DE4115700C2 - - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung geht aus von einer reflektiven Verzögerungsleitung in Oberflächenwellentechnik nach dem Oberbegriff der Patentansprüche 1, 3 und 5.

Eine derartige Verzögerungsleitung dient dazu, ein über den Eingangs/Ausgangs-Interdigitalwandler eingespeistes Hochfrequenzsignal zu speichern und zu bestimmten Zeiten einen vorgegebenen konstanten Teil der gespeicherten Energie an den Eingangs/ Ausgangs-Interdigitalwandler zu reflektieren. Dies hat beispielsweise den Zweck, das eingespeiste Hochfrequenzsignal zu Erkennungszwecken in einen Bit-Code zu überführen. Eine dem eingespeisten Hochfrequenzsignal entsprechende, durch den Eingangs/ Ausgangs-Interdigitalwandler erzeugte Oberflächenwelle wird an in unterschiedlichen Abständen - "Positionen" - vom Eingangs/Ausgangs-Interdigitalwandler befindlichen Reflektoren reflektiert und kommt nach der jeweils durch den Abstand des jeweiligen Reflektors vorgegebenen Laufzeit wieder am Eingangs/ Ausgangs-Interdigitalwandler an, wo sie in einen entsprechenden elektrischen Impuls rücküberführt wird.

Zur Realisierung eines Bit-Codes kann die Anordnung so getroffen sein, daß auf der Verzögerungsleitung gleichartige Strukturen vorgesehen sind, welche entweder reflektierend oder nichtreflektierend sind, so daß eine reflektierende Struktur einem ersten logischen Pegel und eine nichtreflektierende Struktur einem zweiten logischen Pegel entspricht.

Bei einer derartigen Verzögerungsleitung können Amplitudenstörungen auftreten, d. h., die Amplitude der von den einzelnen Reflektoren reflektierten und am Eingangs/Ausgangs-Interdigitalwandler ankommenden Oberflächenwellenanteile ist nicht konstant. Derartige Amplitudenstörungen können sich aus Laufzeitverlusten, Reflexionsverlusten an den reflektierenden (gesetzten) Reflektoren, Volumenwellenverlusten, Störungen durch Mehrfachreflexionen oder aus Welligkeiten verursachenden Sprüngen im Reflexionsgrad der Reflektoren ergeben.

Generell ist es möglich, die Signalamplitude durch sukzessive Verlängerung der Reflektoren konstant zu halten. Dabei wird mit zunehmender Entfernung vom Eingangs/Ausgangs-Interdigitalwandler wegen der zunehmenden Verluste die Anzahl der Elektrodenfinger oder bei einem Reflektor in Form eines reflektierenden Interdigitalwandlers die Anzahl der elektrisch aktiven Überlappungen um jeweils 1 erhöht, wenn ein bestimmtes Maß an Verlusten erreicht ist. Da der Reflexionsgrad in erster Näherung proportional zur Anzahl der Elektrodenfinger bzw. der Überlappungen ist, ergibt sich bei jeder Hinzunahme einer Elektrode oder Überlappung ein Sprung im Reflexionsgrad, der im allgemeinen die Zunahme der Verluste überwiegt. Dabei stellen sich jedoch auch unterschiedliche Ausgangsamplituden ein, woraus in dem durch die Reflektoren der Verzögerungsleitung festgelegten Bit-Code eine Welligkeit entsteht.

Aus der DE-OS 32 09 962 ist eine reflektive Verzögerungsleitung der gattungsgemäßen Art mit Normalfinger-Reflektoren bekannt, in denen der Abstand wenigstens eines Elektrodenfingers von seinen benachbarten Elektrodenfingern im Vergleich zum Abstand der übrigen Elektrodenfinger voneinander unterschiedlich gewählt ist. Weiterhin ist dabei auch bekannt, daß die Zentren benachbarter Elektrodenfinger bei Verzögerungsleitungs-Mittenfrequenz einen Abstand von einer halben akustischen Wellenlänge besitzen und daß wenigstens ein Elektrodenfinger einen sich von der halben akustischen Wellenlänge unterscheidenden Abstand von seinen benachbarten Elektrodenfingern besitzt.

Weiterhin sind aus der EP-02 59 628 Interdigitalwandler an sich bekannt, deren Elektrodenfinger alternierend mit Sammelschienen verbunden sind.

Schließlich sind aus "IEEE Trans. on Vehicular Technology", Volume 38, 1989, Nr. 1, Seiten 2 bis 8 Oberflächenwellenreflektoren in Form von reflektierenden Multistripkopplern mit parallelen Elektrodenfingern an sich bekannt, die in der Oberflächenwellentechnik angewendet werden.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Möglichkeit zur Vermeidung der genannten Welligkeit und damit zur Realisierung einer besseren Konstanz der Ausgangsamplitude der Verzögerungsleitung anzugeben.

Diese Aufgabe wird bei einer reflektiven Verzögerungsleitung der gattungsgemäßen Art für unterschiedliche Typen von Oberflächenwellen- Reflektoren erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale der Patentansprüche 1, 3 und 5 gelöst.

Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand entsprechender Unteransprüche.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von in den Figuren der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine Ausführungsform einer reflekti­ ven Verzögerungsleitung mit Oberflächenwellen-Reflekto­ ren in Form von Normalfinger-Reflektoren;

Fig. 2 eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen reflekti­ ven Verzögerungsleitung mit Oberflächenwellen-Reflekto­ ren in Form von reflektierenden Interdigitalwandlern;

Fig. 3 eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen reflekti­ ven Verzögerungsleitung mit Oberflächenwellen-Reflekto­ ren in Form von reflektierenden Interdigitalwandlern mit in Gruppen mit vorgegebenen Anzahlen je Gruppe zu­ sammengefaßten überlappenden Elektrodenfingern;

Fig. 4 eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen reflekti­ ven Verzögerungsleitung mit Oberflächenwellen-Reflekto­ ren in Form von reflektierenden Multistripkopplern und

Fig. 5 eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen reflekti­ ven Verzögerungsleitung mit in mehreren akustischen Spuren angeordneten Oberflächenwellen-Reflektoren.

Bei der in Fig. 1 schematisch dargestellten Ausführungsform einer reflektiven Verzögerungsleitung sind Oberflächenwellen-Reflektoren in Form von Normalfinger-Reflek­ toren vorgesehen. Dabei handelt es sich um einen Reflektor-Typ mit normalerweise parallelen Elektrodenfingern, für die Mate­ rialien gewählt werden können, die entweder bei Kurzschluß der Elektrodenfinger maximale Reflexion oder bei offenen (nicht kurzgeschlossenen) Elektrodenfingern maximale Reflexion ergeben.

Gemäß der schematischen Darstellung nach Fig. 1 ist für eine reflektive Verzögerungsleitung auf einem piezoelektrischen Substrat 1 ein Eingangs/Ausgangs-Interdigitalwandler 10 vorge­ sehen. Zur Realisierung einer Codierbarkeit der Verzögerungs­ leitung sind mehrere Reflektoren auf dem piezoelektrischen Substrat 1 vorgesehen, die zur Erzeugung eines bestimmten Codes in bestimmten Abständen vom Eingangs/Ausgangsinterdigitalwand­ ler 10 angeordnet sind. Allgemein handelt es sich dabei um eine Folge von Reflektoren 11-1 bis 11-N, von denen aus Über­ sichtlichkeitsgründen nur zwei Reflektoren 11-1 und 11-N dar­ gestellt sind. Die als Normalfinger-Reflektoren ausgebildeten Reflektoren enthalten Elektrodenfinger 12-1, 12-3, 12-4 bzw. N-1, N-2, N-3, N-4, N-n.

Es sind nun in den Reflektoren zur Realisierung einer konstanten Ausgangsamplitude, d. h., der Amplitude des am Eingangs/Ausgangs-Interdigitalwandler 10 abnehmbaren Aus­ gangssignals, das sich aus den reflektierten Oberflächenwellen ergibt, nicht nur unterschiedliche Anzahlen von Elektroden­ fingern, sondern für mindestens einen Elektrodenfinger auch ein unterschiedlicher Abstand von seinen benachbarten Elektro­ denfingern im Vergleich zum Abstand der übrigen Elektroden­ finger voneinander vorgesehen. Für den Normalfinger-Reflektor 11-1 unterscheidet sich wie dargestellt ein Abstand B des Elektrodenfingers 12-4 von seinem benachbarten Elektroden­ finger 12-3 von den Abständen A der übrigen Elektrodenfinger 12-1, 12-2, 12-3, wobei insbesondere der Abstand B größer als die Abstände A ist. Für den Normalfinger-Reflektor 11-N ist ein entsprechendes Beispiel dargestellt, wobei hier ein Ab­ stand C des Elektrodenfingers N-n von seinem benachbarten Elektrodenfinger N-4 kleiner als die Abstände A der Elektro­ denfinger N-1, N-2, N-3 gewählt ist. Auf diese Weise ist eine exaktere Einstellung der Reflexion durch Positionierung der zusätzlichen Elektrode möglich. Vorzugsweise sind die Abstän­ de A, die Geometrieperiode der Elektrodenfinger, gleich einer halben akustischen Wellenlänge, wobei sich die Abstände B bzw. C von der Geometrieperiode unterscheiden. Die Reflexion ist dabei nach Belieben einstellbar.

Fig. 2, in der gleiche Elemente wie in Fig. 1 mit gleichen Bezugszeichen versehen sind, zeigt eine Ausführungsform einer reflektiven Verzögerungsleitung mit Oberflächenwellen-Reflektoren in Form von reflektierenden Interdigi­ talwandlern. Aus Übersichtlichkeitsgründen ist dabei lediglich ein reflektierender Interdigitalwandler 20 dargestellt. Dieser reflektierende Interdigitalwandler 20 enthält sich überlappen­ de Elektrodenfinger 21-1, 22-1, 21-2, 22-2, 21-3, 22-3 sowie 21-4, 22-4, die alternierend mit Sammelschienen 21, 22 verbunden sind. Auch bei dieser Ausführungsform ist wiederum die Möglichkeit gegeben, die Reflexion über den Abstand eines sich überlappen­ den Elektrodenfingerpaares von seinen benachbarten Elektroden­ fingerpaaren einzustellen. Ist der Abstand D der Elektrodenfin­ gerpaare, bei der vorliegenden Ausführungsform der Elektroden­ fingerpaare 21-1, 22-1, 21-2, 22-2, 21-3, 22-3 gleich groß, so ergibt sich durch einen abweichenden Abstand des Elektroden­ fingerpaares 21-4, 22-4 von seinem benachbarten Elektrodenfin­ gerpaar 21-3, 22-3 die entsprechende Einstellung der Reflexion.

Es ist darauf hinzuweisen, daß das Elektrodenfingerpaar 21-4, 22-4 bezogen auf die Gesamtanzahl der Elektrodenfingerpaare gegenüber der Anzahl der Elektrodenfingerpaare in einem dem reflektierenden Interdigitalwandler 20 vorhergehenden Wandler als zusätzliches Elektrodenfingerpaar aufgefaßt werden kann, woraus sich gegenüber dem vorangehenden reflektierenden Inter­ digitalwandler bereits eine unterschiedliche Reflexion ergibt, die durch den Abstand E feiner einstellbar ist.

Eine weitere Möglichkeit der Ausbildung von Oberflächenwellen- Reflektoren für eine reflektive Verzögerungsleitung besteht darin, die alternierend mit Sammelschienen verbundenen Elektro­ denfinger in Gruppen mit vorgegebenen Anzahlen je Gruppe zu­ sammenzufassen. Eine derartige Ausbildung eines Interdigital­ wandlers ist beispielsweise in der EP-A 02 59 628 beschrieben. Ein derartiger Interdigitalwandler enthält also in seinem Grundtyp eine bestimmte Anzahl von Elektrodenfingergruppen mit jeweils einer vorgegebenen gleichen Anzahl von sich überlappen­ den Elektrodenfingerpaaren.

Fig. 3 zeigt in schematischer Darstellung eine Ausführungsform von reflektierenden Interdigitalwandlern als Oberflächenwellen- Reflektoren für eine reflektive Verzögerungsleitung mit zwei Wandlern 30 bzw. 40. Im Wandler 30 sind Elektrodenfinger 33 alternierend mit Sammelschienen 31 bzw. 32 verbunden und in Gruppen F von jeweils zwei Elektrodenfingerpaaren zusammen­ gefaßt. Entsprechend sind im Wandler 40 Elektrodenfinger 43 alternierend mit Sammelschienen 41 und 42 verbunden und in Gruppen G von jeweils fünf Elektrodenfingerpaaren zusammenge­ faßt. Um anzudeuten, daß in den jeweiligen Wandlern auch un­ terschiedliche Anzahlen von Elektrodenfingerpaar-Gruppen F bzw. G vorhanden sein können, ist in Fig. 3 schematisch je­ weils eine Unterbrechung in den Wandlern dargestellt. Die Beabstandung der Elektrodenfinger wird in Abhängigkeit von der Anzahl der Elektrodenfinger je Gruppe so gewählt, daß die Re­ flektormittenfrequenz dem Sollwert entspricht. Reflektivitäts­ unterschiede ergeben sich bei diesem Reflektortyp durch unter­ schiedliche Fingeranzahlen, unterschiedliche Anzahl der Elektro­ denfinger je Gruppe oder veränderte Abstände einer oder mehre­ rer Gruppen von den vorhergehenden Gruppen.

Bei einer weiteren Ausführungsform einer re­ flektiven Verzögerungsleitung werden als Oberflächenwellen- Reflektoren reflektierende Multistripkoppler verwendet. Gene­ rell umfaßt ein Multistripkoppler eine Anzahl von parallelen Elektrodenfingern, wobei die reflektierende Eigenschaft da­ durch realisiert werden kann, daß die Elektrodenfinger paar­ weise miteinander verbunden werden.

In derartigen reflektierenden Multistripkopplern kann eine Feineinstellung des Reflexionsgrades durch eine Kombination einer Abstandsänderung (Änderung der Elektro­ denperiode) von Elektrodenfingern und eine Änderung der Strei­ fenzahl erfolgen. Fig. 4 zeigt schematisch zwei Reflektoren 50 und 51 auf einem piezoelektrischen Substrat 1. Der reflek­ tierende Multistripkoppler 50 besitzt im vorliegenden Beispiel acht Elektrodenfinger 2 bis 9, die paarweise miteinander ver­ bunden sind. Dabei sind die Elektrodenfinger 2 und 3 mittels einer Verbindung 2-3, die Elektrodenfinger 4 und 5 mittels ei­ ner Verbindung 4-5, die Elektrodenfinger 6 und 7 mittels einer Verbindung 6-7 und die Elektrodenfinger 8 und 9 mittels einer Verbindung 8-9 paarweise miteinander verbunden. Durch diese Art der Verbindung der Elektrodenfinger 2 bis 9 ergibt sich eine reflektierende Multistripkoppler-Struktur. Der - für die Elektrodenfinger gleiche - Abstand ist in Fig. 4 als Abstand H der Übersichtlichkeit halber nur für die Elektrodenfinger 3 und 7 angegeben.

Im reflektierenden Multistripkoppler 51 sind zur Realisierung einer Feineinstellung des Reflexionsgrades zwei weitere Elek­ trodenfinger 81 und 91 mit einer Verbindung 8′-9′ vorgesehen. Weiterhin ist dabei ein Abstand I zwischen den weiteren Elek­ trodenfingern 8′ und 9′ zu ihrem jeweiligen benachbarten Elek­ trodenfinger 2 bzw. 3 gegenüber dem Abstand H der übrigen Elek­ trodenfinger geändert. Eine derartige Abstandsänderung muß nicht nur für die zusätzlichen Elektrodenfinger vorgesehen werden. Vielmehr können gegenüber dem reflektierenden Multi­ stripkoppler 50 auch andere und weitere Abstände der Elektro­ denfinger geändert werden.

Eine weitere Ausführungsform der Erfindung besteht darin, Ober­ flächenwellen-Reflektoren, insbesondere Reflektoren der vor­ stehend anhand der Fig. 1 bis 4 erläuterten Art in unter­ schiedlichen akustischen Spuren, ggf. mit unterschiedlichen Aperturen anzuordnen.

Eine Möglichkeit besteht darin, für jedes Bit eines Bit-Codes eine eigene akustische Spur mit einem Oberflächenwellen-Reflek­ tor anzuordnen, wobei die Spuren parallel zueinander verlaufen und direkt aneinander angrenzen. Der Eingangs/Ausgangs-Interdi­ gitalwandler muß dann eine Apertur besitzen, die sich aus der Summe der Aperturen der einzelnen Oberflächenwellen-Reflektoren sowie der Abstände zwischen den parallelen akustischen Spuren ergibt. Wird ein bidirektional abstrahlender Eingangs/Ausgangs- Interdigitalwandler verwendet, so können die akustischen Spuren auch auf die beiden Seiten dieses Wandlers aufgeteilt werden. Eine derartige Ausgestaltung ist in den Figuren der Zeichnung nicht eigens dargestellt. Vielmehr wird anhand der schemati­ schen Darstellung nach Fig. 5, in der die Elektrodenfinger in den Reflektoren der Einfachheit halber nur durch jeweils einen einzigen Strich dargestellt sind, eine generellere Mög­ lichkeit erläutert, bei der in mehreren akustischen Spuren unterschiedliche Anzahlen von Oberflächenwellen-Reflektoren mit unterschiedlichen Aperturen dargestellt sind. Fig. 5 zeigt eine Ausführungsform mit einem Eingangs/Ausgangs-Interdigital­ wandler 10 und vier akustischen Spuren, auf die Reflektoren R1 bis R10 mit unterschiedlichen Aperturen und unterschiedlichen Elektrodenfingerzahlen aufgeteilt sind. Die Reflektoren sind dabei lediglich schematisch dargestellt. Es kann sich dabei um Reflektoren der oben im einzelnen erläuterten Art handeln.

Die Auslegung einer derartigen reflektiven Verzögerungsleitung für einen vorgegebenen Bit-Code erfolgt dabei folgendermaßen: Für das zeitlich erste Bit, das durch den Reflektor R1 reprä­ sentiert ist, wird dieser Reflektor so entworfen, daß er nur einen Teil der gesamten durch den Eingangs/Ausgangs-Interdigi­ talwandler 10 vorgegebenen Apertur abdeckt. Der Reflektor R2 für das nächst Bit kann bis auf seine Apertur dem ersten Re­ flektor R1 gleichen. Die Apertur wird so gewählt, daß die er­ höhten Laufzeitverluste gerade ausgeglichen sind. Der zweite Reflektor R2 wird in einer zweiten akustischen Spur angeord­ net, so daß er sich in Ausbreitungsrichtung der akustischen Welle betrachtet nicht mit dem ersten Reflektor R1 überlappt. Die Anordnung setzt sich auf diese Weise fort, bis die gesamte Apertur abgedeckt ist, wie dies die Reflektoren R3 und R4 zei­ gen. Das Amplitudenprofil ist dann zeitlich und räumlich wie­ der konstant aber schwächer. Diese Dämpfung kann für die fol­ genden Reflektoren durch eine Erhöhung von deren Apertur oder durch Wahl eines Reflektortyps mit höherem Reflexionsgrad aus­ geglichen werden. Besonders günstig ist es dabei, wenn die Ge­ samtapertur in eine bestimmte Anzahl von akustischen Spuren unterteilt wird und die Apertur über alle Reflektorpositionen konstant bleibt. Größere Aperturen für nachfolgende Reflekto­ ren sind durch Kombination solcher Spuren erreichbar.

Unter der Voraussetzung konstanten Amplitudenprofils der ein­ treffenden Welle, was durch eine ausreichend große Apertur des Eingangs/Ausgangs-Interdigitalwandlers 10 erreicht werden kann, wird das Verhältnis der Apertur des Reflektors R2 zu der des Reflektors R1 gleich dem Verhältnis der Aperturen der Reflektoren R3 zu R2 und dem Verhältnis der Aperturen der Reflektoren R4 zu R3 gewählt. Die zunehmenden Laufzeitverluste werden bei geeigneter Wahl dieses Verhältnisses immer gerade ausgeglichen.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Anzahl der Spuren so gewählt ist, daß für den ersten auf die Reflektoren R1 bis R4 nachfolgenden Reflektor R5 die gleiche Struktur wie für die vorhergehenden Reflektoren verwendet werden kann und die er­ höhte Dämpfung gerade durch die Kombination der beiden schmal­ sten Spuren ausgeglichen wird. Damit die gesamte Apertur immer ganz abgedeckt werden kann, wird vorzugsweise eine gerade An­ zahl von akustischen Spuren gewählt.

Im vorliegenden Ausführungsbeispiel ist der Reflexionsgrad für den Reflektor R7 durch Hinzunahme eines weiteren Elektrodenfin­ gers erhöht. Die letzten Reflektoren R9 und R10 erstrecken sich über die gesamte Apertur und können daher mit relativ kleinen Reflexionsgraden dimensioniert werden.

Wesentliche Vorteile einer derartigen Realisierung gegenüber Realisierungen mit für allen Reflektoren gleicher Apertur er­ geben sich daraus, daß zur Minimierung der Bit-Welligkeit eine kleinere Anzahl an Reflektortypen erforderlich ist und daß bei Verwendung von Reflektoren der oben anhand der Fig. 1 bis 4 beschriebenen Art die Änderung der Reflektorlänge und damit der Bandbreite geringer ist.

Claims (7)

1. Reflektive Verzögerungsleitung in Oberflächenwellentechnik mit einem Eingangs/Ausgangs-Interdigitalwandler (10) und mehreren Oberflächenwellen-Reflektoren (20) in Form von reflektierenden Interdigitalwandlern, deren sich überlappende Elektrodenfinger (21-1, 22-1, 21-2, 22-2, . . .) mit einer jeweils vorgegebenen Anzahl alternierend mit Sammelschienen (21, 22) verbunden sind, und die reflektierenden Interdigitalwandler zur Realisierung unterschiedlicher Laufzahlen von Oberflächenwellen zwischen sich und dem Eingangs-/Ausgangs-Interdigitalwandler (10) in unterschiedlichen Abständen von diesem angeordnet sind und in denen der Abstand wenigstens eines Elektrodenfingers (21-4, 22-4) in den Oberflächenwellen- Reflektoren (20) von seinen benachbarten Elektrodenfingern (21-3, 22-3) im Vergleich zum Abstand der übrigen Elektrodenfinger voneinander unterschiedlich gewählt ist, dadurch gekennzeichnet, daß für mindestens ein sich überlappendes Elektrodenfingerpaar (21-4, 22-4) ein sich von dem Abstand (D) der übrigen Elektrodenfingerpaare (21-1, 22-1, 21-2, 22-2 . . .) unterscheidender Abstand (E) gewählt ist.

2. Verzögerungsleitung nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß in den Oberflächenwellen-Reflektoren (20) unterschiedliche Anzahlen von sich überlappenden Elektrodenfingern (21-1 bis 22-n) vorgesehen sind.

3. Reflektive Verzögerungsleitung in Oberflächenwellentechnik mit einem Eingangs/Ausgangs-Interdigitalwandler und mehreren Oberflächenwellen-Reflektoren (30, 40, . . .) in Form von reflektierenden Interdigitalwandlern, deren Elektrodenfinger (33, 43, . . .) alternierend mit Sammelschienen (31, 32, 41, 42, . . .) verbunden und in Gruppen mit vorgegebenen Anzahlen je Gruppe zusammengefaßt sind, dadurch gekennzeichnet, daß der Sollwert der Reflektormittenfrequenz durch den Abstand der Elektrodenfinger (33, 43, . . .) in Abhängigkeit von der Elektrodenfingerzahl je Gruppe eingestellt ist.

4. Verzögerungsleitung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl der Elektrodenfinger je Gruppe und/oder die Abstände mindestens zweier Gruppen unterschiedlich ist.

5. Reflektive Verzögerungsleitung in Oberflächenwellentechnik mit einem Eingangs/Ausgangs-Interdigitalwandler und mehreren Oberflächenwellen-Reflektoren (50, 51, . . .) in Form von reflektierenden Multistripkopplern mit parallelen Elektrodenfingern (2 bis 9, 2 bis 9′), dadurch gekennzeichnet, daß in den Oberflächenwellenreflektoren (50, 51, . . .) unterschiedliche Anzahlen von Elektrodenfingern (2 bis 9, 2 bis 9′) und ein unterschiedlicher Abstand wenigstens eines Elektrodenfingers (9′) von seinen benachbarten Elektrodenfingern (3) im Vergleich zum Abstand der übrigen Elektrodenfinger vorgesehen sind.

6. Verzögerungsleitung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vielzahl von Oberflächenwellenreflektoren (R1 bis R10) in unterschiedlichen akustischen Spuren angeordnet sind.

7. Verzögerungsleitung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die in unterschiedlichen akustischen Spuren angeordneten Oberflächenwellenreflektoren (R1 bis R10) unterschiedliche Apertur besitzen.