DE3741594A1 - Holographisches beugungsgitter und seine herstellung - Google Patents

Holographisches beugungsgitter und seine herstellung

Info

Publication number
DE3741594A1
DE3741594A1 DE19873741594 DE3741594A DE3741594A1 DE 3741594 A1 DE3741594 A1 DE 3741594A1 DE 19873741594 DE19873741594 DE 19873741594 DE 3741594 A DE3741594 A DE 3741594A DE 3741594 A1 DE3741594 A1 DE 3741594A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
lines
sections
diffraction grating
areas
phase
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE19873741594
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Boris Ganevic Turuchano
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
LE I JADERNOJ FIZ IM B P KONST
Original Assignee
LE I JADERNOJ FIZ IM B P KONST
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to GB8727466A priority Critical patent/GB2212935A/en
Priority to CH459087A priority patent/CH673343A5/de
Priority to FR8716588A priority patent/FR2623918B1/fr
Application filed by LE I JADERNOJ FIZ IM B P KONST filed Critical LE I JADERNOJ FIZ IM B P KONST
Priority to DE19873741594 priority patent/DE3741594A1/de
Publication of DE3741594A1 publication Critical patent/DE3741594A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/32—Holograms used as optical elements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Holo Graphy (AREA)
  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
DE19873741594 1987-12-08 1987-12-08 Holographisches beugungsgitter und seine herstellung Ceased DE3741594A1 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB8727466A GB2212935A (en) 1987-12-08 1987-11-24 Holographic diffraction grating
CH459087A CH673343A5 (enrdf_load_stackoverflow) 1987-12-08 1987-11-24
FR8716588A FR2623918B1 (fr) 1987-12-08 1987-11-30 Reseau holographique de diffraction
DE19873741594 DE3741594A1 (de) 1987-12-08 1987-12-08 Holographisches beugungsgitter und seine herstellung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19873741594 DE3741594A1 (de) 1987-12-08 1987-12-08 Holographisches beugungsgitter und seine herstellung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3741594A1 true DE3741594A1 (de) 1989-06-22

Family

ID=6342135

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19873741594 Ceased DE3741594A1 (de) 1987-12-08 1987-12-08 Holographisches beugungsgitter und seine herstellung

Country Status (4)

Country Link
CH (1) CH673343A5 (enrdf_load_stackoverflow)
DE (1) DE3741594A1 (enrdf_load_stackoverflow)
FR (1) FR2623918B1 (enrdf_load_stackoverflow)
GB (1) GB2212935A (enrdf_load_stackoverflow)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4113027A1 (de) * 1991-04-20 1992-10-22 Leitz Messtechnik Verfahren und vorrichtung zur fotolithographischen herstellung von langen gittermassstaeben
DE19921089A1 (de) * 1999-04-30 2000-11-09 Hertz Inst Heinrich Verfahren zur Herstellung einer regelmäßigen Gesamtrasterstruktur und Anwendung des Verfahrens

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6709790B1 (en) * 1992-08-26 2004-03-23 Goodrich Corporation Method and apparatus for generating periodic structures in substrates by synthetic wavelength holograph exposure
GB2316760A (en) * 1996-08-23 1998-03-04 Univ Southampton Fabricating optical waveguide gratings
JP6953109B2 (ja) * 2015-09-24 2021-10-27 ウシオ電機株式会社 基板上構造体の製造方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2043637A1 (de) * 1970-09-03 1972-03-23 Zeiss Carl Fa Verfahren und Vorrichtung zur Her stellung optischer Beugungsgitter
EP0188919A1 (en) * 1984-12-27 1986-07-30 Sharp Kabushiki Kaisha A method for the formation of a diffraction grating

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU673018A1 (ru) * 1977-06-06 1981-11-30 Ленинградский институт ядерной физики им. Б.П.Константинова Устройство дл фазированного соединени дифракционных голографических решеток
SU1327037A1 (ru) * 1986-01-14 1987-07-30 Ленинградский Институт Ядерной Физики Им.Б.П.Константинова Способ записи метрологических голографических решеток

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2043637A1 (de) * 1970-09-03 1972-03-23 Zeiss Carl Fa Verfahren und Vorrichtung zur Her stellung optischer Beugungsgitter
EP0188919A1 (en) * 1984-12-27 1986-07-30 Sharp Kabushiki Kaisha A method for the formation of a diffraction grating

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4113027A1 (de) * 1991-04-20 1992-10-22 Leitz Messtechnik Verfahren und vorrichtung zur fotolithographischen herstellung von langen gittermassstaeben
DE19921089A1 (de) * 1999-04-30 2000-11-09 Hertz Inst Heinrich Verfahren zur Herstellung einer regelmäßigen Gesamtrasterstruktur und Anwendung des Verfahrens
DE19921089B4 (de) * 1999-04-30 2004-07-29 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Herstellung einer regelmäßigen Gesamtrasterstruktur und Anwendung des Verfahrens

Also Published As

Publication number Publication date
GB2212935A (en) 1989-08-02
FR2623918B1 (fr) 1991-09-20
FR2623918A1 (fr) 1989-06-02
CH673343A5 (enrdf_load_stackoverflow) 1990-02-28
GB8727466D0 (en) 1987-12-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3512064C2 (de) Gerät zur Messung von Überdeckungsfehlern
DE112004002777B4 (de) Optischer Codierer
DE4123903B4 (de) Vorrichtung einer holographischen Skala zum Herstellen
DE3417176C2 (de) Photoelektrische Meßeinrichtung
DE3210614C2 (enrdf_load_stackoverflow)
DE69618441T2 (de) Optoelektronischer drehkodierer
DE3901869A1 (de) Optischer codierer
DE2636211C2 (de) Interferometrisches Verfahren zur Abstands- oder Ebenheitsmessung
DE2146310A1 (de) Interferometer und Verfahren zu seiner Herstellung
EP0040704B1 (de) Verfahren zur Moiré-metrischen Prüfung
EP0645607B1 (de) Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale
DE3412980C2 (enrdf_load_stackoverflow)
DE2758149C2 (de) Interferometrisches Verfahren mit λ /4-Auflösung zur Abstands-, Dicken- und/oder Ebenheitsmessung
EP0541827A1 (de) Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale
DE4338680C1 (de) Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
DE102018210382A1 (de) Wegmessgeber
DE2728361A1 (de) Verfahren zur steuerung von entwicklungs- oder aetzvorgaengen
DE102006019491B4 (de) Optischer Encoder
DE3741594A1 (de) Holographisches beugungsgitter und seine herstellung
DE2555512A1 (de) Verfahren zur messung von ebenheitsfehlern in einer prueflingsflaeche
DE69722694T2 (de) Belichtungsapparat
DE10013813A1 (de) Optischer Kodierer
DE1953712C3 (de) Vorrichtung zum Erzeugen eines Musters auf einem Werkstück mit Hilfe eines Elektronenstrahls
DE3012500C2 (de) Retroreflektor
DE2238097A1 (de) Optisches element

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8131 Rejection