DE3686407T2 - Titannitrid-elektroden fuer thermoelektrische generatoren. - Google Patents

Titannitrid-elektroden fuer thermoelektrische generatoren.

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DE3686407T2 DE8686310036T DE3686407T DE3686407T2 DE 3686407 T2 DE3686407 T2 DE 3686407T2 DE 8686310036 T DE8686310036 T DE 8686310036T DE 3686407 T DE3686407 T DE 3686407T DE 3686407 T2 DE3686407 T2 DE 3686407T2
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    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G9/00Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
    • H01G9/21Temperature-sensitive devices

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Description

  • Vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen zur Verwendung in Wärmekraft-Stromerzeugern geeigneten Verbundartikel und auf ein Verfahren zur Herstellung solcher Artikel.
  • Wärmekraft-Stromerzeugervorrichtungen wandeln Wärmeenergie aus einer Wärmequelle direkt in elektrische Energie um. In einem Typ eines Wärmekraft-Stromerzeugers wird die elektrische Energie durch elektrochemische Ausdehnung von Alkalimetall über einen Feststoffelektrolyten hinweg erzeugt. Solche Stromerzeuger, in denen Natriummetall als Arbeitsstoff verwendet wird, sind in den US Patenten Nr. 34 58 356 und 45 10 210 beschrieben worden und werden gewöhnlich als "Natrium-Wärmekraftmaschinen" bezeichnet. Dieser Typ eines Wärmekraft- Stromerzeugers sei hier als Beispiel für einen Stromerzeugertyp besprochen, bei welchem der Artikel der vorliegenden Erfindung zweckmäßig verwendet werden kann.
  • Die Natrium-Wärmekraftmaschine umfaßt im allgemeinen einen geschlossenen Behälter, der durch einen Feststoffelektrolyten in eine erste und eine zweite Reaktionszone untertrennt wird. In der ersten Reaktionszone (d.h. auf einer Seite des Feststoffelektrolyten) liegt flüssiges Natriummetall vor. In der zweiten Reaktionszone (d.h. auf der anderen Seite des Feststoffelektrolyten) steht eine durchlässige, elektrisch leitende Elektrode in elektrischem Kontakt mit dem Feststoffelektrolyten. Während des Betriebes einer solchen Vorrichtung erhitzt eine Wärmequelle flüssiges Natriummetall innerhalb der ersten Reaktionszone auf eine hohe Temperatur, was einen entsprechend hohen Dampfdruck und damit ein Natriumdampfdruckdifferential über den Feststoffelektrolyten ergibt. Als Reaktion auf dieses Druckdifferential gibt das elementare Natrium Elektronen an die mit dem Natriummetall in Kontakt stehende Elektrode ab, und die gebildeten Natriumionen wandern durch den Feststoffelektrolyten. Nachdem die Elektronen eine äußere Last durchlaufen haben, neutralisieren sie Natriumkationen an der Grenzfläche zwischen der durchlässigen Elektrode und dem Feststoffelektrolyten. Elementares Natriummetall verdampft aus der durchlässigen Elektrode und wandert durch die, durch niedrigen Druck gekennzeichnete, zweite Reaktionszone zu einem auf niedriger Temperatur gehaltenen Kondensator. Das kondensierte flüssige Natrium kann dann in die, durch höhere Temperatur gekennzeichnete, erste Reaktionszone zurückgeführt werden.
  • In dem soeben beschriebenen Wärmekraft-Stromerzeuger handelt es sich bei der Elektrode an der Oberfläche des Elektrolyten, aus dem die Alkalimetallionen austreten, um eine positive Elektrode; diese muß vorliegen, damit Elektronenladung aus der äußeren Schaltung auf die Alkalimetallionen übertragen werden kann. Dieser Schritt schließt den für den Betrieb des Stromerzeugers erforderlichen elektrochemischen Kreislauf. Der Betrieb solcher Wärmekraft-Stromerzeugersysteme erfordert Elektroden mit besonderen Eigenschaften, die nicht alle auf einfache Weise gleichzeitig optimiert werden können. Zum Beispiel erfordert der wirksame Betrieb eines Stromerzeugers, daß die positive Elektrode Elektronen unter geringem elektrischem Widerstand von der elektrischen Last auf eine breite Fläche des Elektrolyten leitet. Gleichzeitig muß die positive Elektrode den Durchgang von Alkalimetallatomen von der Grenzfläche zwischen Elektrolyten und Elektrode durch die Elektrode zur gegenüberliegenden Elektrodenoberfläche, von wo sie zum Kondensator übergehen können, gestatten. Während die erste Forderung eher durch dichte, dicke Elektroden zur Erzielung niedrigen elektrischen Widerstandes erfüllt wird, deutet die zweite Forderung auf dünne, durchlässige Elektroden hin, die den Durchgang des Alkalimetalls durch die Elektrode erleichtern. Weiter müssen die Elektroden gegenüber dem Alkalimetall relativ inert sein, und sie müssen einen niedrigen Dampfdruck aufweisen, um ihren Schwund durch Verdampfung unter den vorliegenden Hochtemperatur- und Hochvakuum-Betriebsbedingungen zu verhindern. Überdies muß das Elektrodenmaterial einen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen, der jenem des Elektrolytenmaterials einigermaßen angepaßt ist. Dies ist notwendig, um die Delamination der Elektrode von dem Elektrolyten zu verhindern, die sich aus unterschiedlicher Ausdehnung und Zusammenziehung der Elektroden- und Elektrolytenmaterialien während der zyklischen Erhitzungs- und Abkühlungsvorgänge, denen solche Systeme während des Betriebs ausgesetzt sind, ergeben könnte.
  • Das US Patent 40 49 877, an Saillant und Mitarbeiter, bezieht sich auf einen Wärmekraft- Stromerzeuger, wobei die Verbesserung die Verwendung eines durch chemische Aufdampfung auf dem Feststoffelektrolyten abgelagerten porösen Metallfilms als Elektrode umfaßt. Zu den Metallen, welche die Lehre als geeignet für die Verwendung als Elektrode bezeichnet, zählen Molybdän, Wolfram, Chrom, Nickel und Eisen. Cole in der US-Patentschrift 41 75 164 lehrt, daß die Oberflächenkonfiguration von durch chemische Aufdampfungsmethoden erzeugten Elektroden (wie jene in dem oben angeführten Patent von Saillant und Mitarbeitern) modifiziert werden kann, indem solche Elektroden oxidativen Bedingungen, gefolgt von reduktiven Bedingungen, ausgesetzt werden. Cole lehrt, daß diese Bedingungen eine Oxidation, Reduktion und infolgedessen Wiederablagerung der bereits abgelagerten Elektrode bewirken, was diese in erwünschtem Maße poröser macht und so eine verbesserte Elektrodenwirksamkeit bewirkt. Diese beiden Patente lauten ebenfalls auf den Namen der Anmelderin. Es hat sich jedoch gezeigt, daß diese Metallelektroden zwar anfangs ausgezeichnete Leistungs - und Wirkungsgrade aufweisen, mit fortschreitender Betriebs zeit bei hohen Temperaturen aber an Leistung verlieren. Es wird angenommen, daß das hochschmelzende Metall in der Gegenwart von Sauerstoff und Natrium Verbindungen bilden kann, die bei den Temperaturen des Stromerzeugerbetriebs Flüssigphasen aufweisen. Solche Flüssigphasen ergeben sowohl eine leitende Bahn für ausgezeichnete Ausgangsleistung. Nachfolgender Schwund dieser Flüssigphasen infolge Verdampfung oder Zersetzung führt zu der beobachteten Leistungsabnahme.
  • Gemäß vorliegender Erfindung wird ein Artikel zur Verwendung als Separator zwischen den beiden Reaktionszonen eines Wärmekraft-Sromerzeugers verschafft, wobei dieser Artikel einen Feststoffelektrolyten und eine an der Oberfläche des genannten Feststoffelektrolyten anhaftende Filmelektrode aus Titannitrid umfaßt, wobei die genannte Filmelektrode eine Dicke von weniger als 10 um (Mikron) aufweist.
  • Gemäß einer anderen Ausführungsform vorliegender Erfindung wird ein Artikel zur Verwendung als Separator zwischen den beiden Reaktionszonen eines Wärmekraft- Stromerzeugers verschafft, wobei dieser Artikel einen Feststoffelektrolyten, eine am genannten Feststoffelektrolyten vorgesehene Schicht aus Titan und eine an der genannten Titanschicht vorgesehene Filmelektrode aus Titannitrid umfaßt, wobei die genannte Filmelektrode eine Dicke von weniger als 10 um (Mikron) aufweist.
  • Ferner wird gemäß vorliegender Erfindung eine Methode zur Herstellung eines als Separator zwischen den beiden Reaktionszonen eines Wärmekraft-Stromerzeugers zu verwendenden Artikels verschafft, wobei dieser Artikel einen Feststoffelektrolyten und einen an der Oberfläche des genannten Feststoffelektrolyten anhaftenden Film aus Titannitrid umfaßt, wobei diese Methode das Ablagern von Titannitrid auf einem Feststoffelektrolyten zu einer Dicke von weniger als 10 um (Mikron) umfaßt.
  • Ferner wird gemäß vorliegender Erfindung, eine Methode zur Herstellung eines als Separator zwischen den beiden Reaktionszonen eines Wärmekraft-Stromerzeugers zu verwendenden Artikel verschafft, wobei die genannte Methode das Ablagern eines Films aus Titan auf einem Feststoffelektrolyten sowie das Ablagern eines Films aus Titannitrid auf dem genannten Film aus Titan zu einer Dicke von weniger als 10 um (Mikron) umfaßt.
  • Bevorzugt besteht die Elektrode im wesentlichen aus stöchiometrischem Titannitrid. Eine gegebenenfalls zwischen der Titannitridelektrode und dem Feststoffelektrolyten vorliegende Titanschicht kann die Haftung zwischen diesen verbessern. Bevorzugt umfaßt die Methode zur Herstellung solche Artikel die Ablagerung der Titannitridelektrode auf dem Feststoffelektrolyten mittels physikalischer Ablagerungsmethoden, die aus Ablagerungstechniken wie reaktive Zerstäubung, Ionenstrahlkathodenzerstäubung und Ionenplattierung gewählt werden.
  • Die neuen Elektrodenmaterialien vorliegender Erfindung weisen die oben erwähnten, für Wärmekraft- Stromerzeuger erwünschten, besonderen Eigenschaften auf. Vorteilhaft ist dabei, daß das abgelagerte Titannitrid- Elektrodenmaterial in einer Alkalimetall-Umgebung im wesentlichen inert zu sein scheint, daß es einen niedrigen Dampfdruck aufweist, und daß es an die Oberfläche von oxidkeramischen Materialien, einschließlich jener, deren Verwendung als Feststoffelektrolyt in Natrium-Wärmekraftmaschinen bekannt ist, wie etwa β-Aluminiumoxid, gut anhaftet. Die Verwendung von Titannitrid als Elektrodenmaterial ermöglicht eine allfällig erwünschte weitere Verbesserung der Verbindung an der Grenzschicht zwischen Elektrode und Elektrolyten durch Ablagerung einer Schicht aus reinem Titan zwischen dem Feststoffelektrolyten und dem Titannitrid. Die Titannitrid-Elektrode weist bei den für solche Stromerzeuger typischen Betriebstemperaturen von 600 bis 1000ºC eine hohe Elektronenleitfähigkeit auf (besser als jene von reinem Titan). Ferner scheint Titannitrid bei den für solche Wärmekraft-Stromerzeuger typischen Betriebstemperaturen keine Flüssigphasen zu ergeben und scheint gegen morphologische Veränderungen widerstandsfähiger zu sein als die vorbekannten Elektroden von Saillant und Mitarbeitern und Cole, vor allem als die durch Zerstäubung oder chemische Aufdampfung abgelagerten Filme aus Molybdän. Überdies wird die Elektrode nach vorliegender Erfindung bevorzugt durch physikalische Ablagerungsmethoden abgelagert, zum physikalische Ablagerungsmethoden abgelagert, zum Beispiel Zerstäubungstechniken mittels derer in vorteilhafter Weise die Elektrodenschicht aus Titannitrid besonders kostengünstig und rasch aufgetragen werden kann. Ferner gestatten solche Techniken der Elektrodenauftragung die Herstellung von Elektrode-Elektrolyt- Artikeln dünner Querschnitte und/oder ungewöhnlicher Formen.
  • Der Artikel vorliegender Erfindung umfaßt eine Dünnfilmelektrode aus Titannitrid auf einem Feststoffelektrolyten, wobei die Elektrode eine Dicke von weniger als 10 Mikron aufweist. Im allgemeinen scheinen sich Titannitrid-Elektroden mit einer Dicke von etwa 2 bis 3 Mikrometer auf einem Feststoffelektrolyten als Elektroden mit ausreichendem Kontaktdauerstrom in Wärmekraft- Stromerzeugern zu eignen. Solche Titannitrid-Elektroden haben im allgemeinen einen Oberflächenwiderstand (oft als "Schichtwiderstand" bezeichnet) von weniger als etwa 30 Ohm pro Quadrat; allgemeinem beträgt der Oberflächenwiderstand zwischen etwa 0,1 und etwa 30 Ohm pro Quadrat. Die Titannitrid-Elektrode kann mittels jeglicher aus einer Reihe von dem Fachmann wohlbekannten geeigneten physikalischen Ablagerungsmethoden auf dem Feststoffelektrolyten abgelagert werden.
  • Beispielhaft für solche physikalischen Ablagerungsmethoden ist die reaktive Zerstäubung von Titan in einer Stickstoff enthaltenden Atmosphäre. Während der reaktiven Zerstäubung "reagiert" das Titan mit dem Stickstoff und bildet das sich auf dem Feststoffelektrolyten ablagernde Titannitrid. Bei der reaktiven Zerstäubung besteht eine Hauptzerstäubungskammer aus einem Vakuumsystem, enthaltend eine Gleichstrommagnetron- Zerstäubungskanone mit einem Titantarget, an das eine hohe negative Spannung angelegt wird. Durchflußmeßgeräte regeln die Menge des in das System eingelassenen Stickstoffs und des Inertgases, bevorzugt Argon, und das Vakuumpumpsystem kann gedrosselt werden, um den Betrieb bei einem von den Gasen entwickelten vorgeschriebenen Druck zu ermöglichen. Ein üblicher Betriebsdruckbereich beträgt 0,2 bis 0,665 Pa (1,5 bis 5 Millitorr), kann aber bis zu 1,33 Pa (10 Millitorr) reichen. Der Argondurchfluß wird je nach Kammergröße und Pumpleistung des verwendeten Vakuumpumpsystems gewählt. Zum Beispiel liegen die Argondurchflüsse bei der reaktiven Zerstäubungskammer der Beispiele 1 bis 4, mit einem Volumen von 200 Liter, am günstigsten im Bereich von 10 bis 28 Kubikzentimeter unter Normalbedingungen pro Minute (sccm); 16 sccm wird als typischer Wert gewählt. Das reaktive Zerstäubungsverfahren beginnt mit der Einstellung des Inertgasdurchflusses und der Regelung des Drucks, danach wird die Hochspannung eingeschaltet und der Strom eingestellt. Es bildet sich ein Plasma von positiv geladenen Inertgasionen, und Ionen werden durch das negativ geladene Titantarget angezogen. Dann wird Stickstoff in das System eingelassen. Es findet ein Energieaustausch zwischen dem Inertgasion und Titan statt, sodaß ein Titanatom herausgeschleudert wird, das sich dann, unter gleichzeitiger Reaktion mit Stickstoff, auf einem beliebigen Substrat in seiner Sichtlinie wieder ablagert. Im Falle der vorliegenden Erfindung wird es auf dem Feststoffelektrolyten abgelagert. Der Feststoffelektrolyt-Artikel wird auf einen gewählten Abstand in die Nähe des Plasmas gebracht. Im allgemeinen erfordert die Herstellung eines gleichförmigen Films über ein gesamtes Substrat, zum Beispiel ein Rohr aus Feststoffelektrolyt, daß das Rohr rotiert wird. Reaktive Zerstäubungstechniken werden im Artikel "Reactive Sputter Deposition, A Quantitative Analysis [Reaktive Zerstäubungsabscheidung, eine quantitative Analyse]", D.K. Hohnke, D.J. Schmatz and M.D. Hurley, Thin Solid Films, 118, (1984), 301-310, besprochen; hiermit sei in der Lehre ausdrücklich auf diesen Artikel Bezug genommen.
  • Obwohl eine physikalische Ablagerungstechnik, d.h. die reaktive Zerstäubung, oben im einzelnen besprochen worden ist, so ist eine solche Besprechung nicht als Beschränkung der Ablagerung des Titannitrids auf dem Feststoffelektrolyten bei vorliegender Erfindung auf die Ablagerung durch reaktive Zerstäubungstechniken zu verstehen. Andere zur Anwendung in vorliegender Erfindung geeignete Ablagerungsmethoden zur Auftragung des Titannitrids auf dem Feststoffelektrolyten werden im Artikel "Deposition Technologies for Films and Coatings [Abscheidungstechniken für Filme und Überzüge]", R.F. Bunshoh, Editor, Noyes Publications, Park Ridge, N.J., 1982, beschrieben; hiermit sei in der Lehre bezüglich physikalischer Ablagerungsmethoden ausdrücklich auf diesen Artikel Bezug genommen. Noch weitere für die Aufbringung des Titannitrids auf dem Feststoffelektrolyten geeignete physikalische Abscheidungsmethoden sind dem Fachmann bekannt und ergeben sich aus vorliegender Offenbarung. Zum Beispiel kann das Titannitrid durch Ionenstrahlzerstäubung eines Titantargets in einer Stickstoff/Inertgasatmosphäre abgelagert werden. Die Ionenplattierung ist eine weitere Methode, die zur Ablagerung des Titannitrids verwendet werden kann; sie umfaßt die Anwendung entweder der Bogen- oder der Elektronenstrahl-Verdampfung von Titan in einer Stickstoff/Inertgasatmosphäre. Das Titannitrid kann auch durch physikalische Ablagerungstechniken abgeschieden werden, die insofern nicht "reaktiv" sind, als daß sie keine Reaktion von Stickstoff und Titan zur Bildung des Titannitrids erfordern. Zum Beispiel kann das Titannitrid durch Zerstäubungstechniken aus einem Titannitridtarget in einer Argonatmosphäre wieder abgelagert werden. In diesem Fall kann Gleichstrom-Magnetronzerstäubung oder Hochfrequenz-(HF)-Magnetronzerstäubung von einem Titannitridtarget in einer Inertgasatmosphäre verwendet werden, um das Titannitrid auf dem Feststoffelektrolyten abzuscheiden. Im allgemeinen wird bei den oben besprochenen physikalischen Abscheidungsmethoden als Inertgas bevorzugt Argon verwendet. Während das Titannitrid mittels einer beliebigen von zahlreichen möglichen physikalischen Ablagerungsmethoden abgelagert werden kann, so werden wie hier besprochen, die Titannitrid-Elektroden der vorliegenden Erfindung am günstigsten durch reaktive Zerstäubung von Titanmetall in der Gegenwart eines geregelten Drucks von Stickstoff/Argongas auf dem Feststoffelektrolyten abgeschieden.
  • Bei jeder Methode zur Ablagerung einer Titannitrid-Elektrode auf dem Feststoffelektrolyten, einschließlich der bevorzugten reaktiven Zerstäubungsmethode, werden die Bedingungen am vorteilhaftesten so gestaltet, daß ein Film aus im wesentlichen stöchiometrischem Titannitrid gebildet wird. Elektroden aus im wesentlichen stöchiometrischem Titannitrid weisen bessere chemische Stabilität, geringeren elektrischen Widerstand und eine bessere Bindung zwischen Elektrode und Elektrolyten auf als Elektroden aus nicht-stöchiometrischem Titannitrid. Bei der reaktiven Zerstäubung, der Ionenplattierung oder der Ionenstrahlkathodenzerstäubung eines Titantargets in einer Stickstoffatmosphäre ergibt die Reaktion einer gleichen Anzahl von Stickstoffionen mit Titanionen stöchiometrisches Titannitrid. Parameter wie der Gasdruck, der Gasdurchfluß, die Eingangsleistung, oder der Abstand zwischen Target und Substrat, können verändert werden, ohne die Bildung von im wesentlichen stöchiometrischem Titannitrid zu beeinträchtigen. Dies kann zum Beispiel durch das Einstellen der Eingangsleistung und die Regulierung des Stickstoffflusses, oder durch das Einstellen des Stickstoffflusses und die Regulierung der Eingangsleistung erreicht werden. Im allgemeinen hat es sich gezeigt, zum Beispiel im Falle der reaktiven Zerstäubung, daß im wesentlichen stöchiometrisches Titannitrid gebildet wird, wenn das Verhältnis der Eingangsleistung zum Stickstoffdurchfluß im allgemeinen im Bereich von 140 bis 175 Watt pro sccm liegt, bevorzugt wenn dieses Verhältnis 145 bis 165 Watt pro sccm beträgt. Wie dem Fachmann einleuchtet, kann im wesentlichen stöchiometrisches Titannitrid auch aus Titannitridtargets in der Gegenwart von Inertgasen abgelagert werden. Die Auswahl der optimalen Betriebsparameter zur Herstellung des bevorzugten Ablagerung des Titannitridfilms verwendeten physikalischen Ablagerungsmethode abhängen, und die Auswahl solcher optimaler Betriebsparameter liegt auf Grund der vorliegenden Offenbarung innerhalb der Sachkenntnis des Fachmanns. Die Ablagerungsmethoden und Ablagerungsbedingungen können im Rahmen der Herstellung von Elektroden, die für einen annehmbaren Wärmekraft- Stromerzeugerbetrieb brauchbar sind, über einen erheblichen Bereich verändert werden.
  • Die Morphologie der abgelagerten Filme aus Titannitrid kann unter Beibehaltung einer im wesentlichen stöchiometrischen Zusammensetzung der Titannitrid-Elektrode, durch Regeln der oben genannten Parameter erheblich abgewandelt werden. Der erforderliche leichte Transport von neutralen Alkalimetallatomen durch die Titannitrid-Elektrode kann durch die Morphologie des Films beeinflußt werden. So ist gefunden worden, daß, zum Beispiel bei reaktiver Zerstäubung, der Druck wie auch die Temperatur sich auf die Struktur des abgelagerten Films aus Titannitrid auswirken, der während der Ablagerung bei niedrigeren Betriebsdrücken und höheren Temperaturen dichter, und bei höheren Betriebsdrücken und niedrigeren Temperaturen poröser gestaltet werden kann. Auch ist gefunden worden, daß, zum Beispiel bei der Reaktionszerstäubung, die Struktur der Titannitrid- Elektrode bei niedrigen Drücken und hohen Temperaturen zu einem Wachstum mit einer gleichachsigen kompakten Kornstruktur, und bei höheren Drücken und niedrigeren Temperaturen zu einem Wachstum mit einer Säulen- oder offenen Faserstruktur (Wachstum senkrecht zur Oberfläche des Feststoffelektrolyten) veranlaßt werden kann. Es wird angenommen, daß die Säulenstruktur den Transport des Alkalimetalls durch den Film aus Titannitrid eher fördert. Obwohl eine solche Säulenstruktur vorzuziehen zu sein scheint, beschränkt sich der erfindungsgemäße Artikel nicht auf solche säulenartigen Titannitrid- Elektroden.
  • Wie hierin oben angeführt wurde, kann zwischen der Titannitrid-Elektrode und dem Feststoffelektrolyten eine Schicht aus Titan vorliegen. Eine solche Titanschicht verstärkt die Bindung an der Grenzfläche zwischen Elektrode und Elektrolyten, falls dies gewünscht wird. Das Titan kann durch eine der hierin oben für die Ablagerung des Titannitrids beschriebenen physikalischen Ablagerungsmethoden abgelagert werden, wie dem Fachmann auf Grund der vorliegenden Offenbarung einleuchtet. Allgemein gilt, daß, wenn eine Schicht von Titan zwischen dem Titannitrid und dem Feststoffelektrolyten verwendet wird, sie im allgemeinen in einer Dicke von zwischen 10 und 20 Ångström (10&supmin;&sup9;-2 x 10&supmin;&sup9;m) verwendet wird.
  • Der Feststoffelektrolyt des Artikels der vorliegenden Erfindung kann aus einem weiten Bereich handelsüblicher und dem Fachmann bekannter Glasen oder polykristalliner keramischer Materialien gewählt werden. Unter den Glasen, die für Wärmekraft-Stromerzeuger, welche Alkalimetalle als Arbeitsmittel verwenden, angewendet werden können und die ungewöhnlich hohen Widerstand gegen Angriff durch Alkalimetalle aufweisen, sind jene mit einer der zwei folgenden Zusammensetzungen:
  • (1) zwischen etwa 47 und etwa 58 Molprozent Natriumoxid, etwa 0 bis etwa 15, bevorzugt etwa 3 bis etwa 12, Molprozent Aluminiumoxid, und etwa 34 bis etwa 15 Molprozent Siliziumdioxid; und (2) etwa 35 bis etwa 65, bevorzugt etwa 47 bis etwa 58, Molprozent Natriumoxid, etwa 0 bis etwa 30, bevorzugt etwa 20 bis etwa 30, Molprozent Aluminiumoxid, und etwa 20 bis etwa 50, bevorzugt etwa 20 bis etwa 30, Molprozent Boroxid. Diese Glase können durch übliche Verfahren zur Glasherstellung, unter Verwendung der angeführten Zutaten und Einbrennen bei Temperaturen von etwa 2700ºF hergestellt werden.
  • Bei den für den Feststoffelektrolyten erwünschten polykristallinen keramischen Materialien handelt es sich um Bi- oder Multimetalloxide Unter den für Wärmekraft- Stromerzeuger am nützlichsten polykristallinen Bi- oder Multimetalloxiden sind jene des Typs β-Aluminiumoxid, im allgemeinen Natrium-β-Aluminiumoxid. Es gibt zwei gut bekannte kristalline Formen der Materialien des Typs β- Aluminiumoxid, β-Aluminiumoxid und β"-Aluminiumoxid, die beide die generische Kristallstruktur des Aluminiumoxids vom β-Typ aufweisen, bestehend aus einer Anzahl von Schichten von Aluminiumoxid, die durch Schichten von Al- O-Bindungsketten auseinandergehalten werden, wobei im Falle von Natrium-β- oder -β"-Aluminiumoxid Gitterstellen zwischen den oben erwähnten Schichten und Säulen von Natriumionen besetzt werden. Unter den zahlreichen als Feststoffelektrolyt brauchbaren polykristallinen Materialien des Typs β-Aluminiumoxid sind die folgenden:
  • 1. Übliches Aluminiumoxid vom β-Typ, gebildet aus Zusammensetzungen, die mindestens etwa 80 Gewichtsprozent, bevorzugt mindestens etwa 85 Gewichtsprozent Aluminiumoxid und zwischen etwa 5 und etwa 15 Gewichtsprozent, bevorzugt zwischen etwa 8 und etwa 11 Gewichtsprozent Natriumoxid enthalten. β-Aluminiumoxid ist eine Kristallform, die durch die Formel Na&sub2;O 11Al&sub2;O&sub3; wiedergegeben werden kann. Die zweite Kristallform, β"-Aluminiumoxid, kann durch die Formel Na&sub2;O 5Al&sub2;O&sub3; wiedergegeben werden. Es ist ersichtlich, daß die Form des β"-Aluminiumoxids etwa zweimal soviel Soda (Natriumoxid) pro Gewichtseinheit an Material enthält wie die Form des β-Aluminiumoxids. Die Kristallform des β"-Aluminiumoxids ist jene, die für die Anwendung als Feststoffelektrolyt der vorliegenden Erfindung bevorzugt wird. Jede dieser Kristallformen des Typs β-Aluminiumoxid kann anhand ihrer charakteristischen Röntgenbeugungsbilder leicht identifiziert werden.
  • 2. Durch Boroxid, B&sub2;O&sub3;, modifiziertes Aluminiumoxid vom β-Typ, wobei etwa 0,1 bis etwa 1 Gewichtsprozent Boroxid zu der Zusammensetzung hinzugefügt werden.
  • 3. Substituiertes Aluminiumoxid vom β-Typ, wobei die Natriumionen der Zusammensetzung, teilweise oder vollständig, durch andere positive Ionen, welche bevorzugt Metallionen wie Kaliumionen, Bleiionen usw. sind, ersetzt werden.
  • 4. Aluminiumoxid vom β-Typ, welches durch die Hinzufügung eines geringen Gewichtsanteils von Metallionen mit einer Wertigkeit nicht größer als 2 modifiziert wird, sodaß die modifizierte Zusammensetzung des Aluminiumoxids vom β-Typ einen hohen Gewichtsanteil an Aluminiumionen und Sauerstoffionen und einen geringen Gewichtsanteil eines Metallions enthält, wobei dieses Metallion in Kristallgitterwechselwirkung mit Kationen steht, welche, bezogen auf das Kristallgitter, unter Einfluß eines elektrischen Feldes wandern. Die bevorzugte Ausführungsform für die Verwendung in solchen elektrischen Umwandlungsvorrichtungen ist jene, worin das Metallion mit einer Wertigkeit nicht größer als 2 entweder Lithium oder Magnesium oder eine Mischung von Lithium und Magnesium ist, und das Kation Natrium ist. Diese Metalle können in die Zusammensetzung als Lithiumoxid oder Magnesiumoxid oder deren Mischungen, in Mengen zwischen 0,1 bis etwa 5 Gewichtsprozent, aufgenommen werden. Diese Metallionen, z.B. Lithium, werden im allgemeinen zugesetzt, um das β"-Aluminiumoxid in dieser Form zu stabilisieren. Sonst neigt nähmlich bei hohen Temperaturen das β"-Aluminiumoxid dazu, sich in die β-Aluminiumoxidform umzuwandeln. Gerade diese stabilisierte β"-Aluminiumoxidform wird als Feststoffelektrolytmaterial der vorliegenden Erfindung bevorzugt.
  • Der Feststoffelektrolyt wird entsprechend den Konstruktionsgegebenheiten des Wärmekraft-Stromerzeugers geformt. Zum Beispiel ist in dem oben erwähnten Patent von Saillant und Mitarbeiten der Feststoffelektrolyt ein an einem Ende verschlossenes Rohr. Im allgemeinen haben solche Rohre eine Wandstärke von etwa 0,1 Zentimeter oder weniger. Der Feststoffelektrolyt des Artikels der vorliegenden Erfindung beschränkt sich aber nicht auf irgendeine besondere Form. Die in der vorliegenden Erfindung zum Zweck der Aufbringung des Titannitrids beschriebene physikalische Ablagerungsmethode gestattet vorteilhaft die Aufbringung von Titannitrid-Elektroden auf Feststoffelektrolyten ungewöhnlicher Formen. Mit der Einführung von Aluminiumoxid des β-Typs oder anderer keramischer Materialien hoher Festigkeit liegen die Wandstärken von Feststoffelektrolyten um 100 Mikron oder sogar noch darunter. Es wurde gefunden, daß die Herabsetzung der Dicke des Feststoffelektrolyten den Wirkungsgrad insgesamt erhöht, indem der Bahnwiderstand herabgesetzt wird.
  • Die folgenden Beispiele erläutern die bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung.
  • Methode zur Prüfung der abgegebenen Leistung und des Oberflächenwiderstandes von Elektroden
  • Die Prüfung von Elektroden von Natrium-Wärmekraftmaschinen beginnt mit dem Einbau des mit der Titannitrid-Elektrode überzogenen Elektrolytenrohrs in eine damit vollständige Zelle einer Natrium-Wärmekraftmaschine. Die Elektrodenleistung wird im allgemeinen durch die Messung der Beziehung zwischen Strom und Spannung der Elektrode als eine Funktion der Temperatur gemessen. Elektrische Anschlüsse werden mit dem Natriummetall in der oben genannten ersten Reaktionszone der Zelle, wobei das Natriummetall die negative Elektrode ist, und mit der den auf dem Feststoffelektrolyten getragenen Film aus Titannitrid umfassenden positiven Elektrode in der zweiten Reaktionszone verbunden. Zwischen diesen beiden Anschlüssen werden ein variabler Widerstand und ein Strommesser in Serie geschaltet. Durch Änderungen des Widerstandes wird dann der von dem Natrium-Wärmekraftmaschinensystem an diese Schaltung abgegebene Strom über eine Reihe von Werten abgetastet, und der Strom in der Schaltung und die Zellenspannung werden auf den Achsen eines X-Y-Registriergerätes registriert. Die maximale Ausgangsleistung der Elektroden kann dann graphisch aus der I-V-Beziehung ermittelt werden. Der elektronische Flächen- oder "Oberflächen"-Widerstand (oft als "Schicht"-Widerstand bezeichnet) der Elektrode kann durch die üblichen, dem Fachmann bekannten, 4 Klemmenmethoden gemessen werden. Die Werte des Oberflächenwiderstandes werden im allgemeinen in Einheiten von Ohm pro Quadrat angegeben, dem Widerstand zwischen einander gegenüberliegenden Rändern eines quadratischen Filmabschnitts.
  • Beispiel 1
  • Eine reaktive Zerstäubungskammer, bestehend aus einem Vakuumsystem, welches eine Gleichspannungsmagnetron-Zerstäubungskanone mit einem Titantarget umfaßte, wurde zur Ablagerung der Titannitrid-Elektrode auf einem β"-Aluminiumoxidrohr in diesem Beispiel verwendet. Ein Druck von 0,266 Pa (2,0 Millitorr) wurde in dem gedrosselten Vakuumsystem innerhalb der Kammer durch einen Fluß von 16 sccm Argon erzeugt. Es wurde ein Strom von 1,6 Ampere eingestellt, und Stickstoff wurde mit einer Rate von 4,4 sccm langsam in das System eingelassen. Unter diesen Bedingungen entwickelte sich eine Spannung von 445 Volt und eine Leistung von 712 Watt, was einen Wert von 162 Watt pro sccm Stickstoff ergab. Ein β"-Aluminiumoxidrohr wurde aus der Ladeschleusekammer innerhalb des Systems in eine Position unter dem Titantarget gebracht und eine Stunde lang zerstäubungsbeschichtet, was einen Film von im wesentlichen stöchiometrischem Titannitrid mit einer Dicke von etwa 3 Mikrometern auf dem Rohr ergab. Die Ausgangsleistung und der Oberflächenwiderstand der Elektrode wurden mittels der oben beschriebenen Methoden gemessen. Der Oberflächenwiderstand der Elektrode betrug 0,8 Ohm pro Quadrat, und die beobachtete maximale Ausgangsleistung betrug 0,74 Watt pro cm² bei 900ºC.
  • Beispiel 2
  • Es wurde reaktive Zerstäubung angewendet, um Titannitrid auf einem β"-Aluminiumoxidrohr in diesem Beispiel unter Verwendung der in Beispiel 1 beschriebenen reaktiven Zerstäubungskammer abzulagern. In diesem Beispiel wurde mit einem Fluß von 16 sccm Argon in dem gedrosselten Vakuumsystem innerhalb der Kammer ein Druck von 3,5 Millitorr erzeugt. Ein Strom von 1,7 Ampere wurde eingestellt, und Stickstoff wurde mit einer Rate von 3,75 sccm langsam in das System eingelassen. Unter diesen Bedingungen entwickelte sich eine Spannung von 360 Volt und eine Leistung von 612 Watt, was einen Wert von 163 Watt pro sccm Stickstoff ergab. Ein β"-Aluminiumoxidrohr wurde aus der Ladeschleusekammer innerhalb des Systems in eine Position unter dem Titantarget gebracht und eine Stunde lang zerstäubungsbeschichtet, was einen Film von im wesentlichen stöchiometrischem Titannitrid mit einer Dicke von etwa 2,7 Mikrometern auf dem Rohr ergab. Die Ausgangsleistung und der Oberflächenwiderstand der Elektrode wurden mittels der oben beschriebenen allgemeinen Methoden gemessen. Der Oberflächenwiderstand der Elektrode betrug 0,5 Ohm pro Quadrat, und die maximale Ausgangsleistung betrug 0,45 Watt pro cm² bei 880ºC.
  • Beispiel 3
  • Es wurde reaktive Zerstäubung angewendet, um Titannitrid auf einem β"-Aluminiumoxidrohr in diesem Beispiel unter Verwendung der in Beispiel 1 beschriebenen reaktiven Zerstäubungskammer abzulagern. Es wird ein höherer Strom als jener in Beispiel 1 verwendet, um in der gleichen Zeit einen dickeren Film aus Titannitrid oder in kürzerer Zeit einen Film der gleichen Dicke herzustellen. In diesem Beispiel wird mit einem Fluß von 16 sccm Argon in dem gedrosselten Vakuumsystem ein Druck von 2,5 Millitorr erzeugt. Ein Strom von 2,5 Ampere wird eingestellt, und Stickstoff wird mit einer Rate von 6,0 sccm langsam eingelassen. Diese Bedingungen ergeben eine Spannung von 400 Volt und ein Leistung von 1000 Watt, was einen Wert von 167 Watt pro sccm Stickstoff ergibt. Ein β"-Aluminiumoxidrohr wird aus der Ladeschleusenkammer innerhalb des Systems in eine Position unter dem Titantarget gebracht und 30 Minuten lang zerstäubungsbeschichtet, was einen Film von im wesentlichen stöchiometrischem Titannitrid mit einer Dicke von etwa 2,5 Mikrometern ergibt. Der Oberflächenwiderstand und die Ausgangsleistung der Elektrode sollten etwa 0,7 Ohm pro Quadrat beziehungsweise 0,5 Watt pro cm² bei 900ºC betragen.
  • Beispiel 4
  • Die Methode des Beispiels 1 wird zur Aufbringung einer im wesentlichen stöchiometrischen Titannitrid- Elektrodenschicht auf einen Elektrolytenkörper aufgebracht, der ein Borosilicatglasrohr mit einer Zusammensetzung von angenähert (Na&sub2;O)0,2(SiO&sub2;)0,5(B&sub2;O&sub3;)0,3 umfaßt. die Dicke des Elektrodenfilms beträgt etwa 0,1 Mikrometer. (Bei Verwendung von Elektrolyten des Glastyps mit niedrigerer Ionenleitfähigkeit als die Aluminiumoxide vom β-Typ als Reaktionszonenseparatoren in Wärmekraft- Stromerzeugern vom Typ der Natrium-Wärmekraftmaschine werden Elektrodenfilme nämlich bevorzugt dünner ausgelegt.) Die Ausgangsleistung und der Oberflächenwiderstand der Elektrode sollten etwa 0,02 Watt pro Quadratzentimeter bei 600ºC beziehungsweise etwa 13 Ohm pro Quadrat betragen.
  • Beispiel 5
  • In diesem Beispiel wird die reaktive Ionenplattierung zur Ablagerung einer Titannitrid-Elektrode auf einem β"-Aluminiumoxidrohr verwendet. Die Plattierung wird in einer Ionenplattierungskammer mit einem einen Elektronenstrahl umfassenden Vakuumsystem durchgeführt. Titan wird durch den Elektronenstrahl aus einem Titantarget verdampft. Das verdampfte Titan geht auf seinem Weg zu dem β"-Aluminiumoxidrohr durch eine Gasglimmentladung, welche einige der verdampften Atome ionisiert. Die Glimmentladung wird durch Vorspannung des β"-Aluminiumoxidrohrs auf ein hohes negatives Potential (3 kV) und Einlassen von Argon in das gedrosselte Vakuumsystem innerhalb der Kammer mit einem Druck von 2,66 Pa (20 Millitorr) erzeugt. Das Rohr wird mit hochenergetischen Gasionen beschossen, die die Oberfläche effektiv reinigen. Dann wird Stickstoff in die Kammer eingelassen und so die Ablagerung von Titannitrid auf dem β"-Aluminiumoxidrohr ermöglicht. Die Zusammensetzung wird aus der Leistung und den Stickstoffdurchflußraten empirisch ermittelt. Die Rohrhalterung besteht aus Titan. (β"-Aluminiumoxid ist ein Isolator. Weil das β"-Aluminiumoxidrohr auf irgend-eine Art gehalten werden muß, und die Halterung eine hohe negative Spannung haben wird, so kann im Verlauf des Prozesses das Material der Halterung zerstäubt und auf dem Rohr wieder abgelagert werden. Daher besteht die Halterung bevorzugt aus Titan.) Die Elektrode wird mit einer Dicke von etwa 2 Mikrometern aufgebracht. Der Oberflächenwiderstand und die Ausgangsleistung der Elektrode sollten etwa 0,8 Ohm pro Quadrat beziehungsweise 0,4 Watt pro cm² bei 800ºC betragen.

Claims (8)

1. Artikel zur Verwendung als Separator zwischen den beiden Reaktionszonen eines Wärmekraft-Stromerzeugers, wobei dieser Artikel einen Feststoffelektrolyten und eine an der Oberfläche des genannten Feststoffelektrolyten anhaftende Filmelektrode aus Titannitrid umfaßt, wobei die genannte Filmelektrode eine Dicke von weniger als 10 um (Mikron) aufweist.
2. Artikel zur verwendung als Separator zwischen den beiden Reaktionszonen eines Wärmekraft-Stromerzeugers, wobei dieser Artikel einen Feststoffelektrolyten, eine am genannten Feststoffelektrolyten vorgesehene Schicht aus Titan und eine an der genannten Titanschicht vorgesehene Filmelektrode aus Titannitrid umfaßt, wobei die genannte Filmelektrode eine Dicke von weniger als 10 um (Mikron) aufweist.
3. Artikel nach Anspruch 2, wobei die genannte Schicht aus Titan eine Dicke aufweist, die zwischen 10&supmin;&sup9; und 2 x 10&supmin;&sup9;m (10 und 20 Ångström) liegt.
4. Artikel nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der genannte Film aus Titannitrid eine Dicke aufweist, die zwischen 2 und 3 um (Mikron) liegt.
5. Artikel nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der genannte Film im wesentlichen aus stöchiometrischem Titannitrid besteht.
6. Artikel nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der genannte Feststoffelektrolyt β-Aluminiumoxid umfaßt.
7. Methode zur Herstellung eines als Separator zwischen den beiden Reaktionszonen eines Wärmekraft-Stromerzeugers zu verwendenden Artikels, wobei dieser Artikel einen Feststoffelektrolyten und einen an der Oberfläche des genannten Feststoffelektrolyten anhaftenden Film aus Titannitrid umfaßt, wobei diese Methode das Ablagern von Titannitrid auf einem Feststoffelektrolyten zu einer Dicke von weniger als 10um (Mikron) umfaßt.
8. Methode zur Herstellung eines als Separator zwischen den beiden Reaktionszonen eines Wärmekraft-Stromerzeugers zu verwendenden Artikels, wobei die genannte Methode das Ablagern eines Filmes aus Titan auf einem Feststoffelektrolyten sowie das Ablagern eines Filmes aus Titannitrid auf dem genannten Film aus Titan zu einer Dicke von weniger als 10 um (Mikron) umfaßt.
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