DE2112811A1 - Verfahren und Anordnung zur Untersuchung von Lichtstrahlung auf Kohaerenz - Google Patents
Verfahren und Anordnung zur Untersuchung von Lichtstrahlung auf KohaerenzInfo
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 238000011835 investigation Methods 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 6
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000005338 frosted glass Substances 0.000 description 1
- 230000005021 gait Effects 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 238000001093 holography Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
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Description
20/71 LU Ao s
AKTIENGESELLSCHAFT BROWN BOVERI & CIE., BADEN (Schweiz)
Verfahren und Anordnung zur Untersuchung von Lichtstrahlung
auf Kohärenz.
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur · Untersuchung von Lichtstrahlung auf Kohärenz.
Zur Untersuchung von Lichtstrahlung, insbesondere des Lichtes eines Lasers, auf Kohärenz, d.h. zur Bestimmung der Kohärenzzeit
n bzw. der Frequenzbandbreite Ak>* 4 bzw. der Kohärenzlänge
l=c -(c = Lichtgeschwindigkeit )der Strahlung, wird bisher das Fabry-Perot-Interferometer verwendet. Es besteht
üblicherweise aus zwei Spiegeln höchster Qualität, deren Abrjtand variiert wird. Das durchtretende Licht wird in ein
elektrischen Signal umgewandelt und auf einem Oszilloskop betrachtet. Diene Untersuchungnanordnung ist sehr aufwendig.
Andererseits ist die Untersuchung der Kohärenz z.B. eines Lasers aber von grosser Wichtigkeit, da in vielen Laser-Anwendungen,
7. Ai. in dor Interfnrometr ir, dor Holographie usw., Licht nur
einer einzigen Frequenz vor·.-/endet worden darf.
209836/0605 BAD ORIGtNM.
Der zur Anwendung kommende Laser muss dann nur auf einem einzigen longitudinalen Mode emittieren.
Es ist Aufgabe, der Erfindung, ein einfaches Verfahren und
eine billige Anordnung anzugeben, mittels welcher schnell und ohne besonderen Aufwand die Kohärenz von Lichtstrahlung
untersucht werden kann. Insbesondere soll die Moden-Struktur einer Laser-Lichtquelle darauf geprüft werden, ob Schwingungen
vorweigend nur eines longitudinalen Modes auftreten.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäss dadurch gelöst, dass
Strahlenbündel der zu untersuchenden Lichtstrahlung an einem diffus streuenden Körper überlagert werden, und zwischen auf .
dem gleichen Punkt des diffus "treuenden Körpers auftreffenden Strahlen Gangunterschiede Δ£ erzeugt werden, die im Bereich von
null bis mindestens 0/2Av9 leigen, wobei c die Lichtgeschwindigkeit
und A* die Frequenzbandbreite der Lichtstrahlung ist,
innerhalb welcher die Untersuchung durchgeführt werden soll.
Besonders vorteilhaft ist es, die Gangunterschiede ģ in dem
genannten Untersuchungsbereich örtlich auf dem diffus streuenden Körper .zu variieren,.was beispielsweise dadurch erreicht
wird, dass mittels Spieglen und Linsen zwei Teilbündel aus der zu untersuchenden Strahlung zueinander geneigt auf den diffus
streuenden Körper geworfen werden.
209836/Ό60S
Wenn wie vorstehend angegeben verfahren wird, entsteht ein vom Auge nicht auflösbares Interferenzstreifenmuster mit
Streifenbreiten von höchstens einigen Lichtwellenlängen, welches dem Beobachter einheitlich granuliert bzw. fleckig
(vgl. Journal Opt. Soc.Am. 55 (1965), S.2*17 ff.; Schweizer
Patent (Patent-Ges.793/70)) erscheint,
wenn die zu untersuchende Strahlung streng kohärent ist. Ist die Strahlung jedoch nicht streng hohärent, so erscheinen
in dem Fleckenmuster Bänder, in welchen der Kontrast der Flecken stark reduziert ist. Die Breite b eines
Bandes hohen Kontrastes ist mit der Kohärenzlänge 1 der zu untersuchenden Strahlung über die Formel
b = lc / (sin Q^ + sin (^2)
verbunden, wobei 0C1 2 Jeweils der Einfallswinkel des ersten
bzw. zweiten Teilbündels bezüglich des diffus streuenden Körpers ist.
Wie ersichtlich, kann durch die Erfindung schnell und einfach nicht nur festgestellt werden, ob die Strahlung eines Lasers
streng kohärent ist, sondern es kann darüber hinaus auch dessen Kohärenzlänge bzw. Kohärenzfunktion bestimmt werden.
Weitere Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus den folgenden,
anhand von Zeichnungen erläuterten Ausführungsbeispeilen. Hierbei zeigt:
209836/Q&05
Fig. 1 eine Anordnung, bei welcher zwei zueinander geneigte
Strahlenbündel der zu untersuchenden Lichtstrahlung auf einem ebenen, diffus reflektierenden Körper überlagert'
werden,
' Fig. 2 die bei nicht streng kohärenter Lichtstrahlung auf der
Oberfläche des diffus reflektierenden Körpers erscheinenden Bänder hohen und reduzierten'Kontrastes in dem
Fleckenmuster der diffus reflektierten, kohärenten Strahlung,
Fig. 3 eine Anordnung wie in Fig. 1, wobei jedoch der Gangunterschied
Δ0- zwischen den zu überlagernden Strahlen
zusätzlich durch ein verschiebbares Tripelprisma verändert werden kann, und
Fig. 4 eine Anordnung wie in Fig. 1, jedoch mit dem Unterschied, dass die Spiegel und Linsen zur Ausleuchtung des diffus
reflektierenden Körpers durch zwei weitere diffus reflektierende Körper ersetzt sind.
In Fig. 1 ist ein Laser 1 dargestellt, der ein Lichtbündel 2 aussendet, dessen Kohärenz untersucht werden soll. Das Lichtbündel
2 wird mittels eines Strahlteilers 3 in zwei Teilbündel 4,5 vorzugsweise gleicher Intensität aufgespalten. Die
Teilbündel 4,5 werden über Spiegel 6,7 umgelenkt und mittels Linsen 8,9 zu divergenten Bündeln 10, 11 erweitert, so dass
ein diffus reflektierender Körper 12, beispielsweise eine, matt weissgestrichene, gesandstrahlte oder ähnlich behandelte ,
Metallscheibe, auf seiner Oberfläche ausgeleuchtet wird.
209836/0605
Die divergenten Bündel 10; 11 treffen auf dem Körper 12
unter rinn mittleren Einfallswinkeln 0^1 und (X2 auf. Der
Körper 12 wird durch einen Beobachter 18 visuell, oder auch
mittels eines foto-optischen Systems, beobachtet.
Der diffus reflektierende Körper 12 kann auch ganz einfach durch festes, weisses Papier gebildet werden. Statt des diffus
reflektierenden kann auch ein diffus streuender durchsichtiger Körper, z.B. eine Mattglasscheibe, vorgesehen werden.Die Mattglasscheibe
kann in Aufsicht oder Durchsicht betrachtet werden,' in welch letzterem Fall also der Beobachter 18 in Fig. 1 etwa
zwischen dem Laser 1 und dem Körper 12 angeordnet zu denken wäre.
Die auf denselben Punkt des Körpers 12 auftreffenden Strahlen der zueinander geneigten divergenten Bündel 10,11 wei- '
sen von der örtlichen Lage auf dem Körper 12 abhängig veränderliche Gangunterschiede htauf. Dadurch entsteht in bekannter
Weise ein vom Auge nicht auflösbares Inerferenzstreifenmuster, bei welchem die Streifenbreite
6 °& c/V · (sind o<
ι + sin Oi 2^ >
m^t ^ = Precluenz der Laserstrahlung.
In Fig. 2 ist die Oberfläche des Körpers 12 dargestellt, wie
sie dem Beobachter 18 erscheint. Solange die Laserstrahlung streng kohärent ist, also Av - 0, erscheint der Körper 12
209836/0601
dem Beobachter 18 einheitlich granuliert bzw. fleckig wie im Feld 17. Ist jedoch Δν^Ο, emittiert der Laser 1 also beispielsweise
zwei Frequenzen V?, und VU, so dass Av=jl^-Vz ( ,
so ergeben sich bei 13, I**, 15 Bänder hohen, und dazwischen
Bänder reduzierten Fleckenkontrastes, wie im Feld 16 angedeutet. . ·
Maximaler Kontrast herrscht dort, wo für den Gangunterschied At zwischen den auf demselben Punkt auftreffenden Strahlen
gilt: Λ &> = η · c/Λ ν», , mit η = ganze Zahl. In Fig. 1 und
Fig. 2 ist das Kontrastmaximum für Δ ν = 0 mit 13 bezeichnet.
Die Maxima 14, 15 in Fig. 2 ergeben sich für A<£ = c/AV und
2 ο/Λν>
. Die dazwischen liegenden Kontrastminima ergeben sich für
Eine Erklärung für die von der Kohärenz abhängige Kontraständerung
kann darin gesehen werden, dass die Streifenbreiten Q der Interferenzmuster von der Frequenz p>
der erzeugenden Lichtstrahlung abhängig sind. Durch die geneigten, sich
auf dem diffus reflektierenden Körper 12 überlagernden Strah lenbündel 10, 11 ergibt sich für die Frequenz \?Λ ein Interfe
renzmuster der Streifenbreite O4 , und für die Frequenz U
ein Interferenzmuster der Streifenbreite O 0. Diese beiden "
Muster fallen für Punkte ;ύ<2= n.c/4v>
bezüglich ihrer Maxima aufeinander, wodurch sich für das Fleckenmuster maximaler
Kontrast ergibt. In Punkten mit Δ #= —~- · c/A\?
sind jedoch die Muster um eine halbe Streifenbreite gegeneinander verschoben, so dass für jede Wellenlänge unterschied-
/ Ό
liehe Fleckenmuster entstehen, was sich bei Ueberlagtferung derselben
in einer Reduktion des Kontrastes bemerkbar macht. Für mehr als zwei Frequenzen pro Laserlinie entsteht analog .
eine Ueberlagerung von mehreren verschiedenen Fleckenmustern. Der Kontrast ist dann hoch für Gangunterschiede ,Af C 1 _,
und niedrig für die Gebiete mit A^V 1Λ.
Die in Fig. 1 dargestellte Anordnung kann beispielsweise zur Untersuchung eines Argon-Ionen-Lasers dienen, bei dem
die Frequenzbandbreite/Jv in der Grössenordnung yStfsrJ'lO Hz
liegt. Der Gang-unterschied, bei welchem das erste Kontrastminimum auftritt, ist dann ģ* 5 cm. Bei mittleren Einfallswinkeln
(X1J2 = 3Ö° der zueinander geneigten, divergenten Strahlen- ·
bündel 10,11 wird dann die grösste Längenausdehnung L (Fig.2)
des diffus reflektierenden Körpers 12 vorteilhaft mehr als etwa
20 cm betragen. Die Bündeldivergenz kann z.B. etwa 45 » der
Abstand zwischen den Linsen 8, 9 und dem Körper 12 z.B. etwa 20 cm sein. Wenn der Laser auf zwei diskreten Linien emittiert
und somit die Bänder sich periodisch Über die Oberfläche des Körpers 12 verteilen, sind mit dem angegebenen Wert fürLdann
mindestens zwei Kontrastmaxima (13,1^,15) und mindestens zwei
Kontrastminima erkennbar.
Damit der Fleckenkontrast besser sichtbar wird, ist gemäss Fig. 2' ausser dem Feld 16, das in der in Fig. 1 dargestellten
Weise mit zwei zueinander geneigten» divergenten Lichtbündeln 10, 11 beleuchtet wird, auf der Oberfläche des Körpers 12 noch
/Obis
- 8 - 20/71
ein Feld 17 vorgesehen, das sein Licht nur von einer einzigen Quelle auffängt. Zweckmässigerweise wird zur Erzeugung des
Feldes 17 ein Bündel 10 oder 11 durch eine geeignete Maske in seinem oberen Teil abgedeckt, so dass nur entweder Bündel
10 oder Bündel 11 das Feld 17 ausleuchtet.. Da dann im Feld 17 keine Kontraständerungen der oben beschriebenen Art auftreten
können, kann die Güte der Kohärenz der Laserstrahlung in einfacher Weise dadurch festgestellt werden, dass geprüft wird,
° er Kontrast im Fleckenmuster der Oberfläche des Körpers ™ 12 überall gleich ist wie im Feld 17, oder aber, ob Kontrastminima
auftreten. In ersterem Fall ist die Laserstrahlung monofrequent bzw. streng kohärent, im zweiten Fall ist sie
es nicht."
Zu erwähnen ist noch, dass die Kontrastminima nur dann örtlich
periodisch auftreten, wenn der Laser auf zwei oder auch mehr diskreten Linien emittiert. Ist das Frequenzspektrum hingegen
kontinuierlich, so nimmt der Kontrast von einem Maximum bei &@ -aus
stetig bis zu einem Minimum ab. Auch hier gilt jedoch, dass die Breite b des Streifens höheren Kontrastes mit der
Kohärenzlänge £ über die oben erwähnte Formel verknüpft ist.
Zur unmittelbaren Messung der Kohärenzlänge £ s c/AlV durch
C ·
Messung der Breite b eines Bandes mit hohem Kontrast ist auf
dem streuenden Körper 12 ein Massstab 2^4 vorgesehen, der vom
Beobachter 18 gleichzeitig mit der beleuchteten Oberfläche des Körpers 12 erkennbar ist.
20983 6/060S
- 9 - 20/71
In Pig. 3 ist eine Anordnung dargestellt, die vorteilhaft dort zur Anwendung kommt, wo die erwarteten Frequenzunterschiede
in der Grössenordnung Äl> = 10 - 10 .Hz liegen. Dies ist z.B.
beim He-Ne-Laser der Fall. Um hier ein ganzes Band hohen Kontrastes
auf dem Körper 12 zu erzeugen, müsste dessen grösste Längenausdehnung L bei etwa 1 m liegen. Um dies zu vermeiden,
ist ein Tripelprisma 19 vorgesehen, das z.B. in die Position 19' verschoben werden kann. Dadurch wird die Lichtweglänge
der Strahlen des Bündels 4-10 verändert; entsprechend ändern sich dann die Gangunterschiede Δ0 der auf demselben Punkt des
Körpers 12 auftreffenden Strahlen, so dass die Bänder maximalen
bzw. minimalen Kontrastes bei Bewegung des Tripelprismas 19 sich über den Körper 12 hinweg bewegen. Wie ersichtlich, verursacht
eine Bewegung des Tripelprismas 19 in der dargestellten
Weise um eine Wegstrecke s einen Gangunterschied 4e= 2 s.
Durch mehrfache Faltung des optischen Weges, also etwa durch Anordnung mehrer Reflektoren, kann bei gleicher mechanischer
Wegänderung s eine mehrfache optische Wegänderung A4. erreicht werden. Statt des einen·Spiegels 6 in Fig. 1 sind bei der in
Fig. 3 dargestellten Ausführungsform zwei Spiegel 6a und 6b
vorgesehen. Zur Messung des Bewegungsweges s des Tripelprismas bzw. etwaiger anderer Reflektoren zwecks Bestimmung des Gangunterschiedes
iH und damit der Kohärenzlänge 1 ist hier ein
Massstab 25 vorgesehen.
In Fig. 4 werden die Teilbündel 4,5, die wie in Fig. 1 oder 3
erzeugt sein können, an zwei weiteren diffus streuenden Kör-
209836/0601
- je - - 20/71
pern 20,21, z.B. mättweiss gestrichenen Metallflächen oder
weissem Papier auf den Körper 12 hin gestreut.Bei dieser
Anordnung werden die optisch klaren Elemente 6,6a,6b, T,
und 9 eingespart. Der Körper 12 wird mit Strahlenbünd-.eln 22,
23 ausgeleuchtet. Der zu beobachtende Effekt ist der gleiche wie bei den Anordnungen gemäss Fig. 1 und Fig. 3.
Aus dem letztgenannten Beispiel ergibt sich auch, dass es für den erfindungsgemässen Erfolg im Rahmen der angestrebten
" Genauigkeiten ohne Bedeutung ist, ob der diffiß streuende
Körper 12 mit divergenten oder parallelen Lichtstrahlenbündeln beleuchtet wird.
209836,70605
Claims (13)
- - a. - 20/71•Patentansprüche'1.}Verfahren zur Untersuchung von Lichtstrahlung auf Kohärenz, dadurch gekennzeichnet, dass Strahlenbündel (10,11; 22,23) der zu untersuchenden Lichtstrahlung an einem diffus streuenden Körper (12) überlagertvwerden, und zwischen auf dem gleichen Punkt (z.B. 13) des diffus streuenden Körpers (12) auftreffenden Strahlen Gangunterschiede L(L erzeugt werden, die im Bereich von null bis mindestens c/2Av> liegen, wobei c die Lichtgeschwindigkeit und A\J die Frequenzbandbreite der Lichtstrahlung ist, innerhalb·'welcher die Untersuchung durchgeführt werden soll.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem diffus streuenden Körper (12) örtlich veränderliche Gangunterschiede im Bereich von null bis mindestens c/2^fy erzeugt werden.
- 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem diffus streuenden Körper (12) zeitlich veränderliche Gangunterschiede im Bereich von null bis mindestens c/2Ay erzeugt werden.
- 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die zeitlich veränderlichen Gangunterschiede auf dem duffus streuenden Körper (12) auch örtlich veränderlich gemacht werden.209836/0605-'7fi - 20/71
- 5· Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach Ansprüchen 2 oder 4, wobei d;Le zu untersuchende Lichtstrahlung das Lichtbündel eines Lasers ist, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel (6,6a,6bJ; 20, 21) vorgesehen sind, mittels welcher zwei Teilbündel (10,11; 22,23) des Laser-Lichtbündels (2) zueinander geneigt auf den diffus streuenden Körper (12) geworfen werden, und dem derart beleuchteten Körper (12) ein optisches Beobachtungssystem (18) zugeordnet ist.
- 6. Anordnung nach Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet, dass zur Erzeugung und Leitung von Teilbündeln (10,11) optisch klare Elemente (3,6,6a,7,8,9) vorgesehen sind.
- 7. Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Laser-Lichtbündel (1) Über einen optischen Strahlenteiler (3) in zwei Teilbündel (4,5) vorzugsweise gleicher Intensität aufgespalten wird, und die beiden Teilbündel (4,5) über Umlenkspiegel (6,6a,6b,7)und Linsen (8,9) auf den diffus streuenden Körper (12) geworfen werden.
- 8. Anordnung nach Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet,dass die zwei Teilbündel (22,23) auf den diffus streuenden Körper (12) mittels zweier weiterer diffus streuender Körper (20,21) geworfen werden.
- 9. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilbündel'(10,11) derart zueinander geneigt und derart er- ' weitert sind, dass die vorzugsweise ebene Oberfläche des diffus209836/0605- 13 - 20/71streuenden Körpers, deren grösste Längenausdehnung (L) mindestens c/2Atf , vorzugsweise aber mehr als 2c/Δ^ beträgt, von beiden Teilbündeln (10,11) ganz ausgeleuchtet wird.
- 10. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass zur Erzeuguung der erforderlichen Gangunterschiede im Weg eines Teilbündels (4) mindestens ein Reflektor, vorzugsweise ein Tripelprisma (19), vorgesehen ist, durch dessen Bewegung die Lichtweglänge des Teilbündels (4,10) bis zum diffus streuenden Körper (12) veränderbar ist.
- 11. Anordnung nach einem der Ansprüche 5 - 10, dadurch gekennzeichnet, dass ausser dem mit den zwei überlagerten Teilbündeln (10,11; 22,23) beleuchteten ersten Feld (16) des diffus streuenden Körpers (12) ein zweites, vorzugsweise an das erste anschliessende Feld (17) vorgesehen ist, das nur mit einem Lichtbündel beleuchtet wird.
- 12. Anordnung nach einem der Ansprüche 5-11, dadurch gekennzeichnet, dass der beleuchteten Fläche des diffus streuenden Körpers (12) ein deren Dimensionen vermessender, vom Beobachtungssystem (18) gleichzeitig mit dieser erkennbarer Massstab (24) zugeordnet ist·
- 13. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 - 12, dadurch gekenn-209836/0606- 14 - ' 20/71zeichnet, dass dem bewegbaren Reflektor (19) ein dessen Bewegungsweg vermessender Massstab (25) zugeordnet ist.AKTIENGESELLSCHAFT BROWn4BOVERI & CIE209836/06084SLeerseite
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH263771A CH529343A (de) | 1971-02-23 | 1971-02-23 | Verfahren und Anordnung zur Untersuchung der Kohärenz von Lichtstrahlung |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2112811A1 true DE2112811A1 (de) | 1972-08-31 |
DE2112811B2 DE2112811B2 (de) | 1973-03-29 |
DE2112811C3 DE2112811C3 (de) | 1973-10-18 |
Family
ID=4238232
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19712112811 Granted DE2112811B2 (de) | 1971-02-23 | 1971-03-17 | Verfahren und anordnung zur untersuchung von lichtstrahlung auf kohaerenz |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3776636A (de) |
AT (1) | AT311087B (de) |
CA (1) | CA951142A (de) |
CH (1) | CH529343A (de) |
DE (1) | DE2112811B2 (de) |
FR (1) | FR2126238B1 (de) |
GB (1) | GB1339368A (de) |
NL (1) | NL7202218A (de) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2251080A1 (de) * | 1972-10-18 | 1974-05-02 | Max Planck Gesellschaft | Michelson-interferometer |
US3927945A (en) * | 1974-10-29 | 1975-12-23 | Harry Eugene Bates | Optical coherence and wavelength measurement |
FR2428829A1 (fr) * | 1978-06-16 | 1980-01-11 | Comp Generale Electricite | Dispositif de mesure de la fonction de coherence mutuelle d'un faisceau laser |
US10156432B1 (en) | 2016-07-19 | 2018-12-18 | Adam Alexander Schmieder | Interferometer |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2063098A1 (de) * | 1969-09-12 | 1971-07-09 | Commissariat Energie Atomique |
-
1971
- 1971-02-23 CH CH263771A patent/CH529343A/de not_active IP Right Cessation
- 1971-03-17 DE DE19712112811 patent/DE2112811B2/de active Granted
-
1972
- 1972-02-21 CA CA135,181,A patent/CA951142A/en not_active Expired
- 1972-02-21 AT AT138272A patent/AT311087B/de not_active IP Right Cessation
- 1972-02-21 FR FR7205717A patent/FR2126238B1/fr not_active Expired
- 1972-02-21 NL NL7202218A patent/NL7202218A/xx unknown
- 1972-02-21 GB GB799272A patent/GB1339368A/en not_active Expired
- 1972-02-22 US US00227937A patent/US3776636A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US3776636A (en) | 1973-12-04 |
NL7202218A (de) | 1972-08-25 |
CH529343A (de) | 1972-10-15 |
GB1339368A (en) | 1973-12-05 |
CA951142A (en) | 1974-07-16 |
DE2112811C3 (de) | 1973-10-18 |
DE2112811B2 (de) | 1973-03-29 |
AT311087B (de) | 1973-10-25 |
FR2126238A1 (de) | 1972-10-06 |
FR2126238B1 (de) | 1975-02-14 |
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