DE3720574C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft einen Ultraschall-Mehrfachprüfkopf
für die zerstörungsfreie Werkstoffprüfung oder die
medizinische Diagnostik, der zwischen seinem rückwärtigen
Dämpfungskörper und seiner etwaigen vorderseitigen
Schutz- und/oder Anpassungsschicht mehrere reihenweise
angeordnete, elektrisch voneinander getrennte piezoelektrische
Einzelelemente mit ähnlichem oder annähernd
gleichem Übertragungsverhalten aufweist.
Bei der flächenabdeckenden Untersuchung von Prüflingen
(z. B. beim Fehlernachweis in Knüppeln oder Rohren)
mittels der Ultraschallprüftechnik ist das Problem gegeben,
mittels des von dem zur Prüfung eingesetzten Prüfkopf
oder den eingesetzten Prüfköpfen erzeugten Schallfeldes
alle im Prüfling möglichen Fehlerlagen mit hinreichender
Ultraschallimpuls-Echoamplitude zu erfassen, so daß
ein sicherer Fehlernachweis gewährleistet ist. Zu diesem
Zweck wird üblicherweise die relative Lage des einge
setzten Prüfkopfes bzw. der eingesetzten Prüfköpfe
zur Oberfläche des Prüflings im Verlaufe der Prüfung
so oft verändert, daß sich für alle möglichen Fehlerlagen
eine hinreichende Echoamplitude ergibt.
Übliche Prüfköpfe für Impuls-Reflexionsbetrieb sind
mit piezoelektrischen Elementen mit kreisförmiger,
rechteckförmiger oder anderer Geometrie zur Erzeugung
und zum Nachweis von Ultraschall ausgerüstet.
Bekanntermaßen ist das von einem Prüfkopf mit kreis
förmiger abstrahlender Fläche empfangene Ultraschall-
Echosignal eines kreisscheiben- oder kugelförmigen Re
flektors am größten, wenn sich der Reflektor auf der
Mittelachse des Prüfkopfes befindet. Mit zunehmendem
seitlichen Abstand des Reflektors von dieser Mittelachse
fällt die Echoamplitude ab, und zwar um so mehr, je
geringer der Durchmesser des Reflektors in Relation
zur abstrahlenden Prüfkopfoberfläche ist. Entsprechendes
gilt auch für abstrahlende Flächen anderer Geometrie,
z. B. für rechteckförmige piezoelektrische Elemente.
Um der Abhängigkeit der Echoamplitude vom seitlichen
Abstand des Reflektors von der Prüfkopfmittelachse Rech
nung zu tragen, kann der Prüfkopf in Breitenrichtung
des Prüflings hin- und herbewegt werden, zusätzlich
zur axialen Vorschubbewegung zwischen Prüfling und Prüf
kopf. Oder es werden so viele Prüfköpfe nebeneinander
angeordnet, daß über eine möglichst große Breite des
Prüflings, z. B. über dessen gesamte Querabmessung, eine
sichere Fehlernachweisbarkeit gegeben ist. Die zuletzt
erwähnte Lösung wird insbesondere in automatischen Prüf
anlagen, z. B. für die Knüppelprüfung, realisiert. Es
ist mit ihr eine erheblich höhere Prüfgeschwindigkeit
möglich als mit nur einem, zusätzlich zum axialen Vor
schub längs der Breite hin- und herbewegten Prüfkopf.
Bei der Prüfung mittels mehrerer, nebeneinander ange
ordneter Prüfköpfe haben deren piezoelektrische Elemente
(S) jeweils einen Abstand a voneinander, wie in Fig. 1a
schematisch wiedergegeben ist, welche die Verhältnisse
bei der bekannten Aneinanderreihung üblicher Prüfköpfe
veranschaulicht. Da die äußeren Gehäuseabmessungen der
Prüfköpfe naturgemäß größer sind als die darin verwendeten
piezoelektrischen Wandlerelemente, ist bei diesen bekann
ten Prüfkopfanordnungen der Abstand zwischen den piezo
elektrischen Elementen unvermeidbar. Wenn sich bei diesen
Prüfkopfanordnungen der Fehler im axialen Abstand von
der x-Achse jeweils in der Nähe der lateralen Position
y = b + a/2, 2(b + a/2), . . . (n - 1)(b + a/2) (b = Länge des ein
zelnen piezoelektrischen Elementes) befindet, kann je nach
Fehlergröße oftmals wegen der Verringerung des Schalldrucks
in den erwähnten lateralen Positionen keine hinreichende
Echoamplitude mehr erreicht werden. Die Fehlernachweis
barkeit ist somit nicht für alle Positionen gewährleistet.
Um hier eine Verbesserung herbeizuführen durch Verringerung
des Abstandes a sind spezielle Anreihprüfköpfe (vgl.
P. Möller: "Rationales, automatisches Prüfen mit Ultraschall
an Rohren und Rundmaterial" in Bänder, Bleche,
Rohre 14 (1973), 1-6) oder sog. Mehrfachprüfköpfe entwickelt
worden. Bei diesen sind zwischen dem rückwärtigen
Dämpfungskörper und einer etwaigen vorderseitigen Schutz-
und/oder Anpassungsschicht mehrere(n) elektrisch voneinander
getrennte piezoelektrische Einzelelemente der Länge
b mit ähnlichem oder annähernd gleichem Übertragungsverhalten
in einem Prüfkopfgehäuse dicht nebeneinander gereiht,
so daß der zusätzliche Abstand zwischen den Einzelelementen
durch Gehäusewandungen entfällt. Eine solche
Reihe aus n piezoelektrischen Einzelelementen der Länge
b kann auch durch n Elektroden der Länge b auf einer zusammenhängenden
piezoelektrischen Schicht der Länge n.b
gebildet sein. Auch mit den bekannten Anreihprüfköpfen
bzw. Mehrfachprüfköpfen, deren Elementen-Anordnung Fig. 1b
veranschaulicht, ist, wenn sich der Fehler in den lateralen
Positionen y = b, 2b, . . . (n - 1)b befindet, je nach
Fehlergröße oftmals keine hinreichende Echoamplitude erreichbar.
Um die Einbrüche des Schalldrucks bzw. der Echoamplitude
in den Bereichen zwischen den Elementen weiter zu verringern,
sind die nachfolgend erwähnten Wege bekanntgeworden:
- - Es ist die Geometrie der Einzelelemente und/oder der Elektroden gegenüber der üblichen Rechteckform verändert worden, z. B. in die Rautenform.
- - Zur Verbesserung der Signalamplitude werden z. B. in der Sendephase alle Einzelelemente gleichzeitig (elektrisch parallel) betrieben und nur in der Empfangsphase einzeln. Dies geschieht bei SE-Prüfköpfen (Prüf köpfe mit akustisch und elektrisch getrennten Elementen für Sende- und Empfangsfunktion durch entsprechende Geometrie der sendenden und empfangenden Elemente; bei den sonst üblichen Mehrfachprüfköpfen ist dies durch entsprechende elektronische Ansteuerung zu realisieren. Mit dieser Betriebsart läßt sich in der Sendephase eine mehr oder minder gleichmäßige Schalldruckverteilung längs des Bereiches y = 0 bis y = n.b erreichen (entsprechend den physikalischen Ausbreitungsgesetzen bei einer Schallquelle mit Länge n.b und Breite c), jedoch bleiben im Empfangsfall die örtlichen Einbrüche der Empfindlichkeit weiterhin bestehen.
In der DE 24 21 249 A1 ist in bezug auf einen SE-Prüfkopf
mit getrennten Schwingereinheiten als Sender und Empfänger,
die voneinander akustisch isoliert und über
eine Vorlaufstrecke an einen Prüfling angekoppelt
sind, vorgeschlagen worden, in einem Prüfkopfgehäuse
mehr als eine Sender-Empfänger-Einheit unterzubringen,
wobei der Sender nur als Sender und der Empfänger
nur als Empfänger geschaltet ist, und die zugehörige
Schwingerfläche des Senders und des jeweiligen Empfängers
hinsichtlich ihrer Größe unterschiedlich auszubilden
und die Anzahl der Sender kleiner zu halten
als die Anzahl der Empfänger. Daraus resultiert eine
Anordnung, bei der die Sender gegenüber den Empfängern
überlappend angeordnet sind. Dies führt jedoch nicht
zu einer Verringerung der Einbrüche des Schalldrucks
bzw. der Echoamplituden sowohl auf der Sender- als
auch auf der Empfängerseite, da ja die überlappend
angeordneten Elemente akustisch und elektrisch voneinander
getrennt sind. Die überlappende Anordnung von
derartigen Schwingerelementen eines SE-Prüfkopfes
bewirkt nur eine Überlappung der getrennten Echocharakteristiken
von Sender und Empfänger ohne Auswirkung
auf die Charakteristiken als solche.
Ein großer Winkelbereich innerhalb eines zu prüfenden
Werkstücks kann mit einer gemäß den Fig. 1a oder 1b
aufgebauten Elementenzeile erfaßt werden, indem die
Hauptrichtkeule der gesamten Anordnung innerhalb der
x-y-Ebene gemäß den Fig. 1a und 1b geschwenkt wird.
Dies ist jedoch nur mit entsprechendem Aufwand an Elek
tronik zu realisieren, da alle Elemente mit einzeln
steuerbaren elektronischen Zeitverzögerungsschaltungen
versehen sein müssen. Auch die Signalauswertung ist
mit erheblichem elektronischen Aufwand verbunden, so daß
insgesamt ein sehr hoher technischer Aufwand erforderlich
ist.
Der Erfindung hat die Aufgabe zugrunde gelegen, einen
Ultraschall-Mehrfachprüfkopf zu schaffen, der eine
möglichst lückenlose Fehlernachweisbarkeit längs der
gesamten wirksamen Prüfkopfbreite gewährleistet und
dabei mit geringem technischem Aufwand herstellbar
und auch leicht reparierbar ist.
Die Erfindung besteht in den Merkmalen des Anspruchs 1.
Weitere Merkmale der Erfindung sind Gegenstand der Unter
ansprüche.
Bei der erfindungsgemäßen Lösung ist davon ausgegangen
worden, daß es grundsätzlich möglich ist, Schwingerscheiben
kongruent übereinanderzustapeln und akustisch derart
miteinander zu verbinden, daß ein Schwinger durch die
in Abstrahlrichtung davor angeordneten Schwinger bzw.
piezoelektrischen Elemente hindurchschallt.
Schwinger
mit kongruent übereinander gestapelten und akustisch
miteinander verbundenen Schwingerscheiben sind in der
Veröffentlichung von K. M. Sung in Ultrasonics, Band
22 (1984) auf den Seiten 61-68 in dem Artikel "Piezo
electric multilayer transducers for ultrasonic pulse
compression" beschrieben. Die vorbekannten Anordnungen
gemäß dieser Veröffentlichung, bei denen bis zu 13
Wandlerscheiben mit in Schallausbreitungsrichtung ent
sprechend der Vorgabe eines binären Barker-Codes ge
wählten Polarisationsrichtungen übereinander gestapelt
sind, um Barker-codierte Ultraschallsignale zu erzeugen
und korreliert zu empfangen, sind jedoch zur Lösung
der der vorliegenden Erfindung zugrunde liegenden Aufgabe
nicht geeignet. Bei den bekannten Schwingern ist nämlich
eine vollständige Kongruenz der übereinander angeordneten
Schwingerscheiben Voraussetzung für die Erzeugung und
den korrelierten Empfang der Barker-codierten Ultra
schallsignale. Alle übereinanderliegenden Wandler
scheiben werden dabei im Sendefall gleichzeitig ange
steuert. Entsprechend tragen im Empfangsfall alle Ele
mente gleichzeitig zum Empfangssignal bei. Mit kongruent
übereinander angeordneten Schwingerscheiben ist die
der vorliegenden Erfindung zugrunde liegende Aufgabe
nicht zu lösen.
Die Erfindung ist in der nachstehenden Beschreibung
anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf
die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1a das Anordnungsprinzip der einzelnen piezo
elektrischen Elementen bei der bekannten Prüf
kopf-Aneinanderreihung,
Fig. 1b das Anordnungsprinzip der einzelnen Wandler
elemente bei den bekannten Mehrfachprüfköpfen,
Fig. 1c den Echoamplitudenverlauf für einen bekannten
Mehrfachprüfkopf gemäß Fig. 1b,
Fig. 2 den Echoamplitudenverlauf für einen Mehrfachprüf
kopf gemäß Fig. 3,
Fig. 3, 4 und 5 das Anordnungsschema der piezoelektrischen
Elemente für unterschiedliche Ausführungsformen
eines Mehrfachprüfkopfes gemäß der Erfindung,
wobei Fig. 5 einen kombinierten Mehrfach-Anreih
prüfkopf betrifft.
Im Mehrfachprüfkopf gemäß Fig. 3 sind N (N = eine ganze
Zahl ≧ 2) Schichten, von denen die zwei Schichten I und
II dargestellt sind, mit je n (n = eine ganze Zahl ≧ 2)
piezoelektrischen Einzelelementen SI, 1, SI, 2, . . . SI, n,
SII, 1, SII, 2, . . . SII, n, getrennt durch eine elektrisch
isolierende Zwischenschicht Z, in Schallausbreitungsrichtung
übereinanderliegend angeordnet. Die Zahl n kann für
jede Schicht einen unterschiedlichen Wert haben. So be
finden sich bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel in
der Schicht I sieben Elemente SI, 1, SI, 2, . . . SI, 7 und
in der Schicht II sechs Elemente SII, 1, SII, 2, . . . SII, 6.
Bei der dargestellten Ausführungsform haben alle Elemente
SN, n die gleiche Länge L und Breite b. Die Schichten
I, II, . . . N sind (über die Zwischenschicht(en) Z) mecha
nisch und akustisch miteinander verbunden. Den rückwärtigen
Abschluß des Wandlers bildet ein Dämpfungskörper D. An
der Vorderseite des Wandlers befindet sich eine Schicht
A, die als mechanische Schutz- und/oder Anpassungsschicht
ausgelegt sein kann.
Auf den Oberflächen jedes Elementes SI, n der Schicht I
und jedes Elementes SII, n der Schicht 2 befinden sich
Elektroden EI, 1 bis 7, E′I, 1 bis 7, bzw. EII, 1 bis 6, EII, 1 bis 6,
deren elektrische Zuleitungen ZI, 1 bis 7, Z′I, 1 bis 7 bzw.
ZII, 1 bis 6, ZII, 1 bis 6 nur für die Elemente SI, 6 und SII, 5
eingezeichnet und mit ZI, 6 und ZII, 5 bezeichnet sind. An
stelle der teilweise unmittelbar übereinanderliegenden und
beim Betrieb elektrisch auf das gleiche Potential aufgela
denen Elektroden E′I, 1 bis 7 und EII, 1 bis 6 kann jeweils eine
einzige durchgehende Elektrode auf den einander gegenüber
liegenden Oberflächen der Schichten I, II, . . . N ange
bracht sein, die im Betrieb auf Masse zu legen ist. Eine
elektrische Isolation zwischen unmittelbar übereinander
liegenden Elektroden von Elementen SN, n ist nur dann not
wendig, wenn diese nicht auf gemeinsamem Potential liegen
können. Das ist dann der Fall, wenn mehr als zwei Schich
ten von piezoelektrischen Elementen vorgesehen sind, weil
dann, wenn beispielsweise die Elektroden zwischen den
Schichten I und II auf gemeinsamem Masse-Potential liegen
würden, die Elektroden zwischen den Schichten II und III
gegeneinander isoliert sein müßten. Wenn Drucksignale glei
cher Polarität erzeugt werden sollen, müssen die Polarisa
tionsrichtungen PI der Elemente der Schicht I entgegenge
setzt zu den Polarisationsrichtungen PII der Elemente
der Schicht II gewählt werden, wie es in Fig. 3 in den
Elementen SI, 4 und SII, 4 eingezeichnet ist.
Die Elemente SI, 1 bis 7 bzw. SII, 1 bis 6 der Schicht I bzw. II
sind so angeordnet, daß jedes Element der einen Schicht
das ihm gegenüberliegende Element bzw. die ihm gegenüber
liegenden Elemente der benachbarten Schicht(en) in Schicht-
Breitenrichtung überlappt. Bei der Ausführung gemäß Fig. 3
ist die Überlappung - wie zweckmäßig ist - so gewählt, daß
die seitlichen Trennflächen der Elemente der einen Schicht
jeweils mittig zu dem (den) gegenüberliegenden Element(en)
der benachbarten Schicht(en) verlaufen.
Für die Elemente der Schicht I würde, wenn sie allein be
trieben werden würde, sich ein Echoamplitudenverlauf gemäß
Fig. 1c ergeben, wenn man einen Reflektor unter gleichblei
bendem Abstand in Schicht-Breitenrichtung an den Elementen
vorbeibewegen würde. Die Kurven KI, 1, KI, 2, . . . KI, n geben
den Echoamplitudenverlauf für die einzelnen Elemente SI, 1,
SI, 2, . . . SI, n an. Die einhüllende Kurve KE I gibt die Feh
lernachweisempfindlichkeit der Schicht I an. Sie ent
spricht dem Verlauf der Fehlernachweisempfindlichkeit
eines bekannten Mehrfachprüfkopfes gemäß Fig. 1b. Werden
zusätzlich zu den Elementen der Schicht I noch die der
Schicht II nacheinander betrieben, so ergibt sich für
einen unter gleichbleibendem Abstand von den Elementen
in Schicht-Breitenrichtung an den Elementen vorbeibewegten
Reflektor der Echoamplitudenverlauf gemäß Fig. 2, wobei
die Einzelkurven KII, 1, KII, 2, . . . KII, n den Echoamplitu
denverlauf für die einzelnen Elemente SII, 1 bis n wieder
geben und die Einhüllende KE G die Fehlernachweisempfind
lichkeit des Prüfkopfes gemäß Fig. 3 wiedergibt. Ein Ver
gleich der Kurven KE I und KE G läßt den gleichmäßigeren
Empfindlichkeitsverlauf des Prüfkopfes gemäß Fig. 3 gegen
über dem des bekannten Mehrfachprüfkopfes erkennen.
Fig. 4 zeigt eine abgewandelte Ausführungsform eines Mehr
fachprüfkopfes, von dem ebenfalls zwei Schichten I und II
mit fünf bzw. vier piezoelektrischen Elementen SI, 1, SI, 2,
. . . SI, 5 bzw. SII, 1, SII, 2, . . . SII, 4 wiedergegeben sind.
Die piezoelektrischen Elemente sind innerhalb ihrer Schicht
durch Bereiche SO I bzw. SO II voneinander getrennt, die nicht
zur Schallerzeugung bzw. zum Schallnachweis beitragen.
Demgemäß überlappen die Elemente der einen Schicht das
(die) ihnen gegenüberliegende(n) Element(e) der benachbar
ten Schicht(en) nur mit Teilbereichen. Statt aus einzelnen
Elementen kann jede Schicht I, II, . . . N auch aus einem
einzigen Element aus piezoelektrischem Material gebildet
sein, wobei die Funktion als piezoelektrische Einzelele
mente dadurch bewirkt wird, daß nur die Bereiche SI, 1 bis 5
und SII, 1 bis 4 mit beidseitigen Elektroden versehen werden.
Es können auch die Zwischenräume SO I und SO II durch Materia
lien ausgefüllt werden, deren Wellenwiderstände dem Wellen
widerstand der verwendeten piezoelektrischen Materialien
entsprechen.
Die vorstehend beschriebene Elementen-Anordnung kann
auch bei mehrlagigen flächenhaften Schwingeranordnungen
Anwendung finden (z. B. bei sog. "Arrays" in der Medizin
technik), wobei mehrere Schichten I, II, . . . N in ähn
licher Weise jeweils teilweise überlappend übereinander
gestapelt sein können.
Eine besondere Ausführungsform eines Mehrfachprüfkopfes
gemäß der Erfindung ist in Fig. 5 dargestellt. Dieser
Prüfkopf ist in an sich bekannter Weise als Anreihprüf
kopf ausgebildet, indem mehrere Einzel-Prüfköpfe W1,
W2, . . . Wv, bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel
vier Einzel-Prüfköpfe W1, W2, W3, W4, nebeneinander
angeordnet sind. Jeder Einzel-Prüfkopf ist mit drei
piezoelektrischen Elementen SI, 1(1), SII, 2(1), SII, 3(1)
bzw. SI, 1(2), SII, 2(2), SII, 3(2) bzw. SI, 1(3), SII, 2(3),
SII, 3(3) bzw. SI, 1(4), SII, 2(4), SII, 3(4) ausgerüstet,
die in zwei Schichten I und II angeordnet sind. In
der Schicht I befindet sich in jedem Einzelprüfkopf
W1, W2, W3, W4 nur je ein Element SI, 1 (v), während
in der Schicht II in jedem Einzel-Prüfkopf ein Paar
von Elementen SII, 2 (v) + SII, 3 (v) angeordnet ist. Die
Breite bI der Elemente der Schicht I ist gleich der
doppelten Breite bII der Elemente in der Schicht II
zuzüglich des Abstandes zwischen den beiden ein Paar
bildenden Elementen in der Schicht II, so daß das Ele
mentenpaar der Schicht II und das zum gleichen Einzel
prüfkopf gehörende Element der Schicht I deckungsgleich
im Einzelprüfkopf angeordnet sind. Die gleichartigen
Einzel-Prüfköpfe W1, W2, W3 und W4 werden zu einem
Anreih-Mehrfachprüfkopf aneinandergereiht und wie ein
einziger Mehrfachprüfkopf mit entsprechender Elementen-
Anzahl betrieben.
Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 5 werden die vier
Elemente SI, 1(1-4) der Schicht I jeweils gesondert
betrieben, während benachbarte Elemente SII, 3(1) und
SII, 2(2) bzw. SII, 3(2) und SII, 2(3) bzw. SII, 3(3) und
SII, 2(4) (also jeweils die Elemente SII, 3 (v) und SII, 2 (v +1)
durch elektrische Parallelschaltung wie ein einziges
Element betrieben wird. Damit die richtungsabhängigen
Sende- und Empfangsverläufe der zusammengeschalteten
Elemente denen der übrigen Elemente entspricht, muß
entweder der Abstand zwischen den zusammengeschalteten
Elementen klein bemessen werden oder es müssen die zu
sammenhängenden Elemente SI, 1 (v) in der Mitte mit einem
nicht zum Signal beitragenden Streifen derselben Breite
versehen werden, wie es dem Abstand der zusammengeschal
teten Elemente entspricht. Dies kann beispielsweise durch
entsprechende Unterteilung der Elektroden bewirkt werden.
Für einen sinnvollen Betrieb zur Fehlererkennung ist
es erforderlich, daß die Elemente der Schichten I, II,
. . . N für die jeweilige Ausführungsform des Mehrfach
prüfkopfes annähernd gleiches oder ähnliches Frequenz
übertragungsverhalten zeigen. Hierfür bieten sich die
drei nachstehend geschilderten Möglichkeiten des akusti
schen Aufbaus an.
Der konstruktiv einfachste Weg besteht darin, die Elemente
der Schichten I, II, . . . N aus piezoelektrischen Kunst
stoffen herzustellen, z. B. aus Polyvinylidenfluorid
(PVDF) oder dem Copolymer VDF/TrFE. Dabei werden die
Elemente der einzelnen Schichten zweckmäßigerweise in
der Weise hergestellt, daß auf einen zusammenhängenden
Streifen entsprechend der gewünschten Elementen-Anzahl,
-Abmessung und -Anordnung angeordnete und dimensionierte
Elektroden angebracht werden, z. B. durch Aufdampfen im
Vakuum.
Der rückseitige Dämpfungskörper D besteht aus akustisch
dem Material der Elemente angepaßtem und stark schall
absorbierendem Material, z. B. aus nichtpiezoelektrischem
Polyvinylidenfluorid PVDF.
Durch Anwendung einer bekannten Klebe- und Verbindungs
technik, wie sie in der Veröffentlichung von M. Platte
"Ultraschallwandler aus Polyvinylidenfluorid mit breit
bandigem Übertragungsverhalten" in Acustica, 54 (1983),
Seiten 23-32, beschrieben ist, läßt sich ein akustisch
nahezu reflexionsfreier Abschluß auf der Rückseite der
Elemente SN, n der Reihen I, II, . . . N erreichen.
Wenn für die Schutzschicht A auch ein dem Material der
Elemente akustisch angepaßtes Material verwendet wird,
als welches verschiedene Epoxidharzsysteme in Frage
kommen, erhält man ein breitbandiges Übertragungsverhalten
des Prüfkopfes, und zwar unabhängig von der Dicke dA
der Schutzschicht A. Das Maximum im Übertragungsverhalten
liegt dann annähernd bei der Frequenz f0 = c/2dI = c/2dII,
also bei der "λ/2 Frequenz". Hierbei bedeuten c die
Schallgeschwindigkeit im piezoelektrischen Material
und dI bzw. dII die Dicken des piezoelektrischen Materials
der Schichten I bzw. II.
Die Elemente SN, n des Mehrfachprüfkopfes können auch
aus piezoelektrischen keramischen Materialien hergestellt
sein, wie etwa Bleizirkonattitanat, Bleimetaniobat oder
Bleititanat. Auch bei dieser Ausführung können die Einzel-
Elemente durch entsprechende Unterteilung der Elektroden
auf einem zusammenhängenden Materialstreifen gebildet
werden. Der Dämpfungskörper D und die elektrisch iso
lierenden Zwischenschichten Z bzw. Klebeschichten zwischen
den Schichten I, II, . . . N sind wiederum so ausgelegt,
daß keine oder nur unbedeutend geringe akustische Re
flexionen an der Verbindung zwischen dem Dämpfungskörper D
und der angrenzenden piezoelektrischen Schicht und zwi
schen den einzelnen piezoelektrischen Schichten auftreten.
Wenn die Zwischenschichten Z aus einem Material mit
gleichem oder ähnlichem Wellenwiderstand bestehen wie
dem des piezoelektrischen Materials der Elemente SN, n,
so treten unabhängig von der Dicke der Schichten Z keine
oder nur geringe Reflexionen auf.
Eine konstruktive
Möglichkeit zur Verwirklichung einer solchen Reflexions
freiheit ist am Beispiel von Bleizirkonattitanat in
der Dissertation RWTH Aachen von K. M. Sung "Piezoelek
trische Mehrschichtwandler für Ultraschall" beschrieben.
Die Schutzschicht A kann bei der Verwendung von Wasser
oder sonstigen Flüssigkeiten als Übertragungsmedium
(Ü) als λ/4 Anpassungsschicht ausgelegt sein, wobei
der Wellenwiderstand des für die Schicht A verwendeten
Materials zwischen dem der piezoelektrischen Schicht I
und dem von Wasser liegt. Entspricht der Wellenwiderstand
der Schicht A dem der piezoelektrischen Schichten I
und II, so ergibt sich wiederum ein breitbandiges Über
tragungsverhalten mit einem Übertragungsmaximum bei
etwa der Frequenz f0 = c/2dI = c/2dII, unabhängig von
der Dicke der Schicht A und der Art des Übertragungs
mediums Ü.
Bei einem aus nur zwei Element-Schichten I und II beste
henden Mehrfachprüfkopf kann dessen akustischer Aufbau
dem des bekannten "kombinierten SE-Wandlers" entsprechen,
wie er in der Offenlegungsschrift DE 34 41 563 A1 be
schrieben ist (M. Platte: "Kombinierte Ultraschallwandler
aus keramischen und hochpolymeren piezoelektrischen
Materialien"). Die Schicht I mit einer Gesamtdicke dI
besteht dabei aus piezoelektrischem Kunststoff, während
die Schicht II mit der Dicke dII aus keramischem piezo
elektrischen Material besteht, wie in der vorstehend
erwähnten Offenlegungsschrift beschrieben, kann die
Schicht I auch aus zwei übereinander geklebten Teil
schichten bestehen.
Eine solche Materialkombination ist insbesondere in
Prüfköpfen zur Ankopplung an flüssige Medien oder Kunst
stoffe mit ähnlichem Wellenwiderstand wie dem der Schicht
I geeignet. Wenn die Dicke dA der Schutzschicht vernach
lässigbar gering ist und die Dicke dI bzw. dII der piezo
elektrischen Schichten I und II zu den Schallgeschwin
digkeiten cI bzw. cII in den Materialien der Schichten
I bzw. II in der Beziehung cI/4dI = cII/2dII steht,
ist das Übertragungsverhalten der Elemente SI, n und
SII, n der Schichten I und II bei Wasserankopplung ähnlich.
Es ist auch eine Ausführungsform für Wasserschallanwendung
möglich, bei der die Dicke dI der Schicht I gegenüber
der Dicke dII der Schicht II sehr klein gehalten wird.
Auch in diesem Fall wirken die Schutzschicht A und die
piezoelektrische Schicht I zusammen als λ/4-Schicht
für den Betrieb der piezoelektrischen Schicht II, während
das Übertragungsverhalten der rückseitig mit dem hohen
Wellenwiderstand der piezoelektrischen Schicht II abge
schlossenen, dünnen piezoelektrischen Schicht I ebenfalls
durch das λ/4-Übertragungsmaximum der Schutzschicht
A und der piezoelektrischen Schicht I geprägt ist.
Für alle vorstehend beschriebenen akustischen Bauweisen
ist die Schwingungsform und Amplitude der Einzelelemente
in bekannter Weise durch elektrische Beschaltung beein
flußbar.
Zur besseren Abschirmung der Elemente SI, n kann die
Anpassungs- bzw. Schutzschicht A mit einer leitenden
und mit Erdpotential verbundenen Schicht, z. B. einer
metallischen Aufdampfschicht, versehen sein.
Wenn der rückseitige Abschluß (Dämpfungskörper) D elek
trisch leitfähig ist, kann eine elektrische Isolierung
zwischen den Elektroden EN = max, n der an den Abschluß
D angrenzenden Schicht N = max dadurch sichergestellt
sein, daß der Abschlußkörper D, wie in Fig. 3 gezeigt
ist, mittels sich in Schallausbreitungsrichtung erstrecken
der, nichtleitender dünner Trennschichten T unterteilt
ist, wobei die Unterteilung durch die Trennschichten
T der Elementenzahl, Elementenanordnung und Elementen
dimensionierung in der an den Abschluß D angrenzenden
Schicht N = max angepaßt ist.
Es sind noch weitere Ausgestaltungen der Mehrfachprüfköpfe
gemäß der Erfindung möglich als die in bezug auf die
Ausführungsbeispiele bereits erläuterten. So können
beispielsweise die beschriebenen Mehrfachprüfköpfe in
Mehrschichtbauweise durch Anbringen einer akustischen
Trennschicht, z. B. zwischen zwei nebeneinanderliegenden
Mehrschichtabschnitten aus übereinanderliegenden Einzel
elementen, als sog. SE-Wandler für getrennten Sende-
und Empfangsbetrieb ausgelegt sein.
Durch entsprechende Neigung der Elemente gegenüber der
Oberfläche des Übertragungsmediums Ü können die beschrie
benen Mehrfachprüfköpfe als Winkelprüfköpfe ausgestaltet
sein. Zweckmäßigerweise wird dazu die Anpassungs- und
Schutzschicht A keilförmig ausgelegt. Auch kann diese
Schicht A als fokussierender Vorsatz ausgebildet sein.
Claims (19)
1. Ultraschall-Mehrfachprüfkopf für die zerstörungsfreie
Werkstoffprüfung oder die medizinische Diagnostik,
der zwischen seinem rückseitigen Dämpfungskörper (D)
und seiner etwaigen vorderseitigen Schutz- und/oder
Anpassungsschicht (A) mehrere reihenweise angeordnete,
elektrisch voneinander getrennte piezoelektrische Einzelelemente
(S) mit ähnlichem oder annähernd gleichem
Übertragungsverhalten aufweist,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - diese piezoelektrischen Elemente (Si, n) in zwei oder mehreren, in Schalldurchtrittsrichtung akustisch miteinander verbundenen Schichten (W=I, II, . . . N) mit je n (n≧2) einzeln für sich oder gruppenweise als Wandlereinheit antreibbaren, reihenweise angeordneten piezoelektrischen Elementen (Si, n) angeordnet sind, die angrenzend an den Dämpfungskörper (D) zwischen diesem und einer Schutz- oder Anpassungsschicht (A) aus gesonderten piezoelektrischen Schichtelementen mit gesonderten Elektrodenbelägen oder durch Anbringen von gesonderten Elektroden auf einer zusammenhängenden piezoelektrischen Schicht gebildet sind,
- - und dabei die Wandlereinheiten (Si, n) einer Schicht (I, II . . . N) mit ihren Mittelachsen gegenüber den Mittelachsen der ihnen gegenüberliegenden Wandlereinheiten der benachbarten Schicht(en) in Schichtbreitenrichtung versetzt angeordnet sind, so daß die Maxima der Echoamplitudenverlaufskurven (KN, n; Fig. 2) der einzelnen Schichten (N) (Verlauf der Echoamplituden für einen in Schichtbreitenrichtung an den Elementen einer Schicht (N) vorbeibewegten Reflektor) für benachbarte Schichten in Schicht-Breitenrichtung gegeneinander versetzt auftreten (Fig. 2).
2. Mehrfachprüfkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die piezoelektrischen Elemente (SN, n) innerhalb
der von ihnen gebildeten Schicht (I, II, . . . N) durch
Bereiche (So I, So II, . . . So N) voneinander getrennt sind,
die nicht zur Schallerzeugung bzw. zum Schallnachweis
beitragen (Fig. 4), so daß die einander gegenüberliegenden
Elemente (SN, n) benachbarter Schichten einander nur
mit einem Teil ihrer Gesamtbreite überlappen.
3. Mehrfachprüfkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Anzahl (n) der piezoelektrischen
Elemente (SN, n) in den einzelnen Schichten (N) unterschiedlich
ist.
4. Mehrfachprüfkopf nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die Anzahl (n) der Elemente (SII, n) in
mindestens einer Schicht (II) ein ganzzahliges Vielfaches
der Anzahl (n) der Elemente (SI, n) in mindestens einer
benachbarten Schicht (I) beträgt (Fig. 5).
5. Mehrfachprüfkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich
net, daß die Breite (bI) der Elemente (SI, n) in mindestens
einer Schicht (I) ein ganzzahliges Vielfaches der Breite
(bII) der Elemente (SII, n) in mindestens einer benachbar
ten Schicht (II) beträgt und daß die schmaleren Elemente
(SII, n) gruppenweise fluchtend zu den breiteren Elementen
(SI, n) oder Gruppen derselben mindestens einer benachbar
ten Schicht (II) angeordnet sind (Fig. 5).
6. Mehrfachprüfkopf nach mindestens einem der vorhergehen
den Ansprüche, insbesondere nach Anspruch 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die Schichten (I, II, . . . N) aus
einzeln austauschbaren, je n piezoelektrische Elemente
(SN, n) (n = eine ganze Zahl ≧2) enthaltenden Schicht
abschnitten (W1, W2, . . . Wv) zusammengesetzt bzw. zusammensetzbar
sind.
7. Mehrfachprüfkopf nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß die Schichtabschnitte (W1, W2, . . . Wv)
für alle Schichten (I, II, . . . N) gleiche Breite haben und fluchtend
über- bzw. untereinander angeordnet sind, bei einer
unterschiedlichen Anzahl von piezoelektrischen Elementen
(SN, n) je Abschnitt (Wv) in den einzelnen Schichten (N).
8. Mehrfachprüfkopf nach Anspruch 7, dadurch gekennzeich
net, daß die fluchtend über- bzw. untereinander angeordneten
bzw. anzuordnenden Schichtabschnitte (W1,
W2, . . . Wv) in einzeln austauschbare Teilprüfköpfe (W1,
W2, . . . Wv) eingebaut sind.
9. Mehrfachprüfkopf nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,
daß er aus aneinander gereihten Teilprüfköpfen
(W1, W2, . . . Wv) zusammengesetzt bzw. zusammensetzbar
ist und daß die nebeneinander angeordneten piezoelektrischen
Elemente benachbarter Teilprüfköpfe elektrisch
zusammengeschaltet bzw. zusammenschaltbar sind.
10. Mehrfachprüfkopf nach mindestens einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß er
zwei Schichten (I, II) von Elementen (SI, n, SII, n)
aufweist, wobei die Elemente der dem Übergangsmedium
(Ü) nächstgelegenen Schicht (I) aus piezoelektrischem
Kunststoff bestehen und die der anderen Schicht (I)
aus piezokeramischem Material.
11. Mehrfachprüfkopf nach Anspruch 10, dadurch gekenn
zeichnet, daß die piezoelektrische Kunststoffschicht (I)
aus mehreren aufeinander geklebten Schichten besteht.
12. Mehrfachprüfkopf nach mindestens einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die
Klebe- und Zwischenschichten (Z) zwischen den Schichten
(N) aus einem Material bestehen, dessen Schallwellenwiderstand
dem des piezoelektrischen Elemente-Materials
annähernd gleich ist.
13. Mehrfachprüfkopf nach mindestens einem der vorhergehen
den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der aus elektrisch
leitendem Material bestehende rückseitige Wandler-Abschluß
(D) mittels dünner, nicht leitender Trennschichten
(T) entsprechend der Elementenzahl der an ihn angrenzenden
piezoelektrischen Schicht (N = max) unterteilt ist.
14. Mehrfachprüfkopf nach mindestens einem der vorhergehen
den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der rückseitige
Wandler-Anschluß (D) aus einem Material besteht, dessen
Schallwellenwiderstand dem des piezoelektrischen Elemente-
Materials annähernd gleich ist.
15. Mehrfachprüfkopf nach mindestens einem der vorhergehen
den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Anpassungs-
und Schutzschicht (A) aus einem Material besteht, dessen
Schallwellenwiderstand dem des piezoelektrischen Elemente-
Materials annähernd gleich ist.
16. Mehrfachprüfkopf nach mindestens einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Anpassungs-
und Schutzschicht (A) mit einer elektrisch leitenden und
mit Erdpotential verbundenen Schicht versehen ist.
17. Mehrfachprüfkopf nach mindestens einem der vorhergehen
den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden
für einander gegenüberliegende Oberflächen benachbarter
Schichten (N) durch die Zwischenschicht (Z) bildende oder in
diese Schicht eingelassene leitfähige Schichten gebildet sind.
18. Mehrfachprüfkopf nach mindestens einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschicht (Z)
aus Epoxidharz oder Kleber auf Kunststoffbasis besteht.
19. Mehrfachprüfkopf nach mindestens einem der vorhergehenden
Ansprüche, gekennzeichnet durch akustische Trennschichten
zwischen nebeneinanderliegenden piezoelektrischen Elementen
oder Elementen-Gruppen.
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DE19873720574 DE3720574A1 (de) | 1987-06-22 | 1987-06-22 | Ultraschall-mehrfachpruefkopf |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19860127C1 (de) * | 1998-12-17 | 2000-10-26 | Mannesmann Ag | Ultraschall-Mehrfachprüfkopf |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10001745A1 (de) * | 2000-01-17 | 2001-07-26 | Prosensys Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung eines Ultraschallfeldes sowie Verwendung der Vorrichtung |
DE10014936C1 (de) * | 2000-03-20 | 2001-10-25 | Mannesmann Ag | US-Prüfkopfvorrichtung |
DE102016205548A1 (de) * | 2016-04-04 | 2017-10-05 | Institut Dr. Foerster Gmbh & Co. Kg | Ultraschall-Prüfkopf und Ultraschall-Prüfanlage |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2421429C2 (de) * | 1974-05-03 | 1988-06-16 | Krautkrämer, GmbH, 5000 Köln | Ultraschallprüfkopf für die zerstörungsfreie Materialprüfung von Blechen nach dem Impulsecho-Laufzeitverfahren |
DE2628492B1 (de) * | 1976-06-25 | 1977-05-26 | Siemens Ag | Geraet zur untersuchung von koerpern durch abtastung mittels ultraschall |
AU529113B2 (en) * | 1978-04-19 | 1983-05-26 | Commonwealth Of Australia, The | Ultrasonic transducer array |
JPS5943356A (ja) * | 1982-09-06 | 1984-03-10 | Kureha Chem Ind Co Ltd | 超音波探触子 |
JPS5999900A (ja) * | 1982-11-29 | 1984-06-08 | Toshiba Corp | 超音波探触子 |
DE3309218A1 (de) * | 1983-03-15 | 1984-09-20 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Lineares ultraschall-array |
DE8431413U1 (de) * | 1984-10-25 | 1986-08-14 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Ultraschall-Detektionssensor in Hybridaufbau mit zugehöriger Elektronikschaltung |
DE3441563A1 (de) * | 1984-11-14 | 1985-05-30 | Michael Dipl.-Phys. 5600 Wuppertal Platte | Kombinierte ultraschallwandler aus keramischen und hochpolymeren piezoelektrischen materialien |
-
1987
- 1987-06-22 DE DE19873720574 patent/DE3720574A1/de active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19860127C1 (de) * | 1998-12-17 | 2000-10-26 | Mannesmann Ag | Ultraschall-Mehrfachprüfkopf |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3720574A1 (de) | 1989-01-05 |
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