DE3718908C1 - Intracavity-Multimoden-Laserspektrometer - Google Patents
Intracavity-Multimoden-LaserspektrometerInfo
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Description
Nach dem heutigen Stand der Technik ist es möglich, die Konzentration
von Spurengasen z. B. in Luft zu messen, indem man die
Stärke der zugehörigen Absorptionslinien dieses Stoffes mit
Licht mißt, weil in optisch dünnen Medien die Absorption proportional
zur Konzentration ist.
Die von einer Probe transmittierte Intensität wird dabei durch
das Beersche Absorptionsgesetz beschrieben:
I(w) = I o · e-k(w) · l (1)
Für Konzentrationsmessungen wird das Licht einer Lichtquelle
durch eine Probezelle bekannter Länge l geschickt. Am Ende dieser
Absorptionszelle, die das zu prüfende Gas enthält, mißt ein
Lichtdetektor die Restintensität des transmittierten Lichtes.
Bei Verwendung eines Spektrometers vor dem Lichtdetektor kann
man die stoffspezifischen Absorptionen mehrerer Spurengase mit
einer Messung erfassen. Die Empfindlichkeit der Messung hängt
von der benutzten Absorptionslänge l ab. Für l = 1 m lassen
sich Absorptionen nur von ca. k = 10-2 cm-1 bestimmen, was einer
sehr starken Spurengaskonzentration entspricht.
Um sehr niedrige Absorptionskoeffizienten k zu messen, ist es
nötig, die Absorptionslänge entsprechend zu vergrößern, damit
noch eine merkliche Intensitätsabnahme des Lichtes hinter der
Probe erreicht wird.
In sogenannten White-Zellen, in denen der Lichtweg durch die
Probe durch Vielfachreflexion verlängert wird, lassen sich bei
einer Baulänge von 50 cm maximal ca. 100 m Absorptionslänge realisieren
(2).
Wegen der großen Divergenz herkömmlicher Lichtquellen und deren
geringer spektralen Intensität, sowie wegen der geringen Transmission
(ca. 4%) einer solchen White-Zelle müssen verbesserte
Lichtquellen verwendet werden.
Diese sind z. B. Diodenlaser, Farbstofflaser, Farbzentrenlaser,
Festkörperlaser und Gaslaser. Um eine hohe spektrale Intensität
auf der zu untersuchenden Absorptionslinie zu erreichen und um
die Absorptionslinien verschiedener Spurengase voneinander
trennen zu können, sind diese Laser schmalbandig, frequenzstabilisiert
und abstimmbar (3).
Bei Verwendung einer White-Zelle mit 100facher Reflexion läßt
sich eine Absorption von k = 10-4 cm-1 ohne weiteres messen.
Wird zusätzlich die Absorption mit Hilfe der Modulationstechnik
nachgewiesen, kann die Nachweisempfindlichkeit bis etwa um den
Faktor 20 gesteigert werden. Die entsprechende Nachweisgrenze
liegt damit z. B. für NH₃ bei ca. 1 ppm (4) (5) (6).
Die größte realisierbare Absorptionslänge liegt, begrenzt durch
die Baugröße, die Reflektivität der Spiegel und durch die Laserstrahl-
Divergenz im Bereich von einem Kilometer. Die kleinste
mit dieser Methode meßbare Absorption liegt deshalb im Bereich
von k = 10-6 cm-1.
Eine prinzipiell andere Möglichkeit für eine Absorptionsmessung
ist die sog. Intracavity-Absorptions-Spektroskopie mit Vielmoden-
Lasern, deren Emissionsbreite erheblich größer ist als eine
Absorptionslinie des zu untersuchenden Stoffes (7) (8).
Bei dieser Methode bildet der Laser-Resonator die Vielfachreflexionszelle,
jedoch werden die breitbandigen Reflexionsverluste
und Transmissionsverluste durch die breitbandige Verstärkung
im aktiven Medium des Lasers kompensiert. Schmalbandige
Verluste durch ein Spurengas im Resonator produzieren einen
zeitlichen Abfall der Laserintensität auf der Absorptionsfrequenz
w:
I(w) = I o · e-k(w) · c · t (9)
c = Lichtgeschwindigkeit
t = Pulslänge des Laserlichtes
k = Absorptionskoeffizient des Spurengases
w = optische Frequenz der Absorption
I o = Laserintensität ohne Absorption
t = Pulslänge des Laserlichtes
k = Absorptionskoeffizient des Spurengases
w = optische Frequenz der Absorption
I o = Laserintensität ohne Absorption
Für den kontinuierlichen Betrieb wird die Empfindlichkeitsgrenze
durch das Quanten-Rauschen der Lasermoden oder durch
Modenkopplungsmechanismen bestimmt.
Die Grenze der maximalen Empfindlichkeit wird bei 10-9 cm-1 bis
10-12 cm-1 erwartet (9). Die Intracavity-Spektroskopie erlaubt
ebenfalls die Anwendung üblicher Rauschunterdrückungsmethoden,
z. B. der Modulationstechnik mit Lock-in-Nachweis, um die Grenze
der kleinsten nachweisbaren Intensitätsänderung in einer Breitbandlasermode
zu erniedrigen (10).
Wegen der wesentlich größeren Absorptionslängen, die sich in
einem Breitbandlaser erreichen lassen, ist die Empfindlichkeit
erheblich höher als die aller Geräte, die auf der klassischen
Spektroskopiemethode beruhen.
Für die Intracavity-Absorptionsspektroskopie mit Breitbandlasern
wurden bisher Farbstofflaser, Festkörperlaser und Farbzentrenlaser
vorgeschlagen und verwendet, die von entsprechenden
Pumplasern gepumpt werden (7-12).
Variiert man die Dauer der Pumppulse, so ändert sich nach dem
oben angegebenen Gesetz die Empfindlichkeit, so daß ohne eine
mechanische Änderung ein großer Empfindlichkeitsbereich erreicht
wird.
Die Intracavity-Spektroskopie mit Breitbandlasern ist jedoch
wegen der verwendeten Laser auf den Bereich von 0,3-1,0 Mikrometer
beschränkt, in denen die meisten kleinen Moleküle nur schwache
Absorptionslinien aufweisen und auf einzelne Gebiete des infraroten
Bereichs.
Die Technik der Absorptionsmessung mit einem abstimmbaren und
schmalbandigen Laser zusammen mit einer White-Zelle zeichnet
sich durch erhebliche Kompliziertheit im Gesamtaufbau aus. Die
Stabilisierung eines schmalbandigen Diodenlasers, der üblicherweise
dafür benutzt wird, erfordert aufwendige Regelungstechniken.
Die maximal mögliche Absorptionslänge, die man mit transportablen
White-Zellen erreichen kann, bleibt auf ca. 100 m beschränkt,
was ebenfalls die Meßempfindlichkeit begrenzt. Für
viele Anwendungen (z. B. bei meteorologischen Meßflügen mit Ballons)
ist es jedoch nötig, eine extreme Empfindlichkeit bei
gleichzeitiger Handlichkeit des Gerätes zu besitzen.
Will man die Konzentration mehrerer Spurengase in einer Probe
gleichzeitig bestimmen, muß für jedes Spurengas eine gesonderte
Laserquelle vorhanden sein, deren Strahlen zuerst mit dichroitischen
Spiegeln übereinandergelegt werden. Alle dabei verwendeten
Laser müssen frequenzstabilisiert sein (13).
Um den Empfindlichkeitsbereich des Gerätes zu verändern, müssen
mechanische Umbauten vorgenommen werden, wie z. B. der Austausch
der White-Zellen gegen eine einfache Absorptionszelle.
Insgesamt ist der Einsatz der Geräte durch ihre Größe, ihre
Kosten und ihr Gewicht stark begrenzt.
Trotz der wesentlich höheren Empfindlichkeit gilt dies insbesondere
für die Intracavity-Spektroskopie mit breitbandigen
Farbstofflasern oder Farbzentrenlasern. Die Pumplaser oder
Blitzlampen, die zum Betrieb des aktiven Mediums des Breitbandlasers
benötigt werden, sind Geräte von erheblichen Ausmaßen,
relativ geringer Lebensdauer und hoher Störanfälligkeit (8)
(11) (12) (14). Ebenso beschränkt der teilweise hohe Strom- und
Kühlwasserverbrauch deren Benutzung auf den Laborbereich.
Die Intracavity-Spektroskopie mit Breitbandlasern ist nur in
einigen Wellenlängenbereichen möglich, den Farbzentrenlaser im
infraroten Bereich überdecken oder im Wellenlängenbereich der
Farbstofflaser, der von ca. 300 nm bis zu 1000 nm reicht.
Viele Farbzentrenlaser können jedoch nur mit kurzen Pulsen betrieben
werden oder sie kondensieren relativ schnell auf wenige
Moden, so daß die Nachweisempfindlichkeit stark begrenzt ist
(15). Die stärksten Absorptionslinien aller Moleküle liegen
aber im infraroten oder im fernen infraroten Bereich, so daß
sich Farbstofflaser oder Farbzentrenlaser nur wenig eignen.
Erfindungsgemäße Aufgabe ist die Verbesserung der Meßtechnik
zur Erfassung von Spurengasen sowie zur Messung der Konzentration
von Spurenstoffen in Flüssigkeiten und Festkörpern oder
dünnen Adsorbatschichten.
Ein miniaturisierter Spurenstoffdetektor, der alle bisher verfügbaren
Meßverfahren in der Empfindlichkeit weit übertrifft,
bzw. der den Wellenlängenbereich der Messung zugänglich macht,
in dem sich alle wichtigen Molekülresonanzen befinden, bedeutet
einen entscheidenden Fortschritt für das Gebiet der Umweltüberwachung
(Emissionen von Kraftwerken, von chemischer Industrie,
für die Behörde für Umweltschutz, Innenraumklimaüberwachung,
Fahrzeugemissionen, Mehrkomponenten-Abgasanalyse von Automobilen
zwecks Motorenregelung usw.).
Es sind jedoch auch andere weitreichende Einsatzmöglichkeiten
gegeben. Empfindlichere und vielseitigere verbilligte Detektoren
können zur ortsaufgelösten Plasmaanalyse und Plasmatemperaturmessung
ohne Streulichtuntergrund sowie zur Kontrolle der
genauen Umgebungsluftzusammensetzung während der Produktion von
integrierten elektronischen und optischen Schaltungen verwendet
werden.
Ein Detektor, dessen Empfindlichkeit rein elektronisch über
weite Bereiche gesteuert werden kann, kann in sehr vielfältigen
Einsatzgebieten genutzt werden: Automatische Gasanalyse zur
Steuerung von Syntheseprozessen, Isotopennachweis und -trennung,
Einsatz in der meteorologischen Forschung für Meßflüge
bei geringem Gewicht und kleinen Ausmaßen, Beobachtung schwacher
oder nichtlinearer Übergänge von Atomen und Molekülen in
der Forschung.
Bei dem erfindungsgemäßen Intracavity-Multimoden-Laserspektrometer
wird das Prinzip der Intracavity-Absorptions-Spektroskopie
mit breitbandigen Vielmodenlasern auf die Halbleiterlaser
übertragen. Der Vielmodenbetrieb wird z. B. erreicht, durch ein
vollständiges Entspiegeln der Austrittsflächen des Lichtes aus
dem Halbleiterlasermaterial. Das aktive Halbleitermedium wird
in einem externen Resonator betrieben, der eine hohe Güte besitzt
und der frei von dispersiven Elementen ist. Die reflexionsfreie
Ankopplung des Halbleiters erreicht man durch die Entspiegelung
der Lichteintritts- und Austrittsflächen des Halbleiters.
Diese Entspiegelung wiederum wird erreicht durch das
Aufdampfen von dielektrischen Schichten (16). Eine andere Möglichkeit
ist der Lichtaustritt unter Brewster-Winkel aus dem
aktiven Medium. Weiterhin lassen sich beide Möglichkeiten kombinieren.
Die Bilder 1-9 zeigen mehrere mögliche Anwendungsmöglichkeiten
desselben Meßprinzips.
Bild 1 zeigt einen linearen Resonator, der aus zwei Spiegeln
besteht (ES und AS). Der Halbleiterlaser (HL) befindet sich,
als verstärkendes Medium benutzt, in der Mitte der Anordnung.
Zwei Linsen bringen den oszillierenden Strahl in die gewünschte
Form. Alle Flächen im Resonator, außer denen von ES und AS,
sind entspiegelt, um Interferenzstrukturen im Ausgangsspektrum
zu vermeiden. Der Resonator besitzt eine hohe Güte, um die Zahl
der Moden, die über der Laserschwelle liegen, zu erhöhen. Das
Spektrum des emittierten Lichtes, das die schmalbandigen Absorptionslinien
des Spurengases enthält, wird einem Spektrometer
mit Detektor zugeführt.
Bild 2 Der eine Resonator-Endspiegel (ES) ist durch Verspiegeln
der einen Austrittsfläche aus dem Halbleiter realisiert.
Bild 3 Die Strahlformungslinse wird durch einen Auskoppel-
Hohlspiegel ersetzt.
Bild 4 Der Auskoppel-Hohlspiegel ist durch einen Parabolspiegel
und einen ebenen Auskoppelspiegel ersetzt, um den Laserresonator
beliebig verlängern zu können, ohne die Spiegel
vergrößern zu müssen.
Bild 5 Die Austrittsfläche des Lichtes aus dem Halbleitermaterial
ist entspiegelt, indem sie unter Brewster-Winkel angestellt
wurde.
Bild 6 Ein intensiver schmalbandiger Laser wird z. B. mit einer
Glasfaser in den Resonator gestrahlt, um eine Besetzung von
oberen und virtuellen Niveaus im Spurengas zu erreichen. Der
Breitband-Laser kann damit Zweiphoton-Übergänge im Spurengas
detektieren. Wird der schmalbandige Laser auf die Frequenz des
Überganges zu einem reellen Niveau gestimmt, kann der Breitbandlaser
Zweistufen-Einphoton-Absorptionen detektieren. Diese
beiden Techniken erweitern den Wellenlängenbereich des Nachweises
von Absorptionen in den kurzwelligen Bereich, der z. B. für
die Detektion von Schwermetallen erforderlich ist.
Bild 7 Ein Ringlaser-Resonator mit Glasfasern, bei dem die zugängliche
Probenzelle zwischen zwei Fokussierlinsen liegt.
Bild 8 Das elektromagnetische Feld des oszillierenden Lichtes,
das sich zu einem Teil auch außerhalb der Glasfaser befindet,
wird durch Spurengasmoleküle beeinflußt. Damit wird dessen Konzentration
im Nahbereich der Faser oder die Adsorption auf der
Faser gemessen.
Bild 9 Beispiel eines vollständig integrierten IMMLS. Die
Absorptionsmessung geschieht mit demselben Prinzip wie in
Bild 8.
Bild 10 Benutzung von zwei oder mehreren Halbleitermedien im
selben Resonator, um durch Verbreiterung des spektralen Bereichs
der Lasertätigkeit mehrere Spurengase in derselben Probe
gleichzeitig detektieren können.
Die Information über die Konzentration und Spurenstoffart kann
mit Hilfe der folgenden bekannten Techniken aus dem emittierten
Spektrum gewonnen werden.
Spektrograph und Film
Spektrograph und Photodioden-Zeile (oder sog. OMA)
Fourierspektrometer und Photodetektoren (Photodioden, Multiplier usw.)
Akustooptischer Nachweis
Fluoreszenznachweis
Optogalvanischer Nachweis
Photothermischer Nachweis
Monochromator und Detektor
Monochromator, Detektor und Lock-in-Verstärker
Spektrograph und Photodioden-Zeile (oder sog. OMA)
Fourierspektrometer und Photodetektoren (Photodioden, Multiplier usw.)
Akustooptischer Nachweis
Fluoreszenznachweis
Optogalvanischer Nachweis
Photothermischer Nachweis
Monochromator und Detektor
Monochromator, Detektor und Lock-in-Verstärker
Diodenlaser sind im ganzen spektralen Bereich zwischen 0,4 und
30 Mikrometer verfügbar. Damit transferiert das IMMLS bei mechanischer
Einfachheit und kleiner, leichter Bauweise die bekannte
extreme Empfindlichkeit der Intracavity-Spektroskopie
mit Breitbandlasern in den infraroten Wellenlängenbereich, der
die Vibrationsresonanzen aller wichtigen Moleküle enthält. In
diesem Bereich wird die Empfindlichkeit des IMMLS von keiner
anderen Methode übertroffen.
Ein IMMLS erfordert trotz geringer thermischer und stromabhängiger
Drift des Verstärkungsmaximums keine aufwendige Temperatur-
oder Stromstabilisierung. Es genügt eine einfache Peltierkühlung
und eine einfache Stromregelung.
Die Empfindlichkeit des Spektrometers läßt sich variieren nur
durch die Pulslängenveränderung seiner Betriebsspannung, d. h.
ohne jede mechanische Änderung rein elektronisch. Damit läßt
sich eine einfache automatische Anpassung der benötigten Empfindlichkeit
an die jeweilige Spurengas-Konzentration erreichen.
Dadurch, daß der Resonator eines Halbleiter-Breitbandlasers
sehr kompakt aufgebaut werden kann (im Vergleich zu anderen Intracavity-
Breitband-Spektrometern), ist er viel weniger anfällig
gegen mechanische Vibrationen und braucht keine weitere
Resonatorlängen-Regelung.
Das Prinzip des Spektrometers ist mit den üblichen Techniken
kompatibel, die zur Verbesserung des Signal-zu-Rausch-Verhältnisses
angewendet werden können (Modulation und Lock-in-Nachweis).
Bei Benutzung starker Übergänge und bei gleichzeitiger
Anwendung von Modulationstechniken können im Extremfall wenige
oder gar einzelne Teilchen nachgewiesen werden, die sich im
Resonator befinden. Dies bedeutet die letzte Grenze einer Konzentrationsmessung
überhaupt.
Die Auswertung der Spektren und die Ermittlung der Spurengas-
Konzentration kann mit den üblichen Mitteln geschehen, die bei
der Messung mit einer White-Zelle benutzt werden (17).
Das Spektrometer ist im Gegensatz zu Aufbauten, die eine White-
Zelle benutzen, für die integrierte Optik verwendbar.
Das Spektrometer ist zur Bestimmung der Spurenstoff-Konzentration
in Adsorbaten verwendbar.
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Claims (4)
1. Intracavity-Multimoden-Laserspektrometer als Vorrichtung
zur Messung schmaler und schwacher optischer Resonanzen innerhalb
eines nicht wellenlängenselektiven optischen Resonators
mit nichtreflektierendem breitbandigem Lichtverstärker-
Medium, dadurch gekennzeichnet,
daß als lichtverstärkendes Medium ein Halbleiterlaser
dient.
2. Intracavity-Multimoden-Laserspektrometer nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das lichtverstärkende Halbleitermedium in einem
externen Resonator betrieben wird.
3. Intracavity-Multimoden-Laserspektrometer nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichteintritts- und Lichtaustrittsflächen des
Halbleiters entspiegelt sind durch aufgedampfte dielektrische
Schichten.
4. Intracavity-Multimoden-Laserspektrometer nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichteintritts- und Austrittsflächen des
Halbleiters entspiegelt sind durch Lichteintritt und
Lichtaustritt unter Brewster-Winkel.
Priority Applications (3)
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