DE3830416A1 - Beschleunigungsmessgeraet - Google Patents
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Beschleunigungsmeßgerät,
insbesondere einen darin angeordneten Stromkreis,
mit welchem der Betrieb des Beschleunigungsmeßgerätes
über einen weiten Temperaturbereich stabilisiert werden kann.
Es sind bereits kapazitive Beschleunigungsmeßgeräte bekannt,
mit welchem die Beschleunigung eines Gegenstandes, beispielsweise
eines Fahrzeugs, gemessen und festgestellt werden können.
Kapazitive Beschleunigungsmeßgeräte besitzen dabei ein
Gehäuse, zwei magnetische Einheiten mit entsprechenden Magnetstrukturen
sowie ein aus geschmolzenem Quarz bestehendes
Schwenkelement, welches mit Metall beschichtet ist. Dieses
Schwenkelement ist dabei zwischen den beiden magnetischen
Einheiten angeordnet, und in bezug auf das Gehäuse schwenkbar
gelagert. Auf gegenüberliegenden Seiten des Schwenkelementes
sind entsprechende Wicklungen vorgesehen, mit welchen
die Permanentmagnete umschlossen werden, welche Teil der
Magneteinheiten sind. Während der jeweilige Gegenstand bzw.
das Fahrzeug beschleunigt wird, hat das Schwenkelement die
Tendenz stationär im Raum stehenzubleiben, so daß dasselbe
sich gegenüber den Magnetstrukturen bewegt. Auf beiden Seiten
des Schwenkelementes werden zwei Kondensatoren gebildet,
so daß bei einer Verschwenkung des Schwenkelementes in bezug
auf die Magnetstrukturen die Kapazität des einen Kondensators
zunimmt, während die Kapazität des anderen Kondensators abnimmt.
Diese Kondensatoren werden dabei innerhalb eines
Brückenkreises verwendet, so daß auf diese Weise ein Gleichstrom
gebildet wird, der proportional zu der Beschleunigung
ist, wobei dieses Gleichstromsignal zurück in die Wicklungen
des Beschleunigungsmeßgerätes geleitet wird, um das Schwenkelement
in seine Ruheposition zu bringen.
Derartige Beschleunigungsmeßgeräte können innerhalb von Flugzeugen
oder Raumfahrzeugen oder in Lenksystemen verwendet werden.
Dabei können die Betriebstemperaturen des Beschleunigungsmeßgerätes
über einen weiten Bereich variieren. Demzufolge
müssen besondere Vorkehrungen getroffen werden, damit eine
vorhandene Beschleunigung mit hoher Genauigkeit innerhalb
eines weiten Temperaturbereiches gemessen werden kann.
Im Rahmen der US-PS 46 58 647 ist bereits eine Anordnung beschrieben,
um bei Beschleunigungsmeßgeräten äußere Störfaktoren
bei Veränderung der Umgebungstemperatur zu vermeiden.
Im Rahmen der US-PS 44 98 342 ist fernerhin ein Beschleunigungsmeßgerät
bekannt, welches mit einem Mikrostromkreis versehen
ist, in welchem eine Dehnungsstreifenbrücke, ein Vorverstärker,
ein Summierverstärker, ein Treiberverstärker sowie
ein Ausgangswiderstand zur Signalabgabe vorgesehen sind.
Die betreffende Brücke besitzt dabei vier spannungsempfindliche
Widerstände, welche zu einer Vollbrücke zusammengeschaltet
sind, wobei die vorhandenen Eingangsklemmen mit Gleichstrom
gespeist werden, während an den Ausgangsklemmen ebenfalls
ein Gleichstromsignal abgegeben wird, welches eine Ablenkung
des Schwenkelementes aus seiner Ruheposition anzeigt.
Obwohl das betreffende Beschleunigungsmeßgerät so konstruiert
ist, daß die Temperatureinflüsse möglichst klein gehalten
werden, werden die vorgesehenen elektronischen Elemente
sowie die Widerstände in starkem Maße dadurch beeinflußt.
Dies führt dazu, daß das betreffende Beschleunigungsmeßgerät
unstabil ist.
Es ist demzufolge Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Beschleunigungsmeßgerät
zu schaffen, bei welchem eine weitgehend
von zusätzlichen Bauteilen unabhängige Temperaturkompensation
zustande kommt, so daß das betreffende Beschleunigungsmeßgerät
über einen weiten Temperaturbereich einsetzbar
ist.
Erfindungsgemäß wird dies durch Vorsehen der im kennzeichnenden
Teil des Anspruchs 1 aufgeführten Merkmale erreicht.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich anhand
der Unteransprüche.
Das erfindungsgemäße Beschleunigungsmeßgerät besitzt einen
Temperaturkompensationskreis, mit welchem die an den piezoelektrischen
Widerstandselementen auftretenden Signale temperaturmäßig
korrigiert werden. Aufgrund von Temperaturveränderungen
sich ergebende Änderungen des Ausgangssignals des
elektronischen Kreises des Beschleunigungsmeßgerätes werden
dabei mit Hilfe eines negativen Rückkopplungsverstärkers
kompensiert. Dabei wird ein fehlerhafter Betrieb des elektronischen
Kreises aufgrund von Temperaturveränderungen verhindert,
so daß das betreffende Beschleunigungsmeßgerät über
einen weiten Temperaturbereich einsetzbar ist.
Die vorliegende Erfindung soll nunmehr anhand eines Ausführungsbeispiels
näher erläutert und beschrieben werden, wobei
auf die Zeichnung Bezug genommen ist. Es zeigt
Fig. 1 ein schematisches Schnittdiagramm eines Beschleunigungsmeßgerätes
gemäß der Erfindung,
Fig. 2 ein schematisches Schaltdiagramm eines Stromkreises,
bei welchem die vorliegende Erfindung eingesetzt
wird,
Fig. 3 ein Schaltdiagramm eines konventionellen Beschleunigungsmeßgerätes
gemäß dem Stand der Technik,
Fig. 4 eine graphische Darstellung der Beziehung zwischen
dem negativen Rückkopplungs-Verstärkungsfaktor und
der Temperaturveränderung bei einem Beschleunigungsmeßgerät
bekannter Bauweise,
Fig. 5 eine schematische Darstellung der Erläuterung der
Beziehung zwischen dem Schleifenverstärkungsfaktor
und der Bewegung des Schwenkelementes,
Fig. 6 ein schematisches Diagramm des Temperaturkompensationskreises
gemäß der Erfindung und
Fig. 7 eine graphische Darstellung der Temperaturveränderung
des negativen Rückkopplungs-Verstärkungsfaktors
bei einem elektrischen Stromkreis gemäß der Erfindung.
Entsprechend Fig. 1 ist das Beschleunigungsmeßgerät gemäß
der Erfindung mit einem Beschleunigungssensor 10 versehen,
welcher aus einem Paar von Gehäusehälften 12 zusammengesetzt
ist, die aus einem magnetischen Material bestehen und in bezug
auf die Achse X-X rotationssymmetrisch sind.
Die beiden Gehäusehälften 12 besitzen dabei jeweils eine
flache Stirnwand 14 sowie einen Ringbereich 16, welcher sich
von der Stirnwand 14 der Gehäusehälften 12 zur Mitte hin erstreckt.
An der Innenseite der beiden Endwandungen 14 sind
zwei scheibenförmige Permanentmagnete 18 befestigt, wobei
jeweils ein Pol dieser Permanentmagneten 18 mit der Innenfläche
der jeweiligen Stirnwand 14 in Berührung steht.
Zwischen den beiden Magnetstrukturen mit den Permanentmagneten
18 ist unter Verwendung eines Halteringes 22 und einer
Gelenkverbindung 24 ein Schwenkelement 20 gehalten. Dieses
Schwenkelement 20 besitzt dabei eine kreisförmige Konfiguration
und ist aus einem nicht magnetischen Material gefertigt.
Der eine Rand dieses Schwenkelementes 20 ist über die erwähnte
Gelenkverbindung 24 mit dem Haltering 20 verbunden, während
der verbleibende Umfangsbereich gegenüber dem Haltering
22 über einen schmalen Spalt 26 getrennt ist. An den
oberen und unteren Flächen des Schwenkelementes 20 sind
zwei Spulenträger 28 befestigt, auf welchen entsprechende
Wicklungen 30 aufgebracht sind.
Gemäß Fig. 2 besitzt der elektronische Stromkreis des Beschleunigungsmeßgerätes
eine Dehnungsstreifenbrücke 40,
einen mit einem Vorverstärker 42 versehenen Differentialdetektorkreis,
einen mit einem Summierverstärker 44 versehenen
Signalverarbeitungskreis, einen mit einem Treiberverstärker
46 versehenen negativen Rückkopplungskreis, die Wicklung 30
sowie einen der Abgabe eines Ausgangssignals dienenden Ausgangswiderstand
48.
Der Brückenkreis 40 besteht aus einem Paar von piezoresistiven
Dehnungsmeßelementen 51, 52, einem Paar von Festwiderständen
52, 53, sowie in Serie dazu angeordneten weiteren
Widerständen 54, 55 sowie gleichstromgespeiste Eingangsklemmen
56, 57 und Ausgangsklemmen 58, 59.
Sobald das Beschleunigungsmeßgerät einer Beschleunigung ausgesetzt
wird, wird das Schwenkelement 20 aus seiner Ruheposition
abgelenkt, so daß an den Ausgangsklemmen 58, 59
entsprechende Ablenkung des Schwenkelementes 20 ein Gleichstrombrückensignal
abgegeben wird. Dieses Brückensignal wird
mit Hilfe des Vorverstärkers 42 verstärkt. Das Ausgangssignal
dieses Vorverstärkers 42 wird dann dem Summierverstärker
44 zugeführt, von welchem aus der Treiberverstärker
46 angesteuert wird. Das Ausgangssignal des Treiberverstärkers
46 wird dann über die Rückstellwicklungen 30 dem
Ausgangswiderstand 50 zugeführt, wobei eine Rückführung des
Schwenkelementes 20 in seine Ruheposition erfolgt. Fig. 3
zeigt dabei die Schaltanordnung bei einem bekannten Kreis
eines Beschleunigungsmeßgerätes.
Im folgenden soll nunmehr erörtert werden, in welcher Weise
Temperaturveränderungen in bezug auf einen derartigen elektronischen
Kreis mit piezoresistiven Elementen wirksam werden.
Die dem Treiberverstärker 46 zugeführte Eingangsspannung V P/O
besitzt dabei einen negativen Temperaturkoeffizienten -α,
so wie sich dies anhand von Fig. 4 ergibt, in welcher Temperaturveränderungen
entlang der Abszisse dargestellt sind.
Da der Verstärkungsfaktor des Treiberverstärkers 46 im wesentlichen
durch die Widerstände R₁ und R₂ festgelegt wird,
besitzt das Ausgangssignal V O/A des Treiberverstärkers 46
ebenfalls einen negativen Temperaturkoeffizienten, so wie
dies ebenfalls bei der Eingangsspannung V P/O der Fall ist.
Unter der Annahme, daß die Rückstellwicklung 30 einen positiven
Temperaturkoeffizienten besitzt und einen positiven
Widerstandswert R TG aufweist, ist der durch die Rückstellwicklung
30 geleitete Strom i a durch die folgende Gleichung
festgelegt:
wobei R M der Widerstandswert des Ausgangswiderstandes 48 ist.
Der durch die Rückstellwicklung 30 fließende Strom i a besitzt
demzufolge einen negativen Temperaturkoeffizienten -β, so
wie sich dies anhand von Fig. 4 mit Δ ia /Δ t =-β ergibt.
Da der Schleifenverstärkungsfaktor des Beschleunigungsmeßgerätes
proportional zu der Größe der Eingangsspannung V P/O,
dem Verstärkungsfaktor G₁ des Treiberverstärkers 46 und des
durch die Rückstellwicklung 30 fließenden Stromes i a ist,
ergibt sich der Temperaturkoeffizient des Schleifenverstärkungsfaktors
des Beschleunigungsmeßgerätes durch die folgende
Gleichung:
Temperaturkoeffizient (Δ K L/Δ t )=-(α+β)
Unter Normalbedingungen wird die Phasenkompensation und die
Einstellung des Schleifenverstärkungsfaktors des Beschleunigungsmeßgerätes
bei Normaltemperatur von ungefähr 25°C durchgeführt.
Falls jedoch das Beschleunigungsmeßgerät einer
hohen Temperatur, beispielsweise +96°C ausgesetzt ist,
wird demzufolge der Schleifenverstärkungsfaktor des Beschleunigungsmeßgerätes
entsprechend verringert.
Entsprechend Fig. 5 sei nunmehr angenommen, daß eine Beschleunigung
α entlang der idealen Achse X des Beschleunigungsmeßgerätes
durchgeführt wird, während zusätzlich entlang der
senkrecht zu der X-Achse stehenden Y-Achse eine Beschleunigung
β erfolgt. Wenn in einem derartigen Fall das Schwenkelement
20 aus einer neutralen Lage um den Winkel R₁ ausgelenkt
wird, kann der Auslenkungswinkel R₁ des Schwenkelementes
20 durch die folgende Gleichung angegeben werden:
Falls das Beschleunigungsmeßgerät nunmehr der erwähnten hohen
Temperatur ausgesetzt wird, wird die Meßempfindlichkeit entsprechend
verringert, während gleichzeitig der dynamische Bereich
abnimmt. Da die Auslenkung des Schwenkelementes 20 umgekehrt
proportional zu dem Schleifenverstärkungsfaktor K L
ist, und bei hohen Temperaturen die Auslenkung des Schwenkelementes
20 reduziert wird, erhöht sich der lineare Fehler,
so daß auf diese Weise die Genauigkeit des Beschleunigungsmeßgerätes
verringert wird.
Unter Berücksichtigung obiger Ausführungen werden bei einem
Stromkreis gemäß der Erfindung entsprechend Fig. 2 und 6 innerhalb
des Rückkopplungspfades zu dem Treiberverstärker 46 zusätzlich
Widerstände R₄ und R₅ (SEL) eingesetzt.
Da der Verstärkungsfaktor des Treiberverstärkers 46 sich in
Abhängigkeit einer Veränderung der angelegten Belastung verändert,
und da die Rückstellwicklung 30 einen positiven
Temperaturkoeffizienten aufweist, erhält nunmehr der Verstärkungsfaktor
des Treiberverstärkers 46 ebenfalls einen
positiven Temperaturkoeffizienten. Wenn dieser positive
Temperaturkoeffizient so gewählt ist, daß dadurch der negative
Temperaturkoeffizient im Hinblick auf das Ausgangssignal
V P/O und den durch die Rückstellwicklung 30 fließenden
Strom i a aufhebt, ergibt sich, daß der Verstärkungsfaktor
der negativen Rückkopplungsschleife Null wird, so wie
dies in Fig. 7 gezeigt ist.
Im Rahmen der vorliegenden Erfindung wird demzufolge die
temperaturbedingte Veränderung des Widerstandes der Rückstellwicklung
30 des Beschleunigungsmeßgerätes dazu verwendet,
um die Temperaturveränderung zu kompensieren, falls
der Verstärkungsfaktor der negativen Rückkopplung derart gewählt
ist, daß der Schleifenverstärkungsfaktor unabhängig
von Temperaturveränderungen ist.
Claims (2)
1. Beschleunigungsmeßgerät mit einem Paar von Rückstellwicklungen,
welche an gegenüberliegenden Oberflächen eines
Schwenkelementes angeordnet sind, das zwischen zwei Magnetstrukturen
angeordnet ist, ferner einer Dehnungsstreifenbrücke
mit piezoelektrischen Widerstandselementen zur Feststellung
einer beschleunigungsbedingten Auslenkung des Schwenkelementes
aus seiner neutralen Position und Abgabe eines
Gleichstrombrückensignals in Abhängigkeit der betreffenden
Auslenkung, einem Vorverstärker zur Verstärkung des Gleichstromsignals,
einem mit dem Vorverstärker verbundenen Summierverstärker,
sowie einem mit einem dem Ausgang des Summierverstärkers
verbundenen negativen Rückkopplungsverstärker mit
einem Treiberverstärker, wobei das Ausgangssignal des negativen
Rückkopplungsverstärkers Rückstellwicklungen zuführbar
ist, um das Schwenkelement zurück in seine Ausgangsposition
zu bringen und das Ausgangssignal des Brückenkreises
auf Null zu bringen, und wobei das Ausgangssignal
des Rückkopplungsverstärkers durch einen Ausgangswiderstand
geleitet ist, um auf diese Weise ein Signal zur Messung der
Beschleunigung zu bilden,
dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich
Elemente (R₄, R₅) vorgesehen sind, mit welchen
erreichbar ist, daß die Temperaturveränderungen des Widerstandes
(R TG) der Rückstellwicklung (30) zur Korrektur der
Temperaturveränderung des Verstärkungsfaktors des negativen
Rückkopplungsverstärkers (46) verwendet sind.
2. Beschleunigungsmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Elemente zur Korrektur
der Temperaturveränderung des Verstärkungsfaktors des negativen
Rückkopplungsverstärkers (46) Widerstandselemente (R₄,
R₅) sind.
Applications Claiming Priority (1)
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Family
ID=16807746
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
DE3830416A Granted DE3830416A1 (de) | 1987-09-09 | 1988-09-07 | Beschleunigungsmessgeraet |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4887467A (de) |
JP (1) | JPS6468662A (de) |
DE (1) | DE3830416A1 (de) |
FR (1) | FR2620234A1 (de) |
GB (1) | GB2209606B (de) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |