DE4006568A1 - Verfahren zur herstellung eines hochkoerzitiven magnetwerkstoffes auf basis se-fe-co-b - Google Patents

Verfahren zur herstellung eines hochkoerzitiven magnetwerkstoffes auf basis se-fe-co-b

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines hochkoerzitiven Magnetwerkstoffes mit einer kristallinen hartmagnetischen Phase auf Basis des Stoffsystems "SE(Sel­ tenes Erdmetall)-Fe(Eisen)-Co(Kobalt)-B(Bor)", bei welchem Ver­ fahren Teilchen eines erschmolzenen Vorproduktes einer Vorle­ gierung des Stoffsystems einem Mahlprozeß in einer Mahlvorrich­ tung während einer vorbestimmten Mahldauer und bei vorbestimm­ ten Temperaturverhältnissen und anschließend einer Wärmebe­ handlung unterzogen werden. Ein solches Verfahren ist der EP-A-02 35 521 zu entnehmen.
Ein bekanntes Dreistoffsystem mit hartmagnetischen Eigenschaf­ ten ist das Neodym(Nd)-Eisen(Fe)-Bor(B). Ein entsprechender Magnetwerkstoff mit hohem Energieprodukt, jedoch mit verhält­ nismäßig niedriger Curie-Temperatur weist im wesentlichen die kristalline tetragonale Phase Nd2Fe14B auf (vgl. z. B. "J. Appl. Phys.", Vol. 55, No. 6, Bd. 2, März 1984, Seiten 2083 bis 2087). Die Herstellung von Nd-Fe-B-Magnetwerkstoffen kann z. B. durch Sintern von Pulvern der Komponenten des entsprechenden Stoffsystems erfolgen (vgl. z. B. die EP-A-0 1 34 304). Ferner ist es auch möglich, entsprechende Magnetwerkstoffe mittels einer sogenannten Rascherstarrungstechnik herzustellen (vgl. z. B. EP-A-0 2 84 832). Gemäß dieser Technik werden die Ausgangs­ komponenten des Stoffsystems zunächst erschmolzen und dann durch rasches Erstarren der Legierungsschmelze in ein pulver­ förmiges Vorprodukt überführt.
Gemäß der eingangs genannten EP-A-02 35 521 wird ein solches pulverförmiges Vorprodukt, das kristalline Teilchen des Stoff­ systems Nd-Fe-B aufweist, anschließend in einer Pulvermühle einem an sich bekannten Mahlprozeß unterzogen. Dabei werden Temperaturverhältnisse und Mahldauern eingehalten, die stets gewährleisten, daß das Material sein kristallines Gefüge bei­ behält. Dementsprechend sind bei dem bekannten Verfahren z. B. eine Temperatur von 40°C und eine Mahldauer von 2 Stunden vor­ gesehen. Am Ende des Mahlprozesses liegen dann äußerst fein­ kristalline Teilchen der gewünschten hartmagnetischen Phase mit einer Teilchengröße unter 400 nm vor. Um die Koerzitivfeldstär­ ke dieses Materials noch weiter zu erhöhen, ist bei dem be­ kannten Verfahren vorgesehen, daß das gemahlene Material mit­ tels einer anschließenden Wärmebehandlung vergröbert wird.
Es hat sich jedoch gezeigt, daß derartige hergestellte drei­ komponentige Nd-Fe-B-Magnetwerkstoffe aufgrund ihrer niedrigen Curie-Temperatur Tc eine unerwünschte Temperaturabhängigkeit ihrer magnetischen Eigenschaften, insbesondere ihrer Koerzitiv­ feldstärke Hci, ihrer Remanenz Jr und ihres Energieproduktes (B·H)max zeigen. Diese unerwünschte Temperaturabhängigkeit kann im Gegensatz zu den mittels einer Sintertechnik herge­ stellten Magnetwerkstoffen bei den durch eine Rascherstarrungs­ technik erhaltenen Materialien durch Kobalt (Co)-Zusätze ent­ scheidend verbessert werden (vgl. z. B. "Appl. Phys. Lett.", Vol. 51, No. 9, 31. Aug. 1987, Seiten 697 bis 699). Mit derartigen Co-Zusätzen läßt sich nämlich die Curie-Temperatur Tc anheben, ohne daß eine gleichzeitige Abnahme der Koerzitivfeldstärke Hci zu beobachten wäre. Ein entsprechender Hinweis auf eine Erhö­ hung der Curie-Temperatur Tc durch eine partielle Substitution der Fe-Komponente des Magnetmaterials durch Co ist auch in der eingangs genannten EP-A-0 2 35 521 enthalten. Bisher wurde je­ doch davon ausgegangen, daß sich dieses vorteilhafte Verhalten nur für direkt in den kristallinen Zustand erstarrte Legierun­ gen ergibt. Es wurde nämlich beobachtet, daß eine nachträgliche Wärmebehandlung, wie sie etwa zur Herstellung kompakter Magnete durch Heißpressen oder durch eine Kristallisation amorpher Zwi­ schenprodukte erforderlich ist, trotz eines Co-Zusatzes zu der unerwünschten Reduzierung der Hci-Werte führt. Dies trifft ins­ besondere bei Nd- und Co-reichen Einwaagen zu (vgl. "Proc. 9th Int. Workshop on Rare-Earth Magnets and their Applications", Pt. I, Bad Soden (DE), Sept. 1987, Seiten 485 bis 493). Als Ursache hierfür werden Gefügeänderungen angesehen, die eine Ummagnetisierung durch Blochwand-Bewegungen erleichtern.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es nun, das Verfahren mit den eingangs genannten Merkmalen dahingehend auszugestal­ ten, daß bei ihm auch nachträgliche Wärmebehandlungen möglich sind, ohne daß es zu einer wesentlichen Reduzierung der Hci- Werte kommt.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das er­ schmolzene und zu den Teilchen zerkleinerte Vorprodukt minde­ stens 5 Stunden lang bei einer Mindesttemperatur von 100°C so­ lange gemahlen wird, bis sich ein Zwischenprodukt mit zumindest teilweise amorphem Gefüge gebildet hat, und daß mit der Wärme­ behandlung des Zwischenproduktes oberhalb der Kristallisations­ temperatur des amorphen Gefüges die hartmagnetische Phase des Magnetwerkstoffes ausgebildet wird.
Die Erfindung geht dabei von der Erkenntnis aus, daß sich auch über ein zumindest teilweise amorphes Zwischenprodukt, das aus anfänglich kristallinen Teilchen durch einen Mahlprozeß ge­ wonnen wird, ein hochkoerzitiver Magnetwerkstoff erhalten läßt. Der Mahlprozeß dient hier nicht zur Ausbildung einer Legierung aus den einzelnen Legierungskomponenten wie bei einem mechani­ schen Legieren, sondern zur Zerstörung bzw. zur Zerkleinerung (Pulverisierung) des kristallinen Gefüges der Vorlegierung des Vorproduktes und zur mindestens teilweisen Bildung einer amorphen Phase aus dem pulverisierten Vorprodukt. Dabei ist die Co-Komponente des Magnetwerkstoffes aus thermodynamischen Grün­ den erforderlich, weil sie die freie Enthalpiedifferenz der amorphen Phase gegenüber dem kristallinen Zustand verringert und damit eine Amorphisierung in diesem Prozeß überhaupt erst ermöglicht. Mit der sich daran anschließenden Wärmebehandlung kann dann auf jeden Fall vorteilhaft ein hochkoerzitiver Magnet­ werkstoff, dessen Koerzitivfeldstärke Hci mindestens 10 kOe beträgt, bei reduzierter Temperaturabhängigkeit seiner magneti­ schen Eigenschaften erhalten werden. Die Wärmebehandlung kann dabei insbesondere auch ein Heißpressen sein, wie es zu einer Herstellung kompakter magnetischer Körper eingesetzt wird.
Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens gehen aus den Unteransprüchen hervor.
Das Verfahren nach der Erfindung wird nachfolgend anhand zweier Ausführungsmöglichkeiten noch weiter erläutert, wobei auf die Diagramme der Zeichnung Bezug genommen wird. In Fig. 1 ist ein Röntgenbeugungsspektrum für ein bei einem ersten Verfahrensweg erzeugtes Zwischenprodukt wiedergegeben. Aus Fig. 2 ist die zugehörige Hysteresiskurve ersichtlich. Die Fig. 3 und 4 zeigen das Röntgenbeugungsspektrum bzw. die Hysteresiskurve für das nach dem ersten Verfahrensweg erhaltene hartmagnetische Material.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren ist ein hartmagnetischer Werkstoff auf Basis des Stoffsystems SE-Fe-Co-B herzustellen. Dabei sei SE mindestens ein Element aus der Gruppe der Sel­ tenen Erdmetalle, dessen Ordnungszahl im Periodensystem der Elemente zwischen 58 und 66 (jeweils einschließlich) liegt. Vorzugsweise ist die SE-Komponente Neodym (Nd) . Bei Fe, Co und B handelt es sich um die Elemente Eisen bzw. Kobalt bzw. Bor. Auf Basis dieses Stoffsystems soll die herzustellende Legie­ rung eine an sich bekannte, kristalline hartmagnetische Phase mit einer verhältnismäßig hohen Koerzitivfeldstärke Hci von mindestens 10 kOe aufweisen. Hierzu ist eine Zusammensetzung SEx(Fe,Co)yBz zu wählen, für deren Anteile (jeweils in Atom-%) gilt: 12x30; 60y85 und 3z20. Vorzugsweise sollten die Anteile x, y und z die folgenden Beziehungen ein­ zeln oder in Kombination erfüllen: 14x25; 65y80 und 5z15. Für die (Fe,Co)-Komponente sollte man vorteilhaft eine Zusammensetzung Fe1-vCov mit 0,05v0,5 wählen. Ge­ gebenenfalls kann noch ein zusätzlicher Rest der Zusammen­ setzung auf minimale Verunreinigungen mit jeweils unter 0,1 Atom-% pro Verunreinigungselement entfallen.
Die erfindungsgemäße Herstellung eines feinkristallinen Magnet­ werkstoffes innerhalb des so festgelegten Vierstoffsystems er­ folgt durch eine Wärmebehandlung eines definiert eingestellten metastabilen Gefüges eines Zwischenproduktes. Dabei kann gemäß einem ersten Verfahrensweg dieses Zwischenprodukt aus einer Mischung aus einem FeCo-Mischkristall und einer amorphen Phase bestehen. Für einen zweiten Verfahrensweg ist vorgesehen, daß das Zwischenprodukt zumindest weitgehend amorph ist. Diese beiden Verfahrenswege sind nachfolgend noch weiter erläutert.
1. Verfahrensweg
Für das Ausführungsbeispiel sei innerhalb des genannten Vierstoffsystems von der Herstellung einer Legierung mit einer hartmagnetischen Nd2(Fe,Co)14B-Phase ausgegangen. Dementsprechend wird ein Vorprodukt dieses Magnetwerkstof­ fes mit einer von dieser Phase abhängigen Zusammensetzung, z. B. Nd15(Fe0,7Co0,3)77B8, erstellt. Entsprechend dieser Zusammensetzung werden die vier Stoffkomponenten Nd, Fe, Co und B mit hinreichender Reinheit im gewünschten Verhältnis unter einer Ti-gereinigten Argonatmosphäre zu einer Vorle­ gierung induktiv erschmolzen. Hierbei können pyrolythische BN- oder Al2O3-Tiegel verwendet werden. Auch ein Erschmel­ zen in einem Lichtbogenofen ist möglich. Die abgekühlte Schmelze des Vorproduktes wird anschließend zu Teilchen mit allgemein geläufigen Teilchengrößen von beispielsweise maximal 1 mm Durchmesser zerkleinert. Diese Teilchen wer­ den dann zusammen mit gehärteten Stahlkugeln in eine Mahl­ vorrichtung (Pulvermühle) gegeben. Beispielsweise kann das Volumen der Mahlvorrichtung bzw. ihres Mahlbechers 400 cm3, die Zahl der Stahlkugeln 100 und das Volumenverhältnis Ku­ gelmenge zu Teilchenmenge etwa 10 sein. Die Teilchen werden dann einem Mahlprozeß unterzogen, wie er von Verfahren des mechanischen Legierens her prinzipiell bekannt ist. Die Dauer des Mahlprozesses soll dabei so gewählt sein, daß bei der ausgewählten Legierung ein zweiphasiges Gefüge, beste­ hend aus einem eisenreichen FeCo-Mischkristall und einer amorphen Phase, entsteht. Die tatsächlich zu wählende Mahl­ dauer hängt dabei von den Mahlparametern ab. Wichtige Para­ meter sind der Kugeldurchmesser, die Kugelanzahl sowie die verwendeten Materialien der Mahlvorrichtung. Auch die Mahl­ geschwindigkeit und das Verhältnis der Stahlkugeln zu der Teilchenmenge des Vorproduktes sind weitere Parameter, welche die notwendige Mahldauer bestimmen. Um jedoch mit dem Mahlprozeß ein Zwischenprodukt mit einem zumindest teil­ weise amorphen Gefüge zu bilden, darf die Mahldauer nicht unter 5 Stunden liegen und kann beispielsweise 12 bis 140 Stunden betragen. Für das erfindungsgemäße Verfahren ist außerdem von Bedeutung, daß es bei dem Mahlprozeß zu einer deutlichen Erwärmung des Pulvers kommt. Es sollten für die zunächst angestrebte Ausbildung des Zwischenproduktes Tempe­ raturen von mindestens 50° vorhanden sein. Entsprechende, an der Oberfläche des Mahlbechers zu messende Temperaturen können beispielsweise aufgrund von Stoßprozessen der Mahl­ kugeln mittels hinreichender Mahlintensität hervorgerufen werden. Die genannten Temperaturverhältnisse können aber auch durch eine externe Heizvorrichtung unterstützt bzw. gewährleistet werden. So kann z. B. die Mahlvorrichtung auf etwa 30°C vorgeheizt werden. Die erforderlichen höheren Temperaturen am Mahlgut werden dann aufgrund der Stoßpro­ zesse der Mahlkugeln erreicht.
Während des Mahlprozesses bilden sich zunächst Pulverparti­ kel eines Mischpulvers aus dem Vorprodukt aus. Mit fort­ schreitendem Mahlprozeß werden dann aufgrund der erfin­ dungsgemäßen Temperaturverhältnisse diese Pulverpartikel des Mischpulvers in das pulverförmige Zwischenprodukt aus FeCo-Mischkristallen und einer amorphen Phase überführt. Die hier erforderliche Mahldauer läßt sich ohne weiteres durch Untersuchung der Pulverpartikel des Zwischenproduktes ermitteln. Dies kann insbesondere mit Hilfe von Röntgen­ beugungsspektren geschehen.
Aus dem Diagramm der Fig. 1 geht ein entsprechendes Röntgenbeugungsspektrum hervor, mit dem sich das gewünsch­ te metastabile Gefüge eines Zwischenproduktes identifi­ zieren läßt. Das gezeigte Röntgenbeugungsspektrum ist dabei im Rahmen des gewählten Ausführungsbeispieles am Ende eines 20stündigen Mahlprozesses zu erhalten. In dem Diagramm der Figur ist auf der Abszisse der Beugungswinkel 2·Theta (R in Grad) eingetragen, während in Richtung der Ordinate die zu­ gehörige Intensität I (in willkürlichen Einheiten der Zähl­ rate pro Sekunde) aufgetragen ist. Die den FeCo-Mischkri­ stallen zuzuordnenden Peaks sind dabei durch Pfeile mar­ kiert.
Die entsprechende Hysteresiskurve dieses Zwischenproduktes ist in dem Diagramm der Fig. 2 wiedergegeben. In diesem Diagramm sind in Richtung der Abszisse die Feldstärke H (in kOe) und in Ordinatenrichtung der Magnetisierung J (in Tesla) aufgetragen. Gemäß dem gezeigten Kurvenverlauf zeigt das Zwischenprodukt weichmagnetisches Verhalten mit einer sehr kleinen Koerzitivfeldstärke Hci von weniger 0,1 kOe.
Gemäß der Erfindung soll das so gemahlene Pulver des Zwi­ schenproduktes anschließend einer Wärmebehandlung unterzo­ gen werden, um die gewünschte hartmagnetische Nd2(Fe,Co)14B-Phase zu bilden. Hierzu müssen selbstver­ ständlich Temperaturverhältnisse eingestellt werden, die eine Kristallisation des amorphen Anteils des Zwischenpro­ duktes gewährleisten. Deshalb müssen Temperaturen oberhalb der Kristallisationstemperatur des amorphen Anteils, insbe­ sondere über 350°C vorgesehen werden. Vorteilhaft liegen die Temperaturen für die Wärmebehandlung zwischen 400 und 900°C, vorzugsweise unter 800°C. Die Zeiten für die Wärme­ behandlung sind an sich weitgehend beliebig und können zwi­ schen wenigen Sekunden und mehreren Stunden liegen. Für die Wärmebehandlung sind die Temperaturverhältnisse und die Zeiten so gewählt, daß ein definiertes feinkristallines Ausscheidungsgefüge der hartmagnetischen Phase des Magnet­ werkstoffes erhalten wird. Die so hergestellten Pulver des Magnetwerkstoffes können dann in bekannter Weise weiterver­ arbeitet werden.
Der Einfluß des Wärmebehandlungsschrittes auf das Zwischen­ produkt ist aus den Diagrammen der Fig. 3 und 4 zu er­ sehen. In diesen Diagrammen sind für den im Rahmen des Aus­ führungsbeispieles erfindungsgemäß hergestellten Magnet­ werkstoff das Röntgenbeugungsspektrum und die Hysteresis­ kurve in Fig. 1 bzw. Fig. 2 entsprechender Darstellung wiedergegeben. Dabei ist eine Wärmebehandlung bei 730°C während 1 min zugrundegelegt. Das Röntgenbeugungsspektrum nach Fig. 3 zeigt die für die hartmagnetische Nd2(Fe,Co)-Phase charakteristische Linien. Wie aus dem Diagramm der Fig. 4 zu entnehmen ist, wird nach dem Wärmebehandlungs­ schritt eine Koerzitivfeldstärke Hci von etwa 10 kOe erhalten.
2. Verfahrensweg
Abweichend von dem vorstehend geschilderten Verfahrensweg kann das erfindungsgemäße Verfahren auch so durchgeführt werden, daß in dem Zwischenprodukt ein zumindest weitgehend reines amorphes Gefüge erzeugt wird. Hierzu ist zum einen eine vergleichsweise höhere Konzentration des Vorproduktes an der SE-Komponente gegenüber der Summe der übrigen Kompo­ nenten erforderlich. Ein entsprechendes Ausführungsbeispiel ist ein Vorprodukt der Zusammensetzung Nd25(Fe0,7Co0,3)65B10. Zum anderen sind auch die Mahlpara­ meter zu ändern, insbesondere längere Mahldauern vorzuse­ hen. So muß z. B. das als Ausführungsbeispiel gewählte Ma­ terial des Vorproduktes mindestens 10 Stunden lang, bei­ spielsweise 50 Stunden lang bei einer Temperatur von 50°C gemahlen werden, um zu gewährleisten, daß das zunächst kristalline Vorprodukt vollständig in ein amorphes Zwi­ schenprodukt überführt wird. Bei diesem Verfahrensweg ist der Co-Zusatz unabdingbar, da er eine Amorphisierung des Vorproduktes überhaupt erst ermöglicht. Für das nach diesem Verfahrensweg hergestellte magnetische Material ergeben sich den Fig. 3 und 4 entsprechende Kurvenverläufe.
Die gemäß den beiden Verfahrenswegen erfindungsgemäß herge­ stellten hochkoerzitiven Magnetwerkstoffe liegen nach dem ab­ schließenden Wärmebehandlungsschritt im allgemeinen noch in Pulverform vor und können dann in bekannter Weise z. B. zu einem Permanentmagneten weiterverarbeitet werden. Daneben ist es aber auch möglich, bereits den Wärmebehandlungsschritt zur Ausbil­ dung der hartmagnetischen Phase mit einem weiteren Verfahrens­ schritt zu kombinieren. So kann man den Wärmebehandlungsschritt insbesondere in einem Magnetfeld durchführen, um so ein magne­ tisch anisotropes Pulver hoher Koerzitivfeldstärke herzustellen (vgl. z. B. die genannte EP-A-02 84 832). Ferner kann das Pulver des Zwischenproduktes während des Wärmebehandlungsschrittes auch durch bekannte mechanische Kompaktierungs- bzw. Preßver­ fahren zu einem dichten Körper zusammengefügt werden.

Claims (12)

1. Verfahren zur Herstellung eines hochkoerzitiven Magnetwerk­ stoffes mit einer kristallinen hartmagnetischen Phase auf Basis des Stoffsystems "SE(Seltenes Erdmetall)-Fe(Eisen)-Co-Kobalt-B (Bor)", bei welchem Verfahren Teile eines erschmolzenen Vor­ produktes aus einer Vorlegierung des Stoffsystems einem Mahl­ prozeß in einer Mahlvorrichtung während einer vorbestimmten Mahldauer und bei vorbestimmten Temperaturverhältnissen und an­ schließend eine Wärmebehandlung unterzogen wird, da­ durch gekennzeichnet, daß das erschmol­ zene und zu den Teilchen zerkleinerte Vorprodukt mindestens 5 Stunden lang bei einer Mindesttemperatur von 50°C so lang gemahlen wird, bis sich ein Zwischenprodukt mit zumindest teil­ weise amorphem Gefüge gebildet hat, und daß mit der Wärmebe­ handlung des Zwischenproduktes oberhalb der Kristallisations­ temperatur des amorphen Gefüges die hartmagnetische Phase des Magnetwerkstoffes ausgebildet wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die erhöhten Temperaturverhältnisse während des Mahlprozesses durch Stoßprozesse der Mahlkugeln der Mahlvorrichtung hervorgerufen werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die erhöhten Temperaturverhältnisse während des Mahlprozesses sowohl durch Stoßprozesse der Mahl­ kugeln der Mahlvorrichtung als auch durch eine externe Heiz­ vorrichtung hervorgerufen werden.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Wärmebehandlung bei einer Temperatur zwischen 350°C und 900°C, vorzugsweise zwi­ schen 400°C und 800°C durchgeführt wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem Mahlprozeß ein me­ tastabiles Gefüges des Zwischenproduktes aus einer Mischung aus einem FeCo-Mischkristall und einer amorphen Phase ausgebildet wird.
6. Verfahen nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem Mahlprozeß ein me­ tastabiles, zumindest weitgehend amorphes Gefüge des Zwischen­ produktes ausgebildet wird.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß während der Wärmebehandlung ein Magnetfeld angelegt wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß während der Wärmebehandlung ein Kompaktierungsschritt vorgenommen wird.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Anteil der SE-Kompo­ nente in dem herzustellenden Magnetwerkstoff von mindestens 12 Atom-%, vorzugsweise von mindestens 14 Atom-%, und von maxi­ mal 30 Atom-%, vorzugsweise von maximal 25 Atom-% vorgesehen wird.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß ein Anteil der (Fe, Co)-Dop­ pelkomponente in dem herzustellenden Magnetwerkstoff zwischen 60 und 85 Atom-%, vorzugsweise zwischen 65 und 80 Atom-% vorge­ sehen wird.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekenn­ zeichnet, daß für die (Fe, Co)-Doppelkomponente eine Zusammensetzung Fe1-vCov mit 0,05v0,5 vorgesehen wird.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet daß für die B-Komponente in dem herzustellenden Magnetwerkstoff ein Anteil zwischen 3 und 20 Atom-%, vorzugsweise zwischen 5 und 15 Atom-% vorgesehen wird.
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