DE3817561A1 - Vorrichtung zur erzeugung eines projizierten objektgitters - Google Patents

Vorrichtung zur erzeugung eines projizierten objektgitters

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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4006343A1 (de) * 1990-03-01 1991-09-05 Bernd Dr Breuckmann Verfahren zur auswertung von streifenmustern
WO1991013586A1 (de) * 1990-03-13 1991-09-19 Com Dent Gmbh Verfahren zur ausmessung eines raumes, insbesondere eines mundinnenraums sowie vorrichtung zur durchführung eines solchen verfahrens
DE4206151A1 (de) * 1992-02-28 1993-09-23 Industrieanlagen Betriebsges Vorrichtung zur beobachtung von prueflingsoberflaechen fuer die verformungsmessung nach dem speckle-shearing-verfahren
DE4213909A1 (de) * 1992-04-28 1993-11-04 Mtu Muenchen Gmbh Vorrichtung zur vermessung von kruemmungsprofilen von kanten
DE4213908A1 (de) * 1992-04-28 1993-11-04 Mtu Muenchen Gmbh Verfahren zur vermessung von kruemmungsprofilen von kanten
US5444536A (en) * 1992-04-28 1995-08-22 Mtu Motoren- Und Turbinen-Union Muenchen Gmbh Apparatus for measuring the curvature of a profile, such as an edge of a turbine blade
US5493398A (en) * 1992-02-28 1996-02-20 Pfister; Klaus Device for observing test-piece surfaces by the speckle-shearing-method for the measurement of deformations
US5570186A (en) * 1992-04-28 1996-10-29 Mtu Motoren- Und Turbinen-Union Munich Gmbh Method for inspecting the curvature of a profile, such an edge of a turbine blade
DE19536297A1 (de) * 1995-09-29 1997-04-03 Daimler Benz Ag Verfahren zur geometrischen Kalibrierung von optischen 3D-Sensoren zur dreidimensionalen Vermessung von Objekten und Vorrichtung hierzu
DE19833291A1 (de) * 1998-07-24 2000-02-03 Ulrich Krackhardt Absolutes, flächenhaftes Interferometer

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4413758C2 (de) * 1993-04-21 1998-09-17 Fraunhofer Ges Forschung Vorrichtung und Verfahren zur Prüfung der Gestalt einer Oberfläche eines zu vermessenden Objektes

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Burry, Jean-Michel: Contouring in real time with MoirE Interference. In: Optics Communications, Vol. 41, Nr. 4(1982), S. 243-248 *
Drollinger, B., W. Jaerisch und G. Makosch: MoirE Metrical Topography with Micrometer Resolution. In: IBM Technical Discl. Bull. Vol. 25, Nr. 1, S. 357-358(1982) *
Indebetonw, G.: Profile Measurement using projection of running fringes. In: Applied Optics, Vol. 17, Nr. 18,(1978) S. 2930-2933 *
Shamir, J.: MoirE gauging by projected interference fringes. In: Optics and Laser Technology, April 1973, S. 78-86 *

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4006343A1 (de) * 1990-03-01 1991-09-05 Bernd Dr Breuckmann Verfahren zur auswertung von streifenmustern
WO1991013586A1 (de) * 1990-03-13 1991-09-19 Com Dent Gmbh Verfahren zur ausmessung eines raumes, insbesondere eines mundinnenraums sowie vorrichtung zur durchführung eines solchen verfahrens
US5440393A (en) * 1990-03-13 1995-08-08 Com Dent Gmbh Process and device for measuring the dimensions of a space, in particular a buccal cavity
DE4206151A1 (de) * 1992-02-28 1993-09-23 Industrieanlagen Betriebsges Vorrichtung zur beobachtung von prueflingsoberflaechen fuer die verformungsmessung nach dem speckle-shearing-verfahren
DE4310281C2 (de) * 1992-02-28 1999-09-02 Pfister Vorrichtung zur Beobachtung von Prüflingsoberflächen für die Verformungsmessung nach dem Speckle-Shearing-Verfahren
US5493398A (en) * 1992-02-28 1996-02-20 Pfister; Klaus Device for observing test-piece surfaces by the speckle-shearing-method for the measurement of deformations
US5444536A (en) * 1992-04-28 1995-08-22 Mtu Motoren- Und Turbinen-Union Muenchen Gmbh Apparatus for measuring the curvature of a profile, such as an edge of a turbine blade
DE4213908A1 (de) * 1992-04-28 1993-11-04 Mtu Muenchen Gmbh Verfahren zur vermessung von kruemmungsprofilen von kanten
US5570186A (en) * 1992-04-28 1996-10-29 Mtu Motoren- Und Turbinen-Union Munich Gmbh Method for inspecting the curvature of a profile, such an edge of a turbine blade
DE4213909A1 (de) * 1992-04-28 1993-11-04 Mtu Muenchen Gmbh Vorrichtung zur vermessung von kruemmungsprofilen von kanten
DE19536297A1 (de) * 1995-09-29 1997-04-03 Daimler Benz Ag Verfahren zur geometrischen Kalibrierung von optischen 3D-Sensoren zur dreidimensionalen Vermessung von Objekten und Vorrichtung hierzu
DE19536297C2 (de) * 1995-09-29 2003-10-02 Daimler Chrysler Ag Verfahren zur geometrischen Kalibrierung von optischen 3D-Sensoren zur dreidimensionalen Vermessung von Objekten und Vorrichtung hierzu
DE19833291A1 (de) * 1998-07-24 2000-02-03 Ulrich Krackhardt Absolutes, flächenhaftes Interferometer

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