DE3818341A1 - Kunststoff-halbspiegel - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft einen Kunststoff-Halbspiegel nach dem Oberbegriff
des Patentanspruchs 1.
Bisher wurden derartige Halbspiegel beispielsweise durch Aufbringen einer
TiO₂- oder SiO₂-Schicht mittels eines Elektronenkanonenprozesses auf
einem erhitzten Glassubstrat im Vakuum hergestellt.
Neuerdings werden anstelle von Glas häufig auch Kunststoffe als Material
für optische Teile wie Linsen und dergleichen verwendet, weil sie leicht
sind und einfach verarbeitet werden können. Die optischen Teile, die aus
Kunststoff hergestellt sind, können jedoch wegen ihrer weichen Oberfläche
leicht beschädigt werden, so daß es erforderlich ist, eine Schutzfilmschicht
auf der Oberfläche des optischen Teils aufzutragen. Ein besonders optisches
Teil ist der Halbspiegel, der dadurch hergestellt wird, daß eine
halbdurchlässige und reflektierende Filmschicht auf der Oberfläche eines
aus Kunststoff bestehenden Substrats aufgebracht wird; ein solcher Halbspiegel
wird in Kameras, Spektrometern, Lichtinterferenzfilmdruckmeßgeräten
und dergleichen eingesetzt. In diesem Fall ist es notwendig, einen
reflexionsverhindernden Film, einen reflexionssteigernden Film, einen halbdurchlässigen
Film oder dergleichen auf der Oberfläche des Halbspiegels
aufzubringen.
Diese Filme werden im allgemeinen mittels eines Vakuum-Niederschlagprozesses
aufgebracht. Besteht jedoch das Substrat aus Kunststoff, so ist
es unmöglich, den Film auf dem Substrat durch verstärktes Aufheizen
des Substrats aufzubringen, wie es beim Glas-Substrat der Fall ist, weil
sich das Kunststoff-Substrat bei einer derartigen Aufheizung zersetzt und
auflöst. Soll das Kunststoff-Substrat ohne Aufheizen beschichtet werden,
so treten bei dem so erzeugten Film nach der Aufbringung Mikrobrüche auf,
weil ein großer Teil des Niederschlagsmaterials, das für Glas verwendet
wird, dielektrische Substanzen sind, die beim Erhitzen Oxide, Fluoride und
dergleichen bilden. Die Entstehung solcher Mikrobrüche ist besonders
bei Acrylharzen oder dergleichen beachtlich, die beim Einspritzgießen
verwendet werden. Aber selbst wenn in dem niedergeschlagenen Film
abnormale Erscheinungen nicht zu erkennen sind, entstehen Mikrobrüche
während des thermischen Schocktests der optischen Teile nach dem Niederschlag.
Insbesondere dann, wenn ein TiO₂-Film auf dem Substrat aufgebracht
werden soll, wird der Kunststoff bei einer längeren Vakuum-
Beschichtung zerstört oder verformt, weil die Strahlungshitze groß ist.
Demzufolge kann das Substrat als solches nicht verwendet werden.
Es ist indessen bereits bekannt, Halbspiegel aus Kunststoff in der Weise
herzustellen, daß ein Film auf der Oberfläche des Kunststoffsubstrats ohne
Erhitzung dieses Substrats aufgebracht wird (Japanische Offenlegungsschriften
60-2 25 101 und 61-1 10 101).
Der Kunststoff-Halbspiegel, der in der japanischen Offenlegungsschrift 60-
2 25 101 beschrieben ist, wird durch Aufbringen eines Silizium-Monooxid-
(SiO)-Films auf der Oberfläche des aus Acryl bestehenden Substrats hergestellt,
und zwar über den Reaktionsniederschlag von Sauerstoff (O₂)
und anschließendes Aufbringen von abwechselnd eines Ditantalpentaoxid-
(Ta₂O₅)-Films und von Siliziumdioxid (SiO₂).
Dagegen wird der Kunststoff-Halbspiegel, der in der japanischen Offenlegungsschrift
61-1 10 101 beschrieben ist, durch Ausbildung eines Schutz-
Hartschichtfilms (Dicke: 5 µg/m²) einer Silikonfarbe auf der Oberfläche
des aus Methacrylharz bestehenden Substrats hergestellt, wobei außerdem
ein dünner dielektrischer Film aus Titandioxid (TiO₂) mittels reaktiven
Sputterns von Ti-Metall als Target aufgebracht wird.
Bei dem gemäß der Lehre der japanischen Offenlegungsschrift 60-2 25 101
hergestellten Halbspiegel treten in dem Film nach einem Wärmeschocktest
von sich zehnmal wiederholenden Temperaturzyklen von -30°C über Raumtemperatur
(20-25°C) bis 80°C Mikrorisse auf. Da Ta₂O₅ einen hohen
Schmelzpunkt hat, wird dann, wenn der Vakuumniederschlag mittels eines
Elektronenkanonenprozesses erfolgt, leicht eine Ablösung bewirkt (die Adhäsion
von Ta₂O₅ in Form von Granulaten hat ein Abfallen des Films zur
Folge), wodurch bezüglich der äußeren Erscheinungsform des Produkts
Probleme entstehen. Außerdem wird das Kunststoff-Substrat nicht erhitzt,
um eine Degradation und Auflösung des Substrats zu vermeiden; allerdings
wird es durch Strahlungswärme beeinflußt. Deshalb ist es erforderlich,
einen großen Abstand von der Niederschlagsquelle einzuhalten, damit der
Einfluß der Strahlungswärme verhindert und die Kühlung jeder Niederschlagsschicht
ermöglicht wird, ohne fortlaufend Mehrschichtfilme mittels
der Vakuumbeschichtung zu bilden, was zur Umgestaltung der Einrichtung
und der Abnahme der Arbeitseffektivität oder dergleichen führt.
Andererseits wird bei dem Halbspiegel, der in der japanischen Offenlegungsschrift
61-1 10 101 beschrieben ist, ein TiO₂-Film auf der Schutz- und
Hartschicht mittels Zerstäuben von Ti-Metall gebildet, so daß es schwer ist,
eine Oberflächenform mit optischer Genauigkeit einzuhalten, und zwar
insbesondere die Linsenform im Anschluß an die Filmbildung entsprechend
dem Vorhandensein eines Grundierungsmittels.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, die vorstehend erwähnten
Nachteile der herkömmlichen Techniken zu vermeiden und einen Kunststoff-
Halbspiegel herzustellen, der eine gute Haftung zwischen den Filmschichten
sowie zwischen dem Substrat und der Filmschicht besitzt, der einen verbesserten
Risse-Widerstand und einen spektralen Reflexionsgrad (45° Einfall)
von nicht weniger als 40% hat und bei dem eine Degradation und
Deformation des Substrats verhindert wird.
Diese Aufgabe wird gemäß den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst.
Die Filmschichten werden hierbei vorzugsweise mit der Vakuumniederschlagsmethode
bei Raumtemperatur (25°C±5°C) erzeugt, und zwar ohne das
Substrat schnell aufzuheizen. Hierdurch können die Degradation und Deformation
des Substrats und das Auftreten von Mikrorissen in der Filmschicht
verhindert werden. Die erste Filmschicht wird vorzugsweise durch einen
Widerstandserwärmungsprozeß hergestellt, während jede der mindestens vier
Filmschichten vorzugsweise durch einen Elektronenstrahlprozeß hergestellt
wird.
Bei dem erfindungsgemäßen Kunststoff-Halbspiegel ist die Haftung zwischen
dem Substrat und der Filmschicht bzw. zwischen den jeweiligen Filmschichten
vergrößert, während der Reiß-Widerstand der Filmschicht verbessert
und auch die spektrale Reflektierung bei einem Einfall von 45°
nicht kleiner als 40% wird.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und
werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigt:
Fig. 1 einen Längsschnitt durch eine erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Kunststoff-Halbspiegels;
Fig. 2 eine spektrale Charakteristik des Halbspiegels gemäß Fig. 1;
Fig. 3 einen Längsschnitt durch eine zweite Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Kunststoff-Halbspiegels;
Fig. 4 eine spektrale Charakteristik des Halbspiegels gemäß Fig. 3;
Fig. 5 einen Längsschnitt durch eine dritte Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Kunststoff-Halbspiegels;
Fig. 6 optische Charakteristiken, welche die spektralen Reflexionsfaktoren
von dritten und vierten Ausführungsformen des erfindungsgemäßen
Halbspiegels zeigen;
Fig. 7 optische Charakteristiken, welche die spektralen Reflexionsfaktoren
der fünften und sechsten Ausführungsformen des erfindungsgemäßen
Halbspiegels zeigen;
Fig. 8 optische Charakteristiken, welche die spektralen Reflexionsfaktoren
der siebten und achten Ausführungsformen des erfindungsgemäßen
Halbspiegels zeigen.
In der Fig. 1 ist eine erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen Kunst
stoff-Halbspiegels dargestellt, der für Licht mit einem Einfallswinkel von
45° verwendet wird. Dieser Halbspiegel 1 wird durch Aufbringen von fünf
Filmschichten 3 bis 7 auf einen Kunststoff-Substrat 2 bei Raumtemperatur
(20-25°C) in einem Vakuum von 1×10-5-2×10-5 Torr hergestellt.
Das Kunststoff-Substrat 2 besteht aus einem Acrylharz, das eine Brechungszahl
von n=1,49 hat und auf dessen Oberfläche sich eine erste Filmschicht
3 befindet, die aus SiO besteht, welche mittels eines Widerstandsaufheizungsprozesses
aufgebracht wurde. Ferner befindet sich eine zweite Filmschicht
4 aus SiO₂ auf der ersten Filmschicht 3, die mittels eines Elektronenstrahlprozesses
bzw. Elektronenkanonenprozesses aufgetragen wurde. Auf der
zweiten Filmschicht befindet sich eine dritte Filmschicht 5 aus CeO₂, die
ebenfalls mittels eines Elektronenstrahlprozesses aufgetragen wurde. Außerdem
sind auf der dritten Filmschicht 5 eine vierte Filmschicht 6 aus SiO₂
und auf der vierten Filmschicht 6 eine fünfte Filmschicht 7 aus CeO
mittels des bereits erwähnten Elektronenstrahlprozesses aufgebracht. Bei einer
ersten Ausführungsform, bei der die Entwurfswellenlänge λ₀=600 nm ist,
werden die Brechungszahl (n) und die optische Dicke (nd) der Filmschichten
gemäß der nachfolgenden Tabelle festgelegt:
( λ₀=600 nm)
Die spektralen Eigenschaften (Reflexionsvermögen bzw. Spiegelungsfaktor,
Durchlässigkeit) des auf diese Weise erhaltenen Halbspiegels sind in der
Fig. 2 dargestellt. Wie man aus der Fig. 2 erkennt, kann man die optischen
Eigenschaften mit einem Reflexionsgrad von 45% und einem Durchlaßgrad
von 55% erhalten. Außerdem entstehen keine Mikrorisse in der Filmschicht
und keine Deformation und Degradation des Substrats. Darüber hinaus
ändern sich die optischen Eigenschaften im Laufe der Zeit kaum, und der
ursprüngliche Reflexionsgrad von 45% sowie der ursprüngliche Transmissionsgrad
von 55% werden befriedigend aufrechterhalten. Selbst wenn der Halbspiegel
einem thermischen Schocktest ausgesetzt wird, bei dem die
Temperaturfolgen von -30°C über Zimmertemperatur (20 bis 25°C) auf
80°C zyklisch zehnmal wiederholt werden, treten keine Mikrorisse und
keine Deformation und Degradation des Substrats auf.
In der Fig. 3 ist eine zweite Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Kunststoff-Halbspiegels dargestellt, der für Licht mit einem Einfallswinkel
von 45° vorgesehen ist.
Bei einem Halbspiegel 10 besteht das Kunststoff-Substrat 11 aus Polykarbonat
mit einer Brechungszahl von n=1,58. Auf der Oberfläche des
Substrats 11 sind fünf Filmschichten 3 bis 7 vorgesehen, die bei Raumtemperatur
(20 bis 25°C) und im Hochvakuum von 1×10-5 bis 2×10-5
Torr auf dieselbe Weise wie die erste Ausführungsform aufgebracht wurden.
Das heißt, die erste Filmschicht 3 aus SiO wurde mittels eines Widerstandsaufheizprozesses
auf das Substrat 11 aufgebracht, hierauf folgten SiO₂
(zweite Filmschicht 4), CeO₂ (dritte Filmschicht 5), SiO₂ (vierte Filmschicht
6) und CeO₂ (fünfte Filmschicht 7), die mittels eines Elektronenstrahlprozesses
aufgetragen wurden.
Die Brechungszahlen (n) und die optischen Dicken (nd) dieser Filmschichten
sind in der nachfolgenden Tabelle 2 dargestellt. Hierbei ist λ₀ eine Entwurfs-
oder Konstruktionswellenlänge.
( λ₀=600 nm)
Die spektralen Eigenschaften (Reflexionsfaktor, Durchlässigkeitsfaktor) des
so auf diese Weise erhaltenen Halbspiegels sind in der Fig. 4 bei einem Einfallswinkel
von 45° dargestellt. Wie man aus dieser Fig. 4 erkennt, besitzt
der Halbspiegel befriedigende Anfangseigenschaften, und die Haltbarkeit
entspricht derjenigen der ersten Ausführungsform.
Die dritte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Kunststoff-Halbspiegels
für Licht mit einem Einfallswinkel von 45° ist in der Fig. 5 und in der
nachfolgenden Tabelle 3 dargestellt. Hierbei beträgt die Entwurfswellenlänge
λ₀=600 nm.
Bei der dritten Ausführungsform besteht das Substrat 2 aus Acrylharz, der
eine Brechungszahl von n=1,49 hat und auf dem eine erste Filmschicht 3
aus SiO mit einer optischen Dicke von nd=150 nm im Hochvakuum bei
1 bis 2×10-5 Torr und mittels eine Widerstandserwärmungsprozesses
aufgebracht wurde. Außerdem sind die erste Filmschicht 3 aus SiO, die
zweite Filmschicht 4 aus SiO₂, die dritte Filmschicht 5 aus CeO₂, die
vierte Filmschicht 6 aus SiO₂ und die fünfte Filmschicht 7 aus CeO₂
nacheinander im Vakuum und mittels eines Elektronenstrahlprozesses aufgetragen
worden.
Bei dem Kunststoff-Halbspiegel gemäß der dritten Ausführungsform ist
der spektrale Reflexionsfaktor bei einem Einfallswinkel von 45° nicht
kleiner als 40% (Spitzenwert), wie die gestrichelten Linien 15 in Fig. 6
zeigen.
Die vierte Ausführungsform des Kunststoff-Halbspiegels besitzt eine Fünf-
Schichten-Struktur für einen Einfallswinkel von 45°, deren Daten in der
nachfolgenden Tabelle 4 wiedergegeben sind. Die Designwellenlänge beträgt
hierbei λ₀=600 nm.
Bei der vierten Ausführungsform besteht das Substrat aus Acrylharz mit
einer Brechungszahl von n = 1,49, auf dem eine erste Filmschicht aus SiO
niedergeschlagen ist, die eine optische Dicke von nd = 300 nm hat und die
im Hochvakuum von 1 bis 2 × 10-5 Torr mittels eines Widerstandsaufheizprozesses
aufgebracht wurde.
Außerdem besteht die zweite Filmschicht aus SiO₂, die dritte Filmschicht
aus CeO₂, die vierte Filmschicht aus SiO₂ und die fünfte Filmschicht aus
CeO₂. Alle diese Schichten werden nacheinander mittels eines Elektronenstrahlprozesses
aufgetragen.
Bei dem Kunststoff-Halbspiegel gemäß der vierten Ausführungsform beträgt
der spektrale Reflexionsgrad bei einem Einfallswinkel von 45° nicht
weniger als 40% (Spitzenwert), wie sich aus der Strichlinienkurve 16 in
Fig. 6 ergibt.
Die fünfte Ausführungsform des Kunststoff-Halbspiegels hat eine Sieben-
Schicht-Struktur für einen Lichteinfallswinkel von 45°, wie es in der nachfolgenden
Tabelle 5 gezeigt ist. Die Konstruktionswellenlänge ist hierbei
λ₀=600 nm.
Bei der fünften Ausführungsform besteht das Substrat aus Acrylharz mit
einer Brechungszahl von n=1,49, auf dem sich eine erste Filmschicht aus
SiO befindet, die eine optische Dicke von nd=150 nm hat und die im
Hochvakuum bei 1 bis 2×10-5 Torr mittels eines Widerstandsaufheizprozesses
aufgebracht wurde. Außerdem sind die zweite Filnschicht aus SiO₂,
die dritte Filmschicht aus CeO₂, die vierte Filmschicht aus SiO₂, die
fünfte Filmschicht aus SiO₂, die sechste Filmschicht aus CeO₂ und die
siebte Filmschicht aus CeO₂ nacheinander mittels Elektronenstrahlprozesses
aufgebracht.
Der spektrale Reflexionsgrad des Kunststoff-Halbspiegels beträgt bei einem
Einfallswinkel von 45° nicht weniger als 40% (Spitzenwert), wie die durchgezogene
Linie 17 in Fig. 7 zeigt.
Die sechste Ausführungsform des Kunststoff-Halbspiegels besitzt eine
Sieben-Schichten-Struktur für einen Einfallswinkel von 45°, wie sich aus
der nachfolgenden Tabelle 6 ergibt. Die Entwurfswellenlänge beträgt hierbei
λ₀=600 nm.
Bei der sechsten Ausführungsform besteht das Substrat aus Acrylharz mit
einer Brechungszahl von n=1,49, auf dem sich eine erste Filmschicht aus SiO
aufgebracht ist, die eine optische Dicke von nd=300 nm hat und die
mittels eines Widerstandsaufheizungsprozesses im Hochvakuum bei 1 bis 2×
10-5 Torr aufgebracht wurde. Ferner sind die zweite Filmschicht aus SiO₂,
die dritte Filmschicht aus CeO₂, die vierte Filmschicht aus SiO₂, die fünfte
Filmschicht aus SiO₂, die sechste Filmschicht aus CeO₂ und die siebte
Filmschicht aus CeO₂ mittels eines Elektronenstrahlprozesses nacheinander
aufgetragen worden.
Bei dem Kunststoff-Halbspiegel der sechsten Ausführungsform beträgt der
spektrale Spiegelungsfaktor bei einem Einfallswinkel von 45° nicht weniger
als 40% (Spitzenwert), wie es durch die unterbrochene Linie 18 in Fig. 7
dargestellt ist.
Die siebte Ausführungsform des Kunststoff-Halbspiegels besitzt eine Fünf-
Schichten-Struktur für einen Lichteinfallswinkel von 45°, wie es in der
Tabelle 7 gezeigt ist. Die Konstruktionswellenlänge ist hierbei λ₀=600 nm.
Bei der siebten Ausführungsform besteht das Substrat aus einem Polykar
bonat-Kunststoff, der eine Brechungszahl von n=1,58 hat und auf den die
erste Filmschicht aus SiO aufgebracht ist, die eine optische Dicke von nd
=150 nm hat und die mittels eines Widerstandsaufheizungsprozesses bei
1 bis 2×10-5 Torr hergestellt wurde. Weiterhin sind eine zweite Filmschicht
aus SiO₂, eine dritte Filmschicht aus CeO₂, eine vierte Filmschicht
aus SiO₂ und eine fünfte Filmschicht aus CeO₂ nacheinander mittels eines
Elektronenstrahlprozesses aufgebracht.
Der spektrale Reflexionsgrad des Kunststoff-Halbspiegels gemäß der siebten
Ausführungsform beträgt bei einem Einfallswinkel von 45° nicht weniger
als 40% (Spitzenwert), wie es durch die unterbrochene Linie 19 in der
Fig. 8 gezeigt ist.
Die achte Ausführungsform des Kunststoff-Halbspiegels besitzt eine Fünf-
Schichten-Struktur für Licht mit einem Einfallswinkel von 45°, wie es die
nachfolgende Tabelle 8 zeigt. Die Entwurfswellenlänge beträgt hierbei λ₀=
600 nm.
Das Substrat der achten Ausführungsform besteht aus Polykarbonatharz mit
einer Brechungszahl n=1,58, auf dem die erste Schicht aus SiO aufgebracht
ist, welche eine optische Dicke von nd=300 nm hat und die mittels
Widerstandheizens unter Hochvakuum von 1 bis 2×10-5 Torr aufgetragen
wurde. Außerdem sind die zweite Filmschicht aus SiO₂, die dritte Filmschicht
aus CeO₂, die vierte Filmschicht aus SiO₂ und die fünfte Filmschicht
aus CeO₂ nacheinander mittels des Elektronenstrahlprozesses auf
getragen.
Bei dem Kunststoff-Halbspiegel gemäß der achten Ausführungsform beträgt
der spektrale Reflexionsgrad bei einem Einfallswinkel von 45° nicht weniger
als 40% (Spitzenwert), was durch die ausgezogene Linie 20 in der Fig. 8
dargestellt ist.
Bei allen Kunststoff-Halbspiegeln gemäß den beschriebenen Ausführungsformen
treten keine Mikrorisse als Materialeigenschaft in den Filmschichten
auf. Bei Anwendung des Bandabziehtests werden auch keine Fimschichten
abgezogen. Weiterhin beobachtet man keine Deformation oder Degradation
des Substrats. Darüber hinaus ändern sich die optischen Eigenschaften im
Laufe der Zeit nicht, wie der Dauerstandstest zeigt.
Wie oben erwähnt, wird die erste SiO-Filmschicht bei dem erfindungsgemäßen
Kunststoff-Halbspiegel auf das Kunststoff-Substrat aufgetragen,
und außerdem werden mindestens zwei SiO₂-Filmschichten und CeO₂-Filmschichten
alternativ aufgebracht, so daß die Hafteigenschaften zwischen
den Filmschichten und zwischen dem Substrat und der Filmschicht groß
genug ist, um den Widerstand gegen das Zerreißen der Filmschicht zu erhöhen,
die optischen Eigenschaften zu verbessern sowie die Degradation
des äußeren Erscheinungsbilds und die Deformation des Subtrats zu ver
hindern.
Claims (8)
1. Kunststoff-Halbspiegel, gekennzeichnet durch ein Substrat (2) aus
Kunststoff, eine erste Filmschicht (3), die aus SiO besteht und die auf dem
Substrat (2) aufgebracht ist, und mindestens vier Filmschichten (4, 5, 6, 7),
die auf der ersten Filmschicht (3) aufgebracht sind und die entweder aus
SiO₂ oder CeO₂ bestehen.
2. Kunststoff-Halbspiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
erste Filmschicht (3), die aus SiO besteht, eine optische Dicke von nd=
g/12 bis λ/2 hat und daß die zweite Filmschicht (4), die aus SiO₂ besteht,
eine optische Dicke von nd=λ/8 bis λ/4 hat.
3. Kunststoff-Halbspiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf
einem Substrat (2) fünf Filmschichten übereinander aufgebracht sind, von
denen die erste Schicht (3) aus SiO, die zweite Schicht (4) aus SiO₂, die
dritte Schicht (5) aus CeO₂, die vierte Schicht (6) aus SiO₂ und die fünfte
Schicht (7) aus CeO₂ besteht.
4. Kunststoff-Halbspiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
auf einem Substrat (2) sieben Filmschichten übereinander aufgebracht sind,
von denen die erste Schicht (3) aus SiO, die zweite Schicht (4) aus SiO₂,
die dritte Schicht (5) aus CeO₂, die vierte Schicht (6) aus SiO₂, die fünfte
Schicht (7) aus CeO₂, die sechste Schicht aus SiO₂ und die siebte Schicht
aus CeO₂ besteht.
5. Kunststoff-Halbspiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das
Substrat Acrylharz ist.
6. Kunststoff-Halbspiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das
Substrat Polykarbonat ist.
7. Verfahren zur Herstellung des Kunststoff-Halbspiegels nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die erste Filmschicht (2) mittels eines Wider
stands-Heizungsvorgangs aufgebracht wird.
8. Verfahren zur Herstellung des Kunststoff-Halbspiegels nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß jede der mindestens vier Schichten (4 bis 7)
mittels eines Elektronenstrahlprozesses aufgebracht wird.
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