DE3738722A1 - Vorrichtung zum beschichten von baendern - Google Patents
Vorrichtung zum beschichten von baendernInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Be
schichten von Bändern im Vakuum, mit einem eine
Beschichtungskammer und/oder eine Wickelkammer
umschließenden Gehäuse, mit einem auf mindestens
einer Seite des Gehäuses angeordneten abnehmbaren
Deckel zum druckdichten Verschließen der Kammern
und mit einer Wickelvorrichtung mit drehbar gela
gerten Umlenk-, Führungs- und Spannrollen und min
destens einer Beschichtungsrolle und einer Auf
wickel- und Abwickelrolle sowie mindestens einer
im Gehäuse ortsfest gehaltenen Beschichtungsquelle.
Mit den bekannten Beschichtungsvorrichtungen ist es
möglich Kunststoffbänder, Kunststoffolien (z. B.
OFF-Folien) und auch Papierbahnen einseitig mit
Zink zu beschichten. Eine doppelseitige Beschich
tung mit Zink ist dagegen mit diesen Vorrichtungen
nicht möglich, da beim Aufwickeln der dann aufein
anderliegenden Zinkschichten der Werkstoff bzw.
Folien oder Bänder verblocken bzw. verkleben, mit
der Folge, daß sich das Band oder die Folie nach
dem doppelseitigen Beschichten und anschließendem
Aufwickeln nicht mehr vom Aufwickel herunterziehen
oder abwickeln läßt, ohne daß eine Beschädigung der
Schichten erfolgt.
Der vorliegenden Erfindung liegt deshalb die Auf
gabe zugrunde, die Beschichtungsvorrichtung der
in Frage stehenden Art so zu verbessern, daß nach
dem Beschichtungsvorgang ein Verkleben der Schich
ten auf dem Aufwickel vermieden wird.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst,
daß ein in die Beschichtungskammer einmündender
Kanal oder eine Rohrleitung für die Einleitung
eines Gases, vorzugsweise von Sauerstoff oder
Stickstoff, vorgesehen ist.
Vorzugsweise mündet die Rohrleitung zur Einleitung
des Gasballastes einerseits in den Bereich des
Aufwickels ein und ist andererseits mit einem
druckbeaufschlagten Gasbehälter verbunden, wobei
in die Rohrleitung eine Gasdosiervorrichtung,
beispielsweise ein Ventil eingeschaltet ist.
Zweckmäßigerweise ist die Rohrleitung durch die
Wandung des Gehäuses oder des Deckels druckdicht
hindurchgeführt und an ihrem freien Ende mit einer
Düse versehen, über die das Gas auf das von der
Beschichtungswalze zur Aufwickelrolle laufende Band
oder Wickelbahn gelenkt wird.
Um eine zu rasche Verteilung des in das Innere des
Gehäuses der Vorrichtung eingeleiteten Gasballasts
zu vermeiden, tritt der über die Rohrleitung in das
Innere des Gehäuses einströmende Gasballast in
einen durch Leitbleche von der Beschichtungskammer
abgetrennten Raum ein.
Zweckmäßigerweise befindet sich in dem von den
Leitblechen begrenzten Raum der Aufwickler, so daß
das Gas insbesondere in dem Augenblick auf die auf
gedampften Schichten einwirkt, in dem das Band oder
die Folie auf den Aufwickler auflaufen.
Die Erfindung läßt die verschiedensten Ausführungs
möglichkeiten zu; eine davon ist in der anhängenden
Zeichnung rein schematisch dargestellt, und zwar
zeigen:
Fig. 1 die Draufsicht auf einen Teil einer
Bandbeschichtungsanlage, deren Wickel
vorrichtung für den Ladevorgang aus
der als Hohlzylinder ausgebildeten
Beschichtungskammer herausgefahren ist
Fig. 2 die Frontansicht der Anlage nach Fig. 1,
und zwar im Schnitt gemäß der
Linien A-B nach Fig. 1, wobei
einige der in Fig. 1 dargestellten
Umlenk- und Spannrollen der besseren
Übersichtlichkeit wegen nicht näher
dargestellt sind.
Die Bandbeschichtungsanlage besteht im wesentlichen
aus den zwischen zwei Platinen 3, 4 gelagerten
Umlenk-, Zugmeß-, Streck- und Spannrollen 5 bis 17
bzw. den gekühlten Beschichtungswalzen 18, 53 der
Abwickelrolle 37 und der Aufwickelrolle 35, den in
der von einem Hohlzylinder 32 gebildeten Beschich
tungskammer 28 angeordneten Verdampfungsquellen 19,
54 mit Aluminiumdrahtspulen 20, 55 und den Verdamp
fungsschiffchen 21, 56 sowie zweier Fernsehkameras
22, 57 zur Beobachtung des Beschichtungsprozesses.
Die beiden am Stützgestell 52 befestigten Platinen
3, 4 können über Rollen 26, 27 auf Laufschienen 24,
25, zusammen mit den Rollen 5 bis 17 und den Be
schichtungswalzen 18, 53, die die Wickeleinrichtung
29 bilden, in Pfeilrichtung R in die Wickelkammer
45 bzw. aus dieser herausgefahren werden. Bei ein
gefahrener Wickeleinrichtung 29 legt sich der am
Stützgestell 52 festangeordnete scheibenförmige
Deckel 30 mit seiner Randpartie gegen die flansch
förmige Stirnfläche 31 des Hohlzylinders 32 und
wird dort von nicht näher dargestellten Klammern am
Hohlzylinder 32 fixiert bzw. durch den während
der Betriebsphase in der Wickelkammer 45 bzw. der
Beschichtungskammer 28 herrschenden Unterdruck vom
Atmosphärendruck gegen die Stirnfläche 31 gezogen.
Die Bandbeschichtungsanlage ist außerdem mit einer
Rohrleitung 33 versehen, deren vorrichtungsseitiges
Ende eine Düse 34 aufweist, wobei die Rohrleitung
an einen Gasbehälter 36 angeschlossen ist und durch
die Wandung des hohlzylindrischen Gehäuses 32 im
Bereich des Aufwickels 35 hindurchgeführt ist. In
die Rohrleitung ist ein Ventil 38 eingeschaltet,
über das der Durchfluß des Gases durch die Rohr
leitung 33 bzw. dessen Austritt aus der Düse 34
geregelt werden kann.
Für die Inbetriebnahme der Bandbeschichtungsanlage
wird zunächst ein Abwickel 37 bzw. dessen Abwickel
rolle 37′ in die Lageraugen 39, 39′ an den Platinen
3, 4 eingehängt und das zu beschichtende Band in
der in Fig. 2 dargestellten Art und Weise über die
Rollen 5 bis 17 bzw. über die Beschichtungswalzen
18, 53 bis an die Aufwickelrolle 35′ geführt
und an dieser befestigt. Danach kann die gesamte
Wickeleinrichtung 29 in Pfeilrichtung R in das
hohlzylindrische Gehäuse 32 so weit eingeschoben
werden, bis der Deckel 30 dichtend an der Stirn
fläche 31 anliegt. Nach dem Arretieren des Stützge
stells 52 in seiner Betriebsstellung können die
Kammern 28, 45 über die Saugpumpanschlüsse 40, 40′
luftleer gepumpt werden. Nach dem Erreichen eines
vorbestimmten Betriebsdrucks können die Heizaggre
gate 41, 58 der Verdampfungsquellen 19, 54 akti
viert werden, so daß aus den Verdampfungsschiff
chen 21, 56 verdampftes Metall (z. B. Zink) aus
tritt und sich auf der Wickelbahn 50 im Bereich
der gekühlten Beschichtungswalzen 18, 53 nieder
schlagen kann. Gleichzeitig werden verschiedene
Rollen und insbesondere die Aufwickelrolle 35′ von
nicht näher dargestellten Motoren in Drehung ver
setzt, so daß das Band von der Abwickelrolle 37′
an den Verdampfungsquellen 19 und 54 vorbei bis
auf die Aufwickelrolle 35′ läuft und dabei gleich
mäßig beidseitig beschichtet wird. Um nun ein Ver
kleben der verschiedenen Lagen der Wickelbahn
50 auf dem Aufwickel 35 zu vermeiden, wird ein Gas,
beispielsweise Stickstoff nach dem Öffnen des Ven
tils 38 über die Düse 34 auf die Wickelbahn 50
geblasen.
Auflistung der Einzelteile:
3 Platine
4 Platine
5 Umlenkrolle
6 Spannrolle
7 Umlenkrolle
8 Umlenkrolle
9 Breitstreckrolle
10 Umlenkrolle
11 Zugmeßrolle
12 Zugrolle
13 Meßwalze
14 Umlenkrolle
15 Breitstreckrolle
16 Zugmeßrolle
17 Umlenkrolle
18 gekühlte Beschichtungswalze
19 Verdampfungsquelle
20 Aluminiumdrahtspule
21 Verdampfungsschiffchen
22 Fernsehkamera
23 Drahzuführung
24 Laufschiene
25 Laufschiene
26 Rolle
27 Rolle
28 Beschichtungskammer
29 Wickeleinrichtung
30 Deckel
31 Stirnfläche
32 Hohlzylinder, Gehäuse
33 Rohrleitung
34 Düse
35 Aufwickel
35′ Aufwickelrolle
36 Gasbehälter
37 Abwickel
37′ Abwickelrolle
38 Ventil
39, 39′ Lagerauge
40, 40′ Saugpumpanschluß
41 Heizaggregat
42 Leitblech
43 Leitblech
44 Leitblech
45 Kammer, Wickelkammer
46 abgeteilter Raum
47 Leitblech
50 Wickelbahn
51 Schaltschrank
52 Stützgestell
53 gekühlte Beschichtungswalze
54 Verdampfungsquelle
55 Aluminiumspule
56 Verdampfungsschiffchen
57 Fernsehkamera
58 Heizaggregat
4 Platine
5 Umlenkrolle
6 Spannrolle
7 Umlenkrolle
8 Umlenkrolle
9 Breitstreckrolle
10 Umlenkrolle
11 Zugmeßrolle
12 Zugrolle
13 Meßwalze
14 Umlenkrolle
15 Breitstreckrolle
16 Zugmeßrolle
17 Umlenkrolle
18 gekühlte Beschichtungswalze
19 Verdampfungsquelle
20 Aluminiumdrahtspule
21 Verdampfungsschiffchen
22 Fernsehkamera
23 Drahzuführung
24 Laufschiene
25 Laufschiene
26 Rolle
27 Rolle
28 Beschichtungskammer
29 Wickeleinrichtung
30 Deckel
31 Stirnfläche
32 Hohlzylinder, Gehäuse
33 Rohrleitung
34 Düse
35 Aufwickel
35′ Aufwickelrolle
36 Gasbehälter
37 Abwickel
37′ Abwickelrolle
38 Ventil
39, 39′ Lagerauge
40, 40′ Saugpumpanschluß
41 Heizaggregat
42 Leitblech
43 Leitblech
44 Leitblech
45 Kammer, Wickelkammer
46 abgeteilter Raum
47 Leitblech
50 Wickelbahn
51 Schaltschrank
52 Stützgestell
53 gekühlte Beschichtungswalze
54 Verdampfungsquelle
55 Aluminiumspule
56 Verdampfungsschiffchen
57 Fernsehkamera
58 Heizaggregat
Claims (5)
1. Vorrichtung zum Beschichten von Bändern im
Vakuum, mit einem eine Beschichtungskammer (28)
und/oder eine Wickelkammer (45) umschließenden
Gehäuse (32), mit einem auf mindestens einer
Seite des Gehäuses (32) angeordneten, abnehm
baren Deckel (30) zum druckdichten Verschließen
der Kammern (28, 45) und mit einer Wickelein
richtung (29), mit drehbar gelagerten Umlenk,
Führungs- und Spannrollen (5 bis 17) und minde
stens einer Beschichtungsrolle (18, 53) und
einer Aufwickel- und Abwickelrolle (35′, 37′)
sowie mindestens einer im Gehäuse (32) ortsfest
gehaltenen Beschichtungsquelle (19, 54),
gekennzeichnet durch einen in mindestens eine
der Kammern (28, 45) des Gehäuses (32) ein
mündenden Kanal oder Rohrleitung (33) für die
Einleitung eines Gases, vorzugsweise von Sauer
stoff oder Stickstoff.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Rohrleitung (33) zur Einlei
tung des Gases einerseits in den Bereich des
Aufwickels (35) in das Gehäuse (32) einmündet
und andererseits mit einem druckbeaufschlagten
Gasbehälter (36) verbunden ist, wobei in die
Rohrleitung (33) eine Gas-Dosiervorrichtung,
beispielsweise ein Ventil (38), eingeschaltet
ist.
3. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, da
durch gekennzeichnet, daß die Rohrleitung (33)
durch die Wandung des Gehäuses (32) oder des
Deckels (30) druckdicht hindurchgeführt ist
und an ihrem freien Ende mit einer Düse (34)
versehen ist, über die das Gas auf das von den
Beschichtungswalzen (18, 53) zur Aufwickelrolle
(35′) laufende Band oder Wickelbahn (50) ge
lenkt wird.
4. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vor
hergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß der über die Rohrleitung (33) in das Innere
des Gehäuses (32) einströmende Gasballast in
einen von Leitblechen (42, 43, 44, 47) von der
eigentlichen Beschichtungskammer (28) abge
trennten Raum (46) eintritt.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekenn
zeichnet, daß sich in dem von den Leitblechen
(42, 43, 44, 47) begrenzten Teil (46) der
Kammer (45) des Gehäuses (32) der Aufwickler
(35′) befindet.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3738722A DE3738722C2 (de) | 1987-11-14 | 1987-11-14 | Vorrichtung zum beidseitigen Beschichten von Bändern |
US07/143,356 US4864967A (en) | 1987-11-14 | 1988-01-12 | Band coating apparatus |
IT20601/88A IT1217613B (it) | 1987-11-14 | 1988-05-17 | Dispositivo per il rivestimento di nastri |
GB8821761A GB2212518B (en) | 1987-11-14 | 1988-09-16 | Apparatus for coating continuous webs |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3738722A DE3738722C2 (de) | 1987-11-14 | 1987-11-14 | Vorrichtung zum beidseitigen Beschichten von Bändern |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3738722A1 true DE3738722A1 (de) | 1989-05-24 |
DE3738722C2 DE3738722C2 (de) | 1995-12-14 |
Family
ID=6340505
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3738722A Expired - Lifetime DE3738722C2 (de) | 1987-11-14 | 1987-11-14 | Vorrichtung zum beidseitigen Beschichten von Bändern |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4864967A (de) |
DE (1) | DE3738722C2 (de) |
GB (1) | GB2212518B (de) |
IT (1) | IT1217613B (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0406641A1 (de) * | 1989-07-06 | 1991-01-09 | Leybold Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum Herstellen von metallfreien Streifen bei im Vakuum beschichteten Folienbahnen, insbesondere für Kondensatoren |
EP0629715A1 (de) * | 1993-06-11 | 1994-12-21 | Ce.Te.V. Centro Tecnologie Del Vuoto | Verfahren und Vorrichtung zur kontinuerlichen reaktiven Metallbeschichtung im Vacuum |
DE19739833A1 (de) * | 1997-09-11 | 1999-03-18 | Leybold Systems Gmbh | Folientransportvorrichtung |
DE202017100862U1 (de) | 2016-12-05 | 2017-04-26 | Fhr Anlagenbau Gmbh | Vorrichtung zur aufeinander folgenden Vorder- und Rückseitenbeschichtung von bandförmigen Substraten |
DE102016112867A1 (de) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | Von Ardenne Gmbh | Transportanordnung und Prozessieranordnung sowie Verfahren zum Betreiben dieser |
DE102016112865A1 (de) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | Von Ardenne Gmbh | Transportanordnung und Prozessieranordnung |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4207525C2 (de) * | 1992-03-10 | 1999-12-16 | Leybold Ag | Hochvakuum-Beschichtungsanlage |
DE4207527A1 (de) * | 1992-03-10 | 1993-09-16 | Leybold Ag | Hochvakuum-beschichtungsanlage |
DE4310085A1 (de) * | 1993-03-27 | 1994-09-29 | Leybold Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Mustern auf Substraten |
US5803976A (en) * | 1993-11-09 | 1998-09-08 | Imperial Chemical Industries Plc | Vacuum web coating |
DE19853418B4 (de) * | 1998-11-19 | 2013-09-26 | Applied Materials Gmbh & Co. Kg | Vakuum-Beschichtungsanlage und Verfahren zum Beschichten einer Folie mit einer solchen Vakuum-Beschichtungsanlage |
RU2332523C2 (ru) * | 2002-12-26 | 2008-08-27 | Топпан Принтинг Ко., Лтд. | Устройство вакуумного осаждения и способ получения пленки вакуумным осаждением |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4220117A (en) * | 1976-12-29 | 1980-09-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus for fabrication of magnetic recording media |
US4393091A (en) * | 1980-06-10 | 1983-07-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of vacuum depositing a layer on a plastic film substrate |
EP0138515A2 (de) * | 1983-10-07 | 1985-04-24 | Nihon Shinku Gijutsu Kabushiki Kaisha | Vorrichtung zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsträgers mit senkrechter Aufzeichnung |
US4655167A (en) * | 1981-12-24 | 1987-04-07 | Nikon Shinku Gijutsu Kabushiki Kaisha | Apparatus for manufacturing of abrasion resistant magnetic recording product |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB367074A (en) * | 1930-12-04 | 1932-02-18 | Max Knoll | Improvements in and relating to the coating of materials |
GB801589A (en) * | 1954-01-28 | 1958-09-17 | Paul Alexander | Method and apparatus for depositing metal coatings on metal bases |
GB806696A (en) * | 1954-12-08 | 1958-12-31 | John Simon Nachtman | Method of producing refractory fibre laminate |
GB1193974A (en) * | 1966-12-29 | 1970-06-03 | Int Research & Dev Co Ltd | Improvements in and relating to the Manufacture of Permanent Magnets |
GB2108155B (en) * | 1981-09-11 | 1985-09-18 | Stein Heurtey | Process and device for gaseous atmosphere separation in plants for heat treatment under pressure |
US4557952A (en) * | 1984-07-30 | 1985-12-10 | Armco Inc. | Process for controlling zinc vapor in a finishing process for a hot dip zinc based coating on a ferrous base metal strip |
-
1987
- 1987-11-14 DE DE3738722A patent/DE3738722C2/de not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-01-12 US US07/143,356 patent/US4864967A/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-05-17 IT IT20601/88A patent/IT1217613B/it active
- 1988-09-16 GB GB8821761A patent/GB2212518B/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4220117A (en) * | 1976-12-29 | 1980-09-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus for fabrication of magnetic recording media |
GB1596385A (en) * | 1976-12-29 | 1981-08-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Methods and apparatus for manufacturing magnetic recording media |
US4393091A (en) * | 1980-06-10 | 1983-07-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of vacuum depositing a layer on a plastic film substrate |
US4655167A (en) * | 1981-12-24 | 1987-04-07 | Nikon Shinku Gijutsu Kabushiki Kaisha | Apparatus for manufacturing of abrasion resistant magnetic recording product |
EP0138515A2 (de) * | 1983-10-07 | 1985-04-24 | Nihon Shinku Gijutsu Kabushiki Kaisha | Vorrichtung zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsträgers mit senkrechter Aufzeichnung |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0406641A1 (de) * | 1989-07-06 | 1991-01-09 | Leybold Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum Herstellen von metallfreien Streifen bei im Vakuum beschichteten Folienbahnen, insbesondere für Kondensatoren |
EP0629715A1 (de) * | 1993-06-11 | 1994-12-21 | Ce.Te.V. Centro Tecnologie Del Vuoto | Verfahren und Vorrichtung zur kontinuerlichen reaktiven Metallbeschichtung im Vacuum |
US5462602A (en) * | 1993-06-11 | 1995-10-31 | Ce.Te.V. Centro Technologie Del Vuoto | Apparatus for continuous reactive metal deposition in vacuum with web looping over upper and lower rollers |
US5571574A (en) * | 1993-06-11 | 1996-11-05 | Ce.Te.V. Centro Tecnologie Del Vuoto | Process for continuous reactive metal oxide formation in vacuum |
DE19739833A1 (de) * | 1997-09-11 | 1999-03-18 | Leybold Systems Gmbh | Folientransportvorrichtung |
DE102016112867A1 (de) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | Von Ardenne Gmbh | Transportanordnung und Prozessieranordnung sowie Verfahren zum Betreiben dieser |
DE102016112865A1 (de) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | Von Ardenne Gmbh | Transportanordnung und Prozessieranordnung |
DE102016112867B4 (de) | 2016-07-13 | 2020-07-09 | VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG | Transportanordnung und Prozessieranordnung sowie Verfahren zum Betreiben dieser |
DE202017100862U1 (de) | 2016-12-05 | 2017-04-26 | Fhr Anlagenbau Gmbh | Vorrichtung zur aufeinander folgenden Vorder- und Rückseitenbeschichtung von bandförmigen Substraten |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2212518A (en) | 1989-07-26 |
GB2212518B (en) | 1992-02-12 |
IT1217613B (it) | 1990-03-30 |
IT8820601A0 (it) | 1988-05-17 |
DE3738722C2 (de) | 1995-12-14 |
US4864967A (en) | 1989-09-12 |
GB8821761D0 (en) | 1988-10-19 |
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---|---|---|
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