DE3817336A1 - Druckmesswertaufnehmer mit digitaler kompensation - Google Patents

Druckmesswertaufnehmer mit digitaler kompensation

Info

Publication number
DE3817336A1
DE3817336A1 DE3817336A DE3817336A DE3817336A1 DE 3817336 A1 DE3817336 A1 DE 3817336A1 DE 3817336 A DE3817336 A DE 3817336A DE 3817336 A DE3817336 A DE 3817336A DE 3817336 A1 DE3817336 A1 DE 3817336A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
temperature
information
correction
measuring bridge
memory
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE3817336A
Other languages
English (en)
Inventor
Pierre-Oliver Lefort
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Thales Avionics SAS
Original Assignee
Crouzet SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Crouzet SA filed Critical Crouzet SA
Publication of DE3817336A1 publication Critical patent/DE3817336A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • G01L1/2268Arrangements for correcting or for compensating unwanted effects
    • G01L1/2281Arrangements for correcting or for compensating unwanted effects for temperature variations
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
    • G01L9/0052Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
    • G01L9/0055Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements bonded on a diaphragm
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/02Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
    • G01L9/06Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
    • G01L9/065Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices with temperature compensating means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Measurement Of Force In General (AREA)
  • Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft einen Druckmeßwertaufnehmer mit Piezodehnungsmeßstreifen, die auf einem durch Druckeinwir­ kung deformierbaren Element angeordnet sind, das eine Meßbrücke bildet, wobei zur Kompensation der Temperaturein­ wirkung auf die Dehnungsmeßstreifen temperaturempfindliche Widerstände auf dem deformierbaren Element angeordnet sind, und zwar jeweils in symmetrischer Weise bezüglich einer spannungsfreien Linie.
Ein derartiger Meßwertaufnehmer ist insbesondere aus der FR-A-25 45 605 bekannt.
Weiterhin ist es, insbesondere aus der Veröffentlichung in Patent Abstracts of Japan, Band 10, Nr. 364 (P-524) (2421), vom 05. Dezember 1986 bekannt, Mittel vorzusehen, um zumin­ dest in Abhängigkeit von der Temperatur die von der Meßbrücke gelieferte Information gemäß einem Polynomansatz zu korrigieren.
Die bislang bekannten Korrektureinrichtungen beruhen jedoch auf Mikroprozessoren oder anderen komplexen Recheneinrich­ tungen, die Rechenoperationen in Form von Multiplikationen oder Divisionen durchführen und die somit die Kosten des Meßwertaufnehmers erhöhen.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen Druckmeßwertaufnehmer anzugeben, der ohne derartige komplizierte Einrichtungen auskommt und gleichwohl eine wirkungsvolle Kompensation ermöglicht.
Zu diesem Zweck wird gemäß der Erfindung ein Druckmeßwert­ aufnehmer der eingangs genannten Art angegeben, der sich dadurch auszeichnet, daß Mittel vorgesehen sind, um zumin­ dest in Abhängigkeit von der Temperatur die von der Meß­ brücke gelieferte Information gemäß einem Polynomansatz zu korrigieren. Diese Korrektureinrichtungen umfassen einen Korrekturspeicher, der in Bereiche unterteilt ist, die jeweils den verschiedenen Termen des Polynomansatzes zugeordnet sind und die jeweils die vorgegebenen Korrek­ turdaten enthalten, Einrichtungen zur Adressierung der jeweiligen Daten im entsprechenden Speicherbereich, gesteuert durch die Meßbrücke und die temperaturempfind­ lichen Einrichtungen, sowie Einrichtungen zum Lesen der Speicherbereiche und zum Addieren der Daten dieser Bereiche, um die Information des korrigierten Druckes G c zu erhalten.
Gemäß der Erfindung wird die korrigierte Druckinformation in einfacher Weise dadurch erhalten, daß man lediglich aus einem Speicher Korrekturdaten ausliest und mit ihnen eine Addition vornimmt.
Vorzugsweise wird die Korrektur durchgeführt gemäß dem nach­ stehenden Polynom G c :
G c = G 0 + GV + KV ² + KV(T - T₀) + K(T - T₀) + K(T - T₀)²,
wobei G₀ und G 1 Regelungskoeffizienten sind, K 2 bis K 5 Korrekturkoeffizienten sind, T die Temperaturinformation ist, T 0 eine Referenztemperatur angibt und V die von der Meßbrücke gelieferte Information ist. Der Term K 3 V (T-T₀) des Polynoms bezieht sich auf die Information V (T-T₀), die am Ausgang der Meßbrücke erhalten wird, die an die tempera­ turempfindliche Einrichtung angeschlossen ist.
Selbstverständlich ist die Erfindung nicht auf die Steu­ erungseinrichtungen für die Adressierung des Speichers beschränkt, die außer der Meßbrücke nur temperaturempfind­ liche Elemente umfassen. Die Anordung kann darüberhinaus Einrichtungen umfassen, die auch empfindlich auf andere Größen sind, welche die Dehnungsmeßstreifen beeinflussen, beispielsweise der Liniendruck bei einem Druckdifferenz­ meßwertaufnehmer.
Die Erfindung wird nachstehend, auch hinsichtlich weiterer Merkmale und Vorteile, anhand der Beschreibung eines Aus­ führungsbeispiels und unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung näher erläutert. Die Zeichnung zeigt in Fig. 1 eine Schnittansicht einer Meßvorrichtung mit dem erfindungsgemäßen Meßwertaufnehmer;
Fig. 2 eine Draufsicht auf die Vorrichtung gemäß Fig. 1;
Fig. 3 eine schematische Darstellung des erfindungs­ gemäßen Meßwertaufnehmers.
Wie in den Fig. 1 und 2 dargestellt, weist die Meßvor­ richtung mit dem Druckmeßwertaufnehmer ein deformierbares Element 3 auf, in diesem Falle eine kreisförmige Platte aus Keramik. In dichtgekapselter Anordnung sind auf dieser Platte zwei Schalen 1 und 2 angebracht, die sich auf der einen und der anderen Seite des deformierbaren Elementes 3 befinden und somit zwei getrennte Kammern bilden, die getrennt mit zwei Drücken P 1 und P 2 beaufschlagt werden, deren Differenz zu messen ist.
Auf dem Keramikteil 3 sind mit üblichen Mitteln Piezodeh­ nungsmeßstreifen R 1, R 2, R 3 und R 4 in den Zonen maximaler Dehnung angeordnet. Somit sind, wie insbesondere aus Fig. 2 ersichtlich, zwei Meßstreifen R 1 und R 4 in der Nähe der Einkapselung des Keramikteils angeordnet, während die anderen beiden Meßstreifen R 2 und R 3 sich im Zentrum des Keramikteils befinden, so daß die Dehnungsmeßstreifen R 1, R 2, R 3 und R 4 sich im wesentlichen auf einem Durchmesser des kreisförmigen deformierbaren Elementes 3 befinden.
Zwei andere Widerstände RT 1 und RT 2 sind ebenfalls auf dem Keramikteil angeordnet, und zwar jeweils in symmetrischer Weise bezüglich der spannungsfreien Linie, hier einem konzentrischen Kreis zum Umfang des deformierbaren Elemen­ tes, der durch diese anderen Widerstände hindurchgeht. Die Meßstreifen R 1, R 2, R 3 und R 4 sind gemäß einer Wheatstone Brücke 4 verbunden, und die Widerstände RT 1 und RT 2 sind ebenfalls mit einstellbaren Widerständen r gemäß einer weiteren Wheatstone Brücke 5 verbunden.
Die analogen elektrischen Signale, die von den beiden Meßbrücken 4 und 5 geliefert werden, werden jeweils an Verstärker 6 bzw. 7 angelegt. Mit Hilfe eines Umschalters 9 kann die Meßbrücke 4 wahlweise an eine stabilisierte Referenzspannung E oder an die Spannung VT angelegt werden, die von der Meßbrücke 5 geliefert wird. Dies ermöglicht es, die Temperatur des Keramikteils, also diejenige der Dehnungsmeßstreifen zu berücksichtigen.
Ein zweiter Umschalter 8 am Ausgang der Verstärker 6 und 7 ermöglicht es, die Informationen V, VT oder V (T-T₀) zu wählen und an einen Analog-Digital-Wandler 10 anzulegen, um sie in Digitalinformationen umzuwandeln und sie für die numerische bzw. digitale Berechnung des korrigierten Druckes G c verwendbar zu machen. V ist die Ausgangsspannung des Verstärkers 6, wenn die Meßbrücke 4 an die stabilisierte Referenzspannung E angeschlossen ist, und V (T-T₀) ist die Ausgangsspannung, wenn die Meßbrücke 4 an die Meßbrücke 5 über deren Verstärker 7 angeschlossen ist.
Da die Werte der Dehnungsmeßstreifen sich nicht nur in Abhängigkeit von den Deformationen ändern, denen das deformierbare Element unterliegt, sondern auch insbesondere in Abhängigkeit von der Temperatur, ist es erforderlich, die elektrischen Signale zu korrigieren, die von der Meßbrücke 4 geliefert werden, um die Genauigkeit zu erhöhen. Zu diesem Zweck führt man eine Eichung der Meßzelle durch, um die Parameter eines vorgegebenen Polynomansatzes zu identifi­ zieren. Es wird hier folgender Fall betrachtet:
G c = G 0 + GV + KV ² + KV(T - T₀) + K(T - T₀) + K(T - T₀)²,
wobei G c die korrigierte Ausgangsinformaiton ist. Dabei werden folgende Bezeichnungen verwendet:
G₀ = Nullabweichung bei der Temperatur T₀;
V = Ausgangsinformation der Meßzelle, die gegenüber der zu messenden Größe empfindlich ist, angeschlossen an E;
T = Temperatur der Meßzelle oder eine Funktion dieser Temperatur;
K 2...K 5 = parameter gemäß der Eichung der Meßzelle.
Somit erhält man zwei analoge Informationen. Die eine Information V s , die von der Meßbrücke 4 geliefert wird, hat die Form:
V S =kGE ,
wobei G die zu messende physikalische Größe ist, E die Ver­ sorgungsspannung der Meßbrücke ist und k den Skalierfaktor der Meßzelle angibt.
V s hängt von dem zu messenden Druck und der Temperatur ab. Die andere Information wird von der Temperaturmeßbrücke 5 geliefert und hängt nur von Temperatur ab.
Man stellt fest, daß das Korrekturpolynom einen Term von der Form K 3 V (T-T₀) enthält, der von zwei Meßwerten abhängt. Diese Information kann erhalten werden, indem man als Ver­ sorgungsspannung der Meßbrücke die Spannung verwendet, die von der Temperaturmeßbrücke 5 erzeugt wird, welche eine Funktion von (T-T₀) ist. Diese drei Informationen werden dann mit dem Analog-Digital-Wandler 10 digitalisiert, hier einem Spannungs-Frequenz-Wandler mit Zähler, und zwar am Ausgang des Umschalters 8.
Man muß nunmehr die korrigierte Digitalinformation auswer­ ten, indem man die Koeffizienten des Fehlermodels verwendet, die durch das Polynom definiert sind. Diese Koeffizienten werden berechnet aus den Daten der Eichung, die aus den drei Informationen erhalten werden, welche aus der Kette der Erfassung stammen. Dies ermöglicht es, einerseits eventuelle Abweichungen des analogen Teiles und der Umwandlung, ande­ rerseits Nichtlinearitäten zu berücksichtigen, die insbeson­ dere bei den Messungen der Temperaturinformationen und dem Produkt V (T-T₀) auftreten können.
Diese Korrektur wird realisiert durch eine Additionsserie der verschiedenen Terme des Polynoms. Zu diesem Zweck ist eine Speicher, der in Bereiche unterteilt ist, die den Termen des Polynoms, mit Ausnahme von G 1V, zugeordnet sind, auf den Phasenausgang der Eichung des Meßwertaufnehmers programmiert, so daß er die folgenden Informationen enthält:
  • - G₀ als Nullabweichung bei der Temperatur T₀,
  • - K 2 V 2 in dem Speicher an den Adressen, die den n 1 hochwer­ tigen Bits der digitalisierten Information V entsprechen,
  • - K 3 V (T-T₀) an den folgenden Adressen, die um n 2 hochwerti­ ge Bits der digitalisierten Information V (T-T₀) erhöht sind, und
in gleicher Weise die Informationen K 4 (T-T₀) und K 5 (T-T₀)2 an den geeigneten Adressen.
Für eine sinnvolle Wahl der Adressen und der Anzahl von Bits, die für jede Art von Information erforderlich sind, speichert man somit sämtliche Korrekturterme bis auf den Term G 1 V, der seinerseits direkt am Ausgang des Wandlers 10 erhalten wird, und zwar durch Einstellung der Verstärkung der Wandlerkette. Diese Terme sind direkt adressierbar aufgrund der digitalen Informationen, die von dem Wandler­ teil geliefert werden.
Es genügt, nacheinander die Addition dieser verschiedenen Terme vorzunehmen, um die korrigierte Information zu erhalten. Es wird darauf hingewiesen, daß der erforderliche Speicherplatz, um eine richtige Korrektur zu erhalten, um so kleiner ist, je kleiner die Koeffizienten K i sind. In der Tat ist die erforderliche Auflösung zur Adressierung der verschiedenen Terme gleich dem Wert von ε i /(K i ×Imax.), wobei ε i der zulässige Fehler für den Term i und Imax. der Maximalwert dieses Termes ist. Die Terme K i ×Imax. haben im allgemeinen einen Wert, der relativ kleiner als 0,05 ist, wobei die erforderliche Auflösung der Adressierung in der Größenordnung von 20 ε i liegt. Für ε i = 0,01% ist es somit erforderlich, eine Auflösung von 0,2% vorzusehen, also 500 Adressierungsstellen pro Term.
Für vier Terme liegt die Anzahl der Adressen somit in der Größenordnung von 2000 mit 9 bis 10 Bits pro Adresse.
Zur praktischen Realisierung und Umsetzung des Meßwert­ aufnehmers gemäß Fig. 3 ist festzuhalten, daß die Werte der Koeffizienten K 2 V 2, K 3 V (T-T₀), K 4 (T-T₀) und K 5 (T-T₀)2 in den Bereichen eines Speichers 12 abgespeichert sind. Es wird daran erinnert, daß der Term G 1 V direkt erhalten wird, indem man die Verstärkung des Verstärkers 6 einstellt, während der Wert G 0 ebenfalls in dem Speicher 12 abgespeichert ist.
Eine Folgesteuerung 11 gewährleistet die erforderliche Synchronisation zwischen den verschiedenen Elementen, den Umschaltern 8 und 9, den Bereichen des Speichers 12 sowie einem Addierer 13, um die Berechnung des Wertes von G c vor­ zunehmen, der den gemessenen und hier mit der Temperatur kompensierten Druck darstellt. Der Wandler 10, der Addierer 13 und der Speicher 12 sind mit einem Adressen- und Datenbus verbunden, wobei die Daten parallel übertragen werden. Ein derartiger Aufbau kann selbstverständlich auch verwendet werden, um den Wert von G c mit einem komplexeren Modell zu berechnen, bei dem außerdem beispielsweise die Terme von V 3 und (T-T₀)3 aufsummiert werden.

Claims (2)

1. Druckmeßwertaufnehmer mit Piezodehnungsmeßstreifen, die auf einem Element angeordnet sind, das durch Druckein­ wirkung deformierbar ist und eine Meßbrücke (4) bildet, wobei zur Kompensation des Temperatureinflusses auf die Dehnungsmeßstreifen temperaturempfindliche Widerstände (5) auf dem deformierbaren Element jeweils in symmetri­ scher Weise bezüglich einer spannungsfreien Linie ange­ ordnet sind, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Einrichtung vorgesehen ist, um zumindest in Abhängigkeit von der Temperatur, die von der Meßbrücke gelieferte Information gemäß einem Polynomansatz zu korrigieren
und daß die Korrektureinrichtung folgendes aufweist:
  • - einen Speicher (12), der in Bereiche unterteilt ist, die jeweils den verschiedenen Termen des Korrektur­ polynomansatzes zugeordnet sind und jeweils vorgegebene Korrekturdaten enthalten,
  • - eine Einrichtung (8-11) zur Adressierung der jeweiligen Daten des jeweiligen Bereiches im Speicher, gesteuert durch die Meßbrücke (4) und die temperaturempfindlichen Einrichtungen (5), und
  • - eine Einrichtung (11, 13) zum Auslesen der Speicherbe­ reiche und zum Addieren der Daten dieser Speicherberei­ che, um die korrigierte Druckinformation (G c ) zu erhalten.
2. Druckmeßwertaufnehmer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Korrektur des gemessenen Druckwertes gemäß nachstehendem Polynomansatz für G c erfolgt: G c = G 0 + GV + KV ² + KV(T - T₀) + K(T - T₀) + K(T - T₀)²,wobei G 0 und G 1 Regelungskoeffizienten sind, K 2 bis K 5 Korrekturkoeffizienten sind, T die Temperaturinformation ist, T 0 eine Referenztemperaturinformation ist, V die von der Meßbrücke (4) gelieferte Information ist, und der Term K 3 V (T-T₀) des Polynoms sich auf die Information V (T-T₀) bezieht, die am Ausgang der Meßbrücke (4) erhalten wird, welche an die temperaturempfindliche Einrichtung (5) angeschlossen ist.
DE3817336A 1987-05-22 1988-05-20 Druckmesswertaufnehmer mit digitaler kompensation Ceased DE3817336A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8707291A FR2615618B1 (fr) 1987-05-22 1987-05-22 Capteur de pression a compensation numerique

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3817336A1 true DE3817336A1 (de) 1988-12-15

Family

ID=9351399

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3817336A Ceased DE3817336A1 (de) 1987-05-22 1988-05-20 Druckmesswertaufnehmer mit digitaler kompensation

Country Status (4)

Country Link
DE (1) DE3817336A1 (de)
FR (1) FR2615618B1 (de)
GB (1) GB2205953B (de)
IT (1) IT1219317B (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3912280A1 (de) * 1989-04-14 1990-10-18 Bosch Gmbh Robert Verfahren zum herstellen eines sensors zum bestimmen von druckkraeften
EP1087219A2 (de) * 1999-09-24 2001-03-28 Denso Corporation System zum Bestimmen von Fehlern oder Abnormalitäten eines Messfühlers, eingebaut in ein Gerät zur Messung einer physikalischen oder dynamischen Grösse
EP1174696A3 (de) * 2000-07-20 2003-03-26 VEGA Grieshaber KG Druckmesszelle mit Temperatursensor
US6681637B2 (en) 2000-07-20 2004-01-27 Vega Grieshaber Kg Pressure-measuring cell with a temperature sensor

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9100708D0 (en) * 1991-01-12 1991-02-27 Westland Aerostructures Ltd System for measuring two variable quantities
FR2679652B1 (fr) * 1991-07-26 1993-11-12 Schlumberger Services Petroliers Procede pour corriger de l'influence de la temperature les mesures d'une jauge de pression.
US5588308A (en) * 1995-08-21 1996-12-31 Air Products And Chemicals, Inc. Recompression cycle for recovery of natural gas liquids
DE10044078A1 (de) * 2000-09-07 2002-04-04 Grieshaber Vega Kg Druckmesszelle mit Temperatursensoren und Druckmessverfahren
US6698294B2 (en) 2000-09-07 2004-03-02 Vega Grieshaber Kg Pressure cell with temperature sensors and pressure measuring method
CN102686987B (zh) * 2009-11-09 2016-01-27 皇家飞利浦电子股份有限公司 具有温度补偿的流感测方法
WO2011055254A1 (en) 2009-11-09 2011-05-12 Koninklijke Philips Electronics N.V. Flow sensing device with temperature compensation

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3218511A1 (de) * 1981-05-19 1983-03-03 Setra Systems Inc., 01760 Natick, Mass. Temperaturkompensierte messanordnung
FR2545605A1 (fr) * 1983-05-03 1984-11-09 Sedeme Dispositif de mesure a jauges de contrainte, notamment pour la mesure de pression
DE3339349A1 (de) * 1983-10-29 1985-05-09 Meditec GmbH, 8501 Heroldsberg Kennliniengeber
DE3427743A1 (de) * 1984-07-27 1986-02-06 Keller AG für Druckmeßtechnik, Winterthur Verfahren zur temperaturkompensation und messschaltung hierfuer

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3130578A (en) * 1961-08-18 1964-04-28 Fairchild Camera Instr Co Strain gauge bridge calibration
US4320664A (en) * 1980-02-25 1982-03-23 Texas Instruments Incorporated Thermally compensated silicon pressure sensor
US4321832A (en) * 1980-03-07 1982-03-30 Rockwell International Corporation High accuracy measuring apparatus
US4437164A (en) * 1981-03-05 1984-03-13 Bristol Babcock Inc. Ridge circuit compensation for environmental effects
JPS58114199A (ja) * 1981-12-26 1983-07-07 株式会社東芝 2線式圧力差圧伝送器
JP2579143B2 (ja) * 1984-02-02 1997-02-05 ハネウエル・インコーポレーテッド プロセス変数センサのディジタル補正の方法およびそのためのプロセス変数発信器
JPS61159127A (ja) * 1985-01-07 1986-07-18 Agency Of Ind Science & Technol 半導体圧力センサの非直線性補償装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3218511A1 (de) * 1981-05-19 1983-03-03 Setra Systems Inc., 01760 Natick, Mass. Temperaturkompensierte messanordnung
FR2545605A1 (fr) * 1983-05-03 1984-11-09 Sedeme Dispositif de mesure a jauges de contrainte, notamment pour la mesure de pression
DE3339349A1 (de) * 1983-10-29 1985-05-09 Meditec GmbH, 8501 Heroldsberg Kennliniengeber
DE3427743A1 (de) * 1984-07-27 1986-02-06 Keller AG für Druckmeßtechnik, Winterthur Verfahren zur temperaturkompensation und messschaltung hierfuer

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP-Abstr. 61-15 9127 (A) *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3912280A1 (de) * 1989-04-14 1990-10-18 Bosch Gmbh Robert Verfahren zum herstellen eines sensors zum bestimmen von druckkraeften
EP1087219A2 (de) * 1999-09-24 2001-03-28 Denso Corporation System zum Bestimmen von Fehlern oder Abnormalitäten eines Messfühlers, eingebaut in ein Gerät zur Messung einer physikalischen oder dynamischen Grösse
EP1087219A3 (de) * 1999-09-24 2002-03-13 Denso Corporation System zum Bestimmen von Fehlern oder Abnormalitäten eines Messfühlers, eingebaut in ein Gerät zur Messung einer physikalischen oder dynamischen Grösse
US6422088B1 (en) 1999-09-24 2002-07-23 Denso Corporation Sensor failure or abnormality detecting system incorporated in a physical or dynamic quantity detecting apparatus
EP1174696A3 (de) * 2000-07-20 2003-03-26 VEGA Grieshaber KG Druckmesszelle mit Temperatursensor
US6681637B2 (en) 2000-07-20 2004-01-27 Vega Grieshaber Kg Pressure-measuring cell with a temperature sensor

Also Published As

Publication number Publication date
GB2205953B (en) 1991-03-13
FR2615618A1 (fr) 1988-11-25
GB2205953A (en) 1988-12-21
FR2615618B1 (fr) 1990-11-30
GB8812166D0 (en) 1988-06-29
IT8867467A0 (it) 1988-05-20
IT1219317B (it) 1990-05-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0221251B1 (de) Verfahren zur Fehlerkompensation für Messwertaufnehmer mit nicht linearen Kennlinien, sowie Anordnung zur Durchführung des Verfahrens
EP0169414A2 (de) Verfahren zur Temperaturkompensation und Messschaltung hierfür
WO1986003831A1 (en) Sensor for measuring physical magnitudes and method for adjusting the sensor
DE2239998B2 (de) Waage mit Auswertegerät, Digitalanzeige und einer sich über mehrere Anzeigeeinheiten erstreckenden Null-Grobjustierung
DE3817336A1 (de) Druckmesswertaufnehmer mit digitaler kompensation
DE2917237A1 (de) Widerstands-fernabtastschaltung
DE3544095C2 (de)
DE19936327C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung von ratiometrischen Messungen unter Verwendung eines Analog/Digital- oder eines Digital/Analog-Umsetzers, Analog/Digital- oder Digital/Analog-Umsetzer, und Verfahren zum Betreiben eines Analog/Digital- oder Digital/Analog-Umsetzers
EP0360348B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung kleiner elektrischer Signale
DE3612810A1 (de) Schaltungsanordnung zur messung einer mechanischen verformung, insbesondere unter einwirkung eines drucks
CH662656A5 (de) Kraft- oder druckmesseinrichtung.
DE3633679A1 (de) Schaltunganordung zur beeinflussung von signalen
DE1473505B2 (de) Einrichtung zur Luftdruckmessung in Flugzeugen
DE2946335C2 (de)
DE3411115A1 (de) Kombinationssensor
DE3306460A1 (de) Elektrisches feuchtemessgeraet
DE3709736C2 (de) Verfahren und Anordnung zum Abgleich von Widerständen einer Kraftmeßdosen-Waage
DE2841583C2 (de)
EP0584652A2 (de) Sensor zum Erfassen mechanischer Belastungen
DE2121959A1 (de) Elektrisches Gerät zur Messung einer physikalischen Größe
DE1548852C (de) Verfahien zur Tendenzanzeige einer digitalen Meßwertfolge
DE976765C (de) Vorrichtung zum Eichen von Spannungs- oder Strommessern
AT244617B (de) Einrichtung zur Kompensation des Temperatureinflusses auf die Messung von mittels einer Drosselstelle erfaßten Mengenströmen von gasförmigen Medien
DE627857C (de) Kompensationsschaltung zur Eichung von Strom-, Spannungs- und Leistungsmessern
DE2616429A1 (de) Verfahren zur digitalen und analogen anzeige einer elektrischen eingangsspannung und vorrichtung zur ausuebung dieses verfahrens

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8131 Rejection