DE3837688A1 - Vorrichtung zur bearbeitung von werkstuecken, vorzugsweise von kreisscheibenfoermigen, flachen substraten - Google Patents

Vorrichtung zur bearbeitung von werkstuecken, vorzugsweise von kreisscheibenfoermigen, flachen substraten

Info

Publication number
DE3837688A1
DE3837688A1 DE3837688A DE3837688A DE3837688A1 DE 3837688 A1 DE3837688 A1 DE 3837688A1 DE 3837688 A DE3837688 A DE 3837688A DE 3837688 A DE3837688 A DE 3837688A DE 3837688 A1 DE3837688 A1 DE 3837688A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
substrate
magazines
shaped
receiving
substrates
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE3837688A
Other languages
English (en)
Inventor
Klaus Dr Michael
Andreas Petz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold AG filed Critical Leybold AG
Priority to DE3837688A priority Critical patent/DE3837688A1/de
Priority to US07/295,232 priority patent/US4936180A/en
Priority to US07/489,162 priority patent/US5108789A/en
Publication of DE3837688A1 publication Critical patent/DE3837688A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q7/00Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting
    • B23Q7/04Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting by means of grippers
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S425/00Plastic article or earthenware shaping or treating: apparatus
    • Y10S425/20Molding plants
    • Y10S425/201Diverse stations
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T82/00Turning
    • Y10T82/10Process of turning
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T82/00Turning
    • Y10T82/11Talking machine tablet
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T82/00Turning
    • Y10T82/25Lathe
    • Y10T82/2514Lathe with work feeder or remover
    • Y10T82/2516Magazine type

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Feeding Of Workpieces (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bearbeitung von Werkstücken, vorzugsweise von kreisscheibenförmigen, flachen Substraten, zum Zwecke der Verbesserung ihrer Oberflächengüte und ihrer Maßhaltigkeit mit einer Dreh­ maschine, mit einer angetriebenen Drehspindel, mit einem Futter zur Aufnahme des zu bearbeitenden Substrats und einem Support zur Halterung und Führung des Werkzeugs und mit Magazinen zur Aufnahme der bearbeiteten und unbearbei­ teten Substrate.
Es ist bekannt, kreisscheibenförmigen Aufzeichnungsträger, beispielsweise Audio-, Video- oder RAM Compact Disks, aus einem Kunststoff zu pressen und diese Preßlinge oder Sub­ strate anschließend in einer Vakuumanlage mit einer das Licht reflektierenden Schicht zu beschichten und diese wiederum mit einem Schutzlacküberzug zu versehen. Der­ artige Disks haben den Nachteil, daß ihre Oberflächengüte und Formtreue nur durchschnittlichen Ansprüchen genügen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zu schaffen, die bei relativ einfachem Aufbau geeignet ist, vollautomatisch die Oberflächen von beispielsweise gepreßten, kreisscheibenförmigen Substraten zu bearbeiten, so daß deren Oberflächengüte, Formgenauigkeit und deren Maßhaltigkeit allerhöchsten Ansprüchen genügt. Außerdem soll die Vorrichtung mit Magazinen zusammenwirken, in denen die Substrate gestapelt sind.
Weiterhin soll die Vorrichtung dafür Sorge tragen, daß die scheibenförmigen, dünnwandigen Substrate sich bei der Be­ arbeitung nicht verziehen oder in anderer Weise verformen. Schließlich soll die Vorrichtung mit einem Roboter zum Transportieren der Substrate zusammenwirken, der einen einfachen Aufbau aufweist und dessen Arbeitsschritte fest vorprogrammiert sind und der ohne eine Meß-, Ortungs- oder Tastapperatur auskommt.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst durch ein am Maschinengestell oder Maschinenunterteil gehaltenen Robo­ ter mit einem in mehreren Ebenen bewegbaren Greiferarm mit Greifzange, wobei mindestens zwei Stapelmagazine vorgese­ hen sind, deren Stapelachsen winklig zu einer horizontalen Ebene verlaufen und die im Aktionsbereich des Greiferarms mit Greifzange gehalten sind.
Weitere Einzelheiten und Merkmale der Erfindung sind in den Unteransprüchen näher beschrieben und gekennzeichnet.
Eine Besonderheit der Erfindung besteht in einer Schräg­ stellung von Sender- und Empfängermagazin (den sogenannten Carriern). Bei horizontaler Magazinlage besitzen die zu hantierenden Scheiben (bzw. Substrate) eine indifferente Lage, was für ein sicheres Roboterhandling nicht vertret­ bar ist. Das erfindungsgemäße Handlingskonzept in Verbin­ dung mit der die Substrate an ihrem Außenrand fassenden Greifzange (außenzentrierende Substrataufnahme) und der vom Aufnahmekegel des Saugfutters (Vakuum-Chucks) gebote­ nen Positioniergenauigkeit (ohne den Einsatz eines auf­ wendigen und störnanfälligen Suchsystems) ermöglicht mit Vorteil eine außerordentlich hohe Betriebssicherheit.
Die Erfindung läßt die verschiedensten Ausführungsmöglich­ keiten zu; eine davon ist in den anliegenden Zeichnungen schematisch näher dargestellt, und zwar zeigen:
Fig. 1 eine Diamant-Drehmaschine in einer Seitenan­ sicht,
Fig. 2 die Maschine nach Fig. 1 in einer weiteren Seitenansicht,
Fig. 3 die Maschine nach den Fig. 1 und 2 in einer dritten Seitenansicht und
Fig. 4 die Maschine nach den Fig. 1 bis 3 in der Draufsicht.
Die in den Zeichnungen stark vereinfacht dargestellte Drehmaschine besteht im wesentlichen aus einem Maschinen­ gestell 2, auf dem, auf drei Stoß- oder Schwingungs­ dämpfern 3, 3′, 3′′ ruhend, das Maschinenunterteil 4 mit dem den Drehdiamanten 5 führenden Ständer 6 mit Support 9 und die Drehspindel 7 mit dem Saugfutter 8 angeordnet sind, wobei außerdem auf dem Maschinenunterteil 4 ein 6-achsiger Roboter 10 mit Greiferarm 11 und Greifzange 12 und daneben noch zwei Magazine 13, 14 befestigt sind.
Die beiden Magazine 13, 14 sind am Maschinenunterteil 4 gehalten, und zwar derart, daß ihre Stapel- oder Hochach­ sen L, L′ zur Horizontalebene E in einem Winkel α von etwa 45° verlaufen (Fig. 3). Die Magazine 13, 14 sind mit scheibenförmigen Substraten 15, 15′ gefüllt, die infolge der schrägen Anordnung der Magazine in diesen eine genau definierte Position einnehmen, da sie alle an den Wand­ teilen der einen Seite des jeweiligen Magazins 13, 14 anliegen.
Der Greifarm 11 des Roboters 10 schwenkt zunächst aus der in Fig. 4 dargestellten Position in eine Drehrichtung gemäß dem Pfeil A, bis seine Längsachse genau mit der Mitte bzw. der Stapelachse L des Magazins 14 fluchtet. Die Greifzange 12 fährt dann in Längsrichtung des Greiferarms 11 aus diesem heraus, bis sich die Greifzange 12 im Be­ reich des kreisscheibenförmigen obersten Substrats 15 des Magazins 14 befindet und dieses greifen kann.
Anschließend entnimmt die Greifereinrichtung das Substrat 15 dem Magazin 14, schwenkt entgegen der Pfeilrichtung A, bis die Längsachse des Greiferarms 11 die Drehachse D der Drehspindel 7 schneidet und legt das Substrat 15 auf dem als Vakuum-Chuck ausgebildeten Futter 8 ab, wo das Sub­ strat 15 durch den auf dessen Unterseite einwirkenden Saugdruck arretiert wird. Nun fährt ein am Ständer 6 ange­ ordneter Meßtaster 16 bis an das Substrat 15 heran und ermittelt die Dicke dieses kreisscheibenförmigen Sub­ strats. Anschließend wird die Drehspindel 7 über einen nicht näher dargestellten Motor in Rotation versetzt, wobei der Support 9 den Drehdiamanten 5 in radialer Richtung über das Substrat 15 führt, wobei ein Span bestimmter Stärke abgeschält wird (die Spantiefe ent­ spricht dabei der Hälfte der gemessenen bzw. abgetasteten Soll-Abweichung der Dicke des Substrats). Nach dem Abdre­ hen der einen Seitenfläche des Substrats 15 wird dieses von dem sich aus einer hinteren Position nach vorne zu bewegenden Greiferarm 11 erfaßt, vom Support 9 abgehoben, um 180° gedreht und mit der zuerst bearbeiteten Fläche wieder auf dem Saugfutter 8 abgelegt. Anschließend fährt der Drehdiamant 5 wieder über das Substrat 15 und dreht dabei die zweite Seitenfläche ab. Schließlich hebt die Greifzange 12 das Substrat 15 vom Futter 8 ab und legt dieses im Magazin 13 ab, wozu der Greiferarm 11 mit der Achse L′ fluchtet.
Der Roboter 10 weist einen vergleichsweise einfachen Auf­ bau auf, da er infolge der Schrägstellung der Magazine 13, 14, der hohen Präzision, die die Substrate 15, 15′, ... haben (insbesondere hinsichtlich ihrer Außendurchmesser), und der präzisen Lage des Saugfutters 8 (des Vakuum- Chucks) mit festprogrammierten Einstellungen arbeiten kann. (Es ist klar, daß unter diesen Bedingungen alle scheibenförmigen Substrate 15, 15′, 15′′, ... in bezug auf ihre Außendurchmesser vorher exakt bearbeitet werden müssen, damit die Greifzange 12 das jeweilige Substrat sicher finden, greifen und halten kann.)
Die Greifzange 12 besteht dazu aus einem etwa bogenförmi­ gen Bügel 19, der an seinen freien Enden Kerben oder Nasen aufweist, die mit der umlaufenden Kante des Substrats 15, 15′, ... zusammenwirken und einem verschiebbaren Finger 21, der die gegenüberliegende Kante des Substrats faßt.
Es sei erwähnt, daß die auf der beschriebenen Vorrichtung bearbeiteten Substrate 15, 15′, ... im Vergleich zu her­ kömmlichen, lediglich im Preßverfahren hergestellten Sub­ strate eine ungleich höhere Maßhaltigkeit, insbesondere Dicke, und auch eine ungleich bessere Oberflächengüte und Formtreue aufweisen, so daß sich die Substrate insbesonde­ re als optische Aufzeichnungsträger, beispielsweise als hochwertige Audio-, Video- oder ROM Compact Disks, eignen.
Weiterhin sei erwähnt, daß als Diamant-Drehmaschine nur eine Maschine Verwendung finden kann, die höchsten Ansprü­ chen an Präzision genügt, also beispielsweise mit einer Luftlagerspindel 7 und einem massiven Maschinenunterteil 4 aus Granit ausgestattet ist.
Schließlich besteht ein beachtlicher Vorteil der beschrie­ benen Vorrichtung darin, daß diese vollautomatisch arbei­ tet und die Substrate 15, 15′, ... der Reihe nach einem ersten Magazin 14 entnimmt und nach ihrer Bearbeitung in einem gleichartigen zweiten Magazin 13 ablegt, so daß die Magazine ohne Stillstand der Maschine getauscht werden können.
Auflistung der Einzelteile:
 2 Maschinengestell
 3, 3′, 3′′ Schwingungsdämpfer
 4 Maschinenunterteil
 5 Drehdiamant
 6 Ständer
 7 Drehspindel
 8 Futter (Saugfutter)
 9 Support
10 Roboter
11 Greiferarm
12 Greifzange
13 Magazin
14 Magazin
15, 15′ Substrat
16 Meßtaster
17 Halterung
18 Halterung
19 Bügel
20 umlaufende Kante des Substrats
21 Greiffinger

Claims (4)

1. Vorrichtung zur Bearbeitung von Werkstücken, vorzugs­ weise von kreisscheibenförmigen, flachen Substraten (15, 15′, ...), zum Zwecke der Verbesserung ihrer Oberflächengüte und ihrer Maßhaltigkeit mit einer Drehmaschine, mit einer angetriebenen Drehspindel (7), mit einem Futter (8) zur Aufnahme des zu bear­ beitenden Substrats und einem Support (9) zur Halte­ rung und Führung des Werkzeugs (5) und mit Magazinen (13, 14) zur Aufnahme der bearbeiteten und unbearbei­ teten Substrate (15, 15′, ...), gekennzeichnet durch ein am Maschinengestell (2) oder Maschinenunterteil (4) gehaltenen Roboter (10) mit einem in mehreren Ebenen bewegbaren Greiferarm (11) mit Greifzange (12), wobei mindestens zwei Magazine (13, 14) vorge­ sehen sind, deren Stapelachsen (L, L′) winklig zu einer horizontalen Ebene (E) verlaufen und die im Aktionsbereich des Greiferarms (11) mit Greifzange (12) gehalten sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Stapelachsen (2, 2′) der im übrigen kasten­ förmigen Magazine (13, 14) mit der Horizontalen einen Winkel (α) von etwa 45° einschließen.
3. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterungen (17, 18) der Magazine (13, 14) verstellbar sind, und zwar sowohl in ihrer Neigung zur Horizontalen als auch in ihrem Abstand zur Drehspindel (7).
4. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Greifzange (12) aus einem Bügel (19) mit zwei Kerben oder Nasen zur Aufnahme der Randpartie oder umlaufenden Kante (20) der einen Seite eines Substrats (15, 15′, ...) und einem gegen­ über diesem beweglichen Finger mit einer Kerbe oder Nase zur Aufnahme der gegenüberliegenden Randpartie oder umlaufenden Kante (20) des Substrats (15, 15′, ...) aufweist.
DE3837688A 1988-11-05 1988-11-05 Vorrichtung zur bearbeitung von werkstuecken, vorzugsweise von kreisscheibenfoermigen, flachen substraten Withdrawn DE3837688A1 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3837688A DE3837688A1 (de) 1988-11-05 1988-11-05 Vorrichtung zur bearbeitung von werkstuecken, vorzugsweise von kreisscheibenfoermigen, flachen substraten
US07/295,232 US4936180A (en) 1988-11-05 1989-01-09 Apparatus for machining workpieces, particularly flat circular disk-shaped substrates
US07/489,162 US5108789A (en) 1988-11-05 1990-03-06 Method for manufacturing disk-shaped recording media

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3837688A DE3837688A1 (de) 1988-11-05 1988-11-05 Vorrichtung zur bearbeitung von werkstuecken, vorzugsweise von kreisscheibenfoermigen, flachen substraten

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3837688A1 true DE3837688A1 (de) 1990-05-10

Family

ID=6366627

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3837688A Withdrawn DE3837688A1 (de) 1988-11-05 1988-11-05 Vorrichtung zur bearbeitung von werkstuecken, vorzugsweise von kreisscheibenfoermigen, flachen substraten

Country Status (2)

Country Link
US (2) US4936180A (de)
DE (1) DE3837688A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19641534A1 (de) * 1996-10-09 1998-04-23 Genauigkeits & Maschinenbau Nu Schleifautomat

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH081574A (ja) * 1994-06-23 1996-01-09 Fanuc Ltd ロボット装置
AU5134796A (en) * 1995-11-22 1997-06-11 Discart Llc Method and apparatus for manufacturing compact discs having a non-round outer profile
EP1043684A1 (de) 1999-03-29 2000-10-11 OMD Productions AG Informationsträger
US6939485B2 (en) * 2001-10-30 2005-09-06 Randy Kish Method for shaping optical storage discs and products thereof
US6843622B2 (en) * 2002-02-14 2005-01-18 Concept Design Electronics And Manufacturing, Inc. Apparatus and method for profiling optical disks
JP2004319697A (ja) * 2003-04-15 2004-11-11 Disco Abrasive Syst Ltd 板状物に形成された電極の加工装置
JP6895918B2 (ja) * 2018-03-23 2021-06-30 古河電気工業株式会社 磁気ディスク用アルミニウム合金基板、ディスク駆動装置、及び磁気ディスク用アルミニウム合金基板の製造方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD225378A1 (de) * 1984-04-30 1985-07-31 Draht U Seilwerk Rothenburg Au Speicherpalette fuer futterdrehteile
EP0180829A2 (de) * 1984-11-08 1986-05-14 PITTLER Maschinenfabrik AG Vertikal arbeitende Werkzeugmaschine mit Handhabungsgerät
DE3607588A1 (de) * 1985-03-07 1986-09-18 Epsilon Technology, Inc., Tempe, Ariz. Verfahren und vorrichtung zum automatischen handhaben von halbleiterplaettchen
EP0208828A1 (de) * 1985-07-06 1987-01-21 Wilhelm Hegenscheidt Gesellschaft mbH Beschickungseinrichtung für Senkrechtdrehmaschinen

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1428716A (en) * 1920-02-02 1922-09-12 Smith Corp A O Machine for pickling metal plates and blanks
US1933226A (en) * 1932-03-03 1933-10-31 Seneca Falls Machine Co Work-handling mechanism
US2554699A (en) * 1945-01-26 1951-05-29 Jones & Lamson Mach Co Gripper transfer device
US2978117A (en) * 1957-03-07 1961-04-04 Earl A Thompson Automatic loading device
FR2339468A1 (fr) * 1976-01-29 1977-08-26 Leroy Somer Moteurs Procede et dispositif pour le remplacement automatique d'une piece a usiner sur une machine-outil
US4060937A (en) * 1976-09-27 1977-12-06 Morse Safety Products Co. Grinder for glass plates or the like
DE2734228A1 (de) * 1977-07-29 1979-02-08 Heyligenstaedt & Co Werkstueckwechselvorrichtung
EP0001896B1 (de) * 1977-11-01 1981-01-07 Emi Electrola Gesellschaft Mit Beschränkter Haftung Trimmen von Schallplatten
DE2904088C2 (de) * 1979-02-03 1988-08-18 Index-Werke Kg Hahn & Tessky, 7300 Esslingen Be- und/oder Entladeeinrichtung für Werkzeugmaschinen, insbesondere Drehautomaten
DE2937276A1 (de) * 1979-09-14 1981-03-19 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Einrichtung zum glaetten der oberflaechen von platten fuer plattenspeicher
US4264254A (en) * 1979-12-19 1981-04-28 Rca Corporation Article transfer apparatus
US4671145A (en) * 1983-12-23 1987-06-09 Basf Aktiengesellschaft Method and apparatus for the surface machining of substrate plates for magnetic memory plates
JPS62136301A (ja) * 1985-12-03 1987-06-19 Mitsubishi Electric Corp 旋削加工装置
FR2606694B1 (fr) * 1986-11-13 1989-03-24 Europ Propulsion Procede et dispositif d'usinage ultra-precis applique a l'execution de surfaces atypiques de revolution et aux usinages asservis
US4793953A (en) * 1987-10-16 1988-12-27 Galic/Maus Ventures Mold for optical thermoplastic high-pressure molding

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD225378A1 (de) * 1984-04-30 1985-07-31 Draht U Seilwerk Rothenburg Au Speicherpalette fuer futterdrehteile
EP0180829A2 (de) * 1984-11-08 1986-05-14 PITTLER Maschinenfabrik AG Vertikal arbeitende Werkzeugmaschine mit Handhabungsgerät
DE3607588A1 (de) * 1985-03-07 1986-09-18 Epsilon Technology, Inc., Tempe, Ariz. Verfahren und vorrichtung zum automatischen handhaben von halbleiterplaettchen
EP0208828A1 (de) * 1985-07-06 1987-01-21 Wilhelm Hegenscheidt Gesellschaft mbH Beschickungseinrichtung für Senkrechtdrehmaschinen

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
GB-Z: LUNDSTROM, G.: Industrial Robots-Gripper Review. Printed by Cotswold Press Ltd., Oxford, England, August 1979, S.28 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19641534A1 (de) * 1996-10-09 1998-04-23 Genauigkeits & Maschinenbau Nu Schleifautomat
DE19641534C2 (de) * 1996-10-09 1998-09-10 Genauigkeits & Maschinenbau Nu Schleifautomat

Also Published As

Publication number Publication date
US4936180A (en) 1990-06-26
US5108789A (en) 1992-04-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0737968B1 (de) Transportvorrichtung
DE3219502C2 (de) Vorrichtung zum automatischen Transport scheibenförmiger Objekte
EP0144717B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Positionierung von Bauteilen auf einem Werkstück
DE3416660C2 (de)
DE69910376T2 (de) Lageveränderungs-vorrichtung und -verfahren für eine halbleiterscheibe
DE2444124C3 (de) Zusatzeinrichtung zum automatischen Be- und/oder Entladen von Werkzeugmaschinen
EP1324856B1 (de) Ständerwerkzeugmaschine
DE3032940C2 (de) Lade- und Entladevorrichtung für Aufdampfanlagen
DE69611976T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur automatisches Laden und Entladen einer Metallplatte
EP0110815A2 (de) Flexible Fertigungszelle
DE10144678A1 (de) Fräs-und Bohrbearbeitungszentrum
DE10359707A1 (de) Waferstützplatte
DE19708096A1 (de) Bearbeitungszentrum
DE19904859A1 (de) Drehmaschine mit zwei Werkstückspindeln
DE3837688A1 (de) Vorrichtung zur bearbeitung von werkstuecken, vorzugsweise von kreisscheibenfoermigen, flachen substraten
DE19957758A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Ausrichten von scheibenförmigen Substraten
DE10010865A1 (de) Verfahren zum Schneiden eines laminierten Werkstücks
DE102008009989B4 (de) Werkzeugmaschine
DE2653928C2 (de) Bearbeitungszentrum
DE3620247C2 (de)
DE3532924C2 (de)
DE102019120681A1 (de) Werkzeugmaschine
CH649243A5 (en) Machine tool
EP0331178A1 (de) Kompaktaufbau einer Säulenbohrmaschine
DE19747995C2 (de) Selbstladendes Bearbeitungszentrum mit Werkstück- und Werkzeugmagazinen

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8139 Disposal/non-payment of the annual fee