DE3900252C1 - - Google Patents

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DE3900252C1
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DE
Germany
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DE3900252A
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German (de)
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Joachim Dr. 1000 Berlin De Janes
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00—Ion beam tubes
    • H01J27/02—Ion sources; Ion guns
    • H01J27/08—Ion sources; Ion guns using arc discharge
    • H01J27/10—Duoplasmatrons ; Duopigatrons

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)
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EP0377445B1 (de) 1994-05-11
EP0377445A2 (de) 1990-07-11
EP0377445A3 (de) 1991-07-03
DE59005653D1 (de) 1994-06-16

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