DE2003023A1 - Verfahren zur beruehrungsfreien Dehnungsmessung von Werkstuecken - Google Patents
Verfahren zur beruehrungsfreien Dehnungsmessung von WerkstueckenInfo
- Publication number
- DE2003023A1 DE2003023A1 DE19702003023 DE2003023A DE2003023A1 DE 2003023 A1 DE2003023 A1 DE 2003023A1 DE 19702003023 DE19702003023 DE 19702003023 DE 2003023 A DE2003023 A DE 2003023A DE 2003023 A1 DE2003023 A1 DE 2003023A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- light
- workpiece
- diffracted
- measured
- grating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
- G02B27/4233—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having a diffractive element [DOE] contributing to a non-imaging application
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
- G01B11/165—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by means of a grating deformed by the object
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
PoienicnwcÜiü
Dr. Ing. H. Negenckr.V.
Dr. Ing. H. Negenckr.V.
Dip!, !ng. H. H-iiok
; ■ - . Dip!. Pkys. W. Sci.müz
; ■ - . Dip!. Pkys. W. Sci.müz
The Bendix Corporation 'ol- '-1^ ^'M
Bendix Center
Southfield, Michigan 48075, USA 19. Januar I.970
Anwaltsakte M-998
Verfahren zur berührungsfreien ■ .; Dehnungsmessung von Werkstücken
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur berührungsfreien
Dehnungsmessung von Werkstücken mit kohärentem Licht.
Es ist bekannt, Beugungsgitter zur Dehnungsmessung zu verwenden.
Bei den bekannten Methoden zur Erstellung solcher Beugungsgitter werden mechanische oder ähnliche Verfahren angewendet, so daß
diese Technik im wesentlichen nur für flache Oberflächen und
gewisse Umgebungen angewendet werden kann, .die die Bildung der artiger
Beugungsgitter ermöglichen. Es ist ferner bekannt, Impulslaser zur Herstellung von Beugungsgittern in einer festen Oberfläche
zu verwenden. Eines dieser Verfahren ist offenbart in Journal of Applied Physics, Vol."38, No. 5, April I967. Hierin ist jedoch
nicht offenbart, ein Verfahren zur berührungsfreien Dehnungsmessung von Werkstücken mit Hilfe von lasererzeugten Beugungsgittern
durchzuführen.
\ Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren zur
009 831/1171
berührungsfreien Dehnungsmessunj; von Werkstücken mit kohärentem
Licht anzugeben, bei dem die Nachteile der bekannten Verfahren vermieden wird.
Bei einem Verfahren der eingangs genannten Art wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß mit Hilfe von interferierenden Laserstrahlen
auf der Oberfläche eines Werkstücks thermisch ein Beugungsgitter erzeugt wird, daß auf das Beugungsgitter ein kohärenter
Lichtstrahl gerichtet wird, daß ein Merkmal des von dem Beugungsgitter gebeugten Lichts gemessen wird, und daß zur Bestimmung
der Werkstücksdehnung die Änderung dieses Merkmals des gebeugten Lichtes gemessen wird, wenn das V/erkstUck gedehnt wird.
Gemäß einem weiteren Merkmal der Erfindung ist vorgesehen, daß die Messung durch Erzeugung einer Fourier'sehen Lichtverteilung
des gebeugten Lichtes durchgeführt wird, und daß entweder die Lage oder die Intensität des an vorgegebenen Lichtpunkten gebeugten
Lichtes gemessen wird, die der Beugung erster Ordnung an dem Gitter entsprechen.
Wenn die Prüfoberfläche eben ist, besteht das erzeugte Beugungsgitter
im wesentlichen aus parallelen Rillen. Ist die Prüfoberfläche gebogen oder unregelmäßig, wird ein komplexeres Rillenmuster
erzeugt, das die Eigenschaft einer gestreuten Welle hat, die unter einem gewissen Winkel auf eine andere ebene Welle trifft,
Die letztere ebene Welle zeigt die erforderliche Empfindlichkeit bezüglich Fehler im Werkstück. Ein Dauerstrich-Gaslaser wird
an der Stelle angeordnet, an der vorher ein Impulslaser zur \ Erzeugung eines Beugungsgitters angeordnet war, und dient als
009831/1171 BAD ORIGINAL
monochromatische Lichtquelle, um eine Beugung zu erzielen, mit
der eine empfindliche Dehnungsmessung gewährleistet ist, da der
ursprüngliche Aufbau im wesentlichen wieder hergestellt wird.
Daher ist die vorliegende Erfindung vorteilhaft, weil die ursprünglichen
Schwierigkeiten bei der Dehnungsmessung in der Erzeugung von Beugungsgittern mit engem und einheitlichem Gitterabstand
überwunden werden. Mit Hilfe des erfindungsgemäßen Ver-ϊahrens
kann durch eine berührungsfreie Technik ein Beugungsgitter auch bei unregelmäßig geformten Oberflächen hergestellt
werden, ohne daß eine vorherige Präparierung erforderlich ist.
Das erfindungsgemäße Verfahren-ermöglicht ein äußerst empfindliches
Dehnungsmeßverfahren bei kleinen Prüflingen, ohne daß die
Oberfläche des Prüflings berührt wird. Das Verfahren kann unter
extremen Umweltbedingungen verwendet werden. Das Verfahren ermöglicht eine lokale Dehnungsmessung bei komplizierten Teilen.
Es ermöglicht auch eine dynamische Dehnungsmessung.
Zum besseren Verständnis wird ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Verfahrens anhand von Zeichnungen näher erläutert. '
Fig. 1 zeigt den. schematischen Aufbau einer Vorrichtung zur
thermischen Erzeugung eines Beugungsgitters.
Fig. 2 zeigt eine Ansicht eines Beugungsgitters, das durch eine
: Vorrichtung gemäß Fig. 1 auf einer ebenen Oberfläche er-
zeugt wurde.
- . ■ - 5...-. ' ' ■ ■
00983 1 / 1171
Fig. 3 zeigt den schematischen Aufbau einer Vorrichtung zur Dehnungsmessung eines Prüflings gemäß eines Verfahrens der
Erfindung.
Fig. 4 zeigt ein typisches Beugungsmuster am Ausgang einer Vorrichtung
gemäß Fig. 3
Fig. 5 zeigt den schematischen Aufbau einer aus Fig. 3 abgewandel*-
ten Vorrichtung zur Dehnungsmessung bei zylindrischen Oberflächen.
In der Zeichnung ist die Vorrichtung zur Erzeugung von-Beugungsgittern
für ein berührungsfreies Dehnungsmeßverfahren gemäß der Erfindung allgemein mit 10 bezeichnet. Sie enthält einen Laser
12, der einen Strahl durch eine Linse 16 schickt, der auf ein Prisma 18 trifft, das den Strahl 14 in zwei divergente Strahlen
20 und 22 aufteilt. Im Strahlengang der beiden Strahlen 20 und 22 sind zwei dielektrische, reflektierende Flächen 24 und 26
angeordnet, von denen zwei reflektierende Strahlen 28 und 30
abgelenkt werden, die zusammen auf eine Oberfläche J52 eines Werkstückes
34 auftreffen, dessen Dehnung gemessen werden soll. Die
beiden Reflektionsflächen 24 und 26 sind so angeordnet, daß die Strahlengänge der Strahlen 28 und 30 eine unterschiedliche Länge
aufweisen, die kleiner ist als die Kohorenzlänge der Strahlen, um dadurch einen großen Kontraststreifen auf der Oberfläche zu
erhalten. Wegen der hohen verwendeten Leistung sind die Reflektionsfläche 24 und 26 so angeordnet, daß die Laserstrahlen 2Q, 22,
28 und 30 einen großen Winkel zur Oberflächennormalen einnehmen,
- 4 -009831 /1171
j um Beschädigungen der Oberflächen zu beschränken.
■ '
·! Ist die Oberfläche 32 eben, dann wird durch die Vorrichtung 10 j ein Beugungsgitter J>6 erzeugt (Fig. 2),das im wesentlichen aus
einer großen Anzahl von parallelen, einen kleinen Abstand voneinander aufweisenden Linien besteht, die in Wirklichkeit Rillen
sind, die thermisch in die Oberfläche 32 eingraviert sind.
\ Durch die Ausbildung eines Beugungsgitters auf dem Werkstück
; kann mit Hilfe einer Vorrichtung 4o nach Fig. 3 die Dehnung des
.Werkstücks gemessen werden. Viele Teile der Vorrichtung 10 nach Fig. 1 können bei der Vorrichtung 40 nach Fig. 3 verwendet wer*-
■ den. Deshalb sind gleiche Teile durch gleiche Bezugszeichen in den
: beiden Fign. 1 und 3 bezeichnet.
Die Vorrichtung 4o nach Fig. 3 verwendet einen Dauerstrich-Gas
laser 42 an Stelle eines Impulslasers 12 in der Vorrichtung 10 nach Fig. 1, um einen monochromatischen Strahl 44 zu erzeugen.
Der Strahl 44 aus monochromatischem Licht geht durch ein Prisma 18 und wird anschließend an der Reflektionsfläche 24 reflektiert,
so daß ein monochromatischer Lichtstrahl 46 schräg auf die Oberfläche
32 des Prüflings 34 auftrifft. \
Der auf die Oberfläche 32 auftreffende Lichtstrahl wird durch
den Prüfling entlang der gleichen Linie gebeugt, auf der vorher : während der Herstellung des Beugungsgitters der Strahl 30 einfiel;.
Der durch die Oberfläche 32 des Werkstücks 34 gebeugte Strahl
gelangt auf eine Linse 48, auf deren hinteren Brennebene eine '
~ 009831/1171
Fourier'sehe Lichtverteilung erzeugt wird. Die Fourier'sehe
Lichtverteilung kann mit Hilfe eines hinter der hinteren Brennebene der Linse 48 angeordneten durchsichtigen Schirms 50 beobachtet
werden.
Eine typische Fourier'sehe Lichtverteilung, wie sie auf dem
Schirm 50 erscheint, ist in Fig. 4 dargestellt. Insbesondere weist die Fourier'sehe Lichtverteilung einen Gleichstrom- oder
Grundanteil auf, der durch den Lichtpunkt 52 gekennzeichnet ist,
der durch zwei Lichtpunkte 54 und 56 von gebeugtem Licht erster
Ordnung flankiert ist.
Da ein zweiter Lichtstrahl nicht benötigt wird, wird der Lichtlicht
strahl 58 vom Prisma l8 durch eine/undurchlässige Platte 60
blockiert, auf die der Lichtstrahl 58 auftrifft und somit Jeden verfälschenden Effekt verhindert, den sonst der Lichtstrahl auf
dem auf dem Schirm 50 erscheinenden Muster hervorrufen würde.
Alternativ kann das Prisma 18 auch durch einen Spiegel oder eine ähnliche Vorrichtung ersetzt werden, um nur einen einzigen Strahl
zu erzeugen.
Bei der Dehnungsprüfung des Prüflings J54 sollten die Lage eines
der beiden Lichtpunkte 54, 56 oder beide aufgezeichnet werden.
Wird das Werkstück entlang einer Achse gedehnt, die eine Komponente senkrecht zu den Rillen 36 aufweist, dann ändert sich das
Beugungsmuster auf dem Schirm 50 entsprechend der Dehnung des Werkstücks 3>4. Besonders bei Verwendung von ebenen Flächen erfolgt
die Versetzung der Lichtpunkte 54 und 56 entsprechend der Dehnung
- 6 -009831/1171
des Werkstücks. Die Verschiebung der Lichtpunkte 54 und 56 erfolgt
nach innen bei Zugspannung und nach außen bei Druckspannung, Der Betrag der Verschiebung oder Abweichung der Lichtpunkte 54
und 56 ist ein Maß für den Betrag der Dehnung des Werkstücks 54.
Der absolute Dehnungsbetrag kann entweder durch bekannte mathematische
Ausdrücke oder durch Eichung der Vorrichtung 40 durch
vorherige Verwendung eines geeigneten Prüflings bestimmt werden.
Im Fall einer ungleichförmigen Oberfläche der Werkstücke wird die
Spannung durch Messung der Intensitätsverteilung der Beugungslichtpunkte 54 und 56 ,vor und nach der Dehnung bestimmt. Der Betrag
der Verringerung in jder maximalen Intensität an einem ausgesuchten
Punkt entspricht dem Betrag, um den das Werkstück gedehnt wurde. Es ist einzusehen, daß die Intensität der Beugungslichtpunkte 54 und 56 geeicht werden kann, um die Dehnung eines
Werkstückes zu messen.
In dem besonderen Fall einer zylindrisch geformten Oberfläche
würde die Dehnung durch Messung der Verschiebung der Beugungslichtpunkte 54 und 56 erster Ordnung wie in dem Fall bei ebener
Oberfläche bestimmt werden, wenn die Meßvorrichtung gemäß Fig. 5
benutzt wird. Im besonderen wird das Beugungsgitter zunächst senkrecht zur Achse des zylindrischen Werkstücks 62 mit Hilfe
der Vorrichtung 10 nach Fig. 1 eingraviert. Zur Messung der Dehnung ist die Vorrichtung 40 nach Fig. 3 etwas abgeändert, wobei
eine Linse 64 in den Strahlengang des Strahls 46 angeordnet
ist, um die Wellenfront in der Phase so zu modulieren, daß sie
sich der Form der zylindrischen Oberfläche des Werkstücks 62
009831 / 1171.
anpaßt. Die Linse 64 wird so angeordnet, daß das von der zylindrijschen
Oberfläche des Werkstücks 62 reflektierte Licht eine :
ebene parallele Wellenfront aufweist. Auf diese Weise ruft ein I Ausdehnen des zylindrischen Werkstücks 62 in Achsrichtung ein ;
Auswandern der Beugungslichtpunkte erster Ordnung hervor, wie siel
bereits bei den ebenen Oberflächen beschrieben wurde. ι
Aus der obigen Beschreibung geht hervor, daß die Erfindung ein
Verfahren zur berUhrungsfreien Dehnungsmessung vorsieht, das vor-;
teilhaft ist, weil es eine Dehnungsmessung bei beliebig geformten Oberflächen, die an irgendwelchen unzugänglichen Stellen angeordnet
sind, ermöglicht. Die Ergebnisse sind zuverlässig und
reproduzierbar.
reproduzierbar.
009831 /1171
Claims (7)
- Dr. Ing. H- Negencbnl-Dipl. Ing. H. Hsuck-Dip!. Fhys. W. Schmitz- - 8 MachThe Bendix Corporation Tai. 53gos86j Bendix Center ' . >ι Southfield, Michigan 48075, USA 19. Januar I97Oj " Anwaltsakte M-998. PatentansprücheVerfahren zur berührungsfreien Dehnungsmessung von Werkstücken mit kohärentem Licht, dadurch gekennzeichnet, daß durch interferierende Laserstrahlen (28, 30) auf der Oberfläche (32) des Werkstücks (3^) thermisch ein Beugungsgitter (36) erzeugt wird, daß auf das Beugungsgitter '(3>6) ein kohärenter Lichtstrahl(46)gerichtet wird, daß ein Merkmal des von dem Beugungsgitter (36) gebeugten Lichtes gemessen wird, und daß zur Bestimmung der Werkstückdehnung die Änderung dieses Merkmals des gebeugten Lichtes gemessen wird, wenn das Werkstück gedehnt wird.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Messung durch Erzeugung einer Fourier'sehen Lichtverteilung des gebeugten Lichtes durchgeführt wird, und daß entweder die Lage oder die Intensität des an vorgegebenen Lichtpunkten (54, 56) gebeugten Lichtes gemessen wird; die der Beugung erster Ordnung an dem Gitter (J>6) entsprechen. J009831/1171
- 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daßbei ebener Werkstückfläche das gemessene Merkmal der Winkelder
ist, unter dem/Strahl (46) durch das Gitter (36) gebeugt wird, wobei der Winkel durch Messung der Lage der Lichtpunkte (54, 56) erster Ordnung bestimmt wird. - 4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei unregelmäßig geformten Oberflächen das gemessene Merkmal die Intensität des gebeugten Lichtes an den Beugungslichtpunkten erster Ordnung ist.
- 5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei zylindrischen Oberflächen eines Werkstücks (62) das Beugungsgitter durch einen kohärenten Lichtstrahl bestrahlt wird, dessen Wellenfront der zylindrischen Oberfläche entspricht.
- 6. Verfahren nach Anspruch 5* dadurch gekennzeichnet, daß die der Zylinderoberfläche entsprechende Wellenform durch eine Zylinderlinse (64) erzeugt wird.
- 7. Verfahren nach Anspruch 2 und 5* dadurch gekennzeichnet, daß das gemessene Merkmal der Winkel ist, unter dem der Lichtstrahl durch das Gitter gebeugt wird.— 2 -009831/1171Leers e i te
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US79377969A | 1969-01-24 | 1969-01-24 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2003023A1 true DE2003023A1 (de) | 1970-07-30 |
Family
ID=25160767
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19702003023 Pending DE2003023A1 (de) | 1969-01-24 | 1970-01-23 | Verfahren zur beruehrungsfreien Dehnungsmessung von Werkstuecken |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3628866A (de) |
JP (1) | JPS5016940B1 (de) |
DE (1) | DE2003023A1 (de) |
FR (1) | FR2029058A1 (de) |
GB (1) | GB1242204A (de) |
SE (1) | SE346159B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3151542A1 (de) * | 1981-12-08 | 1983-07-07 | Anatolij Prokop'evič Žukovskij Moskovskaja oblast' Bykov | Vorrichtung zum messen von deformationen |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS561608B2 (de) * | 1974-04-27 | 1981-01-14 | ||
JPS583478B2 (ja) * | 1978-03-03 | 1983-01-21 | 株式会社日立製作所 | レ−ザ加熱方法および装置 |
FR2510254A1 (fr) * | 1981-07-21 | 1983-01-28 | Guillaume Michel | Procede et dispositif de mesure de temperature utilisant un reseau de diffraction |
GB2222696A (en) * | 1988-07-09 | 1990-03-14 | Exitech Ltd | Holographic diffraction gratings |
GB2242518B (en) * | 1990-03-12 | 1994-03-30 | Univ Southampton | Strain gauge |
US20070277619A1 (en) * | 2005-05-02 | 2007-12-06 | Grishaber Randy-David B | Method for measuring deformations in test specimens and a system for marking the test specimens |
DE102011050493A1 (de) | 2011-05-19 | 2012-11-22 | Ludwig-Maximilians-Universität München | Vorrichtung und Verfahren zur Detektion der Auslenkung elastischer Elemente |
US11428589B2 (en) | 2017-10-16 | 2022-08-30 | Saf-Holland, Inc. | Displacement sensor utilizing ronchi grating interference |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3184961A (en) * | 1962-03-23 | 1965-05-25 | Marvalaud Inc | Optical strain gauge |
US3458257A (en) * | 1964-10-08 | 1969-07-29 | Timothy R Pryor | Method and apparatus for detecting spatial relationships and for determining properties derived therefrom |
US3364497A (en) * | 1966-05-18 | 1968-01-16 | Eastman Kodak Co | Recording of digital data |
-
1969
- 1969-01-24 US US793779*A patent/US3628866A/en not_active Expired - Lifetime
-
1970
- 1970-01-16 GB GB2251/70A patent/GB1242204A/en not_active Expired
- 1970-01-20 JP JP45004994A patent/JPS5016940B1/ja active Pending
- 1970-01-23 SE SE854/70A patent/SE346159B/xx unknown
- 1970-01-23 DE DE19702003023 patent/DE2003023A1/de active Pending
- 1970-01-23 FR FR7002441A patent/FR2029058A1/fr not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3151542A1 (de) * | 1981-12-08 | 1983-07-07 | Anatolij Prokop'evič Žukovskij Moskovskaja oblast' Bykov | Vorrichtung zum messen von deformationen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SE346159B (de) | 1972-06-26 |
JPS5016940B1 (de) | 1975-06-17 |
FR2029058A1 (de) | 1970-10-16 |
US3628866A (en) | 1971-12-21 |
GB1242204A (en) | 1971-08-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0045321B1 (de) | Verfahren und Einrichtung zur optischen Distanzmessung | |
DE3930632A1 (de) | Verfahren zur direkten phasenmessung von strahlung, insbesondere lichtstrahlung, und vorrichtung zur durchfuehrung dieses verfahrens | |
WO1984004810A1 (en) | Method and device for the contact-free measurement of the actual position and/or the profile of rough surfaces | |
WO2008012091A2 (de) | Verfahren und vorrichtung zum bestimmen einer abweichung einer tatsächlichen form von einer sollform einer optischen oberfläche | |
EP0201861B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur optischen Spannungsmessung | |
DE102017205889B4 (de) | Optische Anordnung und Verfahren zur Laserinterferenzstrukturierung einer Probe | |
DE1548283A1 (de) | Messgeraet fuer die Abmessungen eines Objekts | |
DE69921362T2 (de) | Schatten-moire-oberflächentopologieprüfung mit eichproben | |
DE2003023A1 (de) | Verfahren zur beruehrungsfreien Dehnungsmessung von Werkstuecken | |
DE2758149B1 (de) | Interferometrisches Verfahren mit lambda /4-Aufloesung zur Abstands-,Dicken- und/oder Ebenheitsmessung | |
DE2415450B2 (de) | Verfahren zur Untersuchung von Materialfehlern durch Anwendung einer Laser-Lichtwelle und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
DE2602158B2 (de) | ||
DE4439307C2 (de) | Beobachtungsoptik für ein 3D-Oberflächenmeßgerät mit hoher Genauigkeit | |
DE3017600A1 (de) | Messung von restspannung durch lokales schmelzen | |
DE19632829A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Linsenparametern | |
EP0791818A2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum photothermischen Prüfen von Werkstüken | |
DE3817561A1 (de) | Vorrichtung zur erzeugung eines projizierten objektgitters | |
DE1548284C3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Prüfung kleiner Formveränderungen eines Prüflings | |
DE102019122083A1 (de) | Optische ausrichtung basierend auf spektral-gesteuerter interferometrie | |
DE10146945A1 (de) | Meßanordnung und Meßverfahren | |
DE2448288C2 (de) | Verfahren zur objektiven qualitativen Einordnung der Beschaffenheit strukturierter glänzender Oberflächen | |
DE102016114248B4 (de) | Vorrichtung zur Vermessung eines Objekts mittels Speckle-Interferometrie und zugehöriges Verfahren | |
EP1429111A1 (de) | Holographisches optisches Element mit mehreren Interferenzmustern | |
DE19625830A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung für die Shearing-Speckle-Interferometrie | |
DE2112811A1 (de) | Verfahren und Anordnung zur Untersuchung von Lichtstrahlung auf Kohaerenz |