DE3830962A1 - Einrichtung zum messen von laengen oder winkeln mit einem interferometer - Google Patents

Einrichtung zum messen von laengen oder winkeln mit einem interferometer

Info

Publication number
DE3830962A1
DE3830962A1 DE3830962A DE3830962A DE3830962A1 DE 3830962 A1 DE3830962 A1 DE 3830962A1 DE 3830962 A DE3830962 A DE 3830962A DE 3830962 A DE3830962 A DE 3830962A DE 3830962 A1 DE3830962 A1 DE 3830962A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
interferometer
splitter
measuring
beam splitter
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE3830962A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE3830962C2 (enExample
Inventor
Jens Ohlenbusch
Hans-Peter Meiser
Walter Dr Luhs
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SPINDLER & HOYER GMBH, 37081 GOETTINGEN, DE
Original Assignee
Spindler & Hoyer KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Spindler & Hoyer KG filed Critical Spindler & Hoyer KG
Priority to DE3830962A priority Critical patent/DE3830962A1/de
Priority to AT89116716T priority patent/ATE98368T1/de
Priority to EP89116716A priority patent/EP0359157B1/de
Priority to DE89116716T priority patent/DE58906364D1/de
Publication of DE3830962A1 publication Critical patent/DE3830962A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3830962C2 publication Critical patent/DE3830962C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/02015Interferometers characterised by the beam path configuration
    • G01B9/02027Two or more interferometric channels or interferometers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2290/00Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
    • G01B2290/70Using polarization in the interferometer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
DE3830962A 1988-09-12 1988-09-12 Einrichtung zum messen von laengen oder winkeln mit einem interferometer Granted DE3830962A1 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3830962A DE3830962A1 (de) 1988-09-12 1988-09-12 Einrichtung zum messen von laengen oder winkeln mit einem interferometer
AT89116716T ATE98368T1 (de) 1988-09-12 1989-09-09 Symmetrische zweiarmige einrichtung zum messen von laengen mit einem interferometer.
EP89116716A EP0359157B1 (de) 1988-09-12 1989-09-09 Symmetrische zweiarmige Einrichtung zum Messen von Längen mit einem Interferometer
DE89116716T DE58906364D1 (de) 1988-09-12 1989-09-09 Symmetrische zweiarmige Einrichtung zum Messen von Längen mit einem Interferometer.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3830962A DE3830962A1 (de) 1988-09-12 1988-09-12 Einrichtung zum messen von laengen oder winkeln mit einem interferometer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3830962A1 true DE3830962A1 (de) 1990-03-15
DE3830962C2 DE3830962C2 (enExample) 1993-07-01

Family

ID=6362780

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3830962A Granted DE3830962A1 (de) 1988-09-12 1988-09-12 Einrichtung zum messen von laengen oder winkeln mit einem interferometer
DE89116716T Expired - Fee Related DE58906364D1 (de) 1988-09-12 1989-09-09 Symmetrische zweiarmige Einrichtung zum Messen von Längen mit einem Interferometer.

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE89116716T Expired - Fee Related DE58906364D1 (de) 1988-09-12 1989-09-09 Symmetrische zweiarmige Einrichtung zum Messen von Längen mit einem Interferometer.

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0359157B1 (enExample)
AT (1) ATE98368T1 (enExample)
DE (2) DE3830962A1 (enExample)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4421212A1 (de) * 1994-06-17 1995-12-21 Schuesler Hans H Dr Ing Verfahren zur Abstandsmessung sowie eine Vorrichtung in Art einer Laserinterferometer-Anordnung

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5404222A (en) * 1994-01-14 1995-04-04 Sparta, Inc. Interferametric measuring system with air turbulence compensation
US5991033A (en) * 1996-09-20 1999-11-23 Sparta, Inc. Interferometer with air turbulence compensation
DE102010061950A1 (de) 2010-11-25 2012-05-31 Carl Zeiss Smt Gmbh Verfahren sowie Anordnung zum Bestimmen des Erwärmungszustandes eines Spiegels in einem optischen System

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3124357C2 (de) * 1981-06-20 1983-07-07 Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart Längenmeßeinrichtung
US4752133A (en) * 1985-12-19 1988-06-21 Zygo Corporation Differential plane mirror interferometer
EP0281385A2 (en) * 1987-03-02 1988-09-07 Hewlett-Packard Company Plane mirror interferometer
DE3706347A1 (de) * 1987-02-27 1988-09-08 Fraunhofer Ges Forschung Laserinterferometer zur interferometrischen laengenmessung

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62298702A (ja) * 1986-06-12 1987-12-25 ジゴ− コ−ポレ−シヨン 差動平面鏡干渉計システム

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3124357C2 (de) * 1981-06-20 1983-07-07 Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart Längenmeßeinrichtung
US4752133A (en) * 1985-12-19 1988-06-21 Zygo Corporation Differential plane mirror interferometer
DE3706347A1 (de) * 1987-02-27 1988-09-08 Fraunhofer Ges Forschung Laserinterferometer zur interferometrischen laengenmessung
EP0281385A2 (en) * 1987-03-02 1988-09-07 Hewlett-Packard Company Plane mirror interferometer

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4421212A1 (de) * 1994-06-17 1995-12-21 Schuesler Hans H Dr Ing Verfahren zur Abstandsmessung sowie eine Vorrichtung in Art einer Laserinterferometer-Anordnung
DE4421212C2 (de) * 1994-06-17 1998-03-19 Schuesler Hans H Dr Ing Vorrichtungen zur Abstandsmessung in Art einer Laserinterferometer-Anordnung

Also Published As

Publication number Publication date
ATE98368T1 (de) 1993-12-15
DE3830962C2 (enExample) 1993-07-01
EP0359157A2 (de) 1990-03-21
EP0359157B1 (de) 1993-12-08
DE58906364D1 (de) 1994-01-20
EP0359157A3 (de) 1991-01-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69024833T2 (de) Spiegelinterferometer für Linear- und Winkelmessungen
DE3873563T2 (de) Planspiegelinterferometer.
DE4201511B4 (de) Positionsdetektor und Verfahren zur Positionsmessung
DE3781837T2 (de) Interferometer zur winkelmessung.
EP0281906B1 (de) Interferometer zur Messung von optischen Phasendifferenzen
DE69014205T2 (de) Optische messinstrumente.
DE3888831T2 (de) Optischer apparat zur anwendung mit interferometrischen messgeräten.
DE1572713B2 (de) Laser interferometer
DE3702203A1 (de) Verfahren zum messen von relativbewegungen
DE69017159T2 (de) Laser-interferometrischer Messapparat.
DE2348272A1 (de) Dehnungsmesser
DE1447253B2 (de) Verfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen interferometriscverfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen interferometrisc
EP1031868B1 (de) Kompensierter Parallel-Strahlteiler mit zwei Platten sowie Interferometer
DE69426808T2 (de) Kombiniertes Interferometer und Refraktometer
DE3405886C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum polarimetrischen Messen des Rollwinkels eines beweglichen Maschinenteiles
DE3421213A1 (de) Zweikanal-zweifrequenz-laserinterferometer
DE102004049646B4 (de) Optik-Baugruppe für ein Interferometer
DE3830962C2 (enExample)
DE4016731C3 (de) Fourierspektrometer
DE2628836B2 (de) Optischer Phasendiskriminator
DE4116039A1 (de) Interferometrisches verfahren und interferometer zur durchfuehrung desselben
DE4104636A1 (de) Polarisationsinterferometer mit schmalbandfilter
CH420641A (de) Interferenzkomparator
DE10317387B4 (de) Kompakte Strahlzurückverfolgungsoptikeinrichtung zum Eliminieren eines Strahlauseinanderlaufens
DE1572713C (de) Laser-Interferometer

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: SPINDLER & HOYER GMBH, 37081 GOETTINGEN, DE

8339 Ceased/non-payment of the annual fee