DE3815074A1 - Messeinrichtung zur bestimmung des drehwinkels - Google Patents
Messeinrichtung zur bestimmung des drehwinkelsInfo
- Publication number
- DE3815074A1 DE3815074A1 DE3815074A DE3815074A DE3815074A1 DE 3815074 A1 DE3815074 A1 DE 3815074A1 DE 3815074 A DE3815074 A DE 3815074A DE 3815074 A DE3815074 A DE 3815074A DE 3815074 A1 DE3815074 A1 DE 3815074A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- coils
- measuring device
- carrier
- areas
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/30—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/204—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils
- G01D5/2053—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils by a movable non-ferromagnetic conductive element
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/22—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils
- G01D5/2208—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils by influencing the self-induction of the coils
- G01D5/2225—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils by influencing the self-induction of the coils by a movable non-ferromagnetic conductive element
Description
Die Erfindung geht aus von einer Meßeinrichtung zur Bestimmung des
Drehwinkels nach der Gattung des Hauptanspruchs. Bei einer bekannten
Meßeinrichtung wird die Verdrehung einer Welle mit Hilfe zweier re
lativ zueinander beweglicher Scheiben bestimmt. Die Scheiben weisen
Schlitze auf, die den elektrisch nicht leitenden Bereich bilden.
Ferner ist mindestens an der Stirnseite einer Scheibe im Bereich der
Schlitze eine von einem hochfrequenten Wechselstrom durchflossene
Spule angeordnet. Durch die relative Verschiebung der Scheiben zu
einander wird die elektrisch nicht leitende Fläche der Scheiben,
d.h. die Öffnungsfläche der Schlitze verändert, wodurch die Dämpfung
der Spule variiert wird. Die Meßeinrichtung hat aber den Nachteil,
daß die Achsen der Scheiben genau zueinander zentriert werden müs
sen, so daß sich eventuelles Axialspiel als Meßfehler auswirken kann.
Die erfindungsgemäße Meßeinrichtung mit den kennzeichnenden Merk
malen des Anspruchs 1 hat demgegenüber den Vorteil, daß die Einrich
tung relativ klein baut. Sowohl das Radialspiel als auch das Axial
spiel der Meßeinrichtung wird weitgehend kompensiert. Die Auflösung
des Meßsignals ist sehr groß und dessen Linearität innerhalb des
relativ großen meßbaren Winkelbereichs ist sehr gut. Die Spulen kön
nen in Ätztechnik oder in Dickschichttechnik vorgefertigt werden und
auf die Innenwand einer Hülse geklebt werden. Dadurch kann der Ab
stand zwischen den Spulen und dem Stromleitstück minimiert werden
und somit die Meßempfindlichkeit verbessert werden. Bei besonders
kleiner Bauform sind relativ große Winkelbereiche meßbar. Das Strom
leitstück wird senkrecht zur Meßspulenachse bewegt, wodurch sich ein
besonders guter Meßeffekt ergibt.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vor
teilhafte Weiterbildungen der im Anspruch 1 angegebenen Meßeinrich
tung möglich.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung darge
stellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher beschrieben. Es
zeigen je in perspektivischer Darstellung Fig. 1 eine Hülse mit
aufgebrachten Spulen und Fig. 2 ein Stromleitstück.
In Fig. 1 ist ein mit 10 bezeichneter, hülsenförmiger, aus elek
trisch nicht leitendem Material hergestellter Träger angedeutet, auf
dessen Innenwand vier Spulen 11, 12, 13, 14 angeordnet sind. Je zwei
Spulen 11, 13 bzw. 12, 14 sind diametral gegenüberliegend angeord
net. Durch die Größe der Spulen 11 bis 14 wird der Meßwinkel der
Meßeinrichtung bestimmt. Die Spulen 11 bis 14 können mäanderförmig
oder in Form eines Rechtecks angeordnet sein. Bevorzugt sind sie als
Flachspulen ausgebildet und in Form von Folien auf die Innenwand des
Trägers 10 aufgeklebt. Die Spulen 11 bis 14 können in bekannter Atz
technik oder in Dickschichttechnik auf eine entsprechend ausgebilde
te flexible Folie aufgebracht werden. Es ist aber auch möglich, die
Trägerfolie auf der Außenwand des Trägers anzuordnen. Ferner können
die Spulen auch mit Draht gewickelt werden.
In Fig. 2 ist ein Stromleitstück 20 dargestellt, das spiegelbild
lich ausgebildet ist und zwei, den Spulen zugewandte, dem Radius des
Trägers 10 angeglichene Bereiche 21, 22 aus elektrisch leitendem Ma
terial aufweist. Zwischen den Bereichen 21, 22 befinden sich elek
trisch nicht leitende Bereiche 23, 24. Dies kann durch eine Ausspa
rung und dem dadurch entstehenden Luftspalt erreicht werden oder
durch eine Oberfläche aus elektrisch nicht leitendem Material. Der
Winkelbereich der Bereiche 21, 22 ist größer als der Winkelbereich
der Spulen 11 bis 14, so daß die Bereiche 21, 22 jeweils immer zwei
Spulen wenigstens teilweise überdecken. Das Stromleitstück 20 kann
ganz aus elektrisch leitendem Material bestehen oder es genügt auch
eine Schicht aus elektrisch leitendem Material auf der den Spulen
zugewandten Oberfläche der Bereiche 21, 22. Das Stromleitstück 20
ist mit einem hier nicht dargestellten Bauteil verbunden, dessen
Drehbewegung erfaßt werden soll.
Die Meßeinrichtung arbeitet nach dem induktiven oder nach dem Wir
belstrommeßprinzip. Beim Wirbelstrommeßprinzip werden die Spulen von
einem hochfrequenten Wechselstrom durchflossen. Zur Messung wird das
Stromleitstück 20 im Träger 10 gedreht. An den Spulen entsteht ein
magnetisches Wechselfeld, das auf der metallischen Oberfläche des
Stromleitstücks 20 Wirbelströme bewirkt. Je größer dabei die vom Ma
gnetfeld durchsetzte Fläche des Stromleitstücks 20 ist, desto mehr
Wirbelströme werden erzeugt. Ferner ist die Größe der erzeugten Wir
belströme abhängig vom verwendeten Material des Stromleitstücks,
insbesondere dessen Oberfläche, sowie vom Abstand der Spulen zu den
Oberflächen des Stromleitstücks. Durch die erzeugten Wirbelströme
wird der Spulen-Wechselstromwiderstand verringert, was eine Verklei
nerung der an den Spulen anliegenden Spannungen bewirkt. Bei der
Drehbewegung des Stromleitstücks 20 wird jeweils die den jeweiligen
Spulen zugeordnete Größe der Oberfläche der Bereiche 21, 22 des
Stromleitstücks 20 verändert. Bei jeweils zwei nacheinanderfolgenden
Spulen wird die den Spulen zugeordnete Oberfläche des Stromleit
stücks je um denselben Betrag erhöht, wie er in der anderen Spule
verringert wird. Da das Stromleitstück spiegelbildlich ausgebildet
ist, wird die Änderung des Wirbelstromwiderstandes auch, wie oben
beschrieben, zwischen den gegenüberliegenden Spulen 12, 14 bewirkt.
Die diametral gegenüberliegenden Spulen sind dabei so verschaltet,
daß ihre Feldrichtungen gleichgerichtet sind, d.h. daß beide Feld
richtungen von der Sensorachse wegzeigen bzw. auf sie zeigen, wobei
aber die auf dem Träger 10 nacheinanderfolgenden Spulen so gewickelt
sind, daß ihre Feldrichtungen entgegengerichtet sind. Zur Fehlereli
minierung werden die Spannungen der jeweils gegenüberliegenden Spu
len addiert und anschließend die Summen gleichgerichtet und vonein
ander subtrahiert. Fallen z. B. bei der Montage die Achsen des Trä
gers 10 und des Stromleitstücks 20 nicht exakt zusammen, so weist
die Meßeinrichtung ein gewisses Radialspiel auf. Durch die achssym
metrische Anordnung sowohl des Stromleitstücks 20 als auch der Spu
len, wird die auf einer Seite bewirkte Erhöhung der Spannung durch
die entsprechende Erniedrigung der Spannung auf der anderen Seite
kompensiert. Ist ferner die Breite der Spulen größer oder auch klei
ner als die Breite des Stromleitstücks, so kann auch ein durch den
Einbau bewirktes Axialspiel kompensiert werden. Auch in diesem Fall
kompensieren sich die diametral gegenüber entstehenden Meßfehler.
Selbstverständlich ist es auch möglich, statt vier Spulen eine grö
ßere Anzahl von Spulen zu verwenden, wodurch kleine Meßwinkel be
stimmt werden können. Das Stromleitstück kann eine Drehbewegung um
360 Grad ausführen. Der eigentliche Meßbereich ist aber auf die Län
ge der Spulen begrenzt und wiederholt sich abhängig von der Anzahl
der Spulen immer wieder.
Claims (8)
1. Meßeinrichtung zur berührungsfreien Bestimmung eines Drehwinkels
mit Hilfe von auf einem Träger (10) aus elektrisch nicht leitendem
Material aufgebrachten Sensorspulen (11 bis 14), deren Dämpfung
durch die relative Veränderung der Größe der den Spulen (11 bis 14)
zugeordneten Bereiche (21, 22) aus elektrisch leitendem Material ei
nes Stromleitstücks (20) variiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß
die Spulen (11 bis 14) auf einem hohlzylinderförmigen Träger (10)
aufgebracht sind und daß das Stromleitstück (20) im Träger (10) an
geordnet ist und relativ zu ihm bewegt wird.
2. Meßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei
diametral gegenüberliegende Spulen (11 bis 14) am Körper (10) ange
ordnet sind.
3. Meßeinrichtung nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeich
net, daß auf dem Körper (10) vier Spulen (11 bis 14) angeordnet
sind, daß die jeweils gegenüberliegenden Spulen (11, 14) in ihrer
Feldrichtung gleichgerichtet sind, daß die in Drehrichtung nachein
ander folgenden Spulen in den Feldrichtungen entgegengerichtet sind,
so daß bei Bewegung des Stromleitstücks (20) die einen Spulen je
weils zuerst stark und die anderen schwach bedämpft werden.
4. Meßeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Stromleitstück (20) gegenüberliegende, gebogene,
der Krümmung des Körpers (10) entsprechende Bereiche (21, 22) aus
elektrisch leitendem Material aufweist und daß das Stromleitstück
(20) zwischen diesen Bereichen (21, 22) Bereiche (23, 24) mit ge
ringer elektrischer Leitfähigkeit hat.
5. Meßeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Meßspannung der Spulen (11 bis 14) gleichgerichtet
werden und die Meßspannung nacheinanderfolgender Spulen voneinander
subtrahiert werden.
6. Meßeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Spulen (11 bis 14) auf einer Trägerfolie aufge
bracht sind, die auf der Innenseite oder auf der Außenseite des
Körpers (10) angeordnet ist.
7. Meßeinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die
Spulen (11 bis 14) auf der Trägerfolie in Ätztechnik hergestellt
sind.
8. Meßeinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die
Meßspulen (11 bis 14) auf der Trägerfolie in Dickschichttechnik her
gestellt sind.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3815074A DE3815074A1 (de) | 1988-05-04 | 1988-05-04 | Messeinrichtung zur bestimmung des drehwinkels |
EP19890904011 EP0414699A1 (de) | 1988-05-04 | 1989-04-14 | Messeinrichtung zur bestimmung des drehwinkels |
JP1504059A JPH03504158A (ja) | 1988-05-04 | 1989-04-14 | 回転角度を測定するための測定装置 |
PCT/DE1989/000224 WO1989011077A1 (en) | 1988-05-04 | 1989-04-14 | Measuring device for determining an angle of rotation |
KR1019890702500A KR900700848A (ko) | 1988-05-04 | 1989-04-14 | 회전각 결정용 측정장치 |
ES8901535A ES2014077A6 (es) | 1988-05-04 | 1989-05-04 | Dispositivo de medida para la determinacion del angulo de rotacion. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3815074A DE3815074A1 (de) | 1988-05-04 | 1988-05-04 | Messeinrichtung zur bestimmung des drehwinkels |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3815074A1 true DE3815074A1 (de) | 1989-11-16 |
DE3815074C2 DE3815074C2 (de) | 1990-11-29 |
Family
ID=6353539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3815074A Granted DE3815074A1 (de) | 1988-05-04 | 1988-05-04 | Messeinrichtung zur bestimmung des drehwinkels |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0414699A1 (de) |
JP (1) | JPH03504158A (de) |
KR (1) | KR900700848A (de) |
DE (1) | DE3815074A1 (de) |
ES (1) | ES2014077A6 (de) |
WO (1) | WO1989011077A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6016605A (en) * | 1992-04-07 | 2000-01-25 | Robert Bosch Gmbh | Device for determining a rotary angle |
DE102013213663A1 (de) * | 2013-07-12 | 2015-01-15 | Zf Friedrichshafen Ag | Anhängerkupplung |
DE102014224426A1 (de) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | Zf Friedrichshafen Ag | Anhängerkupplung |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4406417A1 (de) * | 1994-02-28 | 1995-09-07 | Bosch Gmbh Robert | Einrichtung zum Messen eines Weges oder eines Winkels |
DE29514026U1 (de) * | 1995-09-01 | 1995-11-02 | Sew Eurodrive Gmbh & Co | Vorrichtung zur Drehzahl- und/oder Drehrichtungserfassung von Motoren, insbesondere Asynchronmotoren |
JP2002090177A (ja) * | 2000-09-14 | 2002-03-27 | Tokyo Cosmos Electric Co Ltd | 無接点型変位検出装置 |
DE102007011952B4 (de) * | 2007-03-09 | 2019-09-26 | Werner Turck Gmbh & Co. Kg | Bewegungsmessvorrichtung, insbesondere Drehwinkelgeber |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2951148A1 (de) * | 1979-12-19 | 1981-07-09 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Messeinrichtung fuer einen drehwinkel und/oder ein drehoment |
DE3307105A1 (de) * | 1982-03-17 | 1983-09-22 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Messeinrichtung fuer einen drehwinkel und/oder ein drehmoment |
DE3218508A1 (de) * | 1982-05-17 | 1983-12-01 | Oskar Ing.(grad.) 7073 Lorch Mohilo | Messspulensystem fuer einen induktiven drehwinkelaufnehmer |
DE3511490A1 (de) * | 1985-03-29 | 1986-10-09 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Messeinrichtung fuer drehwinkel und/oder drehmomente |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE372858B (de) * | 1971-12-31 | 1975-01-13 | Asea Ab | |
US4384252A (en) * | 1979-05-11 | 1983-05-17 | The Bendix Corporation | Cup shaped magnetic pickoff for use with a variable reluctance motion sensing system |
EP0182322B1 (de) * | 1984-11-20 | 1991-05-08 | Kabushiki Kaisha S.G. | Einrichtung zum Erfassen der Drehlage |
-
1988
- 1988-05-04 DE DE3815074A patent/DE3815074A1/de active Granted
-
1989
- 1989-04-14 EP EP19890904011 patent/EP0414699A1/de not_active Withdrawn
- 1989-04-14 KR KR1019890702500A patent/KR900700848A/ko not_active Application Discontinuation
- 1989-04-14 WO PCT/DE1989/000224 patent/WO1989011077A1/de not_active Application Discontinuation
- 1989-04-14 JP JP1504059A patent/JPH03504158A/ja active Pending
- 1989-05-04 ES ES8901535A patent/ES2014077A6/es not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2951148A1 (de) * | 1979-12-19 | 1981-07-09 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Messeinrichtung fuer einen drehwinkel und/oder ein drehoment |
DE3307105A1 (de) * | 1982-03-17 | 1983-09-22 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Messeinrichtung fuer einen drehwinkel und/oder ein drehmoment |
DE3218508A1 (de) * | 1982-05-17 | 1983-12-01 | Oskar Ing.(grad.) 7073 Lorch Mohilo | Messspulensystem fuer einen induktiven drehwinkelaufnehmer |
DE3511490A1 (de) * | 1985-03-29 | 1986-10-09 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Messeinrichtung fuer drehwinkel und/oder drehmomente |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6016605A (en) * | 1992-04-07 | 2000-01-25 | Robert Bosch Gmbh | Device for determining a rotary angle |
DE102013213663A1 (de) * | 2013-07-12 | 2015-01-15 | Zf Friedrichshafen Ag | Anhängerkupplung |
DE102014224426A1 (de) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | Zf Friedrichshafen Ag | Anhängerkupplung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH03504158A (ja) | 1991-09-12 |
WO1989011077A1 (en) | 1989-11-16 |
KR900700848A (ko) | 1990-08-17 |
EP0414699A1 (de) | 1991-03-06 |
ES2014077A6 (es) | 1990-06-16 |
DE3815074C2 (de) | 1990-11-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0334854B1 (de) | Messeinrichtung für drehwinkel und/oder drehgeschwindigkeit | |
DE4413341C2 (de) | Meßeinrichtung mit einem Magnetfeldsensor zum berührungslosen Erfassen des lichten Abstandes zwischen zwei Bauteilen und deren Verwendung | |
DE3545630C2 (de) | ||
DE4317285C2 (de) | Kapazitive Meßsonde für die berührungslose Abstastung von Werkstückoberflächen | |
DE19806529C2 (de) | Weg-Winkel-Sensor | |
DE10139154B4 (de) | Winkelstellungssensor | |
EP1556665B1 (de) | Tastkopf mit magnet und hallelement für den einsatz in einem koordinatenmessgerät | |
DE3740800C2 (de) | ||
DE4122478A1 (de) | Messeinrichtung zur bestimmung eines drehwinkels | |
DE4001544A1 (de) | Messeinrichtung zur bestimmung eines drehwinkels | |
DE3225554A1 (de) | Messeinrichtung fuer fluidstrahlen | |
DE3815074C2 (de) | ||
EP0425529B1 (de) | Messeinrichtung zur bestimmung eines drehwinkels | |
EP0428536B1 (de) | Messeinrichtung zur berührungslosen bestimmung einer weg- und/oder winkeländerung | |
DE4018187A1 (de) | Induktiver winkelsensor zur bestimmung der drehung einer welle | |
DE10039216C2 (de) | Messvorrichtung zur berührungslosen Erfassung eines Drehwinkels oder eines Weges | |
DE4243022C2 (de) | Meßeinrichtung zur Bestimmung eines Drehwinkels | |
DE4211614C2 (de) | Meßeinrichtung zur Bestimmung eines Drehwinkels | |
DE3824533C2 (de) | ||
DE4335594A1 (de) | Drehwinkelsensor zur Ermittlung eines Drehwinkels | |
WO1999030111A1 (de) | Messvorrichtung zur berührungslosen erfassung eines drehwinkels | |
EP0386438B1 (de) | Messeinrichtung zur berührungsfreien Erfassung der Gestalt von Bauteilen | |
DE19902258A1 (de) | Näherungsschalter mit magnetfeldempfindlichem Sensor | |
DE4437751A1 (de) | Magnetischer Positionssensor | |
WO2004077070A1 (de) | Vorrichtung zum messen von beschleunigungen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |