DE3817561C2 - - Google Patents

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DE3817561C2
DE3817561C2 DE19883817561 DE3817561A DE3817561C2 DE 3817561 C2 DE3817561 C2 DE 3817561C2 DE 19883817561 DE19883817561 DE 19883817561 DE 3817561 A DE3817561 A DE 3817561A DE 3817561 C2 DE3817561 C2 DE 3817561C2
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interferometer
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spherical
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DE19883817561
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Christa Dipl.-Ing. Berger (Fh), 7800 Freiburg, De
Heinrich Dipl.-Phys. Dr.Rer.Nat. 7835 Teningen De Hoefler
Otmar 7806 March De Fichter
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Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
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    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry
    • G—PHYSICS
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4413758A1 (de) * 1993-04-21 1994-12-08 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung für die Topographieprüfung von Oberflächen

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4006343A1 (de) * 1990-03-01 1991-09-05 Bernd Dr Breuckmann Verfahren zur auswertung von streifenmustern
DE59008269D1 (de) * 1990-03-13 1995-02-23 Comdent Gmbh Verfahren zur ausmessung eines raumes, insbesondere eines mundinnenraums sowie vorrichtung zur durchführung eines solchen verfahrens.
US5493398A (en) * 1992-02-28 1996-02-20 Pfister; Klaus Device for observing test-piece surfaces by the speckle-shearing-method for the measurement of deformations
DE4206151C2 (de) * 1992-02-28 1994-10-27 Klaus Pfister Vorrichtung zur Beobachtung einer Prüflingsoberfläche für die Verformungsmessung nach dem Speckle-Shearing-Verfahren
DE4213908A1 (de) * 1992-04-28 1993-11-04 Mtu Muenchen Gmbh Verfahren zur vermessung von kruemmungsprofilen von kanten
DE4213909A1 (de) * 1992-04-28 1993-11-04 Mtu Muenchen Gmbh Vorrichtung zur vermessung von kruemmungsprofilen von kanten
US5570186A (en) * 1992-04-28 1996-10-29 Mtu Motoren- Und Turbinen-Union Munich Gmbh Method for inspecting the curvature of a profile, such an edge of a turbine blade
US5444536A (en) * 1992-04-28 1995-08-22 Mtu Motoren- Und Turbinen-Union Muenchen Gmbh Apparatus for measuring the curvature of a profile, such as an edge of a turbine blade
DE19536297C2 (de) * 1995-09-29 2003-10-02 Daimler Chrysler Ag Verfahren zur geometrischen Kalibrierung von optischen 3D-Sensoren zur dreidimensionalen Vermessung von Objekten und Vorrichtung hierzu
DE19833291A1 (de) * 1998-07-24 2000-02-03 Ulrich Krackhardt Absolutes, flächenhaftes Interferometer

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4413758A1 (de) * 1993-04-21 1994-12-08 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung für die Topographieprüfung von Oberflächen
DE4413758C2 (de) * 1993-04-21 1998-09-17 Fraunhofer Ges Forschung Vorrichtung und Verfahren zur Prüfung der Gestalt einer Oberfläche eines zu vermessenden Objektes

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