DE3720293C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3720293C2 DE3720293C2 DE19873720293 DE3720293A DE3720293C2 DE 3720293 C2 DE3720293 C2 DE 3720293C2 DE 19873720293 DE19873720293 DE 19873720293 DE 3720293 A DE3720293 A DE 3720293A DE 3720293 C2 DE3720293 C2 DE 3720293C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- light
- bending
- bending elements
- scanning head
- frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 20
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims description 7
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 6
- 238000013519 translation Methods 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 claims 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 210000002105 tongue Anatomy 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000005534 acoustic noise Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000004936 stimulating effect Effects 0.000 description 2
- 241000256683 Peregrinus Species 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000000695 excitation spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000036039 immunity Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000003534 oscillatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 238000007669 thermal treatment Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/268—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light using optical fibres
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung der Translation oder
Rotation eines zu überwachenden Gegenstandes.
Verschiebungen werden nach gegenwärtiger Technik mit elektrischen
Sensoren gemessen, z.B. mit Potentiometern oder induktiven Gebern, wobei
elektromagnetische Störungen (EMI) nur durch aufwendige Abschirmung und Filte
rung zu reduzieren sind. Störunempfindliche (faser)-optische Verfahren
(vgl. z.B. B. Culshaw: Optical fibre sensing and signal processing, Peter
Peregrinus Ltd. 1984) beruhen entweder auf Phasenmodulation (Interfero
meter) mit kleinem Meßbereich (Mikrometer) oder auf inkrementalem und
daher bei sicherheitskritischen Meßstellen nicht zulässigem Signal, auf
Intensitätsmodulation mit entsprechend störanfälligem Analogsignal oder
auf Farbcodierung durch ortsabhängige Veränderung eines breitbandigen
Lichtspektrums mit Hilfe eines dispersiven Elementes. Ein derartiger
Farbsensor erfüllt zwar grundsätzlich die Anforderung an Störsicherheit
und Übertragungsqualität, ist aber schwierig zu realisieren.
Nachteile der bisherigen Lösungen waren also, daß elektrische Sensoren
empfindlich gegen elektromagnetische Störungen sind und daß optische und
faseroptische Sensoren, soweit sie analog arbeiten, empfindlich gegen
Pegeländerungen bei Sendern und Empfängern und gegen Änderungen der
Eigenschaften (Dämpfung) von Zu- und Ableitung ("Streckenneutralität")
sind.
Es ist das Ziel der Erfindung, ein Meßverfahren und eine Vorrichtung
der eingangs genannten Gattung zu schaffen,
die besonders störunempfindlich sind.
Diese Aufgabe wird durch die in den Ansprüchen 1 und 7
beschriebenen Maßnahmen gelöst.
Eine derartige Anordnung kann nicht durch elektromagnetische
Interferenzen (EMI) gestört werden, was in besonders sicherheitsrelevan
ten (z.B. Flugzeugsteuerung) oder elektrisch stark gestörten Bereichen
(viele Industrieanlagen) von entscheidendem Vorteil ist. Ein weiterer
wichtiger Vorteil eines Sensors nach dem Prinzip gemäß der Erfindung
liegt in seiner Kompatibilität mit den immer weiter verbreiteten Licht
wellenleitersystemen (Glasfasernetze).
Die Erfindung wird nachfolgend anhand mehrerer Ausführungsbeispiele
näher beschrieben und in den Zeichnungen dargestellt. Es zeigen
Fig. 1a eine perspektivische Ansicht einer schwingungsfähigen Struktur
gemäß der Erfindung,
Fig. 1b eine perspektivische Ansicht einer weiteren Konfiguration von
Vibratoren gemäß der Erfindung,
Fig. 2 die Anordnung der Faser 2 zum Anregen und der Faser 3 zum
Registrieren der Schwingungen der Vibratoren,
Fig. 3 ein Schema einer möglichen Ausführungsform des Meßsystems.
Fig. 4a eine erfindungsgemäße Meßeinrichtung mit einem beweglichen
Band als Staubschutz und
Fig. 4b eine erfindungsgemäße Meßeinrichtung mit einem Balg als
Staubschutz.
Die Fig. 1a und 1b zeigen zwei Ausführungsformen des erfindungsgemä
ßen Sensors. Eine Anordnung von schwingungsfähigen Biegeelementen 1 nach
Fig. 1 besitzt eine für jedes Element charakteristischen Resonanzfre
quenz, die entweder über die Geometrie oder über die Massenverteilung
definiert wird. Einzelne oder alle Elemente gleichzeitig können zu
freien Schwingungen angeregt werden, sei es durch das Gerät, in dem der
Sensor Verwendung findet, z.B. durch breitbandiges akustisches Rauschen
hoher Intensität im Flugzeug oder gezielt auf optischem Weg durch
Beleuchtung mit einer Glasfaser.
In Fig. 2 ist schematisch gezeigt, daß die anregende Faser 2 am besten
nahe beim Fußpunkt der Zungen 1 positioniert wird.
Dabei reichen Lichtleistungen von einigen 10 µW aus; bei sehr kleinen
Schwingungselementen findet die Anregung bereits über eine Brown′sche
Molekularbewegung statt. Mit Laserdioden lassen sich über Glasfasern
mehrere Milliwatt übertragen.
Für die aktive Anregung der Schwingungen stehen z.B. marktgängige
Stufenindexfasern verschiedener Durchmesser zur Verfügung, die bei
Bedarf auch leicht mit zusätzlicher Optik nach dem Stand der Technik
versehen werden können (z.B. mit Gradientenindexlinsen). Es ist außerdem
möglich, durch geeignete thermische Behandlung der Faserenden direkt
linsenähnliche Gebilde anzuschmelzen, was eine billige, zuverlässige und
platzsparende Möglichkeit der Strahlformung darstellt.
Detektiert werden diese Schwingungen gemäß der Erfindung durch einen
optischen Abtastkopf, der mit dem zu vermessenden Maschinenteil verbun
den ist.
Die Vibratoren 1 müssen also zu ihrer Eigenfrequenz angeregt werden.
Falls dies nicht wie oben erwähnt bereits durch das akustische Rauschen
der Umgebung erfolgt, bestehen für die aktive Anregung durch Lichtwel
lenleiter mehrere Möglichkeiten:
- a) mit Gleichlicht (2 Verfahren)
- a1) Bestehen die Vibratoren 1 aus für die verwendete Lichtwellenlänge transparentem Material, kann durch Aufbringen einer teildurchlässi gen Verspiegelung auf der Oberfläche der Vibratoren und der Endfläche der anregenden Glasfaser ein Fabry-Perot-Resonator (vgl. z.B. Bergmann-Schaefer: Lehrbuch der Experimentalphysik, Bd. III Optik, 7. Auflage, S. 339 ff.) hergestellt werden, der beim Einschalten der Beleuchtung für das eingestrahlte Licht durchlässig ist; das Licht dringt daher in eine Zunge 1 ein, die sich durch die thermi sche Ausdehnung nach unten biegt. Die Länge des Fabry-Perot-Resona tors vergrößert sich dadurch so lange, bis das eingestrahlte Licht reflektiert und nicht mehr von der Zunge absorbiert wird. Die Zunge geht daher in die Ausgangslage zurück. Der gesamte Vorgang kann von neuem beginnen und führt auf diese Weise selbstmodulierend zur Anregung der Resonanzfrequenz des jeweiligen Schwingungselementes.
- a2) In vergleichbarer Weise selbstmodulierend kann die Anregung der Resonanzfrequenz auf elektronischem Wege erfolgen. In einer Anord nung, wie sie schematisch in Fig. 3 dargestellt ist, sendet eine Lichtquelle (z.B. Diode) 4 zunächst Gleichlicht über eine Glasfaser 2 auf einen Vibrator 1, der das Licht in eine Faser 3 reflektiert. Der breitbandige Verstärker 6 verstärkt nun das vom Photodetektor 5 registrierte Signal, dessen Gleichpegel von unvermeidlichem Rauschen überlagert ist. Die Vibratoren wirken jedoch wie schmalbandige Bandpaßfilter, so daß der Verstärker in sehr kurzer Zeit aus dem Rauschen heraus nur noch die Resonanzfrequenz des jeweiligen Schwin gungselementes verstärkt und damit die Lichtquelle 4 mit der für die Anregung des jeweiligen Vibrators optimalen Frequenz moduliert. Der Frequenzzähler 7, der die eigentlich benötigte Lageinformation zu ermitteln gestattet, kann entweder das Signal des Photodetektors (5) verwenden (wie in Fig. 3) oder auch nach dem Verstärker angeordnet werden.
- b) mit Wechsellicht
Die Anregung erfolgt durch ein breitbandiges Rechteck- oder Dreieck signal oder eine ähnliche geeignete Wellenform, die das Frequenz spektrum aller Vibratoren des Sensors umfaßt.
Die Anregung kann auch durch ein schmales Frequenzband erfolgen, das aber periodisch über den benötigten Frequenzbereich gewobbelt wird.
Die Anregung kann durch ein schmalbandiges Spektrum erfolgen, welches der Resonanzfrequenz der jeweils beleuchteten Vibratoren nachgeführt wird, was wegen der kontinuierlichen Bewegung des Abtastkopfes möglich ist. Das Anregungsspektrum für einen Vibrator kann auch noch dessen Nachbarn anregen, so daß bei Bewegung die Anregungsfrequenz der Meßfrequenz nachgeführt werden kann.
Eine weitere Möglichkeit zur Gewinnung des Nachführsignals besteht im Zählen der Reflexionen durch die Oberflächen der Vibratoren bei Verschiebung des Abtastkopfes; dies entspricht dem Verfahren bei einem inkrementalen Sensor nach bekannter Technik, wobei auch eine Erkennung der Bewegungsrichtung durch geeignete Maßnahmen möglich ist. - c) Steht genügend Licht zur Verfügung, kann man die gesamte Anordnung gleichzeitig beleuchten, so daß die Anregungsfaser 2 entfallen kann. Durch Wobbeln der Lichtmodulationsfrequenz kann man periodisch alle Vibratoren anregen.
- d) Die Technik der integrierten Optik wird in naher Zukunft durch mit der Oberfläche der Vibratoren integrierbare Wellenleiter, Frequenz weichen, Absorber usw. noch effizientere Gestaltungsmöglichkeiten erlauben.
Die Messung der Frequenz desjenigen Vibrators, über dem sich der Abtast
kopf 8 gerade befindet (und damit die eigentliche Ortsmessung) erfolgt
wiederum über einen Lichtwellenleiter 3 nach Fig. 2. Für hohe Detek
tionsempfindlichkeit kann man ein faseroptisches Interferometer nach dem
Stand der Technik verwenden, bei ausreichender Schwingungsamplitude
genügt aber die direkte Detektion über die Rückreflektion des von Faser
3 angestrahlten Lichts; man kann sogar mit einer Faser anregen und
gleichzeitig detektieren.
Da die Frequenzen schrittweise ansteigen, erreicht man durch genügend
große Schrittweite Temperaturunabhängigkeit eines derartigen Sensors.
Alternativ dazu kann man einen festen Referenzvibrator ständig beobach
ten und die Frequenz der übrigen Vibratoren auf dessen Frequenz-Tempera
turverlauf normieren.
Durch verschiedene Anordnungen kann sichergestellt werden, daß durch die
Lücke zwischen zwei Vibratoren kein Signalausfall entsteht. Dazu hält
man den Spalt zwischen zwei Vibrator-Elementen 1 so schmal, daß das
Anregungslichtbündel auf jeden Fall einen Vibrator trifft. Man kann auch
immer zwei benachbarte Vibratoren 1 anregen, was allerdings die Ortsauf
lösung verschlechtert. Man kann alternativ dazu zwei sich auf Lücke
gegenüberstehende Reihen von Vibratoren anordnen und mit einem entspre
chenden zweiten Paar von Anregungs- und Abtastfaser ausstatten. Schließ
lich kann man bei einer einzelnen Reihe von Vibratoren je ein Paar der
Fasern 2 und 3 so gegeneinander versetzen, daß auf jedem Fall ein Meßsi
gnal erzeugt wird.
Für die Herstellung derartiger Strukturen kann man auf erprobte Techno
logien zurückgreifen. Vor allem die Technik des anisotropen Ätzens von
Silizium wurde, aufbauend auf der Fertigung für die integrierte Elektro
nik, sehr weit entwickelt, und damit können sehr präzise und komplexe
Mikrostrukturen erzeugt werden. Näheres dazu ist z.B.
Hoefflin u.a.: Optically excited micromechanical silicon vibration sensor, 4th International Symposium on Optical and Optoelectronic Applied Science and Engineering, Den Haag 1987;
Venkatesh, Novak: Fibreoptik Detection of Optothermal Vibrations, OFS ′86, Tokyo;
Angell u.a.: Mikromechanik aus Silicium - Spektrum der Wissenschaft - Juni 1983
zu entnehmen. Nicht ganz so vielseitig, aber auch sehr fortgeschritten sind Fertigungsverfahren bei Glasstrukturen.
Hoefflin u.a.: Optically excited micromechanical silicon vibration sensor, 4th International Symposium on Optical and Optoelectronic Applied Science and Engineering, Den Haag 1987;
Venkatesh, Novak: Fibreoptik Detection of Optothermal Vibrations, OFS ′86, Tokyo;
Angell u.a.: Mikromechanik aus Silicium - Spektrum der Wissenschaft - Juni 1983
zu entnehmen. Nicht ganz so vielseitig, aber auch sehr fortgeschritten sind Fertigungsverfahren bei Glasstrukturen.
Der erzielbare Frequenzbereich erstreckt sich von wenigen hundert Hertz
bis einige hundert Kilohertz. Die maximale Ortsauflösung beträgt einige
Mikrometer, beispielsweise auf einer Struktur nach Fig. 1b mit Silizium
brücken statt freischwingender Zungen.
Die maximale Abmessung, d.h. der Wegmeßbereich ohne Untersetzung und
ohne Stückelung mit Modulen, hängt von den vorhandenen Ausgangsmateria
lien ab und liegt bei Siliziumkristallen derzeit bei etwa 10 cm.
Ein gewisser Nachteil des Verfahrens liegt, wie bei fast allen optischen
Sensoren, im offenen Lichtweg mit der Gefahr der Verschmutzung. Dieses
Problem läßt sich weitgehend dadurch lösen, daß man nach Fig. 4a um den
eigentlichen Schwingkörper ein dichtschließendes Band 11 legt, bei
spielsweise aus Metall und mit dem Abtastkopf 8 fest verbindet. Dieses
Band in der Art einer Manschette kann dann der Bewegung des Kopfes 8
folgen, indem es um den Sensorkörper herumgleitet; dadurch wird eine
weitgehende Abdichtung erreicht. Der Abtastkopf oder das Band werden
über eine Stange 9 mit dem bewegten Geräteteil verbunden.
Eine weitere Gestaltungsmöglichkeit besteht in der Verwendung eines
flexiblen Metallbalges 10 etwa nach Fig. 4b, womit eine vollständige
Abdichtung erreichbar ist.
Nach dem beschriebenen Prinzip kann auch einen Sensor für Drehbewegungen
gebaut werden, indem man Vibratoren geeigneter Geometrie und/oder
Massenverteilung im Kreis anordnet.
Je nach geforderter Auflösung benötigt man für einen Sensor unterschied
liche Frequenzbänder. Bei einer typischen Bandbreite in den bisherigen
Experimenten von 25-50 Hz pro Vibrator ergibt sich bei einer Auflösung
von 1% des Meßbereiches ein Frequenzhub von rund 2,5 bis 5 kHz, bei 1‰
entsprechend 25-50 kHz. Je nach der technisch insgesamt be
herrschbaren Bandbreite kann man eine unterschiedlich große Zahl von
Sensoren in einem Multiplexsystem betreiben, was einen großen Vorteil im
Vergleich zu den meisten anderen Prinzipien optischer Sensoren darstellt.
Vorteile der Erfindung sind besonders darin zu sehen, daß das Meßsignal
elektromagnetisch nicht störbar ist (wichtig z.B. für Flugzeugsteuerung,
industrielle Sensorik); das Problem der Streckenneutralität tritt wegen
der Frequenzcodierung nicht auf; der Sensor kann in Bus- oder Multiplex
systemen eingesetzt werden; der Sensor erzeugt kein inkrementales,
sondern ein eindeutiges, einer Verschiebung zugeordnetes Signal.
Claims (7)
1. Verfahren zur Messung der Translation- oder Rotation eines zu
überwachenden Gegenstandes, dadurch gekennzeichnet, daß sich eine mit
dem Gegenstand verbundene und als mikromechanische Struktur ausgebildete
lineare oder kreisförmige Anordnung von Biegeelementen relativ zu einem
Abtastkopf bewegt, daß die Biegeelemente eine gleichförmig ansteigende
Resonanzfrequenz aufweist, in der zumindest die von dem Abtastkopf
erfaßten Biegeelemente aktiv oder passiv angeregt schwingen und daß aus
der vom Abtastkopf optisch gemessenen Resonanzfrequenz eindeutig die
relative Lage von Abtastkopf und zu überwachendem Gegenstand ermittelt
wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Schwingungen über Lichtwellenleiter in einem Abtastkopf aktiv angeregt
und detektiert werden.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die
Biegeelemente mittels Gleichlicht in Schwingungen versetzt werden, wobei
wenigstens ein aus für die verwendete Lichtwellenlänge transparentem
Material bestehendes Biegeelement an der Oberfläche ebenso wie die
Endfläche einer das Licht zuleitenden Glasfaser teildurchlässig verspiegelt
ist und derart ein Fabry-Perot-Resonator gebildet wird, dessen
Flächenabstand durch die thermische Ausdehnung des Biegeelementes bei
Eindringen des Lichtes infolge dessen Absorption im Biegeelement sich
so lange vergrößert, bis das eingestrahlte Licht reflektiert wird und das
Biegeelement wieder in seine Ausgangslage zurückkehrt, in der das Licht
wieder eindringen kann.
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens
ein Biegeelement (1) über eine erste Glasfaser (2) zunächst
mittels Gleichlicht beaufschlagt wird, dieses Licht in eine zweite
Glasfaser (3) reflektiert und das daraus gewonnene, sich infolge der
Bandpaßwirkung des Biegeelementes schnell aus dem Rauschen heraus
bildende und verstärkte Signal zur Modulation der Lichtquelle mit der
für das jeweilige Biegeelement optimalen Frequenz verwendet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die
Anregung der Biegeelemente mit Wechsellicht mittels eines breitbandigen
Dreiecks- oder Rechteckssignals erfolgt, das das Frequenzspektrum aller
Biegeelemente umfaßt.
6. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die
Anregung der Biegeelemente mit Wechsellicht mittels eines schmalbandigen
Signals erfolgt, das den Frequenzen der Biegeelemente nachgeführt oder
periodisch über das Frequenzspektrum aller Biegeelemente gewobbelt wird.
7. Vorrichtung zur Messung der Translation oder Rotation eines zu
überwachenden Gegenstandes, dadurch gekennzeichnet, daß sie aus einer
mit dem Gegenstand verbundenen und als mikromechanische Struktur ausgebildeten
linearen oder kreisförmigen Anordnung von Biegeelementen
besteht, die relativ zu einem Abtastkopf bewegbar ist, und daß die
Biegeelemente eine gleichförmig ansteigende Resonanzfrequenz aufweisen,
in der zumindest die von dem Abtastkopf erfaßten Biegeelemente aktiv
oder passiv angeregt schwingen und daß zur eindeutigen Ermittlung der
relativen Lage von Abtastkopf zum überwachendem Gegenstand aus der vom
Abtastkopf optisch gemessenen Resonanzfrequenz eine elektronische
Vorrichtung (4, 5, 6, 7) vorgesehen ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873720293 DE3720293A1 (de) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | Verfahren zur frequenzmodulierten optomechanischen translations- und rotationsmessung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873720293 DE3720293A1 (de) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | Verfahren zur frequenzmodulierten optomechanischen translations- und rotationsmessung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3720293A1 DE3720293A1 (de) | 1988-12-29 |
DE3720293C2 true DE3720293C2 (de) | 1992-03-26 |
Family
ID=6329910
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19873720293 Granted DE3720293A1 (de) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | Verfahren zur frequenzmodulierten optomechanischen translations- und rotationsmessung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3720293A1 (de) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3905508A1 (de) * | 1989-02-23 | 1990-08-30 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Mikromechanisches bauelement |
DE4042302A1 (de) * | 1990-12-31 | 1992-07-09 | Bodenseewerk Geraetetech | Schaltstellungssensor |
DE4131819A1 (de) * | 1991-09-20 | 1993-03-25 | Siemens Ag | Messeinrichtung zur bestimmung des weges an elektrischen schaltgeraeten |
GB201215547D0 (en) * | 2012-08-31 | 2012-10-17 | Infinitesima Ltd | Multiple probe actuation |
GB201218350D0 (en) * | 2012-10-12 | 2012-11-28 | Infinitesima Ltd | Multiple probe actuation |
-
1987
- 1987-06-19 DE DE19873720293 patent/DE3720293A1/de active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3720293A1 (de) | 1988-12-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3687966T2 (de) | Verfahren und apparat zur bestimmung einer messgroesse. | |
DE19514852C2 (de) | Verfahren und Anordnung zur Beschleunigungs- und Vibrationsmessung | |
DE60309291T2 (de) | (Faser-) Optischer Sensor mit geeigneter Modulation | |
DE69818688T2 (de) | Herstellungverfahren von brechungsindexgittern beliebiger länge längs optischerwellenleiter | |
DE69414011T2 (de) | Diagnostisches system fur fibergittersensoren | |
DE68927644T2 (de) | Verfahren zum optischen fühlen | |
DE68912603T2 (de) | Prüfverfahren unter verwendung eines optischen faserprüfsystems. | |
DE3609507C2 (de) | Faseroptisches Interferometer | |
DE4103914A1 (de) | Interferometer | |
DE3808235A1 (de) | Mit lichtleitfasern arbeitende fuehleranordnung | |
DE4304678C1 (de) | Verfahren zum kontinuierlichen Abtasten und Überprüfen von Spurauftragungen auf einer bewegten Unterlage und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
DE69723332T2 (de) | Optischer Schwingungsfühler | |
EP3447441A1 (de) | Vorrichtung zur interferometrischen abstandsmessung | |
DE3720293C2 (de) | ||
DE1962515A1 (de) | Optische Messsonde | |
DE3709598A1 (de) | Vorrichtung zum beruehrungslosen dreidimensionalen messen von verformungen bei festigkeitsuntersuchungen von pruefkoerpern | |
DE3730091A1 (de) | Interferometrisches distanzmessgeraet | |
DE2100236A1 (de) | Anordnung zur Messung von optischen Weglangen unter Anwendung lnterferometn scher Verfahren | |
EP1312936B1 (de) | Optoelektronische Vorrichtung | |
EP0529339B1 (de) | Faseroptischer Sensor | |
DE69521447T2 (de) | Wandler mit Schwingelement | |
EP0264734B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum berührungslosen optischen Messen von Wegen, insbesondere im Triangulationsverfahren | |
DE69209412T2 (de) | Sensor | |
DE4035373C2 (de) | Faseroptischer Druck- oder Verschiebungsfühler | |
DE68901681T2 (de) | Faseroptischer versetzungssensor. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: DEUTSCHE AEROSPACE AG, 8000 MUENCHEN, DE |
|
8320 | Willingness to grant licenses declared (paragraph 23) | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: DAIMLER-BENZ AEROSPACE AKTIENGESELLSCHAFT, 80804 M |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |