DE3889171T2

DE3889171T2 - Bildwiedergabegerät.

Info

Publication number: DE3889171T2
Application number: DE3889171T
Authority: DE
Inventors: William E Glenn
Original assignee: New York Institute of Technology
Current assignee: New York Institute of Technology
Priority date: 1987-09-04
Filing date: 1988-09-01
Publication date: 1994-09-01
Anticipated expiration: 2008-09-02
Also published as: EP0306308A3; JPH01135187A; CA1315027C; US4879602A; EP0306308B1; DE3889171D1; EP0306308A2

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Bildwiedergabesysteme und, spezieller, auf Verbesserungen in einer Bildwiedergabetechnik, die eine deformierbare reflektierende Oberfläche mit von einem gespeicherten Ladungsmuster abhängigen Deformationen und ein optisches Subsystem benutzt, um die Deformationen in ein sichtbares Bild umzusetzen.
Es sind bereits Verfahren zur Wiedergabe von Videoinformation beschrieben worden, bei denen ein Ladungsmuster, das ein Videovollbild darstellt, in einem Vollbildspeicher gespeichert und dazu verwendet wird, eine Eigenschaft eines Materials zu verändern. Die veränderte Eigenschaft des Materials wird dann zur Erstellung eines sichtbaren Bildes verwendet. Im US-Patent US-A-3 882 271 beispielsweise ist ein als Festkörper- Lichtmodulator bezeichnetes System beschrieben, bei dem ein Ladungsmuster auf einer speziellen Matrixanordnung aus Halbleiterbauelementen verwendet wird, um Deformationen einer leitenden reflektierenden Schicht zu erhalten, die über der Matrix liegt und ihr gegenüber durch ein elastomeres Material wie etwa Silikon-Gel im Abstand gehalten wird. Ein optisches Subsystem wie z. B. eine Schlieren-Optik kann dann verwendet werden, um das in der reflektierenden Schicht vorhandene Muster an Deformationen ("Kräuselungen") in ein sichtbares Bild umzusetzen. Der Festkörper-Lichtmodulator ist außerdem in den US-Patenten US-A-4 529 620, US-A-4 626 920, US-A-4 639 788 und US-A-4 641 193 beschrieben.
In den US-Patenten US-A-4 639 788 und US-A-4 641 193 ist ein Festkörper-Lichtmodulator offenbart, der eine Matrix aus Spalten und Reihen von Bauelementen in einem Halbleitersubstrat enthält. Die Bauelemente bestehen aus Feldeffekttransistoren, die beabstandete dotierte Zonen und eine Gateelektrode über einer Isolierschicht haben, die den Bereich zwischen den dotierten Zonen bedeckt. Eine leitende sogenannte Auslenkelektrode ist mit einer der dotierten Zonen gekoppelt und hat einen oberen flachen Bereich, der sich über das ihr zugeordnete Bauelement erstreckt und von diesem durch ein Isoliermaterial beabstandet ist. Die Auslenkelektroden werden durch das Elastomer, wie oben erwähnt, im Abstand von der leitenden reflektierenden Schicht gehalten. Die gewünschten Deformationen der leitenden reflektierenden Schicht werden durch die an die Auslenkelektroden gelegten Signale verursacht. Diese Signale werden an die zugeordneten Feldeffektbauelemente gelegt, und die Bauelemente werden durch ein Adressiersystem zu den jeweils passenden Zeiten eingeschaltet.
Bei dem beschriebenen System, wie es in den oben genannten Patenten geschildert ist, hängt die elektrostatische Kraft zwischen jeder Auslenkelektrode und dem darüberliegenden Teil der leitenden/reflektierenden Schicht von der Spannungsdifferenz zwischen der jeweiligen Auslenkelektrode und der leitenden/reflektierenden Schicht ab. Diese Kraft führt zur Deformation der leitenden/reflektierenden Schicht, die ihrerseits letztlich durch das optische System in ein Element eines Bildes umgesetzt wird. Es ist somit begreiflich, daß die Anzahl der Auslenkelektroden in der Matrix den Gitterlinienabstand des Lichtmodulators und damit das Auflösungsvermögen des Systems bestimmt.
Eine Methode zum Erhöhen der Anzahl der Auslenkelektroden wäre es, die Anzahl der Elemente in der Matrix zu vergrößern, jedoch würde dies begreiflicherweise die Kosten und die Schwierigkeit der Herstellung vergrößern. Zusätzlich zu den augenscheinlich höheren Kosten einer Vermehrung der Transistoren und des zugehörigen Adressierschaltungsaufwandes wird es, falls die Packungsdichte der Bauelemente erhöht wird, gleichzeitig auch größere Schwierigkeiten beim Konstruieren und Herstellen der Matrix geben.
Zu den Aufgaben der vorliegenden Erfindung gehört die Schaffung einer Vorrichtung des beschriebenen allgemeinen Typs, die ein verbessertes Auflösungsvermögen hat, jedoch keine stark vergrößerte Anzahl an Schaltelementen in ihrer Matrix oder eine ungebührliche Komplizierung des Adressiersysems erfordert.
Einer der Gesichtspunkte für die Herstellung eines Festkörper- Lichtmodulators des beschriebenen Typs ist das Eindringen von Licht aus dem Abbildungssystem auf die Halbleiterbauelemente der Matrix. Das von der leitenden/reflektierenden Schicht des Festkörper-Lichtmodulators zu reflektierende Licht ist sehr hell. Die leitende/reflektierende Schicht kann nicht zu dick gemacht werden, weil sie deformierbar sein muß. Etwas von dem intensiven Licht, das auf die leitende/reflektierende Schicht fällt, wird nicht reflektiert und dringt durch die leitende/reflektierende Schicht und die elastomere Schicht. Licht, das bestimmte Bereiche des Halbleiterbauelementes trifft, kann ein ungewolltes Schalten und/oder Erzeugen von Signalen verursachen, wodurch das herzustellende Bild verschlechtert oder verdorben werden kann. Gemäß den oben erwähnen US-Patenten Nr. 4 639 788 und 4 641 193 bedecken die Auslenkelektroden im wesentlichen die ihr zugeordneten Halbleiterbauelemente und sorgen für einen gewissen Schutz gegen den Lichteinfall. Außerdem ist ein Muster von Isolierelektroden im dort gezeigten Fall zwischen den Auslenkelektroden angeordnet.
Zu den weiteren Aufgaben der vorliegenden Erfindung gehört es, die Unempfänglichkeit der Halbleiterbauelemente des Festkörper-Lichtmodulators gegenüber Lichteinfall aus seinem optischen System zu verbessern.
Gemäß der vorliegenden Erfindung enthält die Bildwiedergabeeinrichtung zur Erzeugung von Bildern, die durch eingangsseitige Videosignale dargestellt werden, eine Matrix aus Halbleiterbauelementen jeweils mit Elektroden, denen Ladung entsprechend den Eingangs-Videosignalen angelegt wird, eine über diesen Elektroden liegende Schicht deformierbaren Materials, eine über dieser deformierbaren Schicht liegende leitende/reflektierende Schicht und eine optische Einrichtung zum Umsetzen von Deformationen der leitenden/reflektierenden Schicht in ein Bild und ist dadurch gekennzeichnet, daß jede Elektrode der Matrix mehrere beabstandete leitende Bereiche hat, deren Oberflächen in einer gemeinsamen Ebene liegen, wobei die mehreren leitenden Bereiche einer jeden Elektrode durch mindestens einen Leiter zusammengeschlossen sind, der in der besagten Ebene höchstenfalls eine relativ kleine Fläche im Vergleich zu den erwähnten leitenden Bereichen (300A, 300B) hat;
daß Referenzleiterbereiche vorgesehen sind, die Oberflächen in der besagten Ebene zwischen den Oberflächen der genannten Elektroden und getrennt davon haben, wobei mindestens einige dieser Referenzleiterbereiche elektrisch zusammengeschlossen sind, und
daß Einrichtungen vorgesehen sind zum Anlegen der Eingangs-Videosignale an die besagten Elektroden der Matrix und zum Anlegen mindestens eines Referenzpotentials an die Referenzleiterbereiche.
Eine leitende/reflektierende (d. h. leitende und reflektierende) Schicht ist über der deformierbaren Schicht angeordnet. Es ist eine optische Einrichtung wie z. B. eine Schlieren-Optik vorgesehen, um Deformationen der leitenden/reflektierenden Schicht in ein Bild umzusetzen.
Wie weiter unten noch beschrieben wird, führt gemäß einem geschilderten Merkmal der Erfindung die verbesserte Elektroden- und Refrenzleiter-Konfiguration zu einem feineren Gitterlinienabstand ohne Vergrößerung der Anzahl von Bauelementen in der Matrix.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung haben Elektroden der Matrix mindestens drei elektrisch angeschlossene Finger, derart, daß mindestens einer der Finger verschachtelt mit Fingern einer Elektrode liegt, die sich eine Reihe weiter oben in der Matrix befindet, und daß mindestens ein anderer der Finger verschachtelt mit Fingern liegt, die sich eine Reihe weiter unten in der Matrix befinden. Diese Elektrodenkonfiguration erlaubt das Anlegen von Eingangs-Videosignalen und des Referenzpotentials in einer Weise, die das Problem unerwünschten "Gedächtnisses" in der Modulatorstruktur (d. h. ein fortbestehendes Muster in der leitenden/reflektierenden Schicht, das zu Artefakten im wiedergegebenen Bild führen kann) verhindert und dennoch die Auflösung des wiedergegebenen Bildes bewahrt.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung gehen deutlicher aus der nachfolgenden ausführlichen Beschreibung in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen hervor.
Fig. 1 ist eine vereinfachte Schemazeichnung eines Typs einer Vorrichtung nach dem Stand der Technik zum Wiedergeben von Bildern, worin die erfindungsgemäßen Verbesserungen realisiert werden können.
Fig. 2 ist ein teilweise als Schaltbild gezeichnetes Blockdiagramm eines Teils einer Vorrichtung nach dem Stand der Technik.
Fig. 3 zeigt weitere Einzelheiten der Halbleiterbauelemente der Vorrichtung nach dem Stand der Technik
Fig. 4 zeigt eine Querschnittsansicht der bekannten Halbleiterbauelemente nach dem Stand der Technik gemäß Fig. 3, entsprechend dem durch die Pfeile 4-4 in Fig. 3 definierten Schnitt.
Fig. 5 ist ein teilweise als Schaltplan gezeichnetes Blockschaltbild eines Teils einer weiteren bekannten Vorrichtung nach dem Stand der Technik
Fig. 6 ist eine Draufsicht auf ein Elektrodenmuster und Referenzleiter gemäß einer Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 7 zeigt eine Variante der Ausführungsform nach Fig. 6 mit einer anderen Anordnung der Referenzleiter.
Fig. 8 zeigt eine Querschnittsansicht der Bauelemente einer Matrix gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 9 und 10 zeigen Draufsichten auf zwei Anordnungen von Elektroden und Referenzleiterbereichen der Ausführungsform nach Fig. 8.
Fig. 11 zeigt eine Querschnittsansicht der Bauelemente einer Matrix gemäß einer wiederum anderen Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 12 und 13 zeigen Draufsichten auf zwei Anordnungen der Referenzleiterbereiche der Ausführungsform nach Fig. 11.
Fig. 14, 14A, 15 und 16 zeigen Elektrodenkonfigurationen entsprechend weiteren Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung.
Die Fig. 1 ist eine vereinfachte Schemazeichnung des Typs einer Vorrichtung 10, an dem die erfindungsgemäßen Verbesserungen realisiert werden. In einer Oberfläche 12 eines Halbleitersubstrats 11 ist eine Matrixanordnung aus Bauelementen gebildet, die als gesteuerte Halbleiter-Speichereinheiten dienen. Eine Schicht deformierbaren Materials 13 (das z. B. ein Elastomer wie etwa Silikon-Gel sein kann) bedeckt die Oberfläche 12, und über der deformierbaren Schicht 13 befindet sich eine reflektierende Schicht 14 aus leitendem Material. Die Matrix der Halbleiterbauelemente mit einer zugeordneten Schaltungsanordnung 80, die weiter unten näher beschrieben wird, empfängt unter Probenentnahme ein Videosignal, und die Abfrageproben werden dann als Ladungsmuster auf der Oberfläche 12 des Halbleiters 11 gespeichert. Das zum Ladungsmuster gehörende elektrische Feld resultiert in einer Kraft gegenüber der Schicht 14, die das deformierbare Material 13 und die Schicht 14 verformt, so daß in der reflektierenden Schicht 14 Information in Form von Vertiefungen oder Kräuselungen enthalten ist, die ähnlich einem Phasenbeugungsgitter sind. Diese Information wird dann auf einem Schirm 15 wiedergegeben, z. B. unter Verwendung eines optischen Systems vom Schlierentyp.
Das in Fig. 1 gezeigte optische System kann allgemein von dem Typ sein, wie er in den US-Patenten Nr. 3 084 590, 3 882 271 und 4 641 193 beschrieben ist. In diesem System bilden Lichtbogenelektroden 20 eine Quelle intensiven Lichts, das durch einen gekrümmten Spiegel 21 über ein Maskensystem gelenkt wird, welches eine Vielzahl reflektierender Balken 23 enthält, die durch transparente Bereiche oder Schlitze 24 voneinander getrennt sind. Das Maskensystem 22 ist so positioniert, daß das von den Balken 23 reflektierte Licht zu einer Linse 25 übertragen wird, wo es in parallele Strahlen gebündelt wird. Diese Strahlen fallen auf die deformierte reflektierende Oberfläche 14 und werden zurück durch die Linse 25 hindurch zum Maskensystem reflektiert. Wenn zu einem gegebenen Zeitpunkt auf der Oberfläche 14 keine Vertiefungen vorhanden sind, um die Lichtstrahlen wegzulenken, werden die von jedem Balken 23 effektiv ausgehenden Lichtstrahlen durch die Linse 25 auf einen Balken fokussiert, und auf den Schirm 15 trifft kein Licht. Sind jedoch Vertiefungen in der Oberfläche 14 vorhanden, wirken sie als Beugungsgitter, und ein Teil des Lichts wird gebeugt und dringt am Ende durch die Schlitze 24. Der durch einen bestimmten Schlitz hindurch übertragene Lichtstrahlenanteil hängt von der Amplitude des winzigen Beugungsgitters ab, von dem der Strahl gebeugt wurde. Somit produziert ein geeignetes Muster von Beugungsgittern, das aus einem gewählten Ladungsmuster resultiert, ein gewünschtes Bild auf dem Schirm 15. Das Ladungsmuster wird von der noch zu beschreibenden Matrix der Halbleiterbauelemente im Halbleitersubstrat 11 gespeichert. Bei manchen Ausführungsformen ist die Anordnung der Halbleiterbauelemente in einem diagonalen Muster arrangiert, und die Schlieren-Balken sind ebenfalls diagonal orientiert, wie in Fig. 1 gezeigt.
Hinsichtlich bekannter Lichtmodulatorsysteme kann auf das oben erwähnte US-Patent Nr. 3 882 271 und außerdem auf das US- Patent Nr. 4 441 791 verwiesen werden, welches insofern einen anderen Typ betrifft, als es einen deformierbaren Spiegel offenbart, der auf einem Gitter über einer Anordnung von Halbleiterbauelementen montiert ist, um Luftspalt-Kondensatoren zu bilden. Deformationen der Spiegeloberfläche können durch ein optisches System in ein Bild umgesetzt werden.
In der Fig. 2 ist eine Matrix von Bauelementen im Halbleitersubstrat 11 gezeigt. Im Schaubild der Fig. 2 ist jedes Bauelement oder Element 100 durch seine auslenkende Zone 300 dargestellt, die als Quadrat im bekannten System gezeigt ist, wobei die Quadrate in einem diagonalen Muster orientiert und angeordnet sind, d. h. die Auslenkelektroden einer jeden Reihe der Matrix sind gegenüber denjenigen der benachbarten Reihe horizontal versetzt.
Im System nach Fig. 2 sind die Zeilen der Elemente 100 rechts in der Figur als Zeile 1, Zeile 2, usw. numeriert, und illustrative Elemente aus einem als Beispiel ausgesuchten mittleren Teil der Matrix sind in der Fig. 3 dargestellt, die einen kleinen Teil aus vier aufeinanderfolgenden Zeilen zeigt, die unter Verwendung verallgemeinerter Bezeichnungsart als Zeile j, Zeile j+1, Zeile j+2 und Zeile j+3 bezeichnet sind. In der Fig. 2 sind die Spalten der Matrix als Spalte 1, Spalte 2, Spalte 3, usw. numeriert, und in der Fig. 3 sind die Spalten aus einem als Beispiel ausgesuchten mittleren Teil der Matrix als Spalte k, Spalte k+1, Spalte k+2 und Spalte k+3 bezeichnet. Alle Elemente einer Spalte der Matrix sind gemeinsam in einer noch zu beschreibenden Weise an einen gemeinsamen Spaltenleiter 150 für die betreffende Zeile gekoppelt, wie in den Fig. 2 und 3 zu erkennen. Wie in Fig. 2 zu sehen ist, sind die einzelnen Spaltenleiter mit zugeordneten Seiten von Kondensatoren Co gekoppelt, deren andere Seiten an Referenz- Massepotential angeschlossen sind. [Diese und andere Gruppe von Kondensatoren können als Speicherregister angesehen werden, und es sei erwähnt, daß alternativ geeignete Analogregister (oder Digitalregister in Verbindung mit Umsetzerschaltungen) wie etwa Register aus ladungsgekoppelten Elementen verwendet werden können.] Die Spaltenleiter und die zugehörigen Kondensatoren Co sind außerdem über zugeordnete Schalter 160 mit jeweils einer Seite von Kondensatoren C1 verbunden, deren andere Seiten ebenfalls an Referenz- Massepotential angeschlossen sind. [Auch diese Kondensatoren können als ein Speicherregister angesehen werden.] Die Schalter 160 werden gleichzeitig durch ein Signal aktiviert, das vom Horizontalsynchronsignal H abgeleitet ist. Die Kondensatoren C1 sind außerdem über jeweils zugeordnete Schalter 165 mit dem Ausgang eines weiteren Schalters 170 gekoppelt. Die Schalter 165 werden jeweils durch Signale auf den Ausgangsleitungen zugeordneter Stufen eines Schieberegisters 180 aktiviert. Das Register 180 wird am einen Ende (dem rechten Ende der Fig. 2) mit einem Pegel des Logikwertes "1" (hoch) geladen, der mit einer elementaren Grundfrequenz des Systems aus einem nicht gezeigten Taktgeber durch das Register hindurchgetaktet wird. Bei den erwähnten US-Patenten arbeitet der Schalter 170 unter Steuerung durch den Ausgang des Flipflops 185 und das Taktsignal, um entweder das Videoeingangssignal oder das Massebezugspotential an die Eingänge der Schalter 165 zu legen. Das Vertikalsynchronsignal V wird verwendet, um einen anderen Anfangszustand des Flipflops 185 für den Beginn einer jeden Abtastzeile eines gegebenen Teilbildes einzustellen. Auf diese Weise wird der Schalter 170 benutzt, um unter Steuerung durch das Register 180 eine Abtastzeile an Information in die Kondensatoren C1 (über die Schalter 165) zu laden, wobei aufeinanderfolgende Proben der eingangsseitigen Videoinformation mit Referenz- Massepotential abwechseln.
Die Reihenleiter 330 sind mit zugeordneten Ausgängen eines Schieberegisters 220 verbunden; die Ausgänge des Registers 220 werden dazu verwendet, die Reihenleiter selektiv nacheinander zu aktivieren. Das Register 220 wird durch das Horizontalsynchronsignal getaktet und wird durch das Vertikalsynchronsignal V synchronisiert. Am Beginn eines jeden Teilbildes wird ein von V abgeleitetes Signal benutzt, um die erste Stufe des Schieberegisters 220 mit einem Pegel des Logikwertes "1" (hoch) zu laden. Bei jeder horizontalen Abtastzeile des Teilbildes wird der Logikpegel "1" zur nächsten Position im Register verschoben, so daß die Reihenleiter nacheinander, immer nur eine Zeile auf einmal, aktiviert werden.
Beim Betrieb des Systems nach den Fig. 2 und 3 und wie in den erwähnten Patenten beschrieben, wird eine Abtastzeile abgefragter Videoinformation nacheinander in die Kondensatoren C1 eingelesen, in Abwechslung mit Referenz-Massepotential. Am Ende der Abtastzeile wird ein vom Horizontalsynchronsignal H abgeleitetes Signal dazu verwendet, die Schalter 160 zu aktivieren, so daß die Abfrageproben der Videoinformation und Massepotential (je nachdem) in den Kondensatoren C1 auf die jeweils zugeordneten Kondensatoren Co und die jeweiligen Spaltenleiter 150 gekoppelt werden. Hierdurch erfolgt im wesentlichen eine Speicherung der abgefragten Signalelemente in den Kondensatoren Co, denen sie jeweils angelegt sind, während der nächsten Abtastzeile (und während die nächste Zeile an Videoinformation in die jeweiligen Kondensatoren C1 eingelesen wird), zu den jeweiligen Spaltenleitern. Zu diesem Zeitpunkt ist außerdem das von H abgeleitete Signal wirksam, um am Register 220 zu schieben, so daß der nächste Reihenleiter für die Dauer der nächsten Zeile aktiviert wird. Die Kondensatoren C1 und Co werden über niedrige Impedanzen aufgeladen (oder entladen, je nachdem), so daß das Laden in relativ kurzer Dauer während der Aktivierung der ihnen zugeordneten Schalter erfolgen kann.
Jedes Elementarsignal kann nun in die jeweiligen Auslenkelektroden der beiden aufeinanderfolgenden Zeilen übertragen werden, deren gemeinsamer Reihenleiter durch den Ausgang des Registers 220 aktiviert worden ist. Jedes zweite Exemplar der Signalpegel, die in die Kondensatoren Co eingegeben wurden, lag auf Massepotential. Daher werden die Videosignalproben für eine gegebene Abtastzeile in den einzelnen Auslenkelektroden einer der dem aktivierten Reihenleiter zugeordneten Zeilen übertragen, und in jede der Auslenkelektroden der anderen Zeile, die den aktivierten Reihenleiter mitbenutzt, wird Referenz-Massepotential übertragen.
Während der Übertragung aus den Eingangskondensatoren Co an die einzelnen Auslenkelektroden der dem aktivierten Reihenleiter zugeordneten Zeilen, die während ungefähr einer Abtastzeilenperiode erfolgt, wird die nächste Abtastzeile an Videoinformation in die Kondensatoren C1 übertragen (wiederum abwechselnd mit Referenz-Massepotential). Auf diese Weise steht für die Übertragung des Signals von den Kondensatoren Co in die Kapazität, die den einzelnen Auslenkelektroden zugeordnet ist, die volle Dauer einer Abtastzeile zur Verfügung. Im einzelnen besteht die besagte Kapazität aus dem Kondensator, der durch jede Auslenkelektrode 300 und die gemeinsame Elektrode 14 (z. B. Fig. 1 und 3) gebildet wird, die über dem deformierbaren Material liegt (die bei vorliegenden Beispiel auf Referenz-Massepotential liegend dargestellt ist, die aber auf einer negativen Vorspannung betrieben werden kann, wie es in den erwähnten Patenten beschrieben ist), und Streukapazität. In einer gleichzeitig schwebenden US-Patentanmeldung mit der Seriennummer 053,572, die auf denselben Rechtsnachfolger wie die vorliegende Anmeldung übertragen wurde, ist eine Methode beschrieben, bei welcher die Impedanz in jedem Spaltenleiter zwischen dem Eingangskondensator und den ihm zugeordneten Auslenkelektroden veranlaßt wird, sich im Einklang mit der Änderung des Videosignalpegels von Vollbild zu Vollbild zu ändern und so eine Videorauschverminderung zu erzielen.
Die Fig. 3 und 4 veranschaulichen die in den erwähnen Patenten beschriebene Konfiguration der im Halbleitersubstrat gebildeten Bauelemente 100. Das Substrat ist n-leitendes Silizium, und die Zonen 310 und 320 sind beabstandete pleitende Diffusionen, z. B. Bor-Diffusionen. Die Zonen 310 sind mit zugeordneten Spaltenleitern 150 verbunden. Die Zonen 320 sind mit den jeweiligen Auslenkelektroden 300 verbunden. Ein isolierender Bereich 325, typischerweise eine Schicht aus Siliziumdioxid, bedeckt die Halbleiterzone zwischen den Diffusionen 310 und 320. Die jeweiligen Reihenleiter 330 sind über den Oxidschichten 325 der Bauelemente der ihnen zugeordneten Reihen angeordnet und dienen als Gateelektroden, die bei Erregung oder Aktivierung einen p-Kanal-Leitungsweg zwischen den Zonen 310 und 320 verursachen, so daß die an den Spaltenleiterzügen liegenden Signale effektiv auf die Auslenkelektroden 300 der Bauelemente in der aktivierten Reihe gekoppelt werden. Die Auslenkelektroden 300 haben obere flache Bereiche, die sich über die ihnen zugeordneten Bauelemente erstrecken und von diesen durch ein Isoliermaterial wie etwa Siliziumdioxid 329 beabstandet sind. Die Reihenumschaltung mit der Betriebs-Zeilenfrequenz erlaubt die Verwendung von Polysilizium, während die schnellere Spaltenumschaltung bei den vorliegenden Ausführungsformen metallene Leiter verwendet.
Bei dem System nach den Fig. 2-4 ist, wie in den erwähnten Patenten beschrieben, die zum Takten des abgefragten Videosignals in die Speicherkondensatoren (und letztlich in die Matrix) verwendete Systemtaktfrequenz doppelt so hoch wie die Rate, mit der Videoinformation eingegeben wird, weil die Hälfte der Zeit dazu benutzt wird, Referenz-Massepotential in jedes zweite Horizontalelement einer Zeile zu takten. Wie in den erwähnten Patenten beschrieben, kann bei Benutzung des in Fig. 5 dargestellten Systems eine Taktfrequenz verwendet werden, die gleich hoch ist wie die Rate, mit welcher Information in die Matrix eingegeben wird. In der Fig. 5 ist für die Wiedergabeelektroden der Vorrichtung die gleiche allgemeine Konfiguration dargestellt wie in Fig. 2. Die Reihenleiter 530 sind mit dem Ausgang eines Schieberegisters 520 gekoppelt und arbeiten wie ihre Gegenstücke in Fig. 2, um Paare von Bauelementreihen nacheinander zu aktivieren. Die Spaltenleiter 551 der ungeradzahlig numerierten Spalten sind mit einer Schaltungsanordnung ähnlich derjenigen nach Fig. 2 gekoppelt, nämlich mit zugeordneten Kondensatoren C2a, zugeordneten Schaltern 560, die auch hier durch ein vom Horizontalsynchronsignal H abgeleitetes Signal aktiviert werden, zugeordneten Kondensatoren C2b und zugeordneten Schaltern 565, die durch zugeordnete Ausgänge des Schieberegisters 580 aktiviert werden, das mit der Grundtaktfrequenz des Systems getaktet wird und die Schalter 565 nacheinander aktiviert. Der Eingang zu den Schaltern 565 ist der Ausgang eines Schalters 585, der während ungeradzahlig numerierter Video-Teilbilder das eingangsseitige Videosignal und während geradzahlig numerierter Video-Teilbilder das Referenz- Massepotential durchläßt.
Die geradzahlig numerierten Spaltenleiter 552 sind mit einer ähnlichen Schaltungsanordung gekoppelt, die jeweils zugeordnete Kondensatoren C3a, jeweils zugeordnete Schalter 570, die durch ein vom Horizontalsynchronsignal H abgeleitetes Signal aktiviert werden, jeweils zugeordnete Kondensatoren C3b und jeweils zugeordnete Schalter 575 enthält, die auch hier nacheinander durch jeweils zugeordnete Ausgangsstufen eines Schieberegisters (590) aktiviert werden, das mit der Grundtaktfrequenz des Systems getaktet wird und die Schalter 575 nacheinander aktiviert. Der Eingang zu den Schaltern 575 ist der Ausgang eines Schalters 595, der das eingangsseitige Videosignal während gerader Video-Teilbilder und das Referenz- Massepotential während ungerader Video-Teilbilder eines Video- Vollbildes durchläßt. Im System nach Fig. 5 kann die verwendete Taktfrequenz die Hälfte der bei der Ausführungsform nach Fig. 2 verwendeten Taktfrequenz sein, weil die ungeraden und geraden Subsysteme gleichzeitig benutzt werden, um Abfrageproben des eingangsseitigen Videosignals und Referenz- Massepotential (je nachdem) einzulesen und in zugeordnete ungeradzahlig bzw. geradzahlig numerierte Reihen der Matrixelemente zu übertragen.
Beim Betrieb des Systems nach Fig. 5 ist der Schalter 585 während eines ungeraden Video-Teilbildes wirksam, um das eingangsseitige Videosignal durchzulassen, so daß z. B. während der ersten Video-Abtastzeile das eingangsseitige Videosignal unter Steuerung durch das Schieberegister 580 abgefragt und in den Kondensatoren C2a gespeichert wird. Gleichzeitig läßt der Schalter 595 Massepotential durch, das in die Kondensatoren C3a unter Steuerung durch das Schieberegister 590 eingelesen wird. Am Ende der ersten Abtastzeile werden die Schalter 560 und 570 vorübergehend aktiviert, um die Signale aus den Kondensatoren C2a in jeweils zugeordnete Kondensatoren C2b zu übertragen und um die Signale aus den Kondensatoren C3a in die Kondensatoren C3b zu übertragen. Der erste Reihenleiter 530, der mit den Bauelementen der Zeilen 1 und 2 der Matrix gekoppelt ist (wie bei der vorherigen Ausführungsform) wird ebenfalls aktiviert (und bleibt aktiviert während der nächsten Abtastzeile, während welcher die abgefragten Videosignale (oder Referenz-Massepotential, je nachdem) in den Kondensatoren C2b und C3b an die jeweiligen Wiedergebeelektroden der Zeilen 1 und 2 der Matrix übertragen werden. Während des nächsten Video-Teilbildes vertauschen die ungeradzahlig und die geradzahlig numerierten Zeilenleiter (und die ihnen zugeordneten Schaltungen) ihre Rollen (auf Grund einer Umschaltung der Zustände der Schalter 585 und 595), und Referenz-Nassepotential wird in die Zeile 1 übertragen, während das abgefragte Videosignal in die Zeile 2 übertragen wird. In den erwähnten Patenten ist angeführt, daß eine gesonderte Schaltanordnung, etwa zur direkten Aufschaltung von Referenz-Massepotential auf die jeweils aktivierte Reihe, verwendet werden kann.
Im folgenden seien Ausführungsformen der Erfindung beschrieben. Bei der Ausführungsform nach Fig. 6 weist jede der Elektroden 300 (die z. B. mit der Diffusionszone 320 in Fig. 4 gekoppelt sind) zwei relativ großflächige leitende Bereiche 300A und 300B auf, die durch einen schmalen leitenden Bereich 300C miteinander verbunden sind. Die Bereiche 300A und 300B kann man sich als ein Paar von Elektroden- "Fingern" vorstellen, die auf demselben Potential liegen. Bei der Ausführungsform nach Fig. 6 wird der größte Teil der restlichen Oberfläche um die Elektroden herum von Referenzleitern belegt, die durch die gemeinsame Metallisierung 600 dargestellt werden, welche mit einem geeigneten Referenzpotential Vref gekoppelt sein kann. Die Referenzleiter sind getrennt von den Elektroden, das darunterliegende Siliziumdioxid 329 (siehe auch Fig. 4) ist in Fig. 6 zwischen den Trennungen sichtbar.
Im Betrieb verursacht das Signal an jeder Elektrode (im Vergleich zum Referenzpotential an der gemeinsamen Metallisierung 600) Kräfte auf die leitende/reflektierende Schicht 14 (z. B. Fig. 4) und führt zur Entwicklung eines Bildes, das bei derselben Anzahl an Elektroden doppelt so viele Gitterlinien enthält, wegen des Vorhandenseins der beabstandeten Elektrodenfinger. Es versteht sich, daß es beim Adressieren der individuellen Elektroden, weil ein Referenzpotential (Vref in Fig. 6) an die Referenzleiter gelegt wird, nicht notwendig ist, Referenz-Massepotential in jede zweite Zeile einzugeben, und jede Reihe von Elektroden wird individuell adressiert.
Wenn bei der Ausführungsform nach Fig. 6 über eine Zeitspanne die an die Referenzleiter gelegten Signale die gleichen sind und die an die Elektroden gelegten Signale die gleiche Polarität haben, dann kann der Lichtmodulator unter einem permanenten "Gedächtnis" leiden; das heißt, es bildet sich ein permanentes oder halbpermanentes Muster von Erhebungen und/oder Vertiefungen in der leitenden/reflektierenden Schicht (und in der darunterliegenden elastomeren Schicht), infolge des Umstandes, daß bestimmte Bereiche der leitenden/reflektierenden Schicht 14 immer in derselben Richtung ausgelenkt werden. Dies kann zu Artefakten in dem an Ende wiedergegebenen Bild führen.
Ein Weg zur Minderung des "Gedächtnis" -Problems besteht darin, die Polarität der an die Elektroden der Matrix gelegten Signale zu ändern. Beispielsweise kann bei der Ausführungsform nach Fig. 6 während eines Vollbildes das eingangsseitige Videosignal mit einer in der einen Richtung weisenden Schwarznach-Weiß-Polarität angelegt werden (z. B. mit 0 Volt für Schwarz und 20 Volt für Weiß), und während des nächsten Video- Vollbildes kann das eingangsseitige Videosignal mit einer Schwarz-nach-Weiß-Polarität in der entgegengesetzten Richtung angelegt werden (z. B. mit 0 Volt für Schwarz und -20 Volt für Weiß).
Das Anlegen einer unterschiedlichen Polarität der Eingangssignale an die Elektroden während aufeinanderfolgender Vollbilder ist nutzbringend zur Minderung des Problems unerwünschten "Gedächtnisses" der Modulatorstruktur. Problematisch kann jedoch sein, daß man Spannungsänderungen über einen größeren Bereich (wie beim vorstehend beschriebenen Beispiel) benötigt.
Die Fig. 7 zeigt eine andere Ausführungsform der Erfindung, die eine Lösung des genannten Problems bringt. Bei dieser Ausführungsform haben die Elektroden 300 die gleiche Gestalt wie bei der Ausführungsform nach Fig. 6. Im vorliegenden Fall jedoch ist die gemeinsame Metallisierung, welche die Referenzleier bildet, so unerteilt, daß individuelle Abtastzeilen von Elementen Referenzleiter auf unterschiedlichen Referenzpotentialen haben können, z. B. auf V&sub1; für eine Zeile und auf V&sub2; für die nächste Zeile, wie in Fig. 7 gezeigt. [In der Fig. 7 sind drei getrennte Referenzleiter 601, 602 und 603 gezeigt, wobei 602 zum Zwecke einer klaren Darstellung schattiert ist.] Ein anderer Weg zum Anlegen des eingangsseitigen Videosignals wäre es, denselben Bereich von Spannungen während aufeinanderfolgender Vollbilder zu verwenden, jedoch das an die Referenzleiter gelegte Referenzpotential während aufeinanderfolgender Vollbilder zu ändern und außerdem die Polarität des an die Elektroden gelegten Videosignals während aufeinanderfolgender Vollbilder (oder anderer gewünschter Perioden) umzukehren. Wenn z. B. die Spannung an der leitenden/reflektierenden Schicht 14 ein negatives Vorspannungspotential -Vb ist (siehe z. B. US-Patent Nr. 4 639 788), dann könnte während eines Vollbildes das an die Referenzleiter angelegte Referenzpotential gleich 0 Volt sein und sich das angelegte Videosignal zwischen 0 Volt (für Schwarz) und 20 Volt (für Weiß) ändern; während des nächsten Vollbildes hingegen könnte das Referenzpotential gleich 20 Volt sein, und das angelegte Videosignal könne sich zwischen 20 Volt (für Schwarz) und 0 Volt (für Weiß) ändern. Bei diesem Arrangement sollten, weil die Bildinformation für jede Zeile über ein volles Teilbild bewahrt wird, die Referenzpotentiale jeweils eine Zeile auf einmal umgeschaltet werden, wenn jede neue Zeile an Videoinformation in die Matrix eingelesen wird. Dies wird bei den Ausführungsformen nach den Fig. 7, 10 und 13 dadurch erreicht, daß die Referenzleiter für jede Zeile der Matrix separat angeschlossen werden. Eine geeignete Anordnung von Flipflop und Schalter (wie zuvörderst oben erläutert) kann verwendet werden, um die Referenzpotentiale auszuwählen, die dann, jeweils eine Zeile auf einmal, in Verbindung mit der Videoinformation unter Verwendung eines Registers in der oben zuerst gezeigten Weise eingelesen werden können. Die Einrichtungen zur Auswahl gewünschter Schwarz- und Weißpegel und der Polarität der Videosignale sind in der Technik wohlbekannt.
In der Fig. 8 ist eine weitere Ausführungsform der Erfindung gezeigt, bei welcher jede der Elektroden 300 leitende Bereiche auf zwei unterschiedlichen Höhenniveaus aufweist. Die Elemente in Fig. 8, die gleiche Bezugszahlen wie Elemente der Fig. 4 tragen, haben gleiche oder ähnliche Funktion. In der Fig. 8 jedoch hat jede der Elektroden 300 einen Oberflächenbereich 300G auf einem ersten Niveau über dem Halbleitersubstrat (und bei der dargestellten Ausführungsform über dem ihr zugeordneten Halbleiterbauelement), und ein Paar weiter weg beabstandeter Oberflächenbereiche 300H und 300J, die auf einem zweiten Niveau oberhalb des ersten Niveaus liegen und durch vertikale Fortsätze 300M und 300N mit letzterem verbunden sind. Die beiden Niveaus sind durch eine Isolierschicht 829 aus Siliziumdioxid voneinander getrennt. Der auf dem ersten Niveau liegende leitende Bereich 300G hat vorzugsweise eine beträchtliche Flächenausdehnung, um dazu beizutragen, daß ungewolltes Licht von der Halbleiteroberfläche ferngehalten wird. Gewünschtenfalls können Referenzleiterbereiche auch auf dem ersten Niveau vorgesehen sein. Auf dem zweiten Niveau sind Referenzleiterbereiche 800 vorgesehen. Das Muster von Elektroden und Referenzleiterbereichen kann so aussehen, wie es in den Fig. 9 und 10 gezeigt ist, d. h. ähnlich demjenigen nach Fig. 6 bzw. Fig. 7, jedoch ohne Notwendigkeit für Verbindungen zwischen den Elektrodenfingern auf dem zweiten Niveau (da sie von unten verbunden sind).
Die Arbeitsweise der in den Fig. 8-10 gezeigten Ausführungsformen ist ähnlich der Arbeitsweise, die oben in Verbindung mit den Fig. 6 und 7 beschrieben wurde, nur daß die Elektroden und die Referenzleiterbereiche auf dem zweiten Niveau liegen. Sie üben ihre Kräfte auf die leitende/reflektierende Schicht 14 wie oben beschrieben aufgrund der an sie gelegten Signale aus. Wenn auch ein weiteres Niveau der Metallisierung benötigt wird (im Vergleich zu den Ausführungsformen nach den Fig. 6 und 7), ist die Unempfänglichkeit für Licht verbessert, und die freiliegenden Verbindungen zwischen Elektrodenfingern (z. B. 300C in Fig. 6 oder 7) sind eliminiert.
Bei den Ausführungsformen nach den Fig. 11-13 liegen die Elektroden auf einem ersten Niveau, und das zweite Niveau enthält nur Referenzleiterbereiche. Wie in Fig. 11 gezeigt, können beispielsweise die Elektroden 300 in einer Konfiguration angeordnet sein, die ähnlich der in Verbindung mit Fig. 4 beschriebenen Konfiguration ist. In diesem Fall jedoch sieht man, daß Referenzleiter 910 auf dem zweiten Niveau vorgesehen sind, das vom ersten Niveau wieder durch eine Isolierschicht (929) getrennt ist. Man sieht, daß die Referenzleiter 910 nur einen Teil einer Elektrode oder mehrerer Elektroden 300 überdecken. Ein Referenzpotential (in Fig. 12, oder Referenzpotentiale in Fig. 13) werden an die Referenzleiterbereiche gelegt. Wegen des Vorhandenseins der Referenzleiterbereiche führt die Vielzahl von Teilen einer jeden Elektrode (im vorliegenden Fall besteht eine Unterteilung in zwei Teile, obwohl gewünschtenfalls auch eine Unterteilung in mehr Teile vorgesehen sein kann) dazu, daß die frei liegenden Teile einer jeden Elektrode (d. h. diejenigen Teile, die nicht durch einen Referenzleiterbereich überdeckt sind) jeweils eine getrennte Kraft auf die reflektierende/leitende Schicht 14 ausüben. Dies führt zu einer Verdoppelung (im vorliegenden Fall) der aus der Matrix gewonnenen Anzahl von Gitterlinien. Bei der Ausführungsform nach Fig. 12 sind die Referenzleiterelektroden alle in einer gemeinsamen Metallisierung zusammengekoppelt, und über zwei Bereichen einer jeden Elektrode befindet sich ein Paar beabstandeter Öffnungen, die im dargestellten Fall rechteckig sind. In der Fig. 12 sind zwei der Öffnungen auch mit den Bezugszahlen 901 und 902 bezeichnet, und diese sind im Querschnitt der Fig. 11 dargestellt. Die gestrichelten Linien in Fig. 12 stellen die darunterliegende Elektrode 300 dar.
Bei der Ausführungsform nach Fig. 13 sind die Referenzleiterbereiche für jede Abtastzeile separat (wie bei den vorherigen Ausführungsformen nach den Fig. 7 und 10), so daß an verschiedene Zeilen unterschiedliche Referenzpotentiale angelegt werden können.
Die Fig. 14-16 zeigen Elektrodenkonfigurationen gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Bei der Ausführungsform nach Fig. 14, die zum Wiedergeben diagonal abgefragter Signale vorzuziehen ist, hat jede leitende Elektrode 1400 einen mittleren vertikalen Teil 1410 und drei allgemein rechteckige horizontale Finger 1411, 1412 und 1413. Betrachtet man ein Element 14 als auf der Zeile (oder Reihe) j liegend, wo sich sein mittlerer Finger 1412 befindet, dann greift sein oberster Finger 1411 zwischen die beiden unteren Finger der benachbarten Elektroden in der darüberliegenden Reihe, d. h. in der Reihe j-1. Außerdem greift sein unterster Finger 1413 zwischen die beiden oberen Finger der benachbarten Elektroden in der darunterliegenden Reihe. Die Elektroden der Matrix sind leicht voneinander beabstandet, und zwischen den Elektroden ist der darunterliegende Isolator sichtbar (z. B. Siliziumdioxid 29 nach Fig. 4). Im Betrieb, und wie es in den US-Patenten Nr. 4 639 788 und 4 641 193 beschrieben ist, kann während eines Teilbildes ein Referenzpotential z. B. an ungeradzahlig numerierte Zeilen und das Eingangs-Videosignal an geradzahlig numerierte Zeilen gelegt werden, und während des nächsten Teilbildes kann dann ein Referenzpotential an geradzahlig numerierte Zeilen und das Eingangs-Videosignal an ungeradzahlig numerierte Zeilen gelegt werden. Dies vermeidet unerwünschtes "Gedächtnis" in der Modulatorstruktur, wie weiter oben beschrieben. Mit den obigen Elektrodenkonfigurationen würde dies jedoch zur Halbierung der Gitterwellenlänge pro Pixel führen. Die beschriebene Konfiguration, bei der sich Finger einer aktiven Elektrode in die Bereiche der darüberliegenden und der darunterliegenden Zeile erstrecken, bringt in dieser Hinsicht eine wesentliche Verbesserung. Die Anzahl der Finger kann gewünschtenfalls erhöht werden, und die Gestalt der Konfiguration kann modifiziert werden, z. B. um die Breite des mittleren vertikalen Teils (der zum Gitter nichts beiträgt) zu minimieren, wie es z. B. in Fig. 14A gezeigt ist, wo die dargestellte Elektrode fünf Finger hat, von denen zwei zwischen Finger von Elektronen der darüberliegenden Reihe greifen und zwei zwischen Finger der darunterliegenden Reihe greifen.
Die Fig. 15 und 16 zeigen Beispiele von Elektrodenkonfigurationen, die in Verbindung mit Kardinal-Abfragesystemen angewandt werden können und welche die gleiche Art von Vorteil haben wie eben beschrieben. In Fig. 15 hat eine Elektrode 1500 einen mittleren Finger 1512 auf einer Reihe j, während ihr oberster Finger 1511 zwischen Finger der Elektrode der darüberliegenden Reihe (Reihe j-1) greift und ihr unterster Finger 1513 zwischen Finger der Elektrode der darunterliegenden Reihe (Reihe j+1) greift. Die Finger der Reihe j (und anderer Reihen desselben Sinnes hinsichtlich Ungerad- bzw. Geradzahligkeit) erstrecken sich von einem mittleren Abschnitt 1510 nach rechts, während sich die Finger von Reihen des entgegengesetzten Sinnes (z. B. j-1, j+1, usw.) von ihren vertikalen Abschnitten nach links erstrecken. Die in Fig. 16 gezeigte Ausführungsform ist ähnlich, jedoch bilden hier die Finger einer Elektrode 1600 eine S-förmige Konfiguration mit zwei vertikalen Abschnitten. Der vertikale Abschnitt 1610A verbindet den mittleren Finger 1612 mit dem obersten Finger 1611, und der vertikale Abschnitt 1610B verbindet den mittleren Finger 1612 mit dem untersten Finger 1613.
Die Matrixanordnungen der hier behandelten Halbleiterbauelemente können z. B. unter Anwendung bekannter Verfahren der Halbleiterlithographie hergestellt werden. Es werden geeignete Masken für die Muster der Diffusionen, Elektroden, Kontakte, Polysilizium- und Leiterschichten usw. entworfen und in aufeinanderfolgenden Schritten selektive Diffundierungen, Schichtablagerung, selektive Ätzung, Elektrodenauftragung, usw. verwendet (in der benötigten Reihenfolge, wie es Fachkenntnis ist). Die deformierbare Schicht 13 und die leitende und reflektierende Schicht oder Schichten 14 können mit Hilfe von Verfahren aufgebracht werden, wie sie z. B. in den US-Patenten Nr. 4 529 620 und 4 626 920 beschrieben sind, die auf denselben Rechtsnachfolger übertragen sind wie die vorliegende Anmeldung.
Die Erfindung wurde anhand spezieller bevorzugter Ausführungsformen beschrieben, es sind jedoch Änderungen z. B. in der Anzahl, der Orientierung und der Form der Elektrodenfinger möglich.

Claims

1. Bildwiedergabeeinrichtung zur Erzeugung von Bildern, die durch Eingangs-Videosignale dargestellt sind, enthaltend:

eine Matrix aus Halbleiterbauelementen (100) mit jeweils Elektroden (300), denen Ladung entsprechend den Eingangs- Videosignalen zugeführt wird; eine über den Elektroden liegende Schicht deformierbaren Materials (13); eine über der deformierbaren Schicht (13) liegende leitende/reflektierende Schicht (14) und eine optische Einrichtung (20, 21, 22, 25) zum Umsetzen von Deformationen der leitenden/reflektierenden Schicht (14) in ein Bild, gekennzeichnet durch:

Ausbildung einer jeden Elektrode (300) der Matrix mit mehreren beabstandeten leitenden Bereichen, die Oberflächen (300A, 300B) in einer gemeinsamen Ebene haben, wobei die mehreren leitenden Bereiche einer jeden Elektrode elektrisch durch mindestens einen Leiter zusammengeschlossen sind, der, höchstenfalls, eine relativ kleine Fläche (300C) im Vergleich zu den genannten leitenden Bereichen (300A, 300B) in der besagten Ebene hat;

Referenzleiterbereiche (600), die Oberflächen in der genannten Ebene zwischen den Oberflächen der Elektroden und getrennt davon aufweisen, wobei mindestens einige der Referenzleiterbereiche (600) elektrisch zusammengeschlossen sind, und

eine Einrichtung (80) zum Anlegen der Eingangs-Videosignale an die Elektroden (300) der Anordnung und zum Anlegen mindestens eines Referenzpotentials an die Referenzleiterbereiche (600).

2. Wiedergabeeinrichtung nach Anspruch 1, worin die Referenzleiterbereiche (600) alle elektrisch zusammengeschlossen sind.

3. Wiedergabeeinrichtung nach Anspruch 1, worin die Referenzleiterbereiche (602), die den Elektroden (300A, 300B) individueller Zeilen der Matrix zugeordnet sind, elektrisch zusammengeschlossen sind.

4. Wiedergabeeinrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, worin die genannte Mehrzahl beabstandeter leitender Bereiche (300A, 300B) der Elektroden aus beabstandeten rechteckigen Fingern (300A, 300B) bestehen.

5. Wiedergabeeinrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 4, worin die Elektroden (300) diagonal in der Matrix orientiert sind.

6. Wiedergabeeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, worin die optische Einrichtung ein Schlieren-Optiksystem aufweist.

7. Wiedergabeeinrichtung nach Anspruch 1, 3 oder 5, worin zwischen der Oberfläche des Halbleiters (11) und der genannten gemeinsamen Ebene eine Schicht aus Isoliermaterial (325) liegt.

8. Einrichtung nach Anspruch 1, worin jede der Elektroden (300) außerdem einen Oberflächenbereich (300G) in einer Ebene hat, die auf einem von der genannten gemeinsamen Ebene beabstandeten Niveau liegt.

9. Einrichtung nach Anspruch 1, worin die beabstandeten leitenden Bereiche mindestens drei elektrisch verbundene Finger (1411, 1412, 1413) umfassen, derart, daß mindestens einer dieser Finger (1411) zwischen Finger einer Elektrode in einer Reihe weiter oben in der Matrix greift und daß mindestens ein anderer der genannten Finger (1413) zwischen Finger einer Elektrode einer Reihe weiter unten in der Matrix greift.

10. Einrichtung nach Anspruch 9, worin die Einrichtung (80) zum Anlegen von Videosignalen eine Einrichtung aufweist, um während eines Teilbildes der Wiedergabe Videosignale an Elemente ungeradzahlig numerierter Reihen und ein Referenzpotential an Elemente geradzahlig numerierter Reihen zu legen und um während des nächsten Teilbildes der Wiedergabe Eingangs-Videosignale an Elemente geradzahlig numerierter Reihen und ein Referenzpotential an Elemente ungeradzahlig numerierter Reihen zu legen.

11. Einrichtung nach Anspruch 9 oder 10, worin die Finger (1411, 1412, 1413) allgemein rechteckige Form haben.

12. Einrichtung nach Anspruch 11, worin die Finger (1411, 1412, 1413) ihre Längsausdehnungen in einer Richtung parallel zu den Reihen haben.

13. Einrichtung nach Anspruch 9, 10 oder 11, worin die Elektroden mindestens einen Teil (1410) aufweisen, der sich vertikal in der Anordnung erstreckt, und sich Finger (1410, 1412, 1413) von mindestens einem vertikalen Teil aus horizontal erstrecken.