DE3719946C2

DE3719946C2 -

Info

Publication number: DE3719946C2
Application number: DE19873719946
Authority: DE
Inventors: Franz 2980 Norden De Doepke; Manfred Dipl.-Ing. 2984 Hage-Berumbur De Schmidt; Wolfgang Dr.-Ing. Bosch; Bruno Dipl.-Wirtsch.-Ing. 7530 Pforzheim De Gengenbach
Original assignee: Doduco and Co Dr Eugen Duerrwaechter 7530 Pforzheim De GmbH; Doepke & Co Schaltgeraetefabrik 2980 Norden De
Current assignee: Doduco Solutions GmbH
Priority date: 1987-05-29
Filing date: 1987-06-15
Publication date: 1991-10-31
Also published as: EP0293702A1; DE3870707D1; ES2031952T3; EP0293702B1; DE3719946A1

Description

Die Erfindung geht aus von einem Auslöser mit den im Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. 7 angegebenen Merkmalen. Ein solcher Auslöser ist aus der DE-27 55 645 B2 bekannt geworden. Er enthält außer den im Oberbegriff angegebenen Elementen noch einen Dauermagneten, welcher dem Joch anliegt; der von diesem Dauermagnet aus gehende magnetische Kraftfluß bewirkt, daß der Anker ent gegen der Wirkung einer am Anker angreifenden Rückzugfeder vom Joch angezogen wird. Außerdem ist eine das Joch umgebende Auslösespule vorgesehen. Die Auslösespule hat die Aufgabe, einen vom Fehlerstrom abhängigen, dem vom Dauermagneten ausgehenden Kraftfluß entgegengerichteten Kraftfluß zu erzeugen, so daß die Kraft, mit welcher der Anker vom Joch angezogen wird, verkleinert wird und die Rückzugfeder den Anker vom Joch abziehen kann.

Um eine hohe Empfindlichkeit des Auslösers zu erzielen, soll der Luftspalt zwischen dem Anker und dem Joch mög lichst klein sein. Außerdem soll die Ansprechempfindlich keit des Auslösers über möglichst lange Zeit konstant bleiben. Um das zu erreichen, ist es aus der DE-27 55 645 B2 bekannt, die Oberflächen der Polflächen des Ankers oder des Joches mit einem korrosionsfesten und zähen Stoff mit guten Gleiteigenschaften, nämlich mit einem Metall der ersten, zweiten oder achten Nebengruppe des Periodischen Systems der Elemente oder deren Legierungen mit einer Schichtstärke von bis zu 1 µm zu versehen. Dabei ist insbesondere an die Gruppe der Edelmetalle, vor allen Dingen an Gold ge dacht, welche durch elektrolytische Abscheidung oder durch Aufdampfen abgeschieden werden sollen. Durch die Beschich tung soll ein Schmiereffekt erreicht werden, so daß sich während der langen Lebensdauer kein Abrieb mehr bildet und der Luftspalt insoweit konstant bleibt. Es ist in der DE-27 55 645 B2 allerdings angegeben, daß die dünne Be schichtung für einen Korrosionsschutz nicht ausreicht, da sie nicht porenfrei ist. Um Korrosion zu vermeiden, die den Luftspalt ebenfalls verändern könnte, ist deshalb vor gesehen, sowohl als weichmagnetischen Werkstoff für den Anker und für das Joch als auch für die Beschichtung korrosionsfeste Werkstoffe zu verwenden. Dickere Beschichtungen aufzutragen, die einen wirksamen Korrosionsschutz bieten könnten, ver bietet sich, da sie die Empfindlichkeit des Auslösers her absetzen würden.

Um diesen Nachteilen zu begegnen, ist in der DE-34 10 596 A1 vorgeschlagen worden, mindestens die Oberflächen der Pol flächen vom Anker oder Joch eines solchen Auslösers für einen Fehlerstromschutzschalter aus einer pulvermetallurgisch her gestellten, weichmagnetischen Eisen-Nickel-Legierung herzu stellen, weil man weiß, daß eine pulvermetallurgisch herge stellte Eisen-Nickel-Legierung oxidationsfester ist als eine schmelzmetallurgisch hergestellte Eisen-Nickel-Legierung. Die Kosten für eine pulvermetallurgisch hergestellte Eisen- Nickel-Legierung sind allerdings höher als für vergleichbare schmelzmetallurgisch hergestellte Eisen-Nickel-Legierungen und die erwünschte zeitliche Konstanz des Luftspaltes wird dennoch nicht erreicht.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen elektro magnetischen Auslöser für Fehlerstromschutzschalter zu schaffen, der mit vertretbarem Aufwand herstellbar ist und dessen Luftspalt eine verbesserte zeitliche Konstanz aufweist.

Diese Aufgabe wird gelöst durch einen Auslöser mit den im Patentanspruch 1 bzw. 7 angegebenen Merkmalen. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unter ansprüche.

Überraschenderweise hat es sich gezeigt, daß man dem Problem der zeitlichen Konstanz des Luftspaltes mit einer dünnen Hartstoffbeschichtung der Polflächen des Ankers und des Joches beikommen kann. Selbst bei Schichtstärken von weniger als 1 µm sind die Hartstoffschichten gegenüber den beim Auslösevorgang und beim Wiedereinschalten des Fehler stromschutzschalters auftretenden mechanischen Belastungen so verschleißfest, insbesondere abriebfest, daß die zeit liche Konstanz des Luftspaltes im Vergleich zu bekannten Auslösern drastisch verlängert wird. Die optimale Schicht dicke liegt zwischen 0,4 µm und 0,8 µm. Überraschenderweise hat sich weiterhin gezeigt, daß sich bereits mit so dünnen Hartstoffschichten eine wesentliche Verbesserung der Korrosionsbeständigkeit des Joches und des Ankers er reichen läßt. Die aufgedampften Hartstoffschichten können nämlich schon bei geringeren Schichtstärken als die in der DE-27 55 645 B2 beschriebenen elektrolytisch aufgebrachten Schichten einen porenfreien Film bilden.

Vorzugsweise werden für die Hartstoffschicht Hartstoffe des Titans, insbesondere Titannitrid gewählt. Gut geeig net sind aber auch die Karbide und die Karbonitride des Titans.

Zum Erzeugen einer solchen Hartstoffschicht eignen sich die Verfahren der chemischen Dampfabscheidung (CVD- Verfahren) und der physikalischen Dampfabscheidung (PVD-Verfahren), insbesondere das Ionenplattieren. Das Kathodenzerstäuben als häufig angewandtes PVD-Verfahren findet bei Temperaturen unter 250°C statt und hat den Vorteil, daß es keinen Einfluß auf die magnetischen Eigenschaften der zu beschichtenden Grundmaterialien des Ankers und des Joches hat.

CVD-Verfahren erfordern zwar u.U. das Arbeiten bei höherer Temperatur, ermöglichen es jedoch, durch Variation der Abscheideparameter (Temperatur, Druck, Beschichtungsdauer) im CVD-Reaktor die Oberflächenstruktur, nämlich die Mikro rauhigkeit gezielt zu beeinflussen. Damit ist auch eine gezielte Beeinflussung des Luftspaltes und - damit zusammen hängend - der Auslöseempfindlichkeit des Auslösers möglich, wobei die eingestellte Empfindlichkeit infolge der harten Oberfläche langzeitstabil bleibt. Erste Versuche haben ge zeigt, daß sich die Langzeitstabilität der Auslöseschwelle des Auslösers durch die erfindungsgemäße Hartstoffbe schichtung im Vergleich zu bekannten Auslösern um einen Faktor 5 bis 25 erhöhen läßt.

Um die Auslöseschwelle des Auslösers durch die Abscheide bedingungen des CVD-Verfahrens gezielt beeinflussen zu können, geht man am besten von einem Anker und von einem Joch mit sehr glatter, polierter Oberfläche aus, welche durch die nachfolgende Beschichtung mit Hartstoff eine etwas stärkere, aber wohl definierte, durch die Abscheide bedingungen festgelegte, langzeitstabile Rauhigkeit er hält.

Die beigefügte Zeichnung zeigt schematisch einen elektro magnetischen Auslöser, bestehend aus einem Anker 1, aus einem Joch 2, einem Dauermagneten 3 zum Erzeugen des Magnetflusses, durch dessen Wirkung der Anker 1 vom Joch 2 angezogen wird und daran haftet, solange nicht durch eine auf einem Schenkel des Joches 2 angeordnete Auslösespule 4 ein entgegengesetzt gerichteter magnetischer Kraftfluß erzeugt wird, dessen Größe von einem Fehlerstrom abhängig ist. Tritt ein solcher Fehlerstrom auf, wird der vom Dauermagneten 3 ausgehende magnetische Kraftfluß ge schwächt und eine Rückzugfeder 5, welche am Anker 1 angreift, kann den Anker 1 vom Joch 2 abziehen und da durch einen zu überwachenden Stromkreis unterbrechen. Wenn in der Auslösespule 4 kein Strom fließt, stellt der Dauermagnet 3 den Anker 1 zurück, indem er ihn gegen das Joch 2 zieht. Um die Größe des Luftspaltes 6 zwischen dem Joch 2 und dem Anker 1 über lange Zeit konstant zu halten, tragen ihre dort liegenden Oberflächen eine dünne Schicht aus einem Hartstoff. Beispiele dafür sind nachstehend angegeben. Vorzugsweise wird eine Hartstoff schicht auf die betreffenden Oberflächen sowohl des Ankers 1 als auch des Joches 2 aufgetragen, nachdem diese plan geschliffen und poliert worden sind.

Beispiel 1

Zur PVD-Beschichtung werden die sorgfältig gereinigten Anker und Joche als zu beschichtende Substrate auf Halterungen in einer evakuierbaren Beschichtungskammer einer Vakuumbeschichtungsanlage deponiert. Die Kammer wird evakuiert und nach Erreichen eines Unterdruckes in der Größenordnung von 10^-6 mbar wird zum Sputter ätzen der Substrate Argon mit einem Druck von ca. 1×10^-2 mbar eingelassen. Unter Hochfrequenz wird bei etwa 1500 V 10 Minuten lang geätzt, wodurch die Oxidschichten auf den Substraten abgelöst werden. Nach Schaltung eines Titantargets als Kathode und Zugabe von etwa 5% Stick stoff wird für ca. 10 Minuten bei einer Leistung von etwa 10 W/cm² eine 0,5 µm starke Titannitrid-Schicht erzeugt. Während der Beschichtung findet keine Erwärmung durch eine Substratheizung statt; erhöhte Substrat temperaturen zwischen 150°C und 200°C sind haupt sächlich durch den Ionenbeschuß beim Sputterätzen bedingt. Durch die PVD-Beschichtung wird eine Ober flächenschicht aufgetragen, bei der im wesentlichen die Substratgeometrie bzw. Topographie abgebildet wird, d.h. es finden nur relativ kleine Änderungen der Mikrorauheiten statt. Die oben angegebenen Beschichtungszeiten beziehen sich auf den Betrieb mit feststehendem Substratträger, bei Durchlauf- oder Batchanlagen mit Trommelhalterung verlängern sich die Beschichtungszeiten entsprechend der gerade im Ein griff befindlichen Fläche (im Verhältnis zur Gesamt fläche der Substratträger).

Beispiel 2

Zur CVD-Beschichtung werden die sorgfältig gereinig ten Anker und Joche als zu beschichtende Substrate auf Halterungen einer evakuierbaren Beschichtungs kammer deponiert. Die Kammer wird evakuiert und nach Erreichen eines Grobvakuums von ca. 1 mbar Druck wird in die Kammer Wasserstoff eingeleitet und die Kam mer unter der Wasserstoffatmosphäre bei einem Druck von ca. 200 mbar auf 860°C aufgeheizt. Dann wer den Stickstoff und Titantetrachlorid (TiCl₄) in die Kammer eingeführt, wobei das Verhältnis von Wasser stoff zu Stickstoff etwa 3,5:1 beträgt, und es wird dabei ein Druck von 900 mbar in der Kammer eingestellt. Unter diesem Druck und der Temperatur von 860°C findet eine Abscheidung von Titannitrid auf den Substraten statt. Nach 25 min Beschichtungsdauer ist die Dicke der Titannitrid schicht auf 0,5 µm angewachsen. Die Kammer wird nun mit kaltem Argon gespult und abgekühlt und die beschichte ten Teile werden entnommen. Ihre Mikrorauheit ist gegenüber den unbeschichteten Teilen leicht erhöht.

Claims

1. Elektromagnetischer Auslöser für einen Fehlerstrom schutzschalter mit einem Anker und mit einem Joch, welche beide aus einem weichmagnetischen Werkstoff be stehen und bei geschlossenem Schalter mit ihren Polflächen unter Bildung eines minimalen Luftspaltes aneinander an liegen, wobei mindestens eine der Polflächen des Ankers und/oder mindestens eine der gegenüberliegenden Ober flächen des Joches eine dünne Schicht aus einem anderen Werkstoff aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus einem Hart stoff des Titans besteht und eine Härte von wenigstens 1000 HV aufweist, wobei Schichtdicken kleiner als 1 µm ausgenommen sind.

2. Auslöser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus Titan- Nitrid besteht.

3. Anwendung eines Aufdampfverfahrens zur Erzeugung einer aus Hartstoffen bestehenden Schicht auf dem Anker und/oder Joch eines Auslösers gemäß einem der vorstehenden Ansprüche.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Aufdampfverfahren ein PVD-Verfahren gewählt wird.

5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Aufdampfverfahren ein CVD-Verfahren gewählt wird.

6. Durch ein CVD-Verfahren hergestellter Auslöser nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberflächenrauhigkeit der aus dem Hartstoff bestehenden Schicht größer ist als die Rauhigkeit der bestehenden Oberflächen des Ankers bzw. des Joches vor der Beschichtung mit dem Hartstoff.

7. Elektromagnetischer Auslöser für einen Fehlerstromschutzschalter mit einem mit einem Anker und mit einem Joch, welche beide aus einem weichmagnetischen Werkstoff bestehen und bei geschlossenem Schalter mit ihren Polflächen unter Bildung eines minimalen Luftspaltes aneinander anliegen, wobei mindestens eine der Polflächen des Ankers und/oder mindestens eine der gegenüberliegenden Oberflächen des Joches eine dünne Schicht aus einem anderen Werkstoff aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus einem Hartstoff besteht, weniger als 1 µm dick ist und eine Härte von wenigstens 1000 HV aufweist.

8. Auslöser nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus Hartstoffen des Titans besteht.

9. Auslöser nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus Titan- Nitrid besteht.

10. Auslöser nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht zwischen 0,4 µm und 0,8 µm dick ist.

11. Anwendung eines Aufdampfverfahrens zur Erzeugung einer aus Hartstoffen bestehenden Schicht auf dem Anker und/oder Joch eines Auslösers gemäß einem der Ansprüche 7 bis 10.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß als Aufdampfverfahren ein PVD-Verfahren gewählt wird.

13. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß als Aufdampfverfahren ein CVD-Verfahren gewählt wird.

14. Durch ein CVD-Verfahren hergestellter Auslöser nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberflächenrauhigkeit der aus einem Hartstoff bestehenden Schicht größer ist als die Rauhigkeit der bestehenden Oberflächen des Ankers bzw. des Joches vor der Beschichtung mit dem Hartstoff.