DE3887960T2 - Träger für ein optisches Element. - Google Patents

Träger für ein optisches Element.

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    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/003Alignment of optical elements
    • G02B7/004Manual alignment, e.g. micromanipulators

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  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung hat zum Gegenstand einen Support für ein optisches Element, wie einen Spiegel, eine Linse, ein Netz, eine Blende oder dergleichen.
  • Der Support gemäß der Erfindung findet in allen jenen Apparaturen Anwendung, die ein optisches System umfassen, in dem es erforderlich oder zumindest wünschenswert ist, die Position des optischen Elements relativ zur optischen Achse des optischen Systems einjustieren zu können. Der Support gemäß der Erfindung kann demgemäß insbesondere in einem Laser als Support für die Spiegel verwendet werden, die sich an den beiden Enden des Laser-Hohlraums befinden.
  • In Fig. 1 bzw. 2 ist ein Support bekannten Typs von vorn bzw. von der Seite gesehen dargestellt.
  • Dieser Support umfaßt im wesentlichen ein Gestell 2, auf dem eine Platte 4 in Anlage gehalten wird. Das Gestell setzt sich aus einem Sockel 6 und einer Partie 8 zusammen, die mit dem Sockel 6 verbunden ist und auf der Platte 4 in Anlage von zwei Schrauben 10, 12 gehalten wird. Jede Schraube umfaßt einen Kopf, der sich auf eine Seite der Platte legt, einen die Platte 4 durchsetzenden Schaft, eingeschraubt in ein Gewindeloch 14 bzw. 16 der Partie 8 sowie eine Feder, die konzentrisch zum Schraubenschaft angeordnet ist in einem Sackloch der Platte.
  • Diese Feder drückt einerseits auf den Kopf der Schraube und andererseits auf den Boden des Sacklochs und hält auf diese Weise die Platte 4 gegen die Partie 8.
  • Der Kontakt zwischen der Platte 4 und dem Gestell 2 wird an drei Punkten realisiert: einem festen, mit 18 bezeichneten Punkt, der realisiert sein kann durch einen Nocken auf der Platte 4, der mit einem konischen Loch in der Partie 8 zusammenwirkt, und zwei bewegliche Punkte, die von zwei Einstellschrauben 21, 22 definiert werden. Jede dieser Schrauben ist auf einer Hexagonalstange 24, 26 montiert und eingeschraubt in ein Gewindeloch 28, 30, welches die Partie 8 durchsetzt. Zwei Löcher sind außerdem in die Platte 4 eingearbeitet für den Durchtritt der hexagonalen Stangen 24, 26. Die beweglichen Punkte ermöglichen zu vermeiden, daß Spannungen in der Platte 4 entstehen, wenn eine relative Veränderung der Abmessungen der Platte 4 und des Gestells 2 erfolgt, beispielsweise infolge einer Temperaturänderung.
  • Wie Fig. 2 zeigt, ist das Ende 32 der Schraube 20 abgerundet. Dieses Ende greift in eine Dreiecknut 34, eingearbeitet in die Platte 4. Das Ende der Schraube 20 kann sich auf diese Weise frei längs der Achse der Nut verlagern. Das Ende 33 der Schraube 22 ist eben oder abgerundet. Es liegt an der Oberfläche der Platte 4 an und kann sich frei in allen Richtungen verlagern. Um diese Verlagerungen zu ermöglichen, sind die Sacklöcher, in denen die den Federn 10, 12 zugeordneten Schrauben untergebracht sind, und die Löcher, die in die Platte 4 für den Durchtritt der hexagonalen Stangen 24, 26 eingearbeitet sind, mit einem Durchmesser versehen, der ausreicht, daß die Federn und die hexagonalen Stangen kleine Bewegungen in einer Ebene senkrecht zur Schraubenachse ausführen können.
  • Die Kontaktpunkte, definiert durch die Enden der Einstellschrauben 20, 22 und durch den festen Punkt 18, bilden ein rechtwinkliges Dreieck. Demgemäß kann man die Platte 4 verdrehen um eine erste Achse, definiert durch die Einstellschraube 20 und den festen Punkt 18, indem man die Einstellschraube 22 hinein- oder herausschraubt. In gleicher Weise ist die Platte 4 um eine zweite Achse senkrecht zur ersten Achse beweglich, definiert durch die Einstellschraube 22 und den festen Punkt 18, wenn man die Einstellschraube 20 hinein- oder herausschraubt.
  • Diese zwei Freiheitsgrade ermöglichen es, die Platte 4 zu orientieren und infolgedessen die optische Achse des Supports, der senkrecht verläuft zu dieser Platte 4 in der gewünschten Richtung.
  • Ein dritter Freiheitsgrad ist vorgesehen. Ein Schwalbenschwanz 36 ist in der Basis des Sockels 6 ausgebildet. Er ermöglicht eine translatorische Verlagerung in einer Richtung senkrecht zur Partie 8, d. h. im wesentlichen parallel zur optischen Achse des Supports. Diese translatorische Verlagerung wird von einer (nicht dargestellten) Schiene geführt, in der der Schwalbenschwanz 36 gleitet. Die Position des Gestells kann blockiert werden, indem man eine Klemme 38 mittels einer Schraube 40 ausfährt.
  • Das optische Element 42 wird in Anlage an einer Seite der Platte 4 durch drei elastische Lamellen 44, 46, 48 gehalten, die in Dreieckform an drei Stiften 50, 52, 54 (nicht in Fig. 2 dargestellt) befestigt sind. Der Kontakt zwischen der Platte 4 und dem optischen Element 42 wird beispielsweise an drei Punkten durch halbkugelige Elemente realisiert, die etwa bei 56, 58 mit der Platte 4 verbunden sind. In dem Fall, wo das optische Element 42 auf der Seite der Platte 4 befestigt ist, die sich an die Partie 8 anlegt, umfaßt diese Partie 8 eine Ausnehmung 60, die ausreicht, um das optische Element 42 und seine Befestigungsmittel nicht zu stören. Wenn das optische Element 42 mindestens teilweise transparent ist, muß in ähnlicher Weise die Platte 4 mit einer Öffnung 62 gegenüber dem optischen Element versehen sein, um den Durchtritt des optischen Strahls zu vermöglichen.
  • Der in den Fig. 1 und 2 dargestellte bekannte Support ist nicht vollständig befriedigend. Das Befestigungssystem des optischen Elements auf der Platte erlaubt nämlich nicht eine präzise und reproduzierbare Positionierung dieses optischen Elements. Dies ist in vielen Fällen störend, insbesondere dann, wenn die Oberfläche des optischen Elementes nicht eben ist, sondern konkav oder konvex, und wenn die Auftreffoberfläche des optischen Strahls auf diese Oberfläche zwingend senkrecht zur Richtung des optischen Strahles sein muß.
  • Diese Beschränkung zeigt sich insbesondere für konkave Spiegel, die die Enden des Resonanzhohlraumes eines Lasers bilden. In diesem Fall wird beim Austausch des Spiegels der neue Spiegel im allgemeinen nicht exakt positioniert wie der vorhergehende Spiegel, und es ist erforderlich, zu delikaten Regulierungen der Schraube 20 und 22 zu schreiten, damit die Bedingung des senkrechten Auftreffens erneut erfüllt wird.
  • Die bei Lasern verwendeten Spiegel verschlechtern sich jedoch ziemlich schnell im Auftreffpunkt des Strahls. Es ist demgemäß erforderlich, periodisch den Spiegel zu verlagern, um den Auftreffpunkt zu ändern. Im Falle eines sphärischen oder gering asphärischen Spiegels ist es üblich, einen Auftreffpunkt zu wählen, der sich nicht in der Achse des Spiegels befindet, und den Auftreffpunkt zu verändern, indem man den Spiegel geringfügig um seine Achse verdreht. Die aufeinanderfolgenden Auftreffpunkte befinden sich demgemäß auf einem Kreisbogen, der auf die Achse des Spiegels zentriert ist; die aufeinanderfolgenden Zonen des Spiegels, wo das Auftreffen erfolgt, haben dieselbe Orientierung relativ zu dem Laserstrahl, und es ist normalerweise deshalb nicht erforderlich, die Position des Spiegels nach jeder Änderung des Auftreffpunkts neu einzustellen. In der Praxis jedoch bringt die Manipulation des Spiegels beim Drehen immer eine unbeabsichtigte Versetzung der Achse des Spiegels infolge des nichtperfekten Befestigungssystems des Spiegels auf der Platte mit sich. Man muß demgemäß zu langen und delikaten Einstellungen übergehen nach jeder Änderung der Auftreffpunktzone, damit die neue Auftreffpunktzone senkrecht zum Laserstrahl steht.
  • Ein zweiter Nachteil des bekannten Befestigungssystem des optischen Elementes liegt darin, daß die elastischen Lamellen sich an eine Seite des optischen Elementes anlegen und die Tendenz haben, es zu verkratzen.
  • Das Dokument EP-A-179 426 beschreibt einen Support für ein optisches Element mit den Merkmalen, die in der Präambel des beigefügten Hauptanspruchs aufgelistet sind. Der Support umfaßt insbesondere Einstellmittel zum Justieren der Position eines Supportteils für das optische Element und demgemäß der Position des optischen Elementes selbst in der Ebene parallel zu der Platte, auf der es montiert ist. Dieser Support für ein optisches Element beseitigt demgemäß den ersten Nachteil des Standes der Technik, der oben genannt wurde. Gemäß diesem Dokument jedoch wird das optische Element an dem Supportteil mit Hilfe mehrerer Schrauben befestigt. Ein solche Konstruktion weist die Nachteile auf, einerseits den Austausch des optischen Elements mühsam zu machen und andererseits die Verlagerung des optischen Elementes unmöglich zu machen für die Änderung des Auftreffpunktes des Lichtstrahls.
  • Die Erfindung hat zum Ziel, die Nachteile der bekannten Supports zu beseitigen und insbesondere einen Support für ein optisches Element zu schaffen, der eine präzise Positionierung dieses optischen Elementes ermöglicht, ohne im geringsten die Möglichkeiten der Verlagerung, beispielsweise durch Verdrehen desselben, zu beschränken. Dieses Ziel wird erreicht durch einen Support gemäß den beigefügten Ansprüchen. Dieser Support umfaßt einen Ring, der zwischen der Platte und
  • dem optischen Element angeordnet ist, und Mittel zum Einregulieren des Ringes in präziser und reproduzierbarer Weise und damit des optischen Elementes relativ zu dem Ring. Dies ermöglicht insbesondere im Falle von sphärischen Spiegeln, wie sie in dem Resonanzhohlraum eines Lasers eingesetzt werden, den Auftreffpunkt zu ändern, indem man einfach den sphärischen Spiegel verdreht ohne sonstige zusätzliche Einstellung. Man versteht gleichermaßen, daß der Support gemäß der Erfindung den Austausch eines optischen Elementes vereinfacht.
  • Die Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich deutlicher aus der nachfolgenden Beschreibung, die nur als Beispiel, nicht jedoch als Beschränkung zu verstehen ist, unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen, in welchen:
  • - die Fig. 1 und 2, bereits beschrieben, eine Frontansicht bzw. eine Seitenansicht eines bekannten Supports für ein optisches Element illustrieren;
  • - die Fig. 3 eine perspektivische Darstellung ist, welche die Montage der verschiedenen Elemente zeigt, aus denen der Support für ein optisches Element gemäß der Erfindung besteht;
  • - die Fig. 4, 5 bzw. 6 eine Frontansicht, eine Seitenansicht bzw. eine teilgeschnittene Rückansicht des Supports der Fig. 3 sind nach der Montage der verschiedenen Elemente; und
  • - die Fig. 7 eine Variante der Ausführungsform des Ringes des Supports gemäß der Erfindung zeigt.
  • Nachstehend wird unter Bezugnahme auf Fig. 3 bis 6 ein Support für ein optisches Element gemäß der Erfindung beschrieben. In diesen Figuren sind die Elemente, welche mit denen des in Fig. 1 und 2 dargestellten bekannten Supports identisch sind, mit denselben Bezugszeichen markiert.
  • Der Support umfaßt im wesentlichen ein Gestell 2, eine Platte 62 und einen Ring 64, gegen welchen das optische Element 42 in Anlage gehalten wird. Die Abmessungen des Ringes sind derart gewählt, daß das optische Element 42 nicht in Kontakt mit der Platte 62 gelangt. Das Gestell 2 ist identisch mit dem des bekannten Supports. Es umfaßt einen Sockel 6 und eine Partie 8, in der zwei Gewindelöcher 14, 16 eingearbeitet sind, bestimmt zur Aufnahme der Befestigungsschrauben 10, 12 und zwei Gewindelöcher 28, 30, bestimmt zur Aufnahme von zwei Einstellschrauben 20, 22.
  • Die Platte 62 umfaßt zwei Löcher 66, 68, welche den Durchtritt der Schäfte der Schrauben 10, 12 ermöglichen, und zwei Löcher 70, 72, welche den Durchtritt der Sechskantstangen 24, 26 ermöglichen. Das Loch 70 befindet sich im Boden der Dreiecknut 34, an der das Ende 32 der Einstellschraube 20 anliegt. Das Ende 33 der Schraube 22 stützt sich seinerseits auf der Oberfläche der Platte 62 nahe dem Rand des Loches 72 ab. Diese Elemente existieren bereits in der Platte 4 des bekannten Supports, dargestellt in Fig. 1 und 2. Der feste, mit 18 bezeichnete Punkt in Fig. 4 wird in Fig. 3 als Beispiel durch eine Kugel 74 realisiert, angeordnet in einem konischen Loch 76 der Platte 62 und einem ähnlichen konischen Loch (nicht dargestellt) der Partie 8 des Gestells 2.
  • Die Platte 62 des Supports gemäß der Erfindung umfaßt ferner zwei zusätzliche Löcher 82, 84, die dazu bestimmt sind, den Durchtritt der Befestigungsschraube des optischen Elementes zu ermöglichen, wie im weiteren Verlauf der Beschreibung deutlich wird.
  • Die Platte 62 umfaßt außerdem eine Aufnahme für den Ring 64 und Mittel zum Justieren der Position dieses Ringes in einer Ebene parallel zu der Platte.
  • In der dargestellten Ausführungsform wird der Ring von einem zylindrischen Korpus 86 gebildet, dessen eines Ende mit einem Kragen 88 versehen ist. Dieser Ring wird in eine Ausnehmung der Platte 62 eingefügt, umfassend einen zylindrischen Hohlraum 90 und eine Schulter 92. Im Falle eines mindestens teilweise transparenten optischen Elementes 42 ist die Ausnehmung 90 tatsächlich ein die Platte 62 durchsetzendes Loch.
  • Der Boden der Schulter 92 umfaßt drei Vorsprünge 94, an die sich der Kragen 88 des Ringes 64 anlegt. Diese Vorsprünge 94 können die Form von Scheiben oder Halbkugeln haben und in den Boden der Schulter eingeklebt sein. In vorteilhafter Weise wird der Ring 64 aus einem magnetischen Material hergestellt, beispielsweise aus Stahl, und die Vorsprünge werden von kleinen Magneten gebildet.
  • Die Durchmesser der Ausnehmung 90 und der Schulter 92 sind größer gewählt gegenüber den Durchmessern des Korpus 86 bzw. des Kragens 88 des Ringes, um eine Verlagerung des Ringes relativ zur Platte 94 in einer Ebene parallel zu dieser Platte zu ermöglichen.
  • Um eine zu große Verlagerung des Ringes 64 zu vermeiden, kann die Rückseite des Kragens 88 mit einer Ausnehmung 96 versehen sein, in die ein am Boden der Schulter 92 befestigter Zahn 98 greift. Der Durchmesser der Ausnehmung 96 ist genügend groß, um gewünschte Positionseinstellungen für den Ring zu ermöglichen, wobei jedoch zu große Bewegungen unterbunden werden, wie etwa eine Drehbewegung des Ringes 64 relativ zur Platte 62.
  • Die Mittel zum Einstellen der Position des Ringes in der Ebene der Platte 62 sind in den Fig. 3 und 6 sichtbar. Sie umfassen zwei Einstellschrauben 100, 102 und eine Feder 104. Diese Elemente sind in einer Ebene parallel zur Platte 62 verteilt und radial bezüglich des zylindrischen Ringes orientiert.
  • Die Feder 104 befindet sich in einem Sackloch 106, dessen Öffnung sich in der Ausnehmung 90 befindet, und die Einstellschrauben 100, 102 sind in zwei Gewindelöchern 108, 110 eingeordnet, welche den Hohlraum mit einer Außenseite der Platte 62 verbinden.
  • Wie in Fig. 3 und 6 dargestellt, können die Einstellschrauben 100, 102 eine Länge aufweisen, die kleiner ist als die Gewindelöcher 108, 110. Dies ermöglicht, eine minimale Ausladung zu erreichen. Es ist jedoch ebenso gut möglich, Einstellschrauben 100, 102 zu verwenden, die länger sind als die Gewindelöcher 108, 110. Der Kopf jeder Schraube befindet sich dann außerhalb des Gewindeloches, was die Ein- und Ausschraubarbeitsgänge vereinfachen kann, was jedoch dafür die Ausladung des Support vergrößert.
  • Im übrigen ist es klar, daß die Position und die Anzahl der Einstellschrauben und der Federn abweichend von der dargestellten Ausführungsform sein können.
  • Es wurde oben angegeben, daß der Ring 64 in der Ausnehmung 90 von magnetisierten Vorsprüngen 94 gehalten werden kann. Eine andere Möglichkeit, dargestellt in Fig. 7, besteht darin, einen Ring zu verwenden, dessen Korpus 86 kegelstumpfförmig mindestens auf einer Partie seiner Länge ist, wobei das Ende des Korpus an der Seite des Kragens einen kleineren Durchmesser aufweist als das andere Ende. In diesem Falle wird der Ring in Anlage gehalten durch den Druck, der von den Schrauben 100, 102 und der Feder 104 auf den Korpus 86 ausgeübt wird.
  • Das optische Element 42 wird in Anlage an dem Ring 64 gehalten. Es kann auf diese Weise in einer Ebene parallel zur Platte verlagert werden, indem man auf die Einstellschrauben 100, 102 einwirkt, welche die Position des Ringes 64 steuern.
  • Genauer gesagt, ist das optische Element 42 gegen drei Vorsprünge 112 angelegt, die durch Verkleben, Einsprengen oder anderes an der Außenseite des Kragens 88 befestigt sind. Diese Vorsprünge haben vorzugsweise eine abgerundete Form, beispielsweise Halbkugelform, derart, daß optische Elemente mit ebenen, konkaven oder konvexen Oberflächen ohne Beschädigung aufgenommen werden können.
  • Um seine Handhabung zu vereinfachen, wird das optische Element 42 auf einer elastischen Klemme 114 montiert. Diese umfaßt ein Band, das zu einer Schlaufe mit einem Durchmesser, etwas kleiner als dem Durchmesser des optischen Elementes, geformt ist. Die Enden des Bandes sind zurückgebogen. Sie können einen Abstand haben, um den Durchmesser der Schlaufe zu vergrößern, wenn man ein optisches Element in die Klemme einfügen möchte. Das Band umfaßt eine oder mehrere Zungen 116, die es ermöglichen, das optische Element korrekt in der Klemme zu positionieren, und zwei Vorsprünge 118, die eine Partie der Andruckmittel des optischen Elementes an den Ring 64 bilden.
  • Diese Andruckmittel umfassen zwei identische genutete Zapfen 120, 122. Wie Fig. 3 zeigt, umfaßt der genutete Zapfen 120 eine Nut 124, begrenzt von zwei Krägen 126, 128, einen Schaft 130, einen Kopf 132 und eine Feder 134. Der Zapfen 130 durchsetzt das Loch 32 der Platte 62. Die Feder 134 ist in eine Ausnehmung 136 (siehe Fig. 5) eingesetzt, die größer ist als das Loch 82. Sie übt eine Kraft auf den Kopf 132 mit der Tendenz aus, die Nut 124 der Platte 62 zu nähern. Diese Nut ist dazu bestimmt, einen Vorsprung 118 der elastischen Klemme 114 aufzunehmen. Die genuteten Zapfen 120, 122 ermöglichen demgemäß, das optische Element gegen den Ring 64 und den Ring 64 gegen die Platte 62 vorzuspannen.
  • Das Einfügen oder Entnehmen eines optischen Elementes 42 bezüglich des Supports erfolgt einfach durch Andrücken der Köpfe der genuteten Zapfen 120, 122, um die Andruckkraft zu überwinden, die von den Vorsprüngen 180 der elastischen Klemme 114 ausgeübt wird.

Claims (5)

1. Support für ein optisches Element, umfassend ein Gestell (2) mit einem Sockel (6) und einer mit dem Sockel verbundenen Partie (8), eine Platte (62) zur Aufnahme des optischen Elements (42), wobei die Richtung senkrecht zur Ebene der Platte (62) mit der optischen Achse des auf dem Support zu plazierenden optischen Elements zusammenfällt, erste Befestigungsmittel (10, 12) zum Andrücken der Platte (62) an die Partie (8), zweite Befestigungsmittel (114, 120, 122, 134) zum Halten des optischen Elements, einen zwischen der Platte (62) und dem optischen Element (42) angeordneten Ring (64), wobei das optische Element nicht in Kontakt mit der Platte ist und die Platte (62) mit einem Hohlraum (90) versehen ist, wobei der Ring (64) mit Spiel in den Hohlraum eingefügt ist, derart, daß der Ring beweglich zu der Platte senkrecht zur optischen Achse des Supports ist, und Einstellmittel (100, 102, 104) zum Einstellen der Position des Ringes und des optischen Elementes in der Ebene parallel zu der Platte, welcher Support dadurch gekennzeichnet ist, daß die Wandung des Hohlraums (90) ausgebildet ist zum Bereitstellen eines Anschlags (92) zum Halten des Ringes (64) in einer Richtung senkrecht zur Ebene der Platte (62) und daß die zweiten Befestigungsmittel das optische Element (42) und den Ring (64) elastisch in Richtung der Platte (62) vorspannen.
2. Support nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Ring (64) an einem Ende mit einem Kragen (88) versehen ist, wobei eine Seite des Kragens an dem Boden einer Schulter (92), eingearbeitet in die Platte (62), angedrückt wird und die andere Seite das optische Element aufnimmt.
3. Support nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte (62) und der Ring (64) Positioniermittel (96, 98) umfassen, die zusammenwirken zum Sicherstellen einer Vorpositionierung des Ringes relativ zu der Platte.
4. Support nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Kontakt zwischen dem Ring (64) und dem optischen Element (14) durch drei halbkugelige, mit dem Ring verbundene Noppen realisiert wird.
5. Support nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei welchem der Ring aus einem magnetischen Material hergestellt ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Kontakt zwischen dem Ring (64) und der Platte (62) durch drei magnetisierte, mit der Platte verbundene Noppen (94) realisiert wird.
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