DE3805080A1 - Verfahren und vorrichtung zur oxidation von kohlenmonoxid - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur oxidation von kohlenmonoxidInfo
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Description
Die Erfindung betrifft allgemein Katalysatoren und Laser
und insbesondere ein Verfahren und eine Vorrichtung zur
Verbesserung von CO₂-Lasern durch katalytische Wiedergewinnung
von durch elektrische Entladung zerzetztem CO₂.
Seit der Erfindung des CO₂-Lasers ist eine unerwünschte
Eigenschaft dieses Lasers die Tatsache, daß die elektrische
Entladung, die zur Erregung des Lasergases erforderlich
ist, auch bewirkt, daß das CO₂ bei der Entladung nach
einer der folgenden beiden Reaktionen dissoziiert:
CO₂ + e→CO + O-
CO₂ + e→CO + O + e
CO₂ + e→CO + O + e
wobei "e" ein Elektron in der Entladung darstellt.
Diese Reaktion erreicht möglicherweise ein Gleichgewicht
gemäß der Reaktion:
CO + ½ O₂⇄CO₂
Dieses Gleichgewicht wird jedoch üblicherweise nicht erreicht,
bevor mehr als 60% des CO₂ zersetzt sind. Das Problem liegt
darin, daß die Zersetzungsprodukte CO und O₂ eine teilweise
Vergiftungswirkung auf den Laser haben. Das Ergebnis zeigt
sich in einem Leistungs- und Verstärkungsverlust und einer
Destabilisierung der elektrischen Entladung.
Bei Lasern mit höherer Leistung wird diese nachteilige
Wirkung dadurch beseitigt, daß das Gas (ein Gemisch aus CO₂,
N₂ und He (wobei Helium etwa 80% der Gesamtmenge beträgt)
kontinuierlich durch eine Entladungszone in einer Zeit strömt,
die kurz genug ist, um nur eine Teilzersetzung des CO₂ zu
ermöglichen. Die Zersetzungsgeschwindigkeit hängt von vielen
Faktoren wie der Stromdichte und dem Gasdruck ab, im allgemeinen
kann jedoch festgestellt weren, daß die Zersetzungsgeschwindigkeit
sehr hoch ist, üblicherweise mit einer Zeitkonstanten
zwischen 0,01 und 10 Sekunden.
Diese Reaktion wurde vom Anmelder erstmals 1967 festgestellt
und charakterisiert. Seit dieser Zeit wurde dieser
Prozeß vielen Studien unterzogen, um zu versuchen, den
Gasverbrauch und die Störung zu reduzieren, die bei CO₂-Lasern
hoher Leistung auftreten.
Bei niedrigeren Leistungspegeln (weniger als 60 Watt) wurden
abgeschlossene CO₂-Laser konstruiert und verwendet, bei
denen der Leistungsverlust, der bei einer teilweisen Zersetzung
des CO₂ in der elektrischen Leitung auftritt, akzeptiert
wird.
Wenn bei einem CO₂-Laser das Gas den Laser nur einmal durchströmt
und dann abgegeben wird, kann eine erhebliche Menge
Helium verbraucht werden. Z. B. kann ein 1000 Watt CO₂-Laser
ohne Gasrückführung etwa 100 Liter Lasergas (meist Helium)
bei einem Standarddruck und einer Standarttemperatur in einer
Stunden verbrauchen. Erfreulicherweise wurde festgestellt,
daß es möglich ist, das CO und das O₂ durch die Verwendung
eines auf etwa 330°C erhitzten Platinkatalysators wieder in
CO₂ umgewandelt werden kann. Hierzu wird eine Vakuumpumpe
verwendet, um das Gas in einem geschlossenen Kreislauf
kontinuierlich umzuwälzen, der den elektrischen Entladungsbereich
des Lasers, den erhitzten Katalysator und die
Vakuumpumpe umfaßt. Leider ist dieser Prozeß hinsichtlich
der Ausstattung und der Kompliziertheit nicht nur teuer,
sondern hinsichtlich des Gases aufwendig, da etwa 10% des
Gases bei jedem Zyklus verloren gehen und neues Gas zugesetzt
werden muß. Daher verbraucht derzeit ein 1000 Watt CO₂-Laser,
der mit einer Platinrecyclingeinrichtung ausgestattet ist,
typischerweise etwa 10 Liter Lasergas pro Stunde.
Dieses Problem kann besser verstanden werden, wenn man
sich vorstellt, daß derzeit etwa 10 000 CO₂ weltweit
verkauft wurden. Obwohl einige dieser Laser abgeschlossen
sind, verbraucht der überwiegende Anteil eine große Menge
Helium, das nicht nur teuer ist, sondern auch eine natürliche
Resource erschöpft, die einen begrenzten Vorrat hat.
Abgeschlossene CO₂-Laser verbrauchen kein Helium, haben
jedoch einen anderen Nachteil, da sie üblicherweise mit
einer Ausgangsleistung arbeiten, die im Vergleich zu einem
Durchfluß-CO₂-Laser vergleichbarer Größe erheblich reduziert
ist.
Diesem Problem wurde erhebliche Aufmerksamkeit gewidmet.
Zum Stand der Technik werden die folgenden Artikel und
Patente als Veröffentlichungen genannt:
- 1. P. D. Tannen et al, "Species Composition in the CO₂ Discharge Laser", IEEE Journal of Quantum Electronics, Band QE10, Nr. 1, 1974;
- 2. C. Willis, "Catalytic Control of the Gas Chemistry of Sealed TEA CO₂ Lasers", J. Appl. Phys. 50(4), Apr. 1979;
- 3. D. S. Stark, "A Sealed 100 Hz CO₂ TEA Laser Using High CO₂ Concentrations and Ambient Temperature Catalysts", J. Phys. E. Sci. Instrum. 16, 1983, 158-161;
- 4. US-PS 37 89 320 (W. D. Hepburn)
- 5. US-PS 35 69 857 (J. A. Macken)
- 6. A. B. Lamb et al, "The Removal of Carbon Monoxide from Air", J. of Industrial and Eng. Chem., March 1920.
Zusätzlich zur Verwendung eines externen Katalysators
wurde auch schon versucht, den Katalysator innerhalb des
Lasers anzuordnen, indem man einen erhitzten Platindraht
innerhalb des Lasers oder eine erhitzte Kathode verwendete,
die eine katalytische Wirkung hat. Dies erwies sich jedoch
nicht als erfolgreich, die CO₂-Zersetzung wesentlich umzukehren,
da die Gasdiffusion zu langsam ist, um das Gas in
einen kleinen Bereich der Röhre zu bringen, die den
erhitzten Platindraht oder die erhitzte Kathode enthält.
Es ist nicht möglich, große Teile des Laserentladungshohlraums
mit erhitztem Platin zu überziehen. Obwohl dies
bei der Rückgewinnung des zersetzten Gases erfolgreich
wäre, würde der CO₂-Laser zu schwingen aufhören, da der
große Bereich erhitzten Platins auch die Gastemperatur
auf ein nicht akzeptierbares Niveau für die Laserwirkung anheben
würde.
Katalysatoren, die bei Umgebungstemperatur für die
CO-O₂-Reaktions arbeiten, sind im Vergleich zu erhitztem
Platin sehr langsam. Diese Umgebungstemperaturkatalysatoren
umfassen Platin auf Zinnoxid (Veröffentlichung Nr. 3),
Hopcalite (Veröffentlichung Nr. 6 - 50% MnO₂, 30% AuO,
15% CO₂O₃ und 5% Ag₂O) und Kobaltoxid (Veröffentlichung
Nr. 6). Um diese Katalysatoren bei Umgebungstemperaturen
zu verwenden, muß man die niedrigen Geschwindigkeiten
dadurch ändern, daß man das Gas und den Katalysator in innigen
Kontakt bringt. Dies geschieht normalerweise dadurch, daß
man das Gas durch den in gekörnter Form vorliegenden Katalysator
strömen läßt.
Dies erfordert, daß man den Katalysator entfernt vom Laserverstärkungsvolumen
anordnet. Eine Pumpe wird verwendet, um
das Gas durch den Katalysator umzuwälzen. Versuche zeigen,
daß der oben erwähnte Umgebungstemperaturkatalysator innerhalb
des Lasers an den Wänden des Entladungsvolumens aus verschiedenen
Gründen nicht verwendet werden kann, wie der
niedrigen Reaktionsgeschwindigkeit der Destabilisierung,
der Entladung und der chemischen Zersetzung des Katalysators.
Im Gegensatz zum Stand der Technik wird durch die Erfindung
eine Möglichkeit zur Rückgewinnung des zersetzten CO₂ innerhalb
des elektrischen Entladungsraums eines CO₂-Laser geschaffen.
Dies kann bei Umgebungstemperatur ohne Destabilisierung
der Entladung und ohne die Notwendigkeit, das Gas umzuwälzen
geschehen. Es ist auch möglich, die Erfindung und die
Rückgewinnung des zersetzten CO₂ in einem Strömungslaser anzuwenden.
Hierbei erfordert die niedrige Betriebstemperatur
dieses Prozesses nicht die Anwendung zusätzlicher Erwärmung
des Gases, wie dies bei einem Platinkatalysator der Fall ist.
Diese und andere Vorteile werden erreicht. Die Erfindung
ist aber auch auf andere Vorrichtungen als Laser anwendbar.
Zusammenfassend kann also festgestellt werden, daß bei einem
CO₂-Laser die elektrische Entladung den unerwünschten Nebeneffekt
der Zersetzung des CO₂ in Kohlenmonoxid und Sauerstoff
hat. Die elektrische Entladung bewirkt auch die Erzeugung von
kurzlebigen, energetischen Formen von Sauerstoff, die sehr
reaktiv sind. Durch die Erfindung wird ein Katalysator geschaffen,
der nur in Gegenwart dieser kurzlebigen energetischen
Formen von Sauerstoff wirkt.
Bei einer Ausführungsform der Erfindung sich die dem Laserverstärkungsvolumen
zugewandten Wände mit feinverteiltem
Gold überzogen. Bei Umgebungstemperatur können das CO und
die energetischen Sauerstoff-Formen (wie atomarer Sauerstoff)
auf der Goldoberfläche rasch reagieren.
Bei diffusionsbegrenzten Lasern sollte der Goldkatalysator
auf den der Entladung zugewandten Wänden umfassend verteilt
sein. Das Gold wird ausreichend verteilt, um eine Ablenkung
der elektrischen Entladung zu verhindern.
Bei einer anderen Ausführungsform, die auf Konvektionsströmungslaser
anwendbar ist, ist der Goldkatalysator im
strömenden Gas nahe dem Auslaßende des Laserentladungsbereichs
angeordnet. Außer auf Laser ist die Erfindung auch
auf andere Einrichtungen anwendbar, die energetische Sauerstoff-
Formen erzeugen.
Die Erfindung wird nachstehend anhand der Figuren 1 bis
4 beispielsweise erläutert:
Es zeigt:
Fig. 1 ein Flußdiagramm, aus dem die chemischen
und mechanischen Prozesse hervorgehen;
Fig. 2 eine Seitenansicht eines üblichen in zwei
Abschnitte geteilten CO₂-Lasers zur Erläuterung
zweier unterschiedlicher Anordnungsmethoden für
den Katalysator;
Fig. 3 eine perspektivische Darstellung eines
Konvektionsströmungs-CO₂-Lasers mit dem Katalysator
und
Fig. 4 eine perspektivische Querschnittsdarstellung
eines Teiles eines Wellenleiterlasers.
Die CO-O₂-Reaktion ist exotherm, läuft jedoch nicht bei
Umgebungstemperatur ab, da der Beginn der Reaktion eine
große Aktivierungstemperatur erfordert. Ein nichtkatalytisches
Material wie Aluminiumoxid muß in einem CO- und O₂-Gasgemisch
auf etwa 1000°C erhitzt werden, damit diese Reaktion abläuft.
Selbst bei 1000°C erreicht nur ein geringer Prozentsatz der
thermisch erregten Moleküle eine ausreichend hohe Energie,
um diese Aktivierungsenergie zu überwinden und das CO in
CO₂ zu oxidieren. Dies ist ein Beispiel einer thermisch gesteuerten
chemischen Reaktion, da die kinetische Energie der
Moleküle ausgenutzt wird, um die Aktivierungsenergie zu überwinden.
Diese Aktivierungsenergie für die Oxidation von CO
durch O₂ beträgt nach Schätzung mehr als 1,5 Elektronenvolt.
Selbst die Verwendung von Katalysatoren wie Platin, Paladium,
Kobaltoxid und Hopcalite hängt nur von der Wärme (der kinetischen
Energie der Moleküle) ab, um die Aktivierungsenergie
zu überwinden. Der Katalysator reduziert nur diese
Aktivierungsenergie dadurch, daß er Zwischenreaktionen auslöst.
Es wurde jedoch festgestellt, daß es im CO₂-Laser nur
eine einzige Umgebung gibt, die eine neue Anwendungsmöglichkeit
für Katalysatoren bietet. Innerhalb des CO₂-Lasers erzeugt
die elektrische Entladung eine energetische Art von
Sauerstoff im Vergleich zu O₂. Dieser energetische Sauerstoff
kann sich normalerweise nicht mit CO (ohne einen
dritten Körper) verbinden, da offensichtlich zu viel Energie
vorhanden ist. Es besteht also nicht mehr länger das Problem
der Überwindung der Aktivierungsenergie, sondern in der
gasförmigen Phase besteht das Problem, Energie zu beseitigen,
so daß das CO₂-Molekül zusammenhalten kann. Zum Beispiel
ergibt gerade der Prozeß der Zerlegung von CO₂ atomaren
Sauerstoff (O) gemäß der Gleichung:
CO₂ + e→CO + O + 3
Atomarer Sauerstoff kann auch innerhalb der Entladung auf
verschiedene Arten gebildet werden, einschließlich der
folgenden:
O₂ + 3→O + O-
Der atomare Sauerstoff hält sich oft bis er zur Wand
diffundiert. Ein Teil des atomaren Sauerstoffs kombiniert
auch mit O₂, um Ozon (O₃) zu bilden, jedoch benötigt auch
diese Reaktion einen dritten Körper. Ozon ist ebenfalls
sehr reaktiv.
Schließlich ist bekannt, daß zweiatomiger Sauerstoff (O₂)
wenigstens zwei langlebige, erregte Schwingungszustände hat,
die mit O₂* und O₂** bezeichnet werden. Daher wird sogar
molekularer Sauerstoff (O₂) kontinuierlich in eine energetische
Form erregt, solange er in der Entladung verbleibt.
Bei der Entladung existieren daher wenigstens vier Formen
energetischen Sauerstoffs, die elektrisch neutral sind.
Keiner dieser Formen begegnet man normalerweise in Luft
oder im Lasergas, soweit das Gas den Entladungsbereich für
eine Zeit verlassen hat, die länger als die Lebensdauer der
verschiedenen Arten energetischen Sauerstoffs ist. Zusammengefaßt
sind diese vier neutralen energetischen Sauerstoffzustände
und ihre Bildungsenergien bezüglich O₂:
1. Atomarer Sauerstoff0 ∼ 2,6 ∼ ev (250 KJ/mol endotherm)
2. OzonO₃ ∼ 1,5 ev (140 KJ/mol endotherm)
3. Erregter SauerstoffO₂* ∼ 1 ev ( 92 KJ/mol endotherm)
4. Erregter SauerstoffO₂** ∼ 1,6 ev (154 KJ/mol endotherm)
Außer den obigen neutralen Formen energetischen Sauerstoffs
gibt es auch verschiedene ionisierte Quellen energetischen
Sauerstoffs, die bei der CO₂-Laser-Entladung festgestellt
wurde. Die hauptsächlich positiv geladenen Ionen, die ebenfalls
als Sauerstoffquelle dienen können, sind:
O₂⁺, O⁺ und NO⁺.
Die positiv geladenen Ionen werden teilweise von den Wänden
des Entladungsraums angezogen, so daß die Elektronendiffusion
an diesen Wänden neutralisiert wird. Schließlich ist es
möglich, daß in einer Entladung erzeugtes UV-Licht von bestimmten
Feststoffen in einer Weise absorbiert wird, daß
"heiße" Elektronen erzeugt werden, die O₂ in atomaren Sauerstoff
auf der Oberfläche des Feststoffes dissoziieren können.
(Siehe "Ultraviolett Light Stimulated Thermal Oxidation of
Silicon" E. M., Appl. Phys. Lett.). Von allen erwähnten
energetischen Sauerstoff-Formen ist atomarer Sauerstoff
wahrscheinlich wegen seiner Abundanz und Reaktivität der
Wichtigste.
Alle diese neutralen und ionisierten Arten mit Ausnahme
des Ozons werden bei einer Wandkollision üblicherweise deaktiviert.
Bei dem reduzierten Gasdruck und der Entladungsraumgröße
eines CO₂-Lasers mit langsamer Strömung haben sie üblicherweise
eine Halbwertszeit von weniger als 20 Millisekunden. Bei
bestimmten Strömungslasern jedoch, die mit großen Entladungsraumabmessungen
bei höheren Drücken arbeiten, wird die
Diffusion zur Wand erheblich reduziert. Es kann bei einigen
dieser neutralen energetischen Sauerstoff-Formen möglich
sein, eine Lebensdauer von bis zu 1/10 Sekunden zu erreichen.
Es ist daher das Ziel, die Energie dieser kurzlebigen energetischen
Sauerstoff-Formen (möglicherweise auch des UV-Lichtes)
auszunutzen, so daß wenigstens ein Teil der Steuerenergie
für eine katalytische Reaktion von der Entladung kommt.
Dies würde es ermöglichen, die thermische Energieerfordernis
so niedrig zu halten, daß eine schnelle katalytische Reaktion
bei Temperaturen unter etwa 50°C stattfinden kann.
Bei der Anwendung der zuvor beschriebenen Methode wurden
zwei Klassen von Materialien festgestellt, die die Bildung
von CO₂ in der Laserumgebung katalytisch beeinflussen.
Diese Materialien sind Gold und bestimmte endotherme
Silberoxide. Die vorliegende Erfindung beschäftigt sich
mit der Verwendung von Gold als einen Katalysator.
Selbst wenn Gold für die CO-O₂-Reaktion kein Katalysator
ist, ist Gold für die Reaktion zwischen CO und wenigstens
einem Teil der energetischen Sauerstoff-Formen ein Katalysator.
Mögliche Reaktionen umfassen:
Bei der richtigen Anwendung beeinflußt Gold die Bildung
von CO₂ bei Umgebungstemperatur katalytisch. Ein Goldkatalysator
ist ebenfalls schnell genug, um gegen die Zersetzungsgeschwindigkeit
von CO₂ innerhalb des Lasers zu wirken.
Gold kann ebenfalls einen sehr gut haftenden Film bilden,
der innerhalb des Lasers nicht abblättert. Die elektrische
Leitfähigkeit und das hohe Reflexionsvermögen von Gold
können Probleme bereiten, wenn es auf Wänden verwendet
wird, die der Entladung zugewandt sind, wie nachstehend
erläutert wird:
Fig. 1 ist ein Flußdiagramm, das einige Schritte angibt,
die bei der Verwendung von Gold als Katalysator angewandt
werden. Der ersten Schritt (10) umfaßt die Bereitstellung
eines Gehäuses, das das Lasergas und den Teil des Lasers enthält,
der als "Laserverstärkungsvolumen" bezeichnet wird.
Dies ist das Volumen, bei dem die stimulierte Strahlungsemission
stattfindet. Dieses Volumen enthält den optischen
Strahl und enthält fast immer wenigstens einen Teil
der elektrischen Entladung. Zusätzlich zu diesen Standardkomponenten
eines CO₂-Lasers wird eine spezielle goldbeschichtete
Fläche zugefügt. Wie später erläutert, ist dieses
Gold so geformt und angeordnet, daß es als Katalysator wirkt.
Block 11 der Fig. 1 stellt die Dissoziierung von CO₂ durch
die elektrische Entladung dar. Diese findet mit einer Geschwindigkeit
statt, die von mehreren Faktoren einschließlich
der Stromdichte, dem Gasdruck und der Gaszusammensetzung
abhängt.
Typischerweise kann bei kontinuierlichen Lasern die Zersetzungsgeschwindigkeit
derart sein, daß die Halbwertszeit
eines CO₂-Moleküls im Bereich von 0,1 Sekunden bis zu einigen
Sekunden liegt. Möglicherweise wird ein chemisches Gleichgewicht
erreicht. Dieses Gleichgewicht wird jedoch üblicherweise
erst erreicht, wenn etwa 60% zersetzt sind.
Dies hat selbstverständlich nachteilige Auswirkungen auf die
Laserleistung, die Laserverstärkung, den Laserwirkungsgrad
und die Laserentladungsstabilität.
In Fig. 1 kann Block 11 als der erste Schritt des Prozesses
zur Rückgewinnung des CO₂ sein, da in Block 11 CO und O
gebildet werden. Da CO stabil ist, ist der Transport von
CO zur Goldfläche (Block 12) üblicherweise unkompliziert.
Der atomare Sauerstoff (Block 13) hat jedoch eine begrenzte
Lebensdauer. Er kann mit einem anderen Sauerstoffatom
zur Bildung von O₂ (Block 14) kombinieren, jedoch erfordert
diese einen dritten Körper wie eine Wand oder eine
Dreikörperkollision in der Gasphase.
Wenn sich noch O₂ in der Entladung befindet, kann er aufgebrochen
werden, wobei jeder atomare Sauerstoff (umgekehrter
Pfeil zum Block 13) gebildet wird, oder er kann einige
andere Arten energetischen Sauerstoffs (Block 15) bilden.
Energetischer Sauerstoff kann gegebenenfalls das Gold
(Block 16) durch Diffusion oder Konduktion erreichen. Auf
dem Goldkatalysator können einige Arten energetischen Sauerstoffs
das CO zur Bildung von CO₂ (Block 17) oxidieren.
Im Block 18 wird das CO₂ (durch Diffusion oder Konduktion)
zum Verstärkungsvolumen zurücktransportiert. Hierdurch wird
CO₂ im Gasgemisch ersetzt und der Zyklus kann wieder beginnen.
In Fig. 1 ist zu beachten, daß Block 11 die Zersetzungsstufe
ist. Die anderen Blöcke beziehen sich auf die Rückgewinnung
des zersetzten CO₂. Idealerweise sollten die
Geschwindigkeiten aller dieser unteren Stufen zusammen
schneller sein als die Geschwindigkeit der Stufe 11. Dies
kann erfreulicherweise mit einem Goldkatalysator erreicht
werden, wenn dieser im Laser richtig angeordnet wird. Wenn
auch das Gas aus der Entladung entfernt wird und das Gold
nicht erreicht, kann der Prozeß gegebenenfalls beim Block
13, der die Bildung von O₂ darstellt, unterbrochen werden.
Die Fig. 2, 3 und 4 zeigen drei verschiedene Arten von
Laserkonstruktionen. In diesen Figuren sind jedoch Teile
enthalten, die analoge Funktionen erfüllen. Wenn es daher
zum Verständnis der Analogie wichtig ist, ist die Numerierung
der Teile ähnlich (30 A, 30 B, 30 C, etc.)
Fig. 2 zeigt zwei Möglichkeiten der Verwendung eines Goldkatalysators.
In Fig. 2 stellt 20 A einen CO₂-Laser dar,
der entweder als abgeschlossen oder als Laser mit langsam
strömendem Gas (die Pumpe ist nicht gezeigt) angesehen
werden kann. Die Kathode 21 A und die Anode 22 A sind an eine
elektrische Energiequelle (nicht gezeigt) angeschlossen. Der
Laser hat ein Innenrohr 23 A, das von einem Außenrohr 24 umgeben
ist. Wasser oder ein anderes Kühlmedium strömt durch
die Räume zwischen den Rohren 23 A und 24. Das Rohr 26
verbindet die Kathode 21 A mit dem Rohr 23 A, während das
Rohr 25 mit dem Laserresonator (Rohr 23 A) verbindet. Spiegel
27 und 28 sind am Ende des Rohrs 23 A angeordnet. Ein Lasergasgemisch
wie CO₂, N₂ und He (gegebenenfalls auch CO und
Xe) befindet sich in dem geschlossenen, von den Rohren 23 A,
25 26 und den Spiegeln 26, 27, 28 gebildeten Gehäuse.
Wenn auf die Elektroden 21 A und 22 A elektrische Energie
gegeben wird, entsteht im Rohr 23 A eine Entladung 29 A. Die
elektrische Entladung ist in Fig. 2 nur teilweise gezeigt,
um die Darstellung des Katalysators nicht zu beeinträchtigen.
In Fig. 2 ist das Verstärkungsvolumen der Teil des Rohrs
23 A zwischen den Anschlußstellen für die Rohre 25 und 26.
Dieses Volumen enthält die Entladung und den Laserstrahl.
Um eine vorteilhafte Wirkung zu erzielen, muß reines Gold
auf den Innenwänden des Rohrs 23 A, die dem Verstärkungsvolumen
zugewandt sind, verteilt werden. Da jedoch Gold ein
elektrischer Leiter ist, muß es in elektrisch isolierte
Inseln aufgebrochen werden, um zu verhindern, daß die Entladung
vom Gas abgelenkt wird und durch das Gold verläuft.
Wenn dies eintreten würde, würde eine Kathode am einen und
eine Anode am anderen Ende des Goldstreifens gebildet werden.
Da der Kathodenabfall etwa 450 V in einem CO₂-Gasgemisch beträgt,
verläuft die Entladung nicht durch das Gold, wenn die
einzelnen Goldinseln ausreichend klein gemacht werden, so
daß der Spannungsgradient über den einzelnen elektrisch
leitenden Inseln weniger als 450 V beträgt. Der Spannungsgradient
hängt von vielen Faktoren ab, beträgt jedoch typischerweise
100 V/cm. Bei diesem Beispiel sollte der Goldstreifen
kürzer als 4,5 cm in Richtung des elektrischen Feldgradienten
gemacht werden, um diese unerwünschte Ladungsablenkung zu
vermeiden. In der Praxis ist es jedoch erwünscht, die
Inseln weitaus kleiner als diese Grenze zu machen. Bei
einer bevorzugten Ausführungsform haben die Inseln eine
Länge in Richtung des elektrischen Feldgradienten von
weniger als 1/2 Rohrdurchmesser.
Zusätzlich zu den elektrischen Anforderungen zum Aufbrechen
des Goldes besteht auch eine optische Anforderung, um eine
unerwünschte Strahlungsreflexionslaserwirkung zu vermeiden,
die die Ausgangsleistung reduzieren kann. Das Aufbrechen des
Goldes führt auch zu optischen Verlusten, die die optischen
Anforderungen erfüllen können.
In Fig. 2 stellen Ringe 31 K, 31 L, 31 M usw. Goldablagerungen
auf der Innenseite des Rohrs 23 A dar. Diese Ringe sind, wie
ersichtlich ist, voneinander getrennt und erstrecken sich
über eine Länge parallel zur Achse des Rohrs 23 A, die etwa
1/2 Rohrdurchmesser beträgt. Diese Ringe können auch spiralförmige
Folien aus einem federnden Metall, wie goldplattiertem
Nickel, gefertigt sein. Diese würden dann durch Reibung infolge
der Federwirkung im Metall gehalten werden.
Eine weitere Alternative ist in der anderen Hälfte des Rohres
23 A gezeigt. Die Beschichtung 30 A ist als aus zahlreichen
feinen Punkten bestehend dargestellt. Hierdurch soll eine
Goldbeschichtung dargestellt werden, die in mikroskopischer
Verteilung vorliegt, so daß keine elektrische Leitung längs
der Oberfläche besteht. Diese Beschichtung erscheint für
das Auge kontinuierlich, obwohl sie keine Spiegelfläche
bildet. Eine Form des mikroskopisch verteilten Goldes hat
eine diffus reflektierende hellbraune Farbe. Eine Methode
zur Herstellung dieser Art der Beschichtung wird nachstehend
erläutert. Bei der Herstellung einer mikroskopisch verteilten
Beschichtung ergeben sich die Unterteilungen aus dem Beschichtungsvorgang,
während bei einem mikroskopisch unterteilten
Katalysator die Unterteilungen üblicherweise das
Ergebnis einer gesonderten Verfahrensstufe sind. In jedem
Falle wird jedoch der Einschluß von Unterteilungen bzw.
Lücken von der bevorzugten Ausführungsform erfaßt.
Es ist erwünscht, so viel wie möglich von dem Bereich, der
dem Verstärkungsvolumen zugewandt ist, mit Gold zu beschichten,
vorausgesetzt, das Reflexionsvermögen wird nicht so hoch,
daß eine Streureflexionslaserwirkung hervorgerufen wird.
Obwohl sogar eine aktzeptale Leistung bei einer geringeren
Goldbeschichtung erreicht werden kann, kann eine ausreichende
Leistung noch erhalten werden, wenn nur 15% der Fläche bedeckt
sind, vorausgesetzt, das Gold ist längs des Verstärkungsvolumens
verteilt. Die Lücken im Gold parallel zur Rohrachse
sollten vorzugsweise kleiner als 1 Rohrdurchmesser sein.
Fig. 3 zeigt einen Teil eines CO₂-Lasers mit Querströmung.
In Fig. 3 befindet sich die elektrische Leitung Ladung 29 B zwischen
den Elektroden 21 B und 22 B. Diesen Elektroden wird durch
Leitungen 43 B und 44 B elektrische Energie zugeführt. Die
Elektroden werden von einer Konstruktion 40 B getragen. Ein
Gebläse 46 stellt eine Pumpe dar, die das Lasergas auf einer
durch Strömungspfeile dargestellten geschlossenen Bahn
umwälzt. Eine Konstruktion 47 bildet diese Bahn. Eine Mehrkanalkonstruktion
49 ist mit dem Goldkatalysator 30 B beschichtet.
Diese Konstruktion 49 kann eine doppelte Funktion
erfüllen, wenn sie nämlich auch als Wärmetauscher zur erforderlichen
Kühlung des Gases dient.
Die Anforderungen zur Bildung eines innigen Kontaktes mit
dem Gas sind für den Wärmetauscher und den Katalysator
gleich. Die Kombination dieser Funktionen kann daher erwünscht
sein, ist jedoch nicht notwendig. Es ist möglich,
für die Beschichtung 30 B eine elektrisch leitende Goldbeschichtung
zu verwenden, da in der Nähe dieser kein elektrischer
Gradient auftritt.
Die Positionierung des Katalysators B soll nahe dem Auslaß
des Entladungsbereichs liegen, da so viel energetischer
Sauerstoff wie möglich gefangen werden soll, um einen hohen
katalytischen Umwandlungswirkungsgrad zu erzielen.
In Fig. 3 sind die Laserspiegel nicht gezeigt; sie würden
jedoch über das Entladungsvolumen 29 B einander zugewandt
sein und einen Teil des Gehäuses bilden, das das Lasergas
enthält.
Fig. 4 stellt einen Querschnitt eines Teils eine HF-Wellenleiterlasers
dar. Diese Fig. kann jedoch auch verwendet
werden um eine bevorzugte Ausführungsform für einen quadratischen
oder rechteckigen Raum mit einer Querentladung darzustellen.
Dies würde z. B. einen "T"-Laser oder einen rechteckigen
Hohlraum fassen.
In Fig. 4 stellen Platten 21 C und 22 C die Elektroden dar. Für
einen Wellenleiterlaser sind dies flache Metallplatten,
die über einen Anschluß 43 C elektrisch gesteuert werden.
Die Platte 22 C ist, wie gezeigt, geerdet. Selbstverständlich
stellen diese Platten bei anderen Querentladungslaseranordnungen
(sei es mit Wechselspannung-, Gleichspannungs- oder Impulsbetrieb)
nur die jeweils geeigneten Elektrodenanordnungen
dar. Die Teile 23 C und 23 D sind dielektrische Teile, z. B.
aus Keramik. Die Oberfläche der Teile 23 C und 23 D, die dem
Verstärkungsvolumen zugewandt sind, sind mit 30 C und 30 D
bezeichnet.
Wie später näher erläutert wird, ist bei der bevorzugten
Ausführungsform der Goldkatalysator auf den Flächen 30 C und
30 D angeordnet. Wie Fig. 4 zeigt, ist die Fläche 30 C sichtbar
und durch kleine Punke dargestellt, die mikroskopisch
verteiltes Gold ähnlich dem Gold 30 A in Fig. 2 wiedergeben.
Selbstverständlich ist auch makroskopisch verteiltes Gold
akzeptierbar. Die inneren Flächen der Platten 51 und 52
können ebenfalls mit Gold beschichtet sein. Diese Flächen
haben jedoch eine reduzierte katalytische Wirkung, wenn
sie ebenfalls als Elektroden verwendet werden.
Abwandlungen der Ausführungsform der Fig. 4 sind möglich.
Wenn z. B. die Platten 23 C und 23 D in Richtung parallel zum
elektrischen Feldgradienten erheblich verbreitet werden,
wäre der Hohlraum rechteckig. Wenn die Platten 21 C und 22 C
durch die Elektrodenanordnung (durch Mehrfachstifte) ersetzt
werden würden, wie sie für "T"-Laser geeignet ist, dann
könnte die dieelektrische Fläche zwischen den Stiftelektroden
ebenfalls mit einem Goldkatalysator beschichtet werden.
Die katalytische Wirkung von Gold kann visuell festgestellt
werden, da sich die Farbe einer CO₂, N₂, He-Entladung in
Abhängigkeit von der Menge der Zersetzungsprodukte (vorwiegend
CO) ändert, die im Gasgemisch vorhanden sind. Eine
Entladung, die weniger als etwa 25% des zersetzten CO₂ enthält,
ist üblicherweise pink, während eine größere Zersetzung
die Entladung weiß färbt.
Das erste Experiment, das die katalytische Wirkung von Gold
erfolgreich zeigte, umfaßt die Beschichtung von Messingstreifen
mit einer Länge von 7,5 cm, einer Breite von 1,2 cm
und einer Dicke von 0,0125 cm mit einer Schicht aus Au₂O₃ in
Form einer feuchten Paste, die durch Hinzufügen einer geringen
Menge Wasser gebildet wurde. Diese Paste wurde auf einer Seite
der Messingstreifen ausgebreitet und getrocknet. Das Au₂O₃
wird dann zu Schwarzgold (fein verteiltes Gold) reduziert
indem es CO-Gas ausgesetzt wird. Zur Reduzierung des Au₂O₃
kann auch Wärme verwendet werden.
Die Messingstreifen wurden dann zu Ringen gewickelt (Gold ist
nach innen gerichtet) und im Rohr ähnlich der Fig. 2 angeordnet,
wobei das Rohr 23 A einen Innendurchmesser von 28 mm
hatte. Die Ringe wurden dann ähnlich der Anordnung der Ringe
30 K, 30 L, 30 M usw. in Fig. 1 unter Abstand angeordnet. Bei
einem geschlossenen Rohr mit einem Ausgangsgasgemisch von 7%
CO₂, 13% N₂ und 80% He bei einem Druck von 12 Torr und einem
Strom von 40 ma ist die Farbe pink in der Entladung im
Bereich des die Ringe enthaltenden Rohrs sichtbar. Ein Teil
des Rohrs wurde jedoch absichtlich nicht mit Goldringen
versehen. Dieser Bereich hatte eine das zersetzte Gas anzeigende
weiße Entladung.
Es wurde auch Gold in anderen Formen getestet. Wenn Gold
auf Keramikfolien aufgebracht und mit Hitze bei 300°C reduziert
wird, wird Schwarzgold gebildet. Dieses wirkt als
Katalysator, kann jedoch auch elektrisch leiten. Es wurde
festgestellt, daß, wenn diese Keramikfolien stärker erhitzt
werden (800 bis 1100°C), Schwarzgold eine hellbraune oder
sogar rotbraune Farbe, abhängig von dem Beschichtungs- und
Erhitzungsprozeß, annimmt. Hierbei handelt es sich um
mikroskopisch verteiltes Gold, das auf die Keramikoberfläche
aufgeschmolzen wird und sehr kleine Inseln bildet. Diese
Form ergibt einen ausgezeichneten Katalysator, da er eine hohe
Lebensdauer mit elektrischer Isolierung kombiniert. Nickelstreifen
wurden ebenfalls mit sehr reinem Gold elektroplattiert
und dies ergab ebenfalls einen guten Katalysator. Verunreinigungen
wie Öl von Fingerabdrücken oder unsaubere Elektroplattiertechniken
können den Katalysator verschlechtern.
Das Überziehen von Gegenständen mit Gold ist eine alte Technik
mit zahlreichen möglichen Abwandlungen. Das Gold muß keine bevorzugte
Form haben, da gute Ergebnisse mit Schwarzgold,
mikroskopisch verteiltem Gold mit diffus brauner oder roter
Farbe und metallischem Gold mit einer spiegelähnlichen Oberfläche
erzielt wurden. Es gibt zahlreiche Möglichkeiten,
Gold aufzubringen, z. B. chemische Ablagerung aus einer flüssigen
Lösung, Reduktion von Goldsalz, Elektroplattieren, mechanisches
Aufbringen, Dampfablagerung und Verstäuben.
Zusätzlich zu den bekannten Möglichkeiten der Goldbeschichtung
ist eine bevorzugte Ausführungsform das Verstäuben von Gold
in Glaszylinderrohren, was einen ausgezeichneten Katalysator
ergibt. Hierbei wird eine Goldkathode langsam durch das
Innere des zylindrischen Rohrs bewegt. Die Ionenkollisionen
mit der Goldkathode führen durch Zerstäuben zu einer Goldschicht
auf dem umgebenden Rohr. Gold in dieser Form ist
goldfarben oder dunkelblau. Erhitzt man dieses Gold nach
der Ablagerung, wird es wieder hell pink.
Die Hyphothese, die zu dem Experiment mit Gold als Katalysaor
führte, beruht auf der Möglichkeit, daß CO eine monomolekulare
Schicht haftender Moleküle auf einer reinen Goldfläche bildet.
Die energetischen Formen von Sauerstoff, die bei der Entladung
gebildet werden, ermöglichen dann die Kombination
mit dem haftenden CO, da das Gold als notwendiger dritter
Körper zur Beseitigung der überschüssigen Energie dient.
Zur Stützung dieser Theorie wurde ein Experiment durchgeführt.
Es wurde festgestellt, daß, wenn eine elektrische Entladung,
die Luft und Helium enthält, das normale CO₂, N₂
und He in einem Entladungsrohr ersetzt, wobei ein Goldkatalysator
verwendet wird, dann wird das katalytische Gold
vorübergehend vergiftet. Wenn die CO₂, H₂, He-Entladung
nach dieser Vergiftung begonnen wird, hat das Gold, wenn
überhaupt, nur eine geringe katalytische Wirkung. Setzt
man das Gold jedoch 30 Sekunden der Entladung aus, gewinnt
es einen Teil seiner katalytischen Wirkung wieder zurück
und nach etwa 10 Minuten hat das Gold den größten Teil seiner
Aktivität wieder zurückgewonnen. Die obige Hypothese erklärt
dies, da entweder Sauerstoff oder Wasserdampf eine monomolekulare
Schicht auf dem Gold bilden können. Die Entladung
mit Luft beschichtet mit dieser inerten monomolekularen
Schicht. Das CO benötigt einige Zeit, um sich wieder
zu bilden, wobei ein Teil des Sauerstoffs bzw. der Wasserdampfschicht
verdrängt wird.
Um schnell eine maximale chemische Aktivität zu erreichen,
ist es jedoch notwendig, die Goldfläche zu aktivieren.
Dies geschieht dadurch, daß man den Goldkatalysator einer
Entladung in einem Gas aussetzt, das diese monomolekulare
Schicht wirksam beseitigt. Ein Aussetzen der Ladung während
einiger Sekunden in einem Gemisch von CO, N₂ und He bewirkt
dies. Auch ein Gemisch nur aus N₂ und He ist wirksam. Selbst
das Zusetzen einer geringen Menge von CO zu dem CO₂, N₂,
He-Gemisch ist wirksam, jedoch nicht so schnell wie die
anderen Gemische.
Das bevorzugte Gasgemisch für einen CO₂-Laser hat einen geringen
CO-Überschuß. Im allgemeinen ergibt Gold keinen guten
Katalysator, wenn es auch als Elektrode verwendet wird, da
die in der Entladung vorhandenen Ionen meistens Arten sind,
die das CO aus der Goldoberfläche verdrängen. Da diese
Ionen zu den Elektroden angezogen werden, hat dies eine
Vergiftungswirkung des Goldes zur Folge, da die CO-Schicht
zerstört wird. Es wurden auch goldbeschichtete Resonatorspiegel
in CO₂-Lasern verwendet, da dieser Lasertyp zuerst
entwickelt wurde. Diese Goldspiegel zeigten jedoch keine
meßbare katalytische Wirkung wegen ihrer Anordnung relativ
zum Verstärkungsvolumen. Bei der Erläuterung der Fig.
1 wurde erwähnt, daß der energetische Sauerstoff eine kurze
Lebensdauer hat. Das Fehlen einer Entladung nahe dem Goldspiegel
hindert den energetischen Sauerstoff daran, die
Goldoberfläche zu erreichen. Dieser Prozeß wird mit der
Bildung von O₂ unterbrochen. Selbst wenn der energetische
Sauerstoff den Goldspiegel erreicht, ist die Zersetzungsgeschwindigkeit
der Stufe 11 in Fig. 1 hoch genug, so daß
der Goldspiegel nur die Gaszusammensetzung in einem Volumen
sehr nahe dem Spiegel beeinflußt. Bei größeren Abständen
nehmen die Stufen 12, 13 und 15 mit einer Geschwindigkeit
proportional dem Quadrat der Diffusionsstrecke ab.
Die gleiche Schlußfolgerung zeigt auch, warum es wichtig
ist, den Goldkatalysator längs der Fläche zu verteilen, die
dem Verstärkungsvolumen zugewandt ist. Die Zersetzung findet
im gesamten Entladungsvolumen statt. Die Geschwindigkeiten der
Stufen in Fig. 1 sind so, daß für einen diffusionsbegrenzten
Laser der Katalysator dieser Zersetzungsgeschwindigkeit nur
entgegenwirken kann, wenn die Diffusionsstrecken ausreichend
kurz sind.
Obwohl vorstehend in erster Linie die Anwendung auf CO₂-Laser
erläutert wurde, sind selbstverständlich auch andere Anpassungen,
Abänderungen und Anwendungsmöglickeiten gegeben,
z. B. in einer Umgebung, in der CO₂ bei Temperaturen niedriger
als die Temperatur gebildet werden soll, bei der Platin oder
Paladium wirksame Katalysatoren werden (bei über 300°C). Die
Hauptbestandteile sind:
- 1) eine CO-Quelle,
- 2) eine Quelle energetischen Sauerstoffs;
- 3) eine katalytisch aktive Goldfläche und
- 4) die Anordnung dieser Goldfläche ausreichend nahe der Quelle des energetischen Sauerstoffs, so daß unter Berücksichtigung der Lebensdauer des energetischen Sauerstoffs und der Gastransportgeschwindigkeiten das Gold von dem energetischen Sauerstoff getroffen werden kann.
Quellen energetischen Sauerstoffs können jede Quelle umfassen,
die einem Molekül ausreichende Energie zuführen kann das
wenigstens ein Sauerstoffatom enthält, um eine der zuvor
erwähnten Formen energetischen Sauerstoffs zu bilden. Quellen
solcher Energien umfassen eine elektrische Entladung, UV-Licht
(und andere energetische Formen von elektromagnetischer Strahlung
kürzer als etwa 3000 Å) sowie sich rasch bewegende
subatomare Partikel wie Alpha-Partikel, Neutronen,
Protonen, Elektronen usw.
Die Technik, die die Verwendung eines Goldkatalysators und
einer Energiequelle wie einer gasförmigen Entladung oder von UV-Licht
umfaßt, kann zur Oxidation bestimmter Arten anderer Moleküle
verwendet werden. Diese anderen Moleküle müssen die Kriterien
erfüllen, bei einem Druck von mehr als 0,1 torr in Gasform
vorzuliegen und ein Sauerstoffatom im Molekül aufzuweisen,
das zu angeordneet ist, daß es eine Verbindungsstelle für
Gold bilden kann.
Obwohl die obige Erläuterung an Hand eines Laseroszillators
erfolgte, gilt sie auch ebenso für einen Laserverstärker.
Als Gas im CO₂-Laser wurde CO₂, N₂ und He erwähnt. Dies ist
jedoch nur ein Beispiel. Selbstverständlich können auch andere
Gasgemische, wie CO₂, CO, He in abgeschlossenen Lasern üblicherweise
verwendet werden. Andere Gaszusätze umfassen Xe, H₂O,
D₂, Ar usw. Die Erfindung ist auch auf diese und auf andere
CO₂-Lasergemische anwendbar. Bei der Beurteilung der Effektivität
eines Katalysators wird eher von der Minimierung der
Zersetzungsprodukte als von der Maximierung der CO₂-Menge
gesprochen. Insbesondere soll die Sauerstoffmenge im Verstärkungsvolumen
verlängert werden, da der Sauerstoff eine nachteilige
Wirkung auf die Laserausgangsleistung und die Entladungsstabilität
hat.
Bei einigen CO₂-Lasern wird ein Teil des Laserlichts von den
Hohlraumwänden reflektiert. Ein Beispiel hierfür sind die
Wände eines Wellenleiterlasers. Obwohl diese Wände als
eine Art Reflektor wirken, ist dies wesentlich verschieden
von den Laserresonatorspiegeln 27 und 28 in Fig. 2.
Eine Goldfläche kann gleichzeitig als Katalysator und als
Reflektor zur Wandreflexion wirken. Goldbeschichtete Resonatorspiegel
sind jedoch, wie zuvor erwähnt wurde, nicht
richtig angeordnet, umd als wirksamer Katalysator zu fungieren.
Claims (11)
1. Vorrichtung in Form eines CO₂-Lasers mit einem geschlossenen,
ein CO₂-Lasergasgemisch und ein Laserverstärkungsvolumen
enthaltendem Gehäuse, wobei das Verstärkungsvolumen eine
elektrische Entladung im CO₂-Lasergasgemisch umfaßt, durch die Kohlenmonoxid,
Sauerstoff und energetische Sauerstoff-Formen
gebildet werden,
gekennzeichnet durch
wenigstens eine mit Gold beschichtete Fläche in dem
Gehäuse, die so angeordnet und geformt ist, daß der
Kontakt mit dem Kohlenmonoxid und den energetischen
Formen des Sauerstoffs, der im Verstärkungsvolumen erzeugt
wird, gefördert wird, um die CO₂-Bildung katalytisch
zu beeinflussen.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
sich der Goldkatalysator auf wenigstens einem Teil des
Wandbereichs befindet, der dem Verstärkungsvolumen zugewandt
ist, wobei das Gold über einen ausreichend breiten
Teil des Wandbereichs verteilt ist, um die katalytische
CO₂-Bildung in wenigstens einem erheblichen Teil des
Lasergasgemisches im Verstärkungsvolumen zu fördern.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Goldkatalysator von einem dielektrischen Material
gehalten ist und daß der Goldkatalysator mikroskopische
Bereiche bildet, die voneinander elektrisch isoliert
sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Goldkatalysator makroskopische Bereiche bildet,
die voneinander elektrisch isoliert sind.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Goldkatalysator nicht gleichzeitig als Elektrode
wirkt.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Goldkatalysator unabhängig als Teil eines Laserresonatorreflektors
wirkt.
7. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Gasgemisch das Verstärkungsvolumen schnell durchströmt,
daß die goldbeschichtete Fläche relativ groß
ist, um einen innigen Kontakt mit dem strömenden Gas
zu bewirken, und daß sie auch recht nahe dem Gasauslaßende
des Verstärkungsvolumens angeordnet ist, damit sie
von einem wesentlichen Anteil des energetischen Sauerstoffs
kontaktiert wird, so daß das Gold die CO₂-Bildung
derart katalytisch beeinflußt, daß eine wesentliche
Verringerung des gesamten molekularen Sauerstoffs im
Verstärkungsvolumen im Vergleich zum Sauerstoffgehalt
ohne Goldbeschichtung erfolgt.
8. Verfahren zur Umwandlung von Kohlenmonoxid und Sauerstoff
in CO₂,
dadurch gekennzeichnet, daß
wenigstens eine energetische Sauerstoff-Form gebildet
wird und daß das Kohlenmonoxid und die energetische
Sauerstoff-Form zur katalytischen CO₂-Bildung mit einer
goldbeschichteten Fläche in Kontakt gebracht werden.
9. Verfahren nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß
zur Bildung wenigstens einer energetischen Sauerstoff-
Form einer Sauerstoffquelle mittels einer elektrischen
Entladung, einer elektromagnetischen Strahlung mit
einer Wellenlänge von weniger als 3000 Angström oder
sich schnell bewegender subatomarer Partikel, Energie
zugeführt wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Energiequelle eine elektrische Entladung in einem
CO₂-Laser umfaßt.
11. Verfahren nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß
zur Bildung einer goldbeschichteten Fläche die Goldfläche
auf ein dielektrisches Material aufgebracht und zur Bildung
von elektrisch isolierten Inseln unterteilt wird.
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