdioden 134 und 136 schaltet, um eine Anzeige auf der Skala 37 zu liefern, die eine annehmbare oder nicht annehmbare Widerstandsbedingung für das betreffende zu untersuchende Schuhpaar liefert. Das Signal für die Schaltung 58 durchläuft zuerst einen Korrekturwiderstand 117 und wird danach durch die Operationsverstärker 119 und 121 nach dem Operationsverstärker 132 geschickt, wobei die Schaltung 58 so ausgebildet ist, daß das Vorhandensein einer Spannung zwischen den beiden Grenzwerten festgestellt wird, die vorher durch die Bedienungsperson des Instrumentes durch geeignete Einstellpotentiometer 120 und 122 und den Widerstand 123, Kondensator 125 und Widerstand 127 eingestellt wurde. Die Dioden 124, 126, 128 und 130 werden benutzt, um das resultierende Signal von dem falschen Pfad abzusperren. Der Operationsverstärker 132 wird als Komparator benutzt, der einen Spannungspegel innerhalb solcher Grenzen und in der Nähe der Nullspannung sucht, und nach Auffinden liefert der Operationsverstärker 132 eine Spannung, die die Leuchtdiode 134 anschaltet, die den Bereich 38 der Skala 37 beleuchtet. Ein Widerstand 140 befindet sich in der negativen Spannungszuführungsleitung, um zu gewährleisten, daß der Verstärker 132 ordnungsgemäß arbeitet. Wenn das Signal, welches von den Operationsverstärkern 119 und 121 bei einem speziellen Versuch geliefert wird, außerhalb dieser eingestellten Grenzen liegt, wird nur die Leuchtdiode 136 angeschaltet, um die Bereiche 40 und 42 der Skala 37 zu beleuchten. Die Widerstände 138 und 142 sind jeweils vorgesehen, um den Erdstrom zu vermindern oder auszulöschen, je nachdem, wie es der Benutzer wünscht.
Wie erwähnt, wird nur die Leuchtdiode 134 angeschaltet, wenn das Eingangssignal des Operationsverstärkers 132 innerhalb der erwähnten Grenzen der Vorrichtung liegt, während nur die Leuchtdiode 136 angeschaltet wird, wenn dieses Signal außerhalb der angegebenen Grenzen liegt.
Zum Zwecke der Ablesung kann die Skala 37 auf der Skalenplatte 34 natürlich andere unterschiedliche Farben tragen, um annehmbare und nicht annehmbare Pegel von Megohm zu liefern, und die Diode 136 kann in üblicher Weise so angeordnet sein, daß die beiden Bereiche 40 und 42 auf der Skala 37 beleuchtet werden.
Da die Vorrichtung 10 auf einen Widerstandspegel von etwa 2000 Megohm ausgelegt ist, ist es erforderlich, ein sehr empfindliches Instrument vorzusehen, welches einen geringen Eingangsstrom über den Platten 12 und bei einer Spannung aufweist, die sicher ist für alle Personen, die ESD-Schuhe tragen, welche zu prüfen sind. Daher ist es zweckmäßig, daß die Spannung über den Platten 12 im Bereich nahe Null liegt, wobei die Plusplatte etwa 12 V Gleichspannung aufweist, während der Strom im Bereich zwischen 1 nA und etwa 1000 nA liegt.
Die vorstehende Beschreibung und Zeichnung dienen nur der Veranschaulichung eines Ausführungsbeispiels, ist aber für die Erfindung nicht beschränkend. Es können Abwandlungen getroffen werden, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen.

Claims (4)

1. ESD-Schuh-Prüfgerät zur Benutzung bei der Widerstandsprüfung von ESD-Schuhen, die von einer Person in einer elektrostatische Ladungen ableitenden Umgebung getragen werden, wobei das Prüfgerät zwei metallische Schuhplatten aufweist, die jeweils eine obere polierte Schuhaufnahmeoberfläche definieren, auf der die Person, die die zu prüfenden ESD-Schuhe trägt, mit diesen Schuhen steht, wobei die zu prüfenden Schuhe gegen die jeweiligen Schuhplatten gedrückt werden und wobei die beiden Schuhplatten im wesentlichen parallel und seitlich zueinander in einem Abstand durch einen Träger gehalten werden, wobei elektrisch isolierende Füße von den Platten getragen werden, damit die Platten auf dem Boden zur Prüfung in einer solchen Umgebung und nebeneinander ruhen können, mit einem am Träger befestigten Gehäuse, mit einer elektronischen Schaltung, die im Gehäuse gelagert ist, um den Widerstand einer solchen Person und der zu prüfenden Schuhe zu messen, wobei das Gehäuse einen Skalenteil mit einer Codierungsskala trägt, die annehmbare und nicht annehmbare Schuhwiderstände liefert, und mit einem Zeigerarm, der mit der Skala zusammenwirkt und von der Schaltung betätigt wird, wenn er elektrisch erregt wird, wodurch einer der Skalenteile beim Prüfen der Schuhe den Widerstand anzeigt, und mit einem Netzstecker zur Erregung der Schaltung, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltung eine Verstärkeranordnung mit einem Operationsverstärker aufweist, wobei die Schuhplatten elektrisch im Abstand zueinander in die Rückkopplungsschleife des Operationsverstärkers geschaltet sind, daß Mittel vorgesehen sind, die das Ausgangssignal des Operationsverstärkers benutzen, wenn derartige ESD-Schuhe von einer Person getragen werden, die auf den Prüfplatten steht, um den Widerstand der ESD-Schuhe zu überprüfen, wobei der Zeigerarm auf eine der Anzeigestellen gebracht wird.
2. Prüfgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Operationsverstärker so eingestellt ist, daß er den ESD-Schuh-Widerstand bei einem Pegel mißt, der etwa 2000 Megohm beträgt.
3. Prüfgerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Spannung über den Platten im Bereich nahe Null V Gleichspannung bis etwa 12 V Gleichspannung liegt.
4. Prüfgerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Strom über den Platten in einem Bereich zwischen etwa 1 nA und etwa 1000 nA liegt.
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