DE3714144C2 - Verfahren zum chemischen Trockenätzen - Google Patents
Verfahren zum chemischen TrockenätzenInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Trockenätzen eines Silizium
nitridfilms mit hoher Selektivität in bezug auf einen
Siliziumdioxidfilm
wie es bei der Herstellung eines Halb
leiters benutzt wird.
Ein derartiges Verfahren ist aus der
DE 31 25 054 A1 bekannt.
Bei bekannten Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterele
mentes wird ein Si3N4-Film durch Trockenätzen - abge
kürzt CDE - geätzt, wobei man üblicherweise eine Gasmischung aus CF4
+ O2 oder CF4 + O2 + N2 benutzt. Bei dem CDE-Verfahren
wird der Si3N4-Film mit einer hohen Geschwindigkeit geätzt.
Um zu vermeiden, daß das mit dem Si3N4-Film überzogene
Siliziumsubstrat geätzt wird, überzieht man die Oberfläche
des Siliziumsubstrates mit einem SiO2-Film. Die Dicke
des zum Überziehen benutzten SiO2-Films wird in Berück
sichtigung des Ätzgeschwindigkeits-Verhältnisses zwischen
Si3N4 und SiO2 und verschiedener Ätzgeschwindigkeiten
auf einem einzelnen Substrat oder zwischen mehreren Sub
straten aufgrund verschiedener Orte und den Substraten
bestimmt. Das Ätzgeschwindigkeits-Verhältnis, d. h. die
Selektivität von Si3N4/SiO2 beim Trockenätzen ist höchstens
10. Ist auf der Oberfläche des mit SiO2 überzogenen Silizium
substrates eine Stufe vorhanden, dann ist die Ätzgeschwindig
keit des SiO2 an dem Stufenteil größer als die auf einem
flachen Abschnitt. Da das Ätzen entsprechend der höheren
Geschwindigkeit erfolgt, wird die effektive Selektivität
kleiner.
Es sei angenommen, daß als zu ätzendes Substrat ein Si
liziumsubstrat 51 benutzt wird, in dem ein Graben 52 mit
einem großen Verhältnis von Durchmesser zu Tiefe gebildet
ist, wie in Fig. 3A gezeigt. Innerhalb des Grabens 52
ist ein SiO2-Film 53 gebildet. Die Oberfläche des Substrates
51 ist mit SiO2-Film 53 und Si3N4-Film 54 in der genannten
Reihenfolge überzogen. Der SiO2-Film 53 ist an den oberen
und unteren Ecken 55 und 56 des Grabens 52 dünn. Wenn
daher der Si3N4-Film 54 in einer Tiefe geätzt wird, die
der Dicke des SiO2-Films 53 mit Ausnahme der Ecken 55
und 56 entspricht, dann ist der SiO2-Film 53 an den Ecken
55 und 56 vollständig weggeätzt, und das darunterliegende
Siliziumsubstrat 51 wird manchmal in unerwünschter Weise
geätzt, wie in Fig. 3B gezeigt. Wenn daher das zu ätzende
Substrat derartige Ecken aufweist, wird die Ätzgeschwindig
keit beziehungsweise Ätzrate von Si3N4 relativ vermindert.
In diesem Falle beträgt die Selektivität von Si3N4/SiO2
etwa 3. Soll der Si3N4-Film gleichmäßig geätzt werden,
kann ein Überätzen auftreten. Der SiO2-Film muß daher
um das Ausmaß des Überätzens dicker ausgebildet werden.
Um daher einen 2 × 102 nm dicken Si3N4-Film ohne Beschädigung
eines Substrates zu ätzen, muß die Dicke eines SiO2-Films
etwa 102 nm betragen. Um einen derart dicken Film auf
einem Substrat mit einem Kanal auszubilden, ist ein großer
Kanal erforderlich, der zu einer Schwächung des Substrates
führt. Bei der Bildung eines dicken SiO2-Films treten
auch verschiedene Probleme auf. Setzt man ein Substrat
zur Bildung eines SiO2-Filmes einer hohen Temperatur aus,
dann kann bei der Herstellung von Mikroelementen ein vor
handenes Verunreinigungsprofil zerstört werden. Ein SiO2-
Film, der dick genug ist, um eine ausreichende Ätzbeständig
keit aufzuweisen, kann daher nicht durch thermische Oxidation
gebildet werden.
Andererseits hat ein bei tiefer Temperatur gebildeter
SiO2-Film eine schlechtere Ätzbeständigkeit als ein durch
thermische Oxidation gebildeter SiO2-Film und ist deshalb
als Schutzfilm beim Ätzen nicht brauchbar.
Beim Ätzen von Si3N4 mit heißer Phosphorsäurelösung hat
man eine hohe Selektivität von Si3N4/SiO2. Die Ätzrate
des Si3N4 beträgt bei diesem Verfahren jedoch nur wenige
nm/min, was zu einer geringen Produktivität führt. Außerdem
ist es sehr schwierig, verschiedene Bedingungen, wie die
Temperatur einer Ätzlösung während des Ätzens zu steuern
oder die Ätzlösung zu erhalten. Aus diesem Grunde ist
bisher kein besseres Verfahren als das Trockenätzen vor
geschlagen worden.
Die gattungsbildende DE 31 25 054 A1 beschreibt ein Verfahren
zur Herstellung einer Halbleiteranordnung, bei dem Silizium
nitrid und Siliziumoxidschichten durch Kontaktierung der
Schichten mit Bestandteilen eines in einer Gasmischung gebil
deten Plasmas geätzt werden, wobei die Gasmischung eine Fluor-
und eine Sauerstoffverbindung enthält. Durch Zusatz einer gas
förmigen Verbindung, die ein von Fluor abweichendes Halogen
enthält, kann die Ätzselektivität erhöht werden. Die ein von
Fluor abweichendes Halogen enthaltende gasförmige Verbindung
wird zusammen mit der Fluor und Sauerstoff enthaltenden
Gasmischung angeregt.
Ferner wird in "Solid State Technology", März 1984, Seiten
172-175, Stickstofftrifluorid als geeignetes Ätzmittel für das
selektive Ätzen von Silizium bezüglich Siliziumdioxid be
schrieben, da es hohe Ätzgeschwindigkeit und gute Selektivität
aufweist.
Aus "Solid State Technology", März 1985, Seiten 123-127 ist
bekannt, daß Chlor- und Bromatome für ein anisotropes Plasma-
Ätzen von Silizium in hohem Maße geeignet sind.
Die DE 28 14 028 A1 beschreibt ein Verfahren zum Trockenätzen,
bei dem eine Gasmischung, die Fluor- und Sauerstoffatome ent
hält, in einem von dem Gefäß, in dem das Trockenätzen erfolgt,
verschiedenen und beabstandeten Bereich angeregt und dann in
das Gefäß eingeleitet wird.
Die EP 0 168 768 A1 beschreibt eine Trockenätzvorrichtung, die
eine Vorrichtung zur Erzeugung einer metastabilen, angeregten
Gasspezies, z. B. Stickstoff oder Edelgas, eine Vorrichtung zur
Übertragung des Gases in die Reaktionskammer, in der sich das
zu ätzende Substrat befindet, und eine Vorrichtung zur Einfüh
rung eines reaktiven Gases zum Ätzen in die Reaktionskammer
umfaßt.
Die vorliegende Erfindung hat
als Aufgabe die Schaffung
eines Trockenätzverfahrens, bei dem die Ätzrate bzw. Ätz
geschwindigkeit eines Siliziumnitridfilms hoch ist
und das eine hohe Ätzselektivität eines Siliziumnitridfilms in
bezug auf einen Siliziumdioxidfilm aufweist.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 gelöst.
Ein Merkmal der vorliegenden Erfindung ist das folgende:
Bei einem Verfahren zum Trockenätzen, bei dem das Ätzen
das Anregen eines Fluor enthaltenden Gases in einem sich
von einem Gefäß verschiedenen Bereich umfaßt und das
Gefäß das zu ätzende Substrat enthält und bei dem man
die erzeugten Fluoratome dem zu ätzenden Substrat zuführt,
wird ein Fluor und nicht angeregtes Chlor oder Brom enthaltendes Gas benutzt.
Das Fluor enthaltende Gas wird in einem von dem das zu ätzende Substrat
enthaltenden Gefäß verschiedenen und beabstandeten Bereich angeregt,
und dient so als eine aktive Art. Das erhaltene Gas wird
dem zu ätzenden Substrat zugeleitet und ätzt einen Silizium
nitridfilm mit hoher Selektivität in bezug auf einen
Siliziumdioxidfilm.
Bei einem CDE-Verfahren, bei dem ein Fluor enthaltendes
Gas benutzt wird, ist, wie oben ausgeführt, die Ätzrate
eines Siliziumnitridfilms hoch, doch ist die Selektivität
mit Bezug auf einen Siliziumdioxidfilm gering. Es ist bekannt,
daß die Selekti
vität verbessert wird, wenn andere Halogene als Fluor
in dem Gas enthalten sind. Der Mechanismus dieser Wirkung
wird noch nicht voll verstanden. Wenn jedoch ein anderes
Halogen als Fluor hinzugefügt wird, wie Cl2 oder Br2,
dann ist, obwohl die Ätzraten sowohl des Siliziumnitrid-
als auch des Siliziumdioxidfilms vermindert sind, die
Verminderung der Ätzrate des Siliziumdioxidfilms größer
als die des Siliziumnitridfilms (wie noch näher erläutert
wird).
In der vorliegenden Erfindung wurde erkannt, daß die Selektivität weiter verbessert wird, wenn
eine Gasmischung aus einem Fluor enthaltenden
Gas und Chlor oder Brom verwendet
wird und das Chlor oder Brom
ohne angeregt zu werden
zusammen mit dem Fluor enthaltenden Gas in das Gefäß einge
leitet wird.
Das
Fluor enthaltende Gas für die obige Gasmischung wird in
einem vom Gefäß unterschiedlichen Bereich angeregt. Als
Verbindung kann ClF, ClF3, BrF, BrF3, BrF5 oder JF5 einge
setzt werden. Als Fluor enthaltendes Gas für die Gasmischung
kann man eine Gasmischung aus CF4 + O2 oder NF3 benutzen.
Für das andere Halogene als Fluor enthaltende Gas für
die Gasmischung wird Cl2 oder Br2 eingesetzt. Im Falle
der Gasmischung kann das andere Halogene als Fluor ent
haltende Gas vor dem, gleichzeitig mit oder nach dem Fluor
enthaltenden Gas in das Gefäß eingeleitet werden.
Während des Ätzens ist der Gasdruck vorzugsweise etwa
27 Pa (0,2 Torr) oder mehr und das zu ätzende Substrat
hat eine Temperatur von vorzugsweise 40°C oder weniger.
Eine Vorrichtung
zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens zum
Trockenätzen umfaßt ein Gefäß zur Aufnahme des zu ätzenden
Substrates, wobei auf dem Substrat erst ein Sili
ziumdioxidfilm und dann ein Siliziumnitridfilm gebildet
wird. Die Vorrichtung umfaßt weiter eine Einrichtung zum
Anregen eines zumindest Fluor enthaltenden Gases in einem
von dem Gefäß verschiedenen und beabstandeten Bereich, eine Einrichtung
zum Zuführen einer durch die Anregung erzeugten aktiven
Art des Fluors in das Gefäß, eine Einrichtung, um ein andere
Halogene als Fluor enthaltendes Gas zuzuführen und eine
Einrichtung zum Evakuieren des Gefäßes.
Bei dieser Vorrichtung kann das Gefäß zur Aufnahme des
zu ätzenden Substrates einem ersten Gefäßes entsprechen,
und die Vorrichtung kann ein zweites Gefäß umfassen, das
über ein Vakuumventil mit dem ersten Gefäß in Verbindung
steht, wobei die Vorrichtung weiter eine Einrichtung zum
Evakuieren des zweiten Gefäßes unabhängig vom ersten Gefäß
und eine Einrichtung zum Transportieren des zu ätzenden
Substrates zwischen dem ersten und dem zweiten Gefäß umfaßt.
Es können auch mehrere zweite Gefäße vorhanden sein, die
jeweils über Vakuumventile mit dem ersten Gefäß in Verbindung
stehen. Das Gefäß zur Aufnahme des Substrates kann eine
Kühleinrichtung aufweisen, um die Temperatur während des
Ätzens zu steuern. Wird das zweite Gefäß mit einer Einrich
tung zum Erhitzen des zu ätzenden Substrates versehen,
dann kann restliches Halogengas oder ähnliches, das an
der Oberfläche des zu ätzenden Substrates haftet, entfernt
werden.
Im folgenden wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die
Zeichnung näher erläutert. Im einzelnen zeigen
Fig. 1 und 2 graphische Darstellungen der Änderungen
in den Ätzraten von Si3N4 und SiO2 in bezug auf die Strö
mungsgeschwindigkeiten von Cl2 bzw. Br2;
Fig. 3A und 3B Querschnitte eines nach einem üblichen
Verfahren zu ätzenden Substrates;
Fig. 4A und 4B Querschnitte eines nach dem Verfahren
des Beispiels 1 der vorliegenden Erfindung zu ätzenden
Substrates;
Fig. 5 und 6 schematische Ansichten einer Vorrichtung
zum Trockenätzen gemäß den Beispielen 1 und 2 der vorliegen
den Erfindung;
Fig. 7 eine graphische Darstellung der Beziehung zwischen
der Ätzzeit und der Substrattemperatur;
Fig. 8 eine graphische Darstellung der Beziehung zwischen
der Ätzrate von Si3N4 und SiO2 und der Temperatur des
Substrates; und
Fig. 9 eine graphische Darstellung der Beziehung zwischen
dem Druck und der Si3N4/SiO2-Selektivität.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 5 wird im folgenden zunächst eine
Vorrichtung zum Trocken
ätzen nach der vorliegenden Erfindung näher erläutert.
Ein Probentisch 13, der mehrere zu ätzende Scheiben 12
aufnimmt, ist in einem ersten Gefäß 11 angeordnet, das
als Reaktorkammer dient. Ein Gaseinlaß 14 zur Zuführung
von Fluoratomen befindet sich am Oberteil des Gefäßes
11 und ist mit einem Entladungsrohr 15 zum Transport von Fluoratomen
verbunden. Einem mit der Mitte des Rohres 15 verbundenen Applikator 18
werden von einem Mikrowellengenerator 16 über eine Mikro
wellenleitung 17 Mikrowellen zugeführt. Ein Gas (das Fluor
enthält) und das von einer Gasaufnahme 19 kommt, erzeugt
eine Mikrowellenentladung und wird beim Appliktor 18
angeregt. Dabei wird eine aktive Art (Fluor-Radikale)
des zugeführten Fluors erzeugt und in das Gefäß 11 geleitet.
Zusätzlich zum Gaseinlaß 14 befindet sich ein Gaseinlaß
20 am Oberteil des Gefäßes 11. Durch den Einlaß 20 gelangt
ein anderes Halogengas als Fluor, nämlich Cl₂ oder Br₂ in
das Gefäß 11. Durch den Gasauslaß 21 wird das Gefäß
11 evakuiert.
In der Darstellung der Fig. 5 auf der rechten Seite des
ersten Gefäßes 11 ist ein zweites Gefäß 23 angeordnet,
das über den Gasschieber 22 damit in Verbindung steht.
Das Gefäß 23 weist einen Gasauslaß 24 auf, so daß das
Gefäß 23 unabhängig vom Gefäß 11 evakuiert werden kann.
Ein Gasschieber 25 zum Abschluß des Gefäßes 23 gegenüber
der Außenseite ist auf der rechten Seite des Gefäßes 23
vorhanden. Ein erster Transportmechanismus 26 zum Transpor
tieren des Tisches 13 ist innerhalb des Gefäßes 23 vorhanden.
Der Mechanismus 26 transportiert den Tisch 13 bei offenem
Schieber 22 zwischen dem ersten und dem zweiten Gefäß
11 bzw. 23.
Ein drittes Gefäß 28 ist in der Darstellung der Fig.
5 auf der linken Seite des Gefäßes 11 angeordnet und steht
damit über einen Gasschieber 27 in Verbindung. Das Gefäß
28 weist einen Gasauslaß 29 auf, so daß das Gefäß 28 unab
hängig vom Gefäß 11 evakuiert werden kann. Um das Gefäß
28 von der Außenseite abzuschließen, ist die linke Seite
des Gefäßes 28 mit einem Gasschieber 30 versehen. Innerhalb
des Gefäßes 28 befindet sich ein zweiter Transportmechanis
mus 31 zum Transportieren des Tisches 13. Bei geöffnetem
Schieber 27 transportiert der Mechanismus 31 den Tisch
13 zwischen dem ersten und dem dritten Gefäß 11 bzw. 28.
Das Gefäß 28 weist auf seiner Außenseite eine Heizeinrichtung
32 zum Erhitzen von innerhalb des Gefäßes 28 befindlichen
Scheiben 12 auf.
Die Erfindung wird im folgenden anhand von Beispielen
näher erläutert.
Im folgenden wird ein unter Einsatz der vorherbeschriebenen
Vorrichtung durchgeführtes Ätzverfahren beschrieben. Bei
diesem Beispiel wird NF3 als Fluor enthaltendes Gas und
Cl2 als weiteres Gas eingesetzt.
Die Gasschieber 22, 25, 27 und 30 sind alle geschlossen
und die Gefäße 11, 23 und 28 sind alle evakuiert. Nach
dem Öffnen des Schiebers 25 ist das zweite Gefäß 23 der
umgebenden Atmosphäre ausgesetzt und ein Probentisch 13,
der mehrere zu ätzende Scheiben 12 aufweist, wird in dem
Gefäß 23 angeordnet. Dann schließt man den Schieber 25
und evakuiert das Gefäß 23 durch den Gasauslaß 24. Nach
dem Öffnen des Ventils 22 wird der Tisch 13 durch den
Transportmechanismus 26 in das erste Gefäß 11 überführt
und danach der Schieber 22 geschlossen. Nach dem vorbeschrie
benen Verfahren werden dann die nächsten Scheiben 12 im
Gefäß 23 angeordnet.
NF3-Gas wird durch die Gasaufnahme 19 zugeführt und im
Entladungsrohr 15 mit Mikrowellen bestrahlt, um aktives
Fluor zu erzeugen, das durch den Gaseinlaß 14 dem Gefäß
11 zugeführt wird. Gleichzeitig leitet man durch den Gas
einlaß 20 Cl2-Gas ohne Anregung in das Gefäß 11. Das Gas
tritt mit einer konstanten Strömungsgeschwindigkeit aus
dem Gasauslaß 21 aus und das CDE der Scheiben 12 erfolgt
unter Aufrechterhaltung eines vorbestimmten Gasdruckes
im Gefäß 11.
Nachdem das Ätzen abgeschlossen ist, wird die Zufuhr des
obigen Gases beendet und das Gefäß 11 evakuiert. Der Schie
ber 27 wird geöffnet, nachdem das Gefäß 11 vollständig
evakuiert ist. Durch den zweiten Transportmechanismus
31 transportiert man den Tisch 13 in das dritte Gefäß
28 und schließt den Schieber 27 wieder. Die im dritten
Gefäß 28 befindlichen Scheiben 12 werden durch die Heiz
einrichtung 32 erhitzt. Durch dieses Erhitzen kann rest
liches Halogengas oder ähnliches, das an den Oberflächen
der Scheiben 12 haftet, entfernt werden. Dann öffnet man
den Schieber 30, um das Gefäß 28 der umgebenden Atmosphäre
auszusetzen und nimmt den Tisch 13 heraus. Somit sind
alle Ätzstufen der Scheiben 12 abgeschlossen.
Durch Wiederholen der obigen Operation können mehrere
Scheibensätze ohne Vergeudung von Zeit geätzt werden.
Das Innere des Gefäßes 11 wird der äußeren Atmosphäre
nicht ausgesetzt, was eine leichte Instandhaltung der
Vorrichtung gestattet. Würde restliches Halogengas, wie
Cl2 oder Br2, das in das Gefäß 11 geleitet wurde, der
äußeren Atmosphäre ausgesetzt, dann könnte das Material,
das das Gefäß 11 bildet, durch Umsetzung mit dem restlichen
Halogengas und Wasser in der Atmosphäre in unerwünschter
Weise korrodiert werden.
Im folgenden wird der Grund beschrieben, aus dem das
Cl2 oder Br2
durch den Einlaß 20 zugeführt wird. Die Fig. 1 zeigt
Änderungen in den Ätzraten von Si3N4 und SiO2, wenn man
die Zufuhr von NF3 bei 36 cm3/min
("sccm") hält und die Strömungsgeschwindigkeit
von Cl2 ändert. Der Gesamtdruck innerhalb des Gefäßes
wurde bei etwa 27 Pa
gehalten. Wird Cl2 zugeführt, dann erhöht
sich die Ätzgeschwindigkeit des Si3N4 anfänglich, vermindert
sich dann aber, während die Ätzgeschwindigkeit von SiO2
durchgehend vermindert wird. Das Ätzverhältnis wird bei
Zugabe von Cl2 durchgehend erhöht, weil die Verminderung
der Ätzrate des SiO2 größer ist als die des Si3N4. Bei
Strömungsgeschwindigkeiten von Cl2 von 20 cm3/min oder
mehr bzw. 56 cm3/min (jeweils unter Normalbedingungen)
oder mehr betragen die Selektivitäten 10 oder mehr bzw.
50 oder mehr. Erhöht man daher die zugeführte Menge an
Cl2, dann kann das Verhältnis der Ätzgeschwindigkeit von
Si3N4 in bezug auf SiO2 ausreichend erhöht werden.
Fig. 2 zeigt die Änderungen in den Ätzgeschwindigkeiten
von Si3N4 und SiO2, wenn die Strömungsgeschwindigkeit
von NF3 bei 40 cm3/min (unter Standardbedingungen) gehalten
und die Strömungsgeschwindigkeit von Br2, das als
weiteres Gas benutzt wird, variiert
wird. Der Gesamtdruck innerhalb des Gefäßes wird wieder
bei etwa 27 Pa gehalten. Wie die Fig. 2 zeigt,
erhöht sich das Verhältnis der Ätzraten durchgehend bei Zufuhr
von Br2. Dies ergibt sich aus einer stärkeren Verminderung
der Ätzgeschwindigkeit von SiO2 als von Si3N4. Bei einer
Strömungsgeschwindigkeit von 20 cm3/min (Standardbedingungen)
beträgt die Selektivität 40 oder mehr. Durch Zugabe von
Br2 kann daher das Ätzverhältnis von Si3N4 mit Bezug auf
SiO2 ausreichend erhöht werden.
Die in Fig. 4A gezeigte Scheibe wird bei Strömungsgeschwin
digkeiten von NF3 bzw. Cl2 von 36 bzw. 56 cm3/min (Standard
bedingungen) und einem Gesamtdruck im Gefäß von etwa 27
Pa, wie mit Bezug auf Fig. 1 beschrieben,
geätzt. Die dargestellte Scheibe entspricht der in Fig. 3A
gezeigten Scheibe. Es ist ein Graben 42 mit einem hohen
Verhältnis zwischen Durchmesser und Tiefe in der Oberfläche
des Siliziumsubstrates 41 gebildet. Innerhalb des Grabens
42 und auf der Oberfläche des Substrates ist ein 20 nm
dicker SiO2-Film 43 gebildet, und die Substrat
oberfläche ist weiter mit einem 180 nm dicken
Si3N4-Film 44 überzogen. Wird die überzogene Scheibe unter
den obigen Bedingungen geätzt, dann wird der Si3N4-Film
wirksam entfernt, das Siliziumsubstrat an den Ecken 45
und 46 (vergl. Fig. 4B) nicht geätzt.
Beim CDE unter Verwendung von NF3 kann das Verhältnis
der Ätzraten von Si3N4 mit Bezug auf SiO2 durch Zugabe
von Cl2-Gas ausreichend erhöht werden. Der Si3N4-Film
kann daher selbst dann entfernt werden, wenn der die
Oberfläche schützende SiO2-Film dünn ist, was zu einer
großen Verbesserung beim Herstellungsverfahren des Halblei
ters führt.
Das Verfahren ist besonders wirksam, wenn ein Si3N4-Film
von einer Probe entfernt wird, auf der in einem Graben
nur ein dünner Oxidfilm gebildet werden kann. Da der gebilde
te Oxidfilm dünn sein kann, kann man nach diesem Verfahren
eine Störung des Verunreinigungsprofils während der Bildung
des Oxidfilms vermeiden. Außerdem wird die für das Ätzen
erforderliche Zeit verkürzt, was die Produktivität stark
erhöht. Schließlich ist das Verfahren leicht auszuführen
und kann daher leicht kontrolliert oder überwacht werden.
Wie in Beispiel 1 beschrieben, können beim CDE unter Ver
wendung von Fluoratomen als Ätzmittel bei Zugabe von Cl₂ oder
Br₂ und geeignet ausgewählte Gas-
Strömungsgeschwindigkeiten, Drücken usw. Ätzgeschwindig
keiten von 20 bis 30 nm/min für Si3N4
und eine Selektivität von 50 oder mehr erhalten werden.
Erfolgt das Ätzen für eine lange Zeitdauer, dann erhöht
sich die Temperatur des zu ätzenden Substrates graduell
aufgrund der Reaktionswärme oder dem Auftreffen des eine
hohe Temperatur aufweisenden Entladungsgases während des
Ätzens. Fig. 7 zeigt Änderungen in der Substrattemperatur,
die auftreten, wenn ein zu ätzendes Substrat mit einem
Si3N4-Film auf einem SiO2-Substrat ohne Temperaturkontrolle
geätzt wird, wobei die Ätzbedingungen Strömungsgeschwindig
keiten von NF3 bzw. Cl2 von 40 bzw. 60 cm3/min (Standard
bedingungen) und einen Gesamtdruck von 27 Pa
einschließen. Nach Fig. 7 erhöht sich die Temperatur
des Substrates leicht mit zunehmender Ätzzeit. Fig. 8
zeigt Änderungen in den Ätzgeschwindigkeiten von Si3N4
und SiO2 sowie Änderungen in der Selektivität von Si3N4/SiO2
bei Variation der Substrattemperatur unter den Bedingungen
der Strömungsgeschwindigkeit von NF3 bzw. Cl2 von 40
bzw. 60 cm3/min (Standardbedingungen) und einem Gesamtdruck
von 27 Pa. Gemäß Fig. 8 erhöhen sich die Ätz
geschwindigkeiten von Si3N4 und SiO2 mit steigender Sub
strattemperatur, doch vermindert sich die Selektivität.
Um das Ätzen mit hoher Selektivität durchzuführen, wird
die Substrattemperatur daher vorzugsweise etwa bei Raum
temperatur gehalten.
Fig. 6 zeigt ein Beispiel einer Vorrichtung mit einer
Temperatursteuerung der Scheibe. Unter Betätigung des
Ventils bzw. Schiebers 63 wird Gas aus dem Auslaß 62 ab
gezogen und das Gefäß 61 evakuiert. Ein Probentisch 65,
auf dem das Substrat 64 angeordnet ist, wird innerhalb
des Gefäßes 61 angeordnet. Das Kühlen erfolgt durch
Zirkulieren von Wasser oder Stickstoffgas in einem nicht
dargestellten Rohr, das in einem Kühlmechanismus 66 vorhanden
ist. Das Gefäß 61 hat Gaseinlässe 67 und 68, wobei der
Einlaß 67 zum Einleiten eines Fluor enthaltenden
Gases mit einem Entladungsrohr 69 verbunden ist. Das andere
Ende des Rohres 69 dient als Gaseinlaß 70. Eine Mikrowellen
leitung 72, die mit einem Mikrowellengenerator 71 verbunden
ist, ist an dem Rohr 69 montiert.
Im folgenden wird ein Verfahren zum Trockenätzen mit der
vorbechriebenen Vorrichtung erläutert. In diesem Beispiel
wird NF3 als Fluor enthaltendes Gas und Cl2 als andere
Halogene als Fluor enthaltendes Gas benutzt.
Das Substrat 64 wird auf dem Tisch 65 angeordnet und das
Gefäß 61 evakuiert. Dann führt man NF3 und Cl2 durch die
Einlässe 70 und 68 ein. Das Ventil bzw. der Schieber 63
wird reguliert, um einen vorbestimmten Druck zu erhalten.
Danach werden Mikrowellen zum Anregen von NF3 eingesetzt
und das angeregte NF3 wird zugeführt, um das Ätzen zu
bewirken. Während des Ätzens werden die Temperaturen von
Tisch 65 und Substrat 64 überwacht und vorbestimmte Tempe
raturen mittels des Mechanismus 66 aufrechterhalten.
Im folgenden wird eine Wirkung des Druckes auf die Si3N4/
SiO2-Selektivität während des Ätzens beschrieben. Fig.
9 zeigt Änderungen in der Selektivität mit Bezug auf den
Druck vor der Entladung, wenn die Strömungsgeschwindigkeit
von NF3 100 und 150 cm3/min (Standardbedingungen) beträgt.
In beiden Fällen ist die Selektivität um so größer, je
höher der Druck ist. Obwohl der Mechanismus dieser Erschei
nung noch nicht voll verstanden wird, nimmt man doch an,
daß diese Erscheinung dadurch verursacht wird, daß Cl₂
oder Br₂ oder ein Re
aktionsprodukt, bei dem dieses Gas als Ausgangsmaterial
dient, an SiO2 haftet und so das Ätzen des SiO2 verhindert.
Ein Ätzen mit einer hohen Selektivität von 10 oder mehr
von Si3N4 mit Bezug auf SiO2 kann bei einem Druck von
27 Pa oder mehr ausgeführt werden. Wird NF3
allein einer Entladung unterworfen, dann kann bei einem
Druck von weniger als 27 Pa eine stabile Mikro
wellenentladung nicht erzeugt werden. Wirkt die Entladung
auf das NF3 jedoch in Anwesenheit von Cl2, dann kann man
die Entladung bei einem Druck von etwa 13 Pa
aufrechterhalten und erhält eine Selektivität von 5. Da
der Druck relativ gering ist, kann in diesem Falle ein
Film mit guter Gleichmäßigkeit geätzt werden.
Im folgenden wird das Ätzen der Scheibe der Fig. 4A
und 4B bei Strömungsgeschwindigkeiten von NF3 bzw. Cl2
von 150 bzw. 100 cm3/min (Standardbedingungen) und einem
Gesamtdruck von etwa 40 Pa beschrieben. Bei
dieser Scheibe wird der Graben 42 an einem flachen Abschnitt
des Siliziumsubstrates 41 gebildet. Die inneren Teile
des Grabens 42 und ein flacher Teil des Siliziumsubstrates
41 werden mit einem 40 nm dicken SiO2-Film über
zogen. Außerdem wird auf dem flachen Teil ein 150 nm
dicker Si3N4-Film 44 gebildet. Die Ätzzeit wird so
ausgewählt, daß die Scheibe unter den genannten Bedingungen
in allen Bereichen überätzt wird. Wie die Fig. 4B zeigt,
kann der Si3N4-Film jedoch ohne Ätzen des Siliziumsubstrates
an den Ecken 45 und 46 entfernt werden.
Die vorliegende Erfindung ist auf die vorbeschriebenen
Ausführungsformen nicht beschränkt. Anstelle von NF3 kann
als Fluor enthaltendes Gas CF4, CF4 + O2, C2F6 + O2, C3F8,
C3F8 + O2, SF6, BF3, PF3, PF5, XeF2 benutzt
werden.
Im Falle eines Substrates mit einem natürlichen Oxidfilm
darauf werden zuerst nur Fluoratome zu dem Substrat ge
leitet, um den natürlichen Oxidfilm zu beseitigen. Dann
mischt man das andere Halogen hinzu, um das Ätzen auszu
führen, wodurch die Ätzzeit vermindert wird.
Claims (6)
1. Verfahren zum cheimschen Trockenätzen, bei dem:
- - ein zu ätzendes Substrat in einem Gefäß einge schlossen wird,
- - ein Fluor enthaltendes Gas angeregt wird, um eine aktive Art zu erhalten,
- - weiterhin Cl₂ oder Br₂ in das Gefäß geleitet wer den, und
- - mit der aktiven Art selektiv ein Siliziumnitrid film (44) aus Si₃N₄ bezüglich einem auf dem Sub strat (41) aufgebrachten Siliziumoxidfilm (43) geätzt wird,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - das Fluor enthaltende Gas CF₄+O₂ oder NF₃ oder CF₄ oder C₂F₆+O₂ oder C₃F₈ oder C₃F₈+O₂ oder SF₆ oder BF₃ oder PF₃ oder PF₅ oder XeF₂ ist,
- - das Fluor enthaltende Gas in einem von dem Gefäß (11) verschiedenen und beabstandeten Bereich ange regt wird, um die aktive Art zu erhalten, die in das Gefäß geleitet wird, und
- - das Cl₂ oder Br₂ ohne Anregung in das Gefäß gelei tet werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß zuerst das Fluor enthaltende Gas und dann das
Cl₂ oder Br₂ in das Gefäß geleitet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Ätzen bei einem Gasdruck von etwa
27 Pa oder mehr ausgeführt wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Temperatur des zu ätzenden
Substrats (41) 40°C oder weniger beträgt.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß der Siliziumnitridfilm (44) auf
dem Siliziumdioxidfilm (43) vorgesehen wird.
Applications Claiming Priority (2)
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JP61211691A JPS6399533A (ja) | 1986-05-31 | 1986-09-10 | シリコン窒化膜のドライエツチング方法及びドライエツチング装置 |
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