DE3841226C2 - Ultraschall-Wandler mit versenktem Piezokörper - Google Patents

Ultraschall-Wandler mit versenktem Piezokörper

Info

Publication number
DE3841226C2
DE3841226C2 DE19883841226 DE3841226A DE3841226C2 DE 3841226 C2 DE3841226 C2 DE 3841226C2 DE 19883841226 DE19883841226 DE 19883841226 DE 3841226 A DE3841226 A DE 3841226A DE 3841226 C2 DE3841226 C2 DE 3841226C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
ultrasonic transducer
piezo body
adaptation layer
transducer according
piezo
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19883841226
Other languages
English (en)
Other versions
DE3841226A1 (de
Inventor
Johannes Dr Daeges
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE19883841226 priority Critical patent/DE3841226C2/de
Publication of DE3841226A1 publication Critical patent/DE3841226A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3841226C2 publication Critical patent/DE3841226C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G10MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10KSOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K11/00Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
    • G10K11/18Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
    • G10K11/26Sound-focusing or directing, e.g. scanning
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0644Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
    • B06B1/0662Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface
    • B06B1/067Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface which is used as, or combined with, an impedance matching layer

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Ultraschall-Wandler mit einem Piezokörper, der piezoelektrisch zu Ultraschall-Schwin­ gungen anregbar ist, und mit einer auf der einen Stirnfläche des Piezokörpers aufgebrachten Anpassungsschicht, deren Dicken­ abmessung λ/4 der Schallwelle beträgt und deren Material einen Schallwiderstand besitzt, der zwischen dem Wert des Schallwellenwiderstands des Materials des Piezokörpers und demjenigen des Mediums liegt, in das Ultraschall abzustrahlen ist. Ein solcher Sensor ist insbesondere auf dem Gebiet der Sensoren (berührungslose Schalter) einsetzbar. Er eignet sich dabei z. B. für Abstandsmessungen in gasförmigen Stoffen.
Ein richtscharfer Ultraschall-Wandler der eingangs genannten Art ist aus der DE-PS 25 37 788 und aus der DE-PS 25 41 492 bekannt.
In der DE-PS 25 41 492 ist bereits ausgeführt, daß für ein Ultraschall-Echolot-System Ultraschall-Wandler wünschenswert sind, die einen Schallstrahl mit besonders geringem Öffnungs­ winkel erzeugen. Dadurch können störende Reflexionen des Ul­ traschalls vermieden werden, so daß ein besonders hohes Auf­ lösungsvermögen erreicht wird. Unter dem Begriff Auflösungs­ vermögen wird dabei verstanden, daß zwei nahe beieinanderlie­ gende Objekte unterschieden werden können. Um eine Schall­ strahlung mit besonders geringem Öffnungswinkel zu erzeugen, ist der piezoelektrische Ultraschall-Wandler als ein ebener Klebeverbund aus einer planen Piezokeramik auf einer planen Anpassungsschicht ausgeführt, wobei die Anpassungsschicht durch einen die Piezokeramik umgebenden Beschwerungsring aus Metall an der Ausführung einer reinen Radialschwingung gehindert wird. Auf diese Weise wird die Energie der radial schwingenden Piezokeramik über die Anpassungsschicht zum umgebenden Medium, zum Beispiel Luft, übertragen. Die Anpassungsschicht strahlt dabei den von der Piezokeramik eingespeisten Ultraschall senkrecht zur Hauptschwingungsebene dieser Piezokeramik scharf gebündelt in das Medium ab. Da die Breite der Schallbündelung im direkten Zusammenhang zur Detektierbarkeit der reflektierten Echos steht, kann eine hohe Auflösung erzielt werden.
Bei dem bekannten Ultraschall-Wandler wird die Bewegung des Piezokörpers, das heißt die Schwingungsenergie, ausschließlich über die Klebung zwischen dem Piezokörper und der Anpassungs­ schicht auf letztere übertragen. Die Eigenschaft des Klebers, insbesondere dessen relativ geringe Scherfestigkeit, und die Qualität der Klebestelle sind damit für die Güte der Energie­ übertragung entscheidend.
Aufgabe der Erfindung ist es, bei einem Ultraschall-Wandler der eingangs genannten Art, insbesondere bei einem richtschar­ fen Ultraschall-Wandler mit Beschwerungsring, die Energieüber­ tragung und damit die Ultraschallabstrahlung zu verbessern.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß in der Anpassungsschicht eine Vertiefung vorgesehen ist, in die der Piezokörper paßgenau eingelassen ist.
Bei der Erfindung ist also der Piezokörper, der insbesondere eine Piezokeramik sein kann, paßgenau, das heißt ohne Seiten­ spalt, in das Material der Anpassungsschicht eingelassen, so daß zumindest ein Teil der Seitenfläche des Piezokörpers direkt auf das Material der Anpassungsschicht trifft. Dadurch wird die bei Erregung in dem Piezokörper hervorgerufene Radialbewegung direkt auf die Anpassungsschicht übertragen, was zu einer ver­ besserten Energieübertragung führt. Bei ausreichender Steifig­ keit des Anpassungsmaterials ergibt diese Art der Schwingungs­ ankopplung eine deutliche Erhöhung der Echospannung, die mit dem vom Senden auf Empfang geschalteten Ultraschall-Wandler gemessen werden kann. Gegenüber herkömmlichen Ultraschall-Wand­ lern wurden Anhebungen der Echospannung bis über 150% gemessen. Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Figur dargestellt und wird im folgenden näher erläutert.
In der Figur ist ein richtscharfer Ultraschall-Wandler darge­ stellt, der einen zylindrischen Piezokörper 1 besitzt. An sei­ nen beiden Stirnflächen ist der Piezokörper 1 jeweils mit einer Metallelektrode 2, 3 versehen. An diesen Elektroden 2, 3 sind (nicht gezeigte) Anschlußlitzen angelötet. Über diese Anschlußlitzen werden die Elektroden 2, 3 bei Betrieb des Ul­ traschall-Wandlers im Sendebetrieb mit einer Wechselspannung von einer (nicht gezeigten) Wechselspannungsquelle versorgt. Dadurch wird der Piezokörper 1, vorzugsweise ein Keramikkörper, zu Radialschwingungen veranlaßt. Auf der einen Stirnfläche des Keramikkörpers 1, genauer: auf der Elektrode 3, ist eine An­ passungsschicht 4 angeordnet, die als Lambda/4-Schicht ausgebil­ det ist. Das bedeutet, daß diese Anpassungsschicht 4 in ihrem mittleren Bereich eine Dicke D von Lambda/4 hat, wobei Lambda die Wellenlänge des mittels des Keramikkörpers 1 erzeugten Ultra­ schalls in der Anpassungsschicht 4 ist.
Die Lambda/4-Schicht 4 besteht aus einem Material, dessen aku­ stischer Schallwellenwiderstand einen Wert besitzt, der zwi­ schen der Größe des Schallwellenwiderstandes des Piezokörpers 1 und der Größe des Schallwellenwiderstandes des Mediums 5, in dem sich der Ultraschall ausbreiten soll, liegt. Dieses Medium 5 ist im allgemeinen Luft oder ein anderes Gas. Die Hauptabstrah­ lungsrichtung des Ultraschalls ist durch einen Pfeil 6 gekenn­ zeichnet.
Die Lambda/4-Anpassungsschicht 4 besitzt bei dem dargestellten Ultraschall-Wandler wesentlich größere Breitenabmessungen als der Keramikkörper 1. Der überstehende Bereich der Lambda/4-Schicht 4 ist auf der Seite des Keramikkörpers 1 mit einem Beschwerungs­ ring 7 aus Metall, beispielsweise aus Aluminium, verbunden.
Dieser Beschwerungsring 7 hat im Vergleich zur Lambda/4-Anpassungs­ schicht 4 ein relativ großes Gewicht und eine relativ hohe Steifigkeit. Der Beschwerungsring 7 umschließt konzentrisch den Keramikkörper 1, und zwar ohne diesen zu berühren.
Von besonderer Bedeutung ist vorliegend die Befestigung der Anpassungsschicht 4 am Piezokörper 1. Zu diesem Zweck ist kon­ zentrisch in der Anpassungsschicht 4 eine Vertiefung 8 an­ geordnet, in die der Piezokörper 1 samt Elektrode 3 paßgenau eingelassen ist. Die Einlaßtiefe t in der Anpassungsschicht 4 beträgt dabei weniger als die Hälfte der Dicke d des Piezo­ körpers 1. Entsprechend der Gestalt der Piezokeramik 1 ist die Vertiefung 8 zylindrisch ausgebildet. Die eingelassene Stirn­ fläche des Piezokörpers 1 (genauer: die Elektrode 3) ist dabei auf dem Boden der zylindrischen Vertiefung 8 festgeklebt. Wegen des paßgenauen Einlassens ist gewährleistet, daß ein Teil der zylindrischen Seitenfläche der Piezokeramik 1 jede Durch­ messeränderung direkt auf das Material der Anpassungsschicht 4 überträgt. Es wird also die bei Erregung der Elektroden 2, 3 erzeugte Radialbewegung der Piezokeramik 1 direkt auf das Anpassungsmaterial 4 übertragen. Hierdurch ergibt sich ein hohes Maß an Energieübertragung, was in einer verhältnismäßig großen abgestrahlten Ultraschall-Leistung entlang der Abstrah­ lungsrichtung 6 und folglich auch in relativ großen, beim Empfangsbetrieb vom Piezokörper 1 aufgenommenen Echosignalen resultiert.
Der Ultraschallwandler läßt sich mit Vorteil zu Abstandsmessungen in gasförmigen Stoffen einsetzen.

Claims (8)

1. Ultraschall-Wandler mit einem Piezokörper (1), der piezoelektrisch zu Ultraschall-Schwingungen anregbar ist, und mit einer auf der einen Stirnfläche des Piezokörpers (1) aufgebrachten Anpassungsschicht (4), deren Dickenabmessung (D) Lambda/4 der Schallwelle beträgt und deren Material einen Schallwellenwiderstand besitzt, der zwischen dem Wert des Schallwellenwiderstandes des Materials des Piezokörpers (1) und demjenigen des Mediums (5) liegt, in das Ultraschall abzustrahlen ist, dadurch gekennzeichnet, daß in der Anpassungsschicht (4) eine Vertiefung (8) vorgesehen ist, in die der Piezokörper (1) paßgenau eingelassen ist, derart, daß der in der Vertiefung liegende Teil der Seitenfläche der Piezokeramik deren Radialbewegung direkt auf Material der Anpassungsschicht überträgt.
2. Ultraschall-Wandler nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Einlaßtiefe (t) weniger als die Hälfte der Dicke (d) des Piezokörpers (1) beträgt.
3. Ultraschall-Wandler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Seite der Anpas­ sungsschicht (4), die dem Piezokörper (1) zugewandt ist, ein Beschwerungsring (7) angeordnet ist.
4. Ultraschall-Wandler nach Anspruch 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Beschwerungsring (7) aus einem Metall besteht.
5. Ultraschall-Wandler nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Beschwerungsring (7) auf der Anpassungsschicht (4) aufgeklebt ist.
6. Ultraschall-Wandler nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Piezo­ körper (1) ein Keramikkörper ist, der mit zwei Elektroden (2, 3) zum Anschluß an eine Wechselspannungsquelle versehen ist.
7. Ultraschall-Wandler nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Ver­ tiefung (8) zylindrisch ausgebildet ist.
8. Ultraschall-Wandler nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Stirn­ fläche des Piezokörpers (1) auf dem Boden der Vertiefung (8) festgeklebt ist.
DE19883841226 1988-12-07 1988-12-07 Ultraschall-Wandler mit versenktem Piezokörper Expired - Fee Related DE3841226C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19883841226 DE3841226C2 (de) 1988-12-07 1988-12-07 Ultraschall-Wandler mit versenktem Piezokörper

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19883841226 DE3841226C2 (de) 1988-12-07 1988-12-07 Ultraschall-Wandler mit versenktem Piezokörper

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3841226A1 DE3841226A1 (de) 1990-06-21
DE3841226C2 true DE3841226C2 (de) 1994-03-03

Family

ID=6368657

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19883841226 Expired - Fee Related DE3841226C2 (de) 1988-12-07 1988-12-07 Ultraschall-Wandler mit versenktem Piezokörper

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3841226C2 (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10231402A1 (de) * 2002-07-11 2004-01-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur akustischen Anpassung eines aktiven Elements eines elektroakustischen Wandlers zum Aussenden und Empfangen von Ultraschallwellen

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2541492C3 (de) * 1975-09-17 1980-10-09 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Ultraschallwandler
DE3234896A1 (de) * 1982-09-21 1984-03-22 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Ultraschallwandler

Also Published As

Publication number Publication date
DE3841226A1 (de) 1990-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2541492C3 (de) Ultraschallwandler
DE4311963C2 (de) Füllstandsmeßgerät
DE3815359A1 (de) Sender/empfaenger eines ultraschall-entfernungsmessgeraetes
DE2906704A1 (de) Ultraschalltransponder
DE2537788C3 (de) Ultraschallwandler
DE2245322C3 (de) Verfahren zur zerstörungsfreien Messung der Schichtdicke einer durch eine oberflächliche Werkstoffstrukturveränderung betroffenen Schicht eines Körpers
DE19620133C2 (de) Schall- oder Ultraschallsensor
DE3422115A1 (de) Ultraschallwandlersystem
DE69120905T2 (de) Akustisches Mikroskopsystem
DE2951075A1 (de) Akustischer wandler
DE2749077A1 (de) Messfuehler
DE3841226C2 (de) Ultraschall-Wandler mit versenktem Piezokörper
DE3206111A1 (de) Wandler mit verbesserter aufloesung systeme und verfahren fuer die aussendung und/oder den empfang von durch schwingungen ausgebteiteten wellen
DE2120654A1 (de) Elektromechanischer Wandler
DE3842759C2 (de) Richtscharfer Ultraschall-Wandler mit gekrümmter Abstrahlfläche
DE3401979C2 (de)
DE2744823A1 (de) Sende-empfangsanordnung fuer schall- oder ultraschallwellen fuer die abstandsmessung nach dem echolotprinzip
DE2109013B2 (de) Elektroakustischer Wandler
EP0500765B1 (de) Resonanzschwinger
EP1358476B1 (de) Ultraschall-sensor für die prozesssteuerung beim widerstandspunktschweissen
DE19623071C2 (de) Ultraschallwandler
DE4328792C1 (de) Detektoreinrichtung zur Detektierung von Flüssigkeitsfüllständen
EP0340624A2 (de) Elektroakustischer Wandler
DE3710339C2 (de)
DE202007001637U1 (de) Ultraschallwandler

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8363 Opposition against the patent
8339 Ceased/non-payment of the annual fee